JPS5977615A - 垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツド - Google Patents
垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS5977615A JPS5977615A JP18742882A JP18742882A JPS5977615A JP S5977615 A JPS5977615 A JP S5977615A JP 18742882 A JP18742882 A JP 18742882A JP 18742882 A JP18742882 A JP 18742882A JP S5977615 A JPS5977615 A JP S5977615A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic pole
- recording
- reproducing
- magnetic
- auxiliary magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドに係り、
とくに補助磁極が主磁極の記録再生におよぼず悪影響を
除き、旨記録慴夏の磁気記録再生を可能にするものであ
る。
とくに補助磁極が主磁極の記録再生におよぼず悪影響を
除き、旨記録慴夏の磁気記録再生を可能にするものであ
る。
〔従来技術ｊ
垂直磁気記録再生用のヘッド−媒体系としては第１図に
模式図を示すよりな構造が公器である（たとえば特開昭
５２−８２３１８）。図において、記号１は記録再生を
行なうための・＼ラドの主磁極、記号２は磁束を帰還さ
せ閉磁路を形成して記録再生効率を旨めるための補助磁
極、記号３はコイル、記号４は垂直磁気記録媒体、記号
５は磁束を帰還させ閉磁路を形成するための高透イム率
Ｆ地ノーである。このような系では理想的にはＬ峰書生
が主磁極だけで行なわれなくてはならないが、実際には
補助磁極も記録再生に悪い影響を与える。とくに補助磁
極の端部、６おｌび７、は磁束が果中“ｒるために再生
信号をひろりで雑音の原因となったり、記録信号を減磁
１ノＣＩ、まり場合がある。
模式図を示すよりな構造が公器である（たとえば特開昭
５２−８２３１８）。図において、記号１は記録再生を
行なうための・＼ラドの主磁極、記号２は磁束を帰還さ
せ閉磁路を形成して記録再生効率を旨めるための補助磁
極、記号３はコイル、記号４は垂直磁気記録媒体、記号
５は磁束を帰還させ閉磁路を形成するための高透イム率
Ｆ地ノーである。このような系では理想的にはＬ峰書生
が主磁極だけで行なわれなくてはならないが、実際には
補助磁極も記録再生に悪い影響を与える。とくに補助磁
極の端部、６おｌび７、は磁束が果中“ｒるために再生
信号をひろりで雑音の原因となったり、記録信号を減磁
１ノＣＩ、まり場合がある。
本発明の目的は補助磁極が記録Ｍ生におよぼす悪影響を
なくシ、尚１己録密度のｉｌａ′Ａ記録再生が可能な垂
直磁気θ己録用薄膜ヘッドを提供することにある。
なくシ、尚１己録密度のｉｌａ′Ａ記録再生が可能な垂
直磁気θ己録用薄膜ヘッドを提供することにある。
本発明においては補助磁極の端部に生じる磁束の楽中を
、補助磁極の四面から遠ざかる、すなわち外側面から内
側に入るにつれて、飽オロ磁束密度または透磁率または
その両者が大なるように補助磁極を配置することによっ
て解決した。
、補助磁極の四面から遠ざかる、すなわち外側面から内
側に入るにつれて、飽オロ磁束密度または透磁率または
その両者が大なるように補助磁極を配置することによっ
て解決した。
以下、本発明を実施例について説明する。第２図に本発
明の垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘッドの主要部（記録
媒体対向面近傍）の１折面図を示す。
明の垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘッドの主要部（記録
媒体対向面近傍）の１折面図を示す。
図において日己号１１は非磁性基板で、ここでは４０ｍ
ｍφｘ１．ｔのホトセラム（コーニング社）基板を用い
た。記号１２は熱処理によって補助磁極１３に拡散する
拡散層で、ここではＣｒを用いた。記号１３は油動磁極
であって８１ｗｔ％Ｎｉ−１ｇｗｔ％Ｆｅ合金をスパッ
タ法で形成した。記号１４はｇＣ号１２と同じ拡散層で
Ｃｒを用いた。記号１２および１４の拡散層は３００Ｃ
程度の温度で熱処理することによってＮｔ−Ｆｅ会金中
に拡散し、飽和磁束密度および透磁率が低い層を形成す
る。Ｃｒ層の厚みおよび熱処理条件によっても異なるが
、一般にＮ１−Ｆ〜合金の外側から内側にむかって、飽
オロ磁束密度および透６Ｂ率を連続的に増大させること
ができる。したがってヘッドとして完成した時点では拡
散層１２および１４は明らかな形では存在しない場合も
める。
ｍφｘ１．ｔのホトセラム（コーニング社）基板を用い
た。記号１２は熱処理によって補助磁極１３に拡散する
拡散層で、ここではＣｒを用いた。記号１３は油動磁極
であって８１ｗｔ％Ｎｉ−１ｇｗｔ％Ｆｅ合金をスパッ
タ法で形成した。記号１４はｇＣ号１２と同じ拡散層で
Ｃｒを用いた。記号１２および１４の拡散層は３００Ｃ
程度の温度で熱処理することによってＮｔ−Ｆｅ会金中
に拡散し、飽和磁束密度および透磁率が低い層を形成す
る。Ｃｒ層の厚みおよび熱処理条件によっても異なるが
、一般にＮ１−Ｆ〜合金の外側から内側にむかって、飽
オロ磁束密度および透６Ｂ率を連続的に増大させること
ができる。したがってヘッドとして完成した時点では拡
散層１２および１４は明らかな形では存在しない場合も
める。
記号１５は主磁極であって５１ｗｔ％Ｎｉ−１９ｗｔ％
ｐｅ合金をスパッタ法で形成した。記号１６は補助磁極
、主磁極およびコイルを電気的、磁気的に絶縁するだめ
の絶縁物で、ここでは５ｉＱｚをスパッタ法によって付
着させて用いた。記号１７はコイルであって、ここでは
Ａｔを約２μｍの厚みに蒸着して形成した。第２図の下
側が記録媒体対抗面である。実際のヘッドの作製に当っ
ては、ホ） ＩＪソグラフイ技術や、研ま、研削等の技
術を用いたが、これらの技術は従来公知の技術であるの
でここでは説明を省略する。
ｐｅ合金をスパッタ法で形成した。記号１６は補助磁極
、主磁極およびコイルを電気的、磁気的に絶縁するだめ
の絶縁物で、ここでは５ｉＱｚをスパッタ法によって付
着させて用いた。記号１７はコイルであって、ここでは
Ａｔを約２μｍの厚みに蒸着して形成した。第２図の下
側が記録媒体対抗面である。実際のヘッドの作製に当っ
ては、ホ） ＩＪソグラフイ技術や、研ま、研削等の技
術を用いたが、これらの技術は従来公知の技術であるの
でここでは説明を省略する。
第３図に本発明による磁気ヘッドの記録密度特性２１ｉ
示す。測定はスパッタ法によｐ゛、Ｎｉ−Ｆｅ合金上に
形成したＣｏ−Ｃｒ垂垂直気気記録媒体し、相対速度２
．．５ｍ／＠で行なった。比較のため、拡散層１２およ
び１４を設けないこと以外は同様に作製した従来の磁気
ヘッドの記録密度特性２２を示す。本発明の方が記録密
度が扁い方までのびていて、改善の効果が顕著である。
示す。測定はスパッタ法によｐ゛、Ｎｉ−Ｆｅ合金上に
形成したＣｏ−Ｃｒ垂垂直気気記録媒体し、相対速度２
．．５ｍ／＠で行なった。比較のため、拡散層１２およ
び１４を設けないこと以外は同様に作製した従来の磁気
ヘッドの記録密度特性２２を示す。本発明の方が記録密
度が扁い方までのびていて、改善の効果が顕著である。
本発明は補助磁極を外側面から内に入るにつれ飽和磁束
密度または透磁率またはその両者が大なるように配置す
ることによって、高記録密度の垂直磁気記録再生を実現
するヘッドを作製するものでるる。このように飽和磁束
密度、透磁率を変化させることは、実施例に示したよう
に両側面ともに伊なった方が効果が大きいが、一方の側
面だけでもかなシの効果がある。とくに効果が大きい面
は主磁極に近い側面である。
密度または透磁率またはその両者が大なるように配置す
ることによって、高記録密度の垂直磁気記録再生を実現
するヘッドを作製するものでるる。このように飽和磁束
密度、透磁率を変化させることは、実施例に示したよう
に両側面ともに伊なった方が効果が大きいが、一方の側
面だけでもかなシの効果がある。とくに効果が大きい面
は主磁極に近い側面である。
本発明を実施する場合は拡散現象を用いるほか、蒸着あ
るいはスパッタあるいはメッキ等によって補助磁極を形
成する際に、組成を変化させてやることによって達成す
ることも可能である。
るいはスパッタあるいはメッキ等によって補助磁極を形
成する際に、組成を変化させてやることによって達成す
ることも可能である。
第１図は垂直磁気記録再生用のヘッド−媒体系を模式的
に示した説明図、第２図は本発明の一実施例における垂
直磁気記録再生用薄膜磁気ヘッドの概略断面図、第３図
は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドの記録密度
ｑデ性を示すグラフで゛ある。 １・・・主磁極、２・・・補助磁極、３・・・コイル、
４・・・垂直磁気記録媒体、５・・・間道磁率下地層、
１１・・・非磁性基板、１２・・・拡散層、１３・・・
補助磁極、１４・・・拡散層、１５・・・主磁極、１６
・・・絶縁物、１７・・・コイル、２１・・・本発明に
よる磁気ヘッドの記録密％ｌ 日 第２ 口 ￥１３ 図 訂録り！（Ｋ８ＰＩ） 第１頁の続き ＠発 明 者 中村斉 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社［］立製作所中央研究 所内 ヴ■発 明 者 藤原英夫 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内
に示した説明図、第２図は本発明の一実施例における垂
直磁気記録再生用薄膜磁気ヘッドの概略断面図、第３図
は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドの記録密度
ｑデ性を示すグラフで゛ある。 １・・・主磁極、２・・・補助磁極、３・・・コイル、
４・・・垂直磁気記録媒体、５・・・間道磁率下地層、
１１・・・非磁性基板、１２・・・拡散層、１３・・・
補助磁極、１４・・・拡散層、１５・・・主磁極、１６
・・・絶縁物、１７・・・コイル、２１・・・本発明に
よる磁気ヘッドの記録密％ｌ 日 第２ 口 ￥１３ 図 訂録り！（Ｋ８ＰＩ） 第１頁の続き ＠発 明 者 中村斉 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社［］立製作所中央研究 所内 ヴ■発 明 者 藤原英夫 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内
Claims (1)
- １、主磁極と補助磁極とを有−する垂直磁気記録再生用
の薄膜磁気ヘッドにおいて、補助磁極の少なくとも主磁
極に近い側において、補助イーナ極外側面から内に入る
につれて、飽和磁束畜産”まだは透磁率またはその両者
が大なるように配置されでいることを特徴とした垂直磁
気記録再生用薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18742882A JPS5977615A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18742882A JPS5977615A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5977615A true JPS5977615A (ja) | 1984-05-04 |
Family
ID=16205878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18742882A Pending JPS5977615A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5977615A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63292405A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-29 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 垂直磁気記録用磁気ヘツド |
| US20100220524A1 (en) * | 2009-02-27 | 2010-09-02 | Krishnakumar Mani | Magnetic booster for magnetic random access memory |
| US8625340B1 (en) | 2010-02-26 | 2014-01-07 | Magsil Corporation | Magnetic sidewalls for write lines in field-induced MRAM and methods of manufacturing them |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP18742882A patent/JPS5977615A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63292405A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-29 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 垂直磁気記録用磁気ヘツド |
| US20100220524A1 (en) * | 2009-02-27 | 2010-09-02 | Krishnakumar Mani | Magnetic booster for magnetic random access memory |
| US8320175B2 (en) * | 2009-02-27 | 2012-11-27 | Magsil Corporation | Magnetic booster for magnetic random access memory |
| US8625340B1 (en) | 2010-02-26 | 2014-01-07 | Magsil Corporation | Magnetic sidewalls for write lines in field-induced MRAM and methods of manufacturing them |
| US9299744B2 (en) | 2010-12-29 | 2016-03-29 | Iii Holdings 1, Llc | Magnetic sidewalls for write lines in field-induced MRAM and methods of manufacturing them |
| US9620411B2 (en) | 2010-12-29 | 2017-04-11 | Iii Holdings 1, Llc | Magnetic sidewalls for write lines in field-induced MRAM and methods of manufacturing them |
| US9997697B2 (en) | 2010-12-29 | 2018-06-12 | Iii Holdings 1, Llc | Magnetic sidewalls for write lines in field-induced MRAM and methods of manufacturing them |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6118249B2 (ja) | ||
| JP2563597B2 (ja) | 複合型薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0440613A (ja) | 薄膜磁気ヘッド素子 | |
| JPH04351706A (ja) | 複合型薄膜磁気ヘッド | |
| JPS5977615A (ja) | 垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘツド | |
| JPH0266710A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS5868226A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH03286413A (ja) | 磁気抵抗郊果型ヘッド | |
| JP2003006814A (ja) | 薄膜垂直磁気ヘッド | |
| JPS58102321A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS63266619A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH01285022A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS623414A (ja) | 録再兼用薄膜磁気ヘツド | |
| JPS6050607A (ja) | 垂直磁気記録再生ヘツド | |
| JPS604275Y2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP2979966B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS6286521A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS6271016A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS6059516A (ja) | 垂直磁気記録再生用複合ヘッド | |
| JPH0395712A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS6050618A (ja) | 垂直磁化記録媒体 | |
| JPS6381616A (ja) | 垂直記録用単磁極型磁気ヘツド | |
| JPS63153707A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS59142719A (ja) | 薄膜ヘツド | |
| JPS59135624A (ja) | 複合型薄膜磁気ヘツド |