JPS5973292A - ペレツトピツクアツプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はペレットボンディング装置におけるベンツトビ
ツクアップ装置に関する。

一般に、ペレットは第１図に示すようなトレー１０の凹
部１１に収納されており、真空吸着するコレットにより
１個づつピックアップされ、ボッディング位置に移送さ
れて基板にボンディングされる。

ところで、前記コレットはペレット吸着面が平らな形状
であると、ペレット吸着時及び基板へのボンディング時
にペレットの電極面にぺＶット吸着面が触れるので、ペ
レットを損傷させるおそれがある１、 このような欠点は、例えば特公昭５１−１６２９６６号
公報に示すようなコレットを使用することにより解消さ
れる。このコレットを第２図に示す。コレット２０はペ
レット３０を吸着するペレット吸着面が角錐の凹部２１
に形成され、また角錐の斜面と斜面とからなる交叉部分
に切込溝２２が形成されている。

しかしながら、このコレット２０は切込溝２２がら空気
を吸込むので、吸着力（真空圧）を高く、例えば約６８
０ｍｍＨｇにしなければペレット３０を吸着することが
困難であった。

本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、低
い吸着力でも確実にペレットをピックアップすることが
！きるペレットピックアップ装置を提供することを目的
とする。

以下、本発明を図示の実施例により説明する。

第３図は本発明の一実施例を示す要部断面図である。な
お、第１図、第２図と同じ又は相当部分ζこは同一符号
を付し、その説明を省略する。トレー１０の凹部１１に
は、ペレット３０より小さな貫通′７′（１２が形成さ
れている。この貫通穴１２の形状は特に限定されなく、
丸穴、角穴、その他の形状でもよい。

このようにトレー１０の凹部１１には貫通穴１２が設け
られているので、トレー１０とペレット３０との接触面
積が減少する。このため、コレット２０でペレット３０
を吸着する吸着力は小さくすむ。

また単に接触面積を減したのみでなく、貫通穴１２であ
るので、ペレット３０がコレット２０による吸着作用で
少しでも浮き上ると、貫通穴１２を通して四部１１に空
気が流れるので、ペレツ１−３０は、より一層吸着され
易くなる。これらのことより、約４３　ＱｍｍＨｇの吸
着力でも確実にペレット３０はコレット２０にピックア
ップされるようになった。

以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、低い吸
着力でもペレットが確実にピックアップされ、吸着力の
容量の低い真空装置を用いることができ、設備費の低減
が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のトレーの斜視図、第２図は第１図のトレ
ーを使用したべＶットピックアップ装置によるペレット
吸着状態の要部断面図、第３図は本発明ζこなるペレッ
トピックアップ装置の一実施例を示すぺＶット吸着状態
の要部断面図である。 １０・・・トレー、　　　　　　１１・・・四部、１２
・・・貫通穴、　　　　　　２０・・・コレット、３０
・・・ぺＶット。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の四部が形成されたトレーの前記凹部に収納すした
   ペレットをコレットで真空吸着してピックアップするペ
   レットピックアップ装置において、前記ト１／−の凹部
   には前記ペレットより小さな貫通穴が形成されているこ
   とを特徴とするペレットピックアップ装置。