JPH0440613A - 薄膜磁気ヘッド素子 - Google Patents
薄膜磁気ヘッド素子Info
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- JPH0440613A JPH0440613A JP2149244A JP14924490A JPH0440613A JP H0440613 A JPH0440613 A JP H0440613A JP 2149244 A JP2149244 A JP 2149244A JP 14924490 A JP14924490 A JP 14924490A JP H0440613 A JPH0440613 A JP H0440613A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 21
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
- G11B5/3183—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes intersecting the gap plane, e.g. "horizontal head structure"
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は磁気記録媒体に対する高記録密度用記録・再
生磁気ヘッドとして磁気ヘッド空隙近傍の磁極形状を最
適化する薄膜磁気ヘッド素子に関する。
生磁気ヘッドとして磁気ヘッド空隙近傍の磁極形状を最
適化する薄膜磁気ヘッド素子に関する。
[従来の技術]
第3図は例えば文献(IEEE TRANSACTIO
NS ONMAGNETIC3,Vol、25. No
、5.3190頁、 1989年)に示された従来例の
薄膜磁気ヘッド素子の要部断面図である。
NS ONMAGNETIC3,Vol、25. No
、5.3190頁、 1989年)に示された従来例の
薄膜磁気ヘッド素子の要部断面図である。
図において(1)は素子を形成するシリコン基板、 (
2a)はこの基板上に下部磁心用磁性膜(3)と上部磁
心用磁性膜(4a)とを積層してなるパーマロイ磁心、
(6a)はこの磁心で記録磁界を生ずる磁極を形成
する空隙長gL(例えば0.5μm)をもつヘッド空隙
、(8)は磁心(2a)と鎖交して形成するコイル用導
体膜、(9)は磁心(2a)とコイル(8)を絶縁する
絶縁層、 (io)は素子と平行に対向し隙間d(例
えば0.35μII+)で近接走行する磁気記録媒体、
(111はこの記録媒体の走行に伴う素子の浮上面で
ある。
2a)はこの基板上に下部磁心用磁性膜(3)と上部磁
心用磁性膜(4a)とを積層してなるパーマロイ磁心、
(6a)はこの磁心で記録磁界を生ずる磁極を形成
する空隙長gL(例えば0.5μm)をもつヘッド空隙
、(8)は磁心(2a)と鎖交して形成するコイル用導
体膜、(9)は磁心(2a)とコイル(8)を絶縁する
絶縁層、 (io)は素子と平行に対向し隙間d(例
えば0.35μII+)で近接走行する磁気記録媒体、
(111はこの記録媒体の走行に伴う素子の浮上面で
ある。
上記従来例の薄膜磁気ヘッド素子は、走行記録媒体 (
lO)と平行に対向し隙間dで浮上させて用い、コイル
(8)に情報に応じた記録電流を流すと上部磁心(4a
)のヘッド空隙(6a)近傍に生ずる漏れ磁界で記録媒
体 (10)を磁化し情報を記録する。
lO)と平行に対向し隙間dで浮上させて用い、コイル
(8)に情報に応じた記録電流を流すと上部磁心(4a
)のヘッド空隙(6a)近傍に生ずる漏れ磁界で記録媒
体 (10)を磁化し情報を記録する。
次に磁化記録媒体 (10)を走行させると記録媒体(
10)の表面磁束が磁心(2a)の磁路に分流し磁束の
変化率に対応する電圧をコイル(8)に誘起し情報を再
生する。
10)の表面磁束が磁心(2a)の磁路に分流し磁束の
変化率に対応する電圧をコイル(8)に誘起し情報を再
生する。
[発明が解決しようとする課題]
上記のような従来の薄膜磁気ヘッド素子では。
磁心に取込む全磁束のうちコイルに鎖交する有効磁束を
多くして再生効率を良くするためヘッド空隙深さg。を
薄くしようとすると記録に必要な記録磁界を得ることが
難しくなる問題点があった。
多くして再生効率を良くするためヘッド空隙深さg。を
薄くしようとすると記録に必要な記録磁界を得ることが
難しくなる問題点があった。
この発明が解決しようとする課題は、ヘッド空隙近傍の
磁極形状を最適化し良好な記録・再生特性をもつ薄膜磁
気ヘッド素子を得ることである。
磁極形状を最適化し良好な記録・再生特性をもつ薄膜磁
気ヘッド素子を得ることである。
[課題を解決するための手段]
上記課題を達成するためこの発明の薄膜磁気ヘッド素子
は、絶縁基板上に下部磁心用磁性膜と。
は、絶縁基板上に下部磁心用磁性膜と。
記録磁界を生ずる磁極を形成するヘッド空隙を設けた上
部磁心用磁性膜とを積層し、絶縁層を介し磁心と鎖交す
るコイル用導体膜を形成し、記録媒体と平行に対向し近
接して用いる薄膜磁気へ・ンド素子において1次の手段
を含むことを特徴とするものである。
部磁心用磁性膜とを積層し、絶縁層を介し磁心と鎖交す
るコイル用導体膜を形成し、記録媒体と平行に対向し近
接して用いる薄膜磁気へ・ンド素子において1次の手段
を含むことを特徴とするものである。
上部磁心の基板側の面でヘッド空隙近傍の磁極形状を凹
形とする凹形空隙を設け、この凹形空隙の記録媒体の走
行方向長さ(凹形空隙長)を1〜7μmに設定する。
形とする凹形空隙を設け、この凹形空隙の記録媒体の走
行方向長さ(凹形空隙長)を1〜7μmに設定する。
[作用]
上記のように構成した薄膜磁気ヘッド素子は。
ヘッド空隙近傍の空隙長L(1〜7μm)をもつ凹形空
隙で、ヘッド空隙深さg。を薄くヘッド空隙近傍外の磁
極の膜厚を十分厚くでき、TiFi心を流れる有効磁束
の全磁束に対する比率である再生効率と記録に必要な記
録磁界を最適化する。
隙で、ヘッド空隙深さg。を薄くヘッド空隙近傍外の磁
極の膜厚を十分厚くでき、TiFi心を流れる有効磁束
の全磁束に対する比率である再生効率と記録に必要な記
録磁界を最適化する。
[実施例コ
第1図はこの発明の一実施例を示す薄膜磁気ヘッド素子
の要部断面図である。
の要部断面図である。
図において(11は素子を形成する絶縁基板。
(2)はこの基板上に下部磁心用磁性膜(3)と上部磁
心用磁性膜の下層(4)と上層(5) とを積層して成
る強磁性体磁心、(6)はこの磁心で記録磁界を生 中する磁極を形成する空隙長gL(例えば0.3μm)
をもつヘッド空隙、(7)はこのヘッド空隙近傍の磁極
形状を凹形とし記録媒体(10)の走行方向長さ(凹形
空隙長)Lを1〜7μmとする凹形空隙、(8)〜(1
1)は上記従来例を示す第3図の(8)〜(11)に対
応する。
心用磁性膜の下層(4)と上層(5) とを積層して成
る強磁性体磁心、(6)はこの磁心で記録磁界を生 中する磁極を形成する空隙長gL(例えば0.3μm)
をもつヘッド空隙、(7)はこのヘッド空隙近傍の磁極
形状を凹形とし記録媒体(10)の走行方向長さ(凹形
空隙長)Lを1〜7μmとする凹形空隙、(8)〜(1
1)は上記従来例を示す第3図の(8)〜(11)に対
応する。
上記実施例の薄膜磁気ヘッド素子は、上記従来例の薄膜
磁気ヘッド素子と基本的には同様に動作するが、上部磁
心(4)の基板(1)側の面でヘッド空隙(6)近傍に
凹形空隙(7)を設け、第2図のように有限要素法によ
る計算機シミュレーション結果から最適な記録・再生特
性を得る構造として凹形空隙長りを1〜7μmに設定し
たから、ヘッド空隙深さg。を薄くヘッド空隙(6)近
傍外の磁極の膜厚を十分厚くでき、最適な再生効率と記
録磁界を確保する。
磁気ヘッド素子と基本的には同様に動作するが、上部磁
心(4)の基板(1)側の面でヘッド空隙(6)近傍に
凹形空隙(7)を設け、第2図のように有限要素法によ
る計算機シミュレーション結果から最適な記録・再生特
性を得る構造として凹形空隙長りを1〜7μmに設定し
たから、ヘッド空隙深さg。を薄くヘッド空隙(6)近
傍外の磁極の膜厚を十分厚くでき、最適な再生効率と記
録磁界を確保する。
なお上記実施例では凹形空隙(7)を容易に形成するた
め上部磁心用磁性膜を下層(4)と上層(5)の2層に
分けて説明したが、上部磁心(4)の基板(11側の面
でヘッド空隙(6)近傍の磁極形状を凹部とし凹形空隙
長りを1〜7LLmとする構造であれば上部磁心用磁性
膜を何層にしても同様の効果がある。
め上部磁心用磁性膜を下層(4)と上層(5)の2層に
分けて説明したが、上部磁心(4)の基板(11側の面
でヘッド空隙(6)近傍の磁極形状を凹部とし凹形空隙
長りを1〜7LLmとする構造であれば上部磁心用磁性
膜を何層にしても同様の効果がある。
また上部磁心用磁性膜を複数層構造としたときは素子の
浮上面(11)に露出する磁極媒体対向面の面積を極端
に小さくできるから記録媒体(10)に対して良好な耐
摩耗性が得られる信頼性を向上できる効果がある。
浮上面(11)に露出する磁極媒体対向面の面積を極端
に小さくできるから記録媒体(10)に対して良好な耐
摩耗性が得られる信頼性を向上できる効果がある。
[発明の効果]
この発明は以上説明したように構成されており、上部磁
心の基板側の面でヘッド空隙近傍を凹形の磁極形状とし
凹形空隙長を1〜7μmとして最適化したから、ヘッド
空隙深さを薄くヘッド空隙近傍外の磁極の膜厚を十分厚
くでき、磁心に取込む全磁束のうち有効磁束が多くなり
再生効率が良(なるとともに記録に必要な記録磁界も得
られる。従って良好な記録・再生特性をもつ薄膜磁気ヘ
ッド素子が得られる効果がある。
心の基板側の面でヘッド空隙近傍を凹形の磁極形状とし
凹形空隙長を1〜7μmとして最適化したから、ヘッド
空隙深さを薄くヘッド空隙近傍外の磁極の膜厚を十分厚
くでき、磁心に取込む全磁束のうち有効磁束が多くなり
再生効率が良(なるとともに記録に必要な記録磁界も得
られる。従って良好な記録・再生特性をもつ薄膜磁気ヘ
ッド素子が得られる効果がある。
第1図(a)はこの発明の一実施例を示す薄膜磁気ヘッ
ド素子の要部断面図、第1図(b)は(alに示すヘッ
ド空隙近傍の部分拡大図、第2図は第1図に示すヘッド
空隙近傍の記録磁界と再生効率の凹形空隙長に対する計
算機シミュレーション結果を示す図、第3図(a)は従
来例を示す薄膜磁気ヘッド素子の要部断面図、第3図(
b)はfa)に示すヘッド空隙近傍の部分拡大図である
。 図において(1)は基板、(2)は磁心、(3)は下部
磁心用磁性膜、(4)は上部磁心用磁性膜(下層)、(
5)は上部磁心用磁性膜(上層)、(6)はヘッド空隙
、(7)は凹形空隙、(8)はコイル用導体膜、(9)
は絶縁層、 (10)は記録媒体。 なお9図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
ド素子の要部断面図、第1図(b)は(alに示すヘッ
ド空隙近傍の部分拡大図、第2図は第1図に示すヘッド
空隙近傍の記録磁界と再生効率の凹形空隙長に対する計
算機シミュレーション結果を示す図、第3図(a)は従
来例を示す薄膜磁気ヘッド素子の要部断面図、第3図(
b)はfa)に示すヘッド空隙近傍の部分拡大図である
。 図において(1)は基板、(2)は磁心、(3)は下部
磁心用磁性膜、(4)は上部磁心用磁性膜(下層)、(
5)は上部磁心用磁性膜(上層)、(6)はヘッド空隙
、(7)は凹形空隙、(8)はコイル用導体膜、(9)
は絶縁層、 (10)は記録媒体。 なお9図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 絶縁基板上に下部磁心用磁性膜と、記録磁界を生ずる
磁極を形成するヘッド空隙を設けた上部磁心用磁性膜と
を積層し、絶縁層を介し磁心と鎖交するコイル用導体膜
を形成し、記録媒体と平行に対向し近接して用いる薄膜
磁気ヘッド素子において、前記上部磁心の基板側の面で
前記ヘッド空隙近傍の磁極形状を凹形とする凹形空隙を
設け、該凹形空隙の前記記録媒体の走行方向長さ(凹形
空隙長)を1〜7μmに設定することを特徴とする薄膜
磁気ヘッド素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2149244A JPH0440613A (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | 薄膜磁気ヘッド素子 |
US07/711,154 US5195006A (en) | 1990-06-07 | 1991-06-06 | Thin-film magnetic head element having high recording/reproducing characteristics |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2149244A JPH0440613A (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | 薄膜磁気ヘッド素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0440613A true JPH0440613A (ja) | 1992-02-12 |
Family
ID=15471032
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2149244A Pending JPH0440613A (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | 薄膜磁気ヘッド素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5195006A (ja) |
JP (1) | JPH0440613A (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6091581A (en) * | 1994-08-26 | 2000-07-18 | Aiwa Co., Ltd. | Thin film magnetic head including a separately deposited diamond-like carbon gap structure and magnetic control wells |
US5563754A (en) * | 1994-08-26 | 1996-10-08 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film magnetic head including a durable wear layer and gap structure |
US5801909A (en) * | 1994-08-26 | 1998-09-01 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film magnetic head including durable wear layer and non-magnetic gap structures |
US5673474A (en) * | 1994-08-26 | 1997-10-07 | Aiwa Research And Development, Inc. | Method of fabricating a thin film magnetic head including layered magnetic side poles |
US5544774A (en) * | 1994-08-26 | 1996-08-13 | Aiwa Research And Development, Inc. | Method of eliminating pole recession in a thin film magnetic head |
US5490028A (en) * | 1994-08-26 | 1996-02-06 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film magnetic head including an integral layered shield structure |
US5748417A (en) * | 1994-08-26 | 1998-05-05 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film magnetic head including layered magnetic side poles |
JPH08171712A (ja) * | 1994-08-26 | 1996-07-02 | Aiwa Co Ltd | 側面露出型薄膜磁気ヘッド並びにその製造方法 |
US5909346A (en) * | 1994-08-26 | 1999-06-01 | Aiwa Research & Development, Inc. | Thin magnetic film including multiple geometry gap structures on a common substrate |
US5754377A (en) * | 1994-08-26 | 1998-05-19 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film magnetic head including an elevated gap structure |
FR2724480B1 (fr) * | 1994-09-13 | 1996-12-06 | Commissariat Energie Atomique | Tete magnetique a pieces polaires horizontales |
US5621594A (en) * | 1995-02-17 | 1997-04-15 | Aiwa Research And Development, Inc. | Electroplated thin film conductor coil assembly |
FR2738657B1 (fr) * | 1995-09-12 | 1997-10-03 | Thomson Csf | Tete magnetique d'enregistrement/lecture |
US6069015A (en) * | 1996-05-20 | 2000-05-30 | Aiwa Research And Development, Inc. | Method of fabricating thin film magnetic head including durable wear layer and non-magnetic gap structure |
US5805392A (en) * | 1996-12-30 | 1998-09-08 | Quantum Corporation | Laminated plated pole pieces for thin film magnetic transducers |
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US7800862B1 (en) * | 2004-02-18 | 2010-09-21 | Advanced Research Corporation | Magnetic recording head having secondary sub-gaps |
US20100321824A1 (en) * | 2004-02-18 | 2010-12-23 | Dugas Matthew P | Magnetic recording head having secondary sub-gaps |
JP2007536683A (ja) * | 2004-05-04 | 2007-12-13 | アドバンスト・リサーチ・コーポレーション | 任意形状のギャップ・パターンのための集積型薄膜サブギャップ/サブ磁極構造、磁気記録ヘッド、及びその製造方法 |
WO2009094516A1 (en) * | 2008-01-23 | 2009-07-30 | Advanced Research Corporation | Recording heads with embedded tape guides and magnetic media made by such recording heads |
US8068301B2 (en) * | 2008-03-28 | 2011-11-29 | Advanced Research Corporation | Magnetic media formed by a thin film planar arbitrary gap pattern magnetic head |
WO2011014836A2 (en) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | Advanced Research Corporation | Erase drive systems and methods of erasure for tape data cartridge |
JP7377182B2 (ja) * | 2020-09-25 | 2023-11-09 | 富士フイルム株式会社 | 磁気記録ヘッドおよびその製造方法、磁気記録装置ならびに磁気記録媒体の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6292213A (ja) * | 1985-10-18 | 1987-04-27 | Seiko Epson Corp | 磁気ヘツド |
-
1990
- 1990-06-07 JP JP2149244A patent/JPH0440613A/ja active Pending
-
1991
- 1991-06-06 US US07/711,154 patent/US5195006A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5195006A (en) | 1993-03-16 |
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