JPS5972409A - 色フイルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ））”ｆ−梁上の利用分野 本発明の方法に、中管あるいはｔ）ｘ−板カラービテオ
カメラの掃像部に用いるモザイク状あるいはストライブ
状の分光フィルタの製造方法に関するものである。

従来例の構成とその問題点 従来の製造方法は、第１図（Ａ）〜（Ｄｌに示すような
方法が一般的に用いられていた。すなわち、光学研磨を
施しだガラス基板１」−に、ポリビニルアルコ−ル クロム酸アンモン等で感光性を伺尚した感光液を、ロー
ラーコート、ティッピング、スピンナー笠で均一に塗布
し、乾燥した後マスク露光法で１色［１のパターン部分
だけ尤硬化させ、現像して必ザなパターン以外を除去し
て染色ベース膜２を形成した後に、所定の分光特性を有
する染料て、１色目のパターンを染色する。次に染わで
染色されることのない透明な防染膜３を全面に塗布する
（第１図（Ａ））。

次に、同様にして第１図［Ｂ）に示すように前記と同Ｉ
Ｃ感光液を均一に塗布し、乾燥した後マスク露光法で露
光現像して、２色目の染色ベース膜４を形成後所定の分
光特性を有する第２の染料で染色する。さらに、前記透
明な防染膜６を全面に塗布する。

次に同様にして、第１図（Ｃｌに示すように、前記と同
じ感光液を均一に塗布し、乾燥した後、マスク露光法で
露光現像して、３色目の染色ベース膜６を形成し、所定
の分光特性を有する第３の染料で染色ず乙。

最後に、トップコート７ に／Ｉ’：　Ｊ−　、しうな色フィルタが製造きれる。

しかしに：から、このような色フィルタの方法で回、１
色目の染色ベース膜２と２色１］の染色ベースＩＩ’５
’ｉ　４と３色口の染色ベース膜６を形成する場合、そ
ノ１ぞれ基板条件が％，　７）−Ｃいる。すなわち、第
１図ｆｃｌに小ずように、１色目の染色ベース１閘２に
、ガラス基板１１−に１白接形成されているが、２色目
の染色ベース膜４　ｉＪ：、防染膜３」−に形成されて
おり、３色［−１の染色ベース膜６は、防染膜３と５上
に形成されている。

一方、感光液の密着力が、ガラス基板１と防染膜３，５
で異る。従ってガラス基板に密着力の良い感光液を使用
すると防染膜の界面で剥離が生じやすく、このような従
来の色フィルタの製造方法でに１、、剥離不良が多電に
発生している。さらにまた、防染膜３，６が存在するだ
め、１，２．３色目の染色ベース膜にそれぞれ段差があ
り、２色目。

３色目と形成して行くに従って、パターンの解像度が悪
くなる。すなわち、２色１」、３色「１の染色ベース膜
のパターンがボケる等の欠点があった。

発明の目的 本発明は以−１−述べてきた、従来の欠点を除去する／
こめになされたものであり、各染色色間の分離を完全に
行ない、しかも、染色層が同一・厚みで、各色間て段差
の無い色フィルタの製造方法を提供することを目的とす
る。

発明の構成 本発明の方法は、単一の染色ベース膜を、同程度の染色
強度を有する染色浴あるいは、後工程はど染着力の強い
染色浴に順次浸漬すると、染色ベースは、後の染料にの
み染色されてし捷うという原理に基く。例えば、はじめ
に青色に染色した染色ベース膜が形成されだ基板を、次
に黄色に染色する為の染浴に浸漬すると、青色と黄色の
染料の染色強度が同じであれば、栄に青色染料と黄色染
料の１４　ｒＢ２比と同じに染色きれることに々る。こ
の場合、あらかじめ染色ベース膜中にある青色染料は橙
微叶であり、一方黄色の染浴中には黄色染料が高濃度に
存在するので、染色濃度が平衡に達しだ）場合にシ」、
、実際には、青色染色してあった部分す，丈ｌ＆ｆー．
１ー黄色に染色をれてし寸う。従って、前の工程で染色
され７０色を残存させたい場合、その部分のみを防染処
理し，ておけば次工程−の染オ・１で染色をれることも
なく、寸だ、前工程の染料が脱色されることもなくなる
ので、この工程をくり返すことにより、部分的に染分け
られた色フィルタを製造することが出来る。才だ、後工
程の染料の染着力が先の染料より強い場合には、より完
全に後工程の染料に染色される。

実施例の説明 １記原理に基き製造された色フィルタの製造工程の詳細
を、以斗、第２図を用いて詳細に説明する。

−まず、実施例においては、第２図ｆＡＪに示すり［１
くガラス−１１（板２１の上にストライブ状に金属層２
０を形成する。

次に、第２図（Ｂｌに示す如く、ガラス基板２１の上に
感光性とするために重クロム酸アンモニウノ・を入れた
カゼイン（又はゼラチン、グリユー等）の染色ベース膜
２２を厚さ１〜２１１ｍに形成する。

次に、第２図（Ｃｌに示す如く、染色ベース膜２２の上
に所定の遮光パターン４２を有するホ）・マスク４３を
載置し、水銀灯を用いて光４４を照射する。

次に、温水で現像を行い、未露光部のゼラチンとゼラチ
ン中の重クロム酸アンモニウムを洗い出し、除去し、第
２図（Ｄｌに示す如く、そねぞ）１の金属層２０上にス
トライブ状に各々の画素を分離する為の？！．４１を形
成する。

次に、ポストベークを行った後、全面を第１の色、例え
ば、シアン染浴に浸漬して樹脂膜２２０Ｙとする。

次に、第２図（Ｅｌに示す＆Ｕ　＜　、樹脂膜２２ｃｙ
Ｏ上にスピンナーを用いて、感光性樹脂膜２３を６００
０人程度に塗布し、６０〜８００Ｃで１０〜２０分乾燥
する。

次に、第２　［ＺｌｆＦ＋に示す如く、感）ｎ性樹脂膜
２３の１−に所定の！！　ｌｒ、パターン２４を有する
ポトマスク２５を載置し、水ぐ旧、Ｊを用いて光２６を
照射する１、 次ｔ・ζ、霧光しノこ感光性樹脂膜２３を４」シ像する
。

現像の結！、４木、この例でにｊｌ、感光性樹脂膜２３
がネガ形である為、感光部分が残留し残存部分即ち防染
膜２８Ａが選択的に形成される（第２図Ｇ）。

次に、第２の色、例えば、緑色の染浴に浸漬して、前記
１（７Ｊ染膜２８Ａに被れて々い樹脂膜２２０Ｙを全て
染色１−２て樹脂膜２２Ｇとする。

次に、上述と同じような防染膜２８Ｂ形成工程をくり返
して、さらに、防染膜２８Ａ　、２８Ｂより露出してい
る樹脂膜２２Ｇを第３の色、例えば赤色の染面に浸αｔ
シフ２、樹脂膜２２Ｇを樹脂膜２２Ｈに染色する（第２
図Ｈ）。

１μ徒（ｆこ、透明樹脂よりなるトップコート層３９を
・全面に形成して、赤、緑、シアン色の色）′イルタを
製ノ告１゛る（第２図工）。

な、お、以十の］二程において、シアン、緑、赤の染オ
；０１の染色ベース膜２２に対する染色強度が同程度の
染料（例えば、ミリング系）を用いておけば、−・度染
色をれた樹脂膜でも次の色の染色液に浸漬すると、実質
十問題々い程度に寸で次の染色液の色に染色きれてしま
う。′！た、防染膜でカバーされている部分の樹脂膜は
防染膜が染ネ・１を通さないため、前工程の色が保持さ
れる。なお、本実施例では基板にガラス板をＩｎいたが
、直接固体撮像素子」−へ色フィルタを形成する場合に
も１１本質的に同じ方法が用いられるととも明らかであ
る。

発明の効果 以上述べてきだように、本発明の方法を用することによ
り、染色ベースすなわち樹脂膜の形成工程は一度のみで
よく、色部分の形成は染色工程と防染膜形成工程のみで
良いので工程の犬幅単縮化が可能とカリ、従って、歩留
の向上、低コスト化が可能となった。また、各色の分＃
、はあらかじめ樹脂膜をストライブ状あるいはモザイク
状に分離しであるので混色を生じることはない。さらに
ま／１−１防染１ｐ、’ｊの除去工程がないだめ、除去
不良によるイ］！色ノ・うが／Ｉじない。

【図面の簡単な説明】

＜’（’、”１図（Ａ）〜ｔｃｌ　、　（Ｄｌは従来の
色フイルタ製造工程Ｃ）＞Ｉｌセｆ゛断白（ン１．同へ
１１面図、第２図ｆＡｌ〜ＣＩ＋は本発明の一’）′、
ｍＨ例の色フイルタ製造工程断面図である。 ２１−・基板、２２・−染色ベース膜、２２０Ｙ。 ２２Ｇ　、２２Ｒ・・・染色さｉまた染色ベース膜、２
８−防染膜。 代理人の氏名　井戸−１、中　尾　敏　男　はが１名第
１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 所定の基板トヘモーリイク状あるいｄ゛ストライブ状分
   前１−７だ染色ベース膜を形成する工程と、ず・＼ての
   染色ベース膜を第１の染料で染色する第１の染色１セｉ
   “ノー：、所定σ）パターンをイ１する第１の防染膜を
   前記染色ベース膜上に形成する工程と、前ハ己第１の小
   才１と色の異なる第２の染料を用いた第２の染色［１稈
   とを含み、複数色に小分けら）１だ色フィルタを形成１
   ゛ることを勃徴としノζ色フィルタの製造方法。