JPS5969105A - 気体分離用複合成形体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は良好な気体透過性を有すると共に気体の選択的
分離機能にすぐれた気体分離用複合成形体に関し、とく
には空気から酸素富化空気を得るのに好適とされる気体
分離用複合成形体の提供を目的とする。

最近、限外濾過膜、逆浸透膜、ガス透過膜等の高分子膜
を利用する分離技術の進歩発展には著しいものがあり、
そのいくつかは工業的規模で実用化されている。しかし
ながら、現実に実用化されているものは海水の淡水化、
工場廃液の処理、食品（液状物）の濃縮等液−液分離も
しくは液−同分離であり、気−気分離すなわち２種以上
の混合ガスから特定ガスの富化もしくは分離については
、なお、研究段階にとどまっている。

このガス分離膜が実用化されていない理由としては、選
択透過性が小さいこと、すなわち特定の気体を選択的に
通し他の気体をほとんど通さないという膜がないため、
高純度の気体を得るには膜分離を何度かくり返す多段方
式を採用する必要があり、そのために装置が大きくなり
すぎることおよび透過流量が小さいため多量のガスを生
産できないことである。

ガス分離膜の技術に関する問題点は、膜の分離能力を低
下させずに、如何にしてその単位面積当りの透過流量を
増大させるかということである。

また、分離膜の厚さと透過流量とは逆比例関係があり、
透過流量を増大させるには膜の厚さン減する必要がある
。しかし、薄膜化するとピンホール、クラックの発生あ
るいは厚みむら等が起り易く、均一なガス透過性を有す
る薄膜の製造が困難であるばかりでなく、ガス分離性も
徐々に低下するという問題があり、分離膜の薄膜化のみ
では分離係数２．５以上と言うすぐれた分離能を達成す
ることはできない。

一方、選択透過性の点からみると最終用途として必ずし
も高純度のガスを必要としない分野も多々あり、例えば
酸素の場合高炉送風用、燃焼補助用、廃液処理曝気用、
医療における呼気用等としてはいわゆる酸素富化空気で
あればその目的が達成される。

しかして、酸素富化空気を得る従来の方法としては空気
分離装置（空気液化法）で高純度酸素を製造し、これを
空気と混合することで目的とする酸素濃度の高い酸素富
化空気を得ていたが、この場合高純度酸素は圧力容器に
入っているため、取扱い上の危険性、混合ガス濃度ン一
定とするための操作の煩雑性等の問題があり、有利な方
法ではない。

他方またオルガノポリシロキチン−ポリカーボネート共
重合体溶液を液状の流延支持体の表面に滴下することに
より極薄の膜を作り、この膜をガス分離膜として使用す
ることにより酸素富化空気を得る方法（特開昭５４−４
０８６８号公報参照）も試みられている。この方法はガ
ス透過量を多くするために極薄の膜？使用するのである
が、支持体なしで厚さＯ，１μｍ程度の膜を安定して作
ることは非常に困難であるほか、このような極薄の膜を
装置に組み込む場合において、その取扱いが面倒である
という問題点があり、実用化されるに至っていない。

本発明者らはこれらの問題点を解決−Ｃるために鋭意研
究した結果、製作が比較的容易で再現性がよく、取扱い
上の操作が簡単で、ガスの分離能力が高く、かつ、単位
面積当りの透過流量が多大であるガス（気体）分離用複
合成形体を完成した。

すなわち、本発明は表面を高分子材料で被覆してなる、
気体透過部における酸素透過係数が１×１０　’ｃｒｔ
？−ｃｍｌｃｒ＆・ｓｅａ・ｃｍＨｇ以上である成形体
に、有機化合物の低温プラズマ重合膜を設けてなる気体
分離用複合成形体に関するものであり、とくに空気から
酸素富化空気を得るのに好適とされる気体分離用複合成
形体を提供するものである。

本発明によればその気体分離用複合成形体例えばフィル
ム状ないしシート状体は、単位面積当りの透過流量を高
く維持しかつすぐれた分離係数を備えたものであり、極
薄膜状のプラズマ重合膜は高分子材料被覆膜上に直接形
成されているので、この重合膜は取扱い上損傷されるこ
となく成形体は容易に加工できるという利点がある。そ
してこのものは窒素ガスの透過係数に対する酸素ガスの
透過係数の比が２．５以上というすぐれた分離能力を持
っているので、酸素富化空気の製造に威力を発揮する利
点を有する。

以下本発明の詳細な説明する。

本発明に使用される高分子材料で被違された成形体にお
ける基体（成形体）は、有機高分子材料から作られた多
孔質のフィルムないしシート状体、中窒体、あるいは中
空糸、プラスチックスの焼結成形体、無機多孔質材料で
作られた各種形状の成形体が包含される。該有機高分子
材料としてはポリエチレン、ポリプロピレン、ポリセル
ロースアセテート、ポリカーボネート、ふっ素樹脂、シ
リコーン樹脂などが、また無機多祥質材料としては金属
、鉱物質の焼結体、磁器、陶器、素焼、ニューセラミッ
クスなどがそれぞれ包含される。

これら各種材料から作られた基体としての成形体は、高
分子材料で被覆されていることが必要とされるのである
が、本発明においてはこの被覆成形体は気体透過部にお
ける酸素透過係数が１×１０　”ｃｒｌ−ｃｍ／ｃａ？
　−５ｅａ・ｃｍ　Ｈｇ以上のものでなければならない
。酸素透過係数がこれよりも小さいと単位面積当りの透
過流量が小さくなり、工業的規模での分離性能に劣るも
のとなる。

前記成形体の表面被覆に使用される高分子材料としては
、でん粉、カゼイン、タンパク、セラツクナどの天然高
分子物質、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセ
ルロースなどの水溶性有機高分子物質、けい酸ナトリウ
ム、けい酸カルシウム、シリカゾルなどの水性無機高分
子物質、さらにはエポキシ系樹脂、ポリウレタン系樹脂
、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、シリコーン系
樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、フェノー
ル系樹脂、尿素系樹脂、キシレン系樹脂、塩化ビニル系
樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂
、ポリカーボネート樹脂、フッ素系樹脂、ポリサルファ
イド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹
脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリフェニレン
オキサイド樹脂、メラミン樹脂、ジアリルフタレート樹
脂、ポリアセタール樹脂、ポリオキザジアゾール樹脂、
ポリパラバン酸樹脂、ボリアリレート樹脂、トリアジン
系樹脂、セルロースエーテル類、セルロースエステル類
あるいはエチレン−酢酸ビニルコポリマー、スチレン−
ブタジェンコポリマーなどの共重合体等の合成樹脂類が
例示される。これらは１種に限られず２種以上を併用し
てもよい。

上記高分子材料は対象とするガス分離の種類、その他の
目的に応じて有利な材料が選択されなげはならないので
あるが、例えば空気より酸素富化空気を得る目的に対し
ては、より酸素透過度のすぐれた材料を使うのが有利で
あり、この観点からはシリコーン系樹脂が好適とされる
。

この、シリコーン系樹脂にはメチル系ポリシロキサン、
フェニル系ポリシロキサン、メチルフェニル系ポリシロ
キサン、ビニル系ポリシロキサン、さらに他のアルキル
もしくはハロゲン、シアノ基で置換されたアルキル基を
有するポリシロキサン、それらの混合体あるいはこれら
と他の有機化合物とのコポリマー例えばシリコーン−カ
ーボネートコポリマー、シリコーン−ウレタンコポリマ
ー、シリコーン−アクリルコポリマーなどが、さらには
変性ポリシロキサン例えばアミノ基変性ポリシロキサン
、エポキシ基変性ポリシロキサン、アクリル基変性ポリ
シロキサン、ポリエーテル変性ポリシロキサン、フェノ
ール変性ポリシロキサンなどが包含される。

これらシリコーン系樹脂の構造としては直鎖状、分枝状
、網状のいずれでもよく、必要に応じて硬化剤の添加に
より架橋、させることもできる。例えば熱硬化型ポリシ
ロキサンには硬化用触媒あるいはパーオキサイドのいず
れを使用してもよく、また室温硬化型ポリシロキサンに
は脱オキシム型、脱酢酸型、脱アルコール型、脱アセト
ン型など各種のものが包含される。

前記成形体の表面に高分子材料の被覆を施す方法として
は、高分子材料を適当な溶媒に溶解し、これをバーコー
ド、ロールコートなどの手段で成形体表面にコーティン
グする方法、あるいはディッピング法、スプレー法で被
覆する方法、さらには高分子材料の薄膜を前記フィルム
上に貼り合せることにより被覆する方法等が挙げられる
。このような手段で形成される被覆膜の厚さは、前記し
た酸素透過係数の要件が満足されるように、高分子材料
の種類も考慮して決定される必要があるが、いずれにし
てもこれが厚すぎると本発明の目的が達成されず、した
がって通常はう丁く形成する必要がある。このためには
前記高分子材料の溶媒への溶解濃度をおおむね０．１〜
２０重量％程度に調整しておくことがよい。

なお、成形体の表面に高分子材料の被覆を施すにあたっ
て、成形体の表面をあらかじめ無機ガスの低温プラズマ
で処理するとかあるいは適当なブライマーで処理すると
よく、これによれば成形体と被覆材との間の接着がより
強固になるという利点が与えられる。

本発明にかかわる気体分離用複合成形体は、上記した所
定の酸素透過係数を有する被覆成形体の表面に有機化合
物の低温プラズマ重合膜を設けてなるものであるが、こ
こに使用される有機化合物としては、有機けい素化合物
、有機フッ素化合物、炭化水素化合物、その他の有機化
合物か適宜選択使用される。これらについて具体的例示
をあげれば次のとおりである。

有機けい素化合物 トリメチルクロロシラン、トリメチルメトキシシラン、
トリメチルエトキシシラン、ビニルジメチルクロロシラ
ン、ビニルジメチルメトキシシラン、ビニルジメチルエ
トキシシラン、エチニルジメチルメトキシシラン、エチ
ニルジメチルクロロシラン、メチルクロロメチルメトキ
シクロロシラン、トリエチルメトキシシラン、ジメチル
クロロメチルエトキシシラン、ジメチルクロロメチルク
ロロシラン、ジメチルフェニルメトキシシラン、２−ク
ロロエチニルジメチルクロロシラン、２−クロロエチル
ジメチルメトキシシラン、ジメチルジクロロシラン、ジ
メチルジメトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、
ジメチルジェトキシシラン、ビニルメチルジクロロシラ
ン、ビニルメチルジメトキシシラン、２−クロロエチル
メチルジメトキシシラン、ビニルメチルジェトキシシラ
ン、クロロメチルメチルジクロロシラン、ジメトキシメ
チルフェニルシラン、クロロメチルメチルジメトキシシ
ラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシ
シラン、ビニルトリメトキシシラン、フェニルトリメト
キシシラン、クロロメチルトリメトキシシラン、２−ク
ロロエチルトリメトキシシラン、トリフロロプロピルト
リクロロシラン、テトラビニルシラン、トリビニルメチ
ルシラン、ジビニルジメチルシラン、ビニルトリメチル
シラン、ジビニルテトラメチルジシロキサン、ジグロロ
メチルテトラメチルジシロキサン、ジェチニルテトラメ
チルジシロキサン、テトラメチルジシロキサン、ヘキサ
メチルジシロキサン、ヘキサメチルジシラザン、オクタ
メチルシクロテトラシロキサン、ヘキサメチルシルフェ
ニレン。

モノクロロトリフルオロメタン、ジクロロジフルオロメ
タン、モノクロロジフルオロメタン、トリクロロトリフ
ルオロエタン、ジクロロテトラフルオロエタン、モノク
ロロペンタフルオロエタン、テトラフルオロエチレン、
ヘキサフルオロプロピレン、パーフルオロプロパン、テ
トラフルオロメタン、１．１−ジフルオロエチレン、ト
リフルオロメタン、フルオロメタン、オクタフルオロシ
クロブタン、ジフルオロエタン、クロロジフルオロエタ
ン、ヘキサフルオロエタン、クロロペンタフルオロエタ
ン、ジブロモテトラフルオロエタン。

メタン、エタン、プロパン、ペンタン、ヘキサン、エチ
レン、プロピレン、フテン、ヘプテン、ブタジェン、プ
ロパジエン、ヘキサトリエン、メチルプロペン、ジメチ
ルへキサジエン、シクロヘキサン、シクロペンテン、シ
クロヘキセン、シクロへキサジエン、ベンゼン、トルエ
ン、キシレン、ナフタレン、スチレン、メチルスチレン
、ペンタメチルベンゼン、ヘキサメチルベンゼン、シヒ
ニルベンゼン、アリルベンゼン、ビニルナフタレン。

ブタノール、メチルアミン、ヘプタノン、クロロメチル
プロパン、バレロニトリル、クロロアセトニトリル、メ
タクリル酸、メタクリル酸メチル、アクリル酸、マレイ
ン酸、アリルアミン、アリルメチルアミン、アクリロニ
トリル、テトラシアノエチレン、ブテンニトリル、メタ
クリロニトリル、ビニレンカーボネート、アクロレイン
、アリルブロマイド、クロロプロペン、塩化ビニル、塩
化ビニリデン、アリルアルコール、クロロベンゼン、ト
リクロロベンゼン、ベンゾニトリル、トルイジン、ニト
ロトルエン、Ｎ、Ｎ−ジメチルトルイジン、Ｎ−ニトロ
ソジエチルアミン、アニリン、メチルアニリン、フタル
酸、フェノール、ベンズアルデヒド、シクロヘキセノー
ル、ピリジン、ビニルピリジン、ビニルメチルビリジン
、ピコリン、フェロセン、ビニルフェロセン、チオフェ
ン、ジヒドロフラン、Ｎ−ニトロソピペリジン。

上記した各種有機化合物は１種に限られず、２種以上を
併用して差支えないが、酸素透過性がすぐれている点に
おいてガス化し得る有機けい素化合物を主体的に使用す
ることが好ましい。

被覆成形体の表面に低温プラズマ重合膜を設ける方法と
しては、低温プラズマ発生装置内に被覆成形体を装入し
、この装置内に有機化合物のガスを流通させながら装置
内を１０トル以下の圧力に調整保持し、このガス圧力下
に低温プラズマを発生させ、該成形品を低温プラズマに
さらす方法によればよい。なお、有機化合物と共にヘリ
ウド、アルゴン等の不活性ガス、窒素、酸素、空気、水
素、水蒸気、二酸化炭素、−酸化炭素等の無機ガスを共
存させてもよい。

上記方法において、有機化合物のガスの装置内における
圧力が高すぎると、成形体表面へのプラズマ重合膜の形
成が困難となるので、この低温プラズマのガス圧力は１
０）ル以下であることが好ましく、とくには５〜０．０
０５トルの範囲であることが望ましい。このガス圧力に
おける低温プラズマにより、すぐれたガス分離特性を有
する重合暎が形成される。このようにして形成されるプ
ラズマ重合膜の望ましい厚さは０．０１〜１μｍである
。

なお、低温プラズマを発生させる条件としては、例えば
電極に１０　ＫＨｚ〜１００ＭＨｚ、　Ｉ　ＱＷ　〜１
００ＫＷの電力を印加すればよく、内部電極、外部電極
（無電極）のいずれの方式を使用してもよい６ 成形体を上記した諸条件のもとに発生させた低温プラズ
マで処理し、その表面に有機化合物のプラズマ重合膜を
形成させるのであるが、そのためのプラズマ処理時間は
印加電力等によっても相違するが、一般には数秒〜１０
０分程度で充分である。

つぎに具体的実施例をあげるが、以下の各実施例におけ
る酸素透過係数および窒素透過係数の各値は１．ｒｒｓ
　ｚ　１７０７　（減圧法）に準じた方式に基づいて測
定したもので、これはまず透過セル中に模を挾持し、膜
の両側の空間を真空ホンダ（二より排気した後、大気圧
状態で酸素もしくは窒素を導入したとき、膜を通過した
側での単位時間（二おける圧力変化を測定して算出した
ものである。

実施例　１ 多孔質ポリプロピレンフィルム（厚さ２５μｍ）を、被
覆材料としてのシリコーンＲＴＶ　ＫＥ−４５（信越化
学社製商品名）の３％、５％または１０％（重量）トル
エン溶液中に浸漬し、室温で風乾、硬化させることによ
りシリコーン被覆した。

硬化１日後におけるこれらのものの酸素透過係数、窒素
透過係数および分離率を測定したところ、第１表に示す
とおり（プラズマ重合処理“無１の場合）であった。

上記のシリコーン被覆フィルムをプラズマ発生装置内に
セットし、装置内を１０’）ルまで減圧にした後、プラ
ズマ重合用有機けい素化合物としてトリメチルクロロシ
ランの蒸気をこσ）装置内ｌ二導入して流通下０．２ト
ルに調整保持した。この状態で１３．５６ＭＨｚ　１０
０Ｗの高周波電力を与えてトリメチルクロロシランの低
温グラ１１フ発生させ、前記被覆フィルム上にプラズマ
重合膜を形成させた。これらのものについて酸素透過係
数、窒素透過係数および分離率を測定したところ、それ
ぞれ第１表に示すとおり（プラズマ重合処理“有“の場
合）であった。

実施例２ 実施例１においてポリプロピレンフィルムの代りに多孔
質ポリエチレンフィルム（３０μｍ）ン使用したほかは
同例と同様にして行ったところ、下記の物性が得られた
。ただし、浸漬液としてシリコーンＲＴＶ　ＫＥ−４５
の５％トルエン溶液を使用した。

第２表 （注）　　ａｒｔ’　Ｔａｎ／ｃａｌ　・ｓ　ｅ　ｃ　
・ａｎ　Ｈｇ実施例３ 実施例１においてポリプロピレンフィルムの代りに多孔
質酢酸セルロース？使用したほかは同例と同様にして行
ったところ、下記の物性が得られた。タタし、浸漬液と
してシリコーンＲＴＶ　ＫＥ−４５１７）５％トルエン
溶液を使用した。

＠　　　３　　表 （注）　　ａｌｌｃｘｎ／ｃｒｌ　・　ｓｅａ−ｃｍ　
　Ｈｇ実施例４ 実施例１中で浸漬液としてシリコーンＲＴＶＫＥ−４５
の５％トルエン溶液を使用した実験例において、浸漬す
る代りにローラーでコーティングしたほかは同実験例と
同様にして行ったところ、下記の物性が得られた。

第４表 （注）　　ｏ＋Ｌ　　ｃｍ／ｄ・　ｓｅａ　　拳ａｎ　
　Ｈｇ実施例５ 実施例１において、多孔質ポリプロピレンフィルムを被
覆する材料としてシリコーンＲＴＶ　ＫＥ−４５の代り
にシリコーンＲＴＶ　ＫＥ−４２（信越化学社製商品名
）を使用したほかは同例と同様にして行ったところ、下
記の物性が得られた。

ただしシリコーンＲＴＶＫＥ−４２の浸漬液（トルエン
溶液）濃度を１０重量％とした。

第　　　５　　　表 （注）　ｏｌ　・ａｍ／ｃｒｌ　・ｓ　ｅ　ｃ　儂ａｎ
　Ｈｇ実施例　６ 実施例１において、多孔質ポリプロピレンフィ／Ｌ４ｔ
ＪＩ！Ｉする材料としてシ！ｊ　ニア　−ｙＲＴＶ　Ｋ
Ｅ−４５の代すにシリコーンワニスＫＲ−２６６（（Ｗ
越化学社製商品名）を使用したほかは同例と同様にして
行ったところ、下記の物性が得られた。

ただしシリコーンワニスＫＲ−２６６のｆｆｉ液（）ル
エン溶液）濃度を５重量％とした。

第６表 （注）　ｄ−ｃｍ／ａｔ　・ｓ　ｅ　ｃ　・ａｎ　Ｈｇ
実施例７ 実施例１において、多孔質ボリプロビレンフィルムヲ被
覆スる材料としてシリコーンＲＴＶ　ＫＥ−４５の代り
にエチルセルロースを使用したほかは同例と同様にして
行ったところ、下記の物性が得られた。

ただしエチルセルロースの浸漬液は、トルエン−エタノ
ール＝８：２の混合溶媒の７重量％濃度のものとした。

第７表 （注）　ｃｎｆ　参ａｎ／ａｄ　畢ｓ　ｅ　ｃ　−ｃｍ
　Ｈｇ実施例８ 実施例１中で浸漬液としてシリコーンＲＴＶＫＥ−４５
の５％トルエン溶液を使用した実験例において、プラズ
マ重合用有機けい素化合物としてトリメチルクロロシラ
ンの代りにトリフルオロプロピルトリクロロシランを用
いたほかは同実験例と同様にして行ったところ、下記の
物性が得られた。

第８表 （注）　ａｄ−ｃｍ／ｃｒｉ−ｓ　ｅｃ　−ａｎ　Ｈｇ
実施例９ 実施例８において、プラズマ重合用有機けい素化合物と
してヘキサメチルジシラザン、テトラメチルジシロキサ
ン、ビニルジメチルクロロシランおよびジメチルジメト
キシシランを使用したほかは同例と同様にしてプラズマ
重合処理を行ったところ、＄９表に示すとおりの結果が
得られた。

実施例１０ 多孔質ポリエチレンフィルム（厚さ３０μｍ）を、被覆
祠料としてのシリコーンＲＴＶＫＥ−４２の５％（重量
）トルエン溶液中に浸漬し、室温で風乾、硬化させるこ
とによりシリコーン被覆した。このシリコーン被覆した
ものについて酸素透過係数、窒素透過係数および分離率
を測定したところ、第１０表に示すとおり（プラズマ重
合処理“無１の場合）であった。

上記シリコーン被覆フィルムをプラズマ発生装置内にセ
ットし、装置内を］　Ｏ−’　トルまで減圧にした後、
プラズマ重合用有機けい素化合物としてトリメチルクロ
ロシランの蒸気をこの装置内に導入して流通下０．５ト
ルに調整保持した。この状態で１１０ＫＨｚ５００Ｗの
高周波電力を与えて（２０分間）、トリメチルクロロシ
ランの低温プラズマを発生させ、前記被覆フィルム上に
プラズマ重合膜を形成させた。これについて酸素透過係
数。

窒素透過係数および分離率を測定したところ、第１０表
に示すとおり（プラズマ重合処理“有１の場合）であっ
た。

第１０表 〔注）　ｄ−ｃｍ／ｃｒｌ・ｓｅａ・ｃｍＨｇ実施例１
１ 多孔質ポリプロピレンフィルムに厚さ３０μｍのシリコ
ーンゴムフィルムを圧着し複合シートを作った。これを
プラズマ発生装置内にセットし装置内をＩＯ’トルまで
減圧にした後、トリメチルクロロシランの蒸気を導入し
流通下０．３トルに調整保持し、］、　３．５６ＭＨｚ
　２００　Ｗの高周波電力を１０分間与えて前記複合シ
ート上にプラズマ重合膜を形成した。

このようにしてプラズマ重合処理したものおよびこの処
理を行わなかったものについて前例と同様に諸物性を測
定したところ、下記のとおりであった。

第　　】１　表 （注）ｃｒｔｈｃｍ／（ｉ・ｓｅａ・ｃｙｎＨｇ実施例
　１２ 多孔質ポリプロピレンフィルム（厚さ３０μｍ）の表面
に、シリコーンワニスＫ　Ｒ−２５１（（ｇｔｄ化学社
製商品名）のトルエン溶液を均一に塗布し風乾してシリ
コーン被覆フィルムを得た。

この被覆フィルムをプラズマ発生装置内にセットし装置
内７ｒｌＯ−’）ルまで減圧にした後、トリメチルクロ
ロシランの蒸気および空気をこの装置内に導入し、流通
下０１トル（うち空気分圧００５トル）に調整保持し、
１３．５６ＭＨｚ　５０Ｗの高周波電力を３０分間与え
て前記被覆フィルム上にプラズマ重合膜を形成した。

このようにしてプラズマ重合処理したものおよびこの処
理を行わなかったものについて前例と同様に諸物性を測
定したところ、下記のとおりであった。

第１２表 （注）　ｃｒｌ−ｃｍ／ａｆｆＩｌ−ｓ　ｅ　ｃ　−ｃ
ｍ　Ｈｇ実施例　】３ 多Ｊ（［ポリプロピレンフィルム（厚さ２５μｍ）をプ
ラズマ発生装置内にセットし装置内を１０−４トルまで
減圧にした後、アルゴンガスを装置内に導入し、流通下
０．１トルに調整保持し、１３．５６ＭＥ（ｚ５００Ｗ
の高周波電力を５分間与えて該フィルムを親水化処理し
た。

この処理フィルムの表面に、シリコーンエマルジョンＭ
Ｆ４０（信越化学社製商品名）を均一に塗（１日） 布し風紅 コ（７’）　ｉ／　！Ｊコーン被覆フィルムをプラズマ
発生装置内にセットし装置内７ｚ’　１０−’　）ルま
で減圧にした後、トリメチルクロロシランの蒸気および
アルゴンガスなこの装置内に導入し、流通下０．１トル
（うちアルゴンガス分圧０．０５）ル）に調整保持し、
１３．５６ＭＨｚ　５０Ｗの高周波電力を５０分間与え
て該被覆フィルムの表面にプラズマ重合膜を形成させた
。

このようにしてプラズマ重合膜を形成したものおよび形
成しなかったものについて前例と同様に諸物性を測定し
たところ、下記のとおりであった。

第１３表 実施例　１４ 多孔質ポリプロピレンフィルム（厚さ２５μｍ）をプラ
ズマ発生装置内にセットし装置内を１０−４トルまで減
圧にした後、酸素ガスを装置内に導入し、流通下０．１
トルに調整保持し、１３．５６　Ｍ）（ｚＩＫＷの高周
波電力を３分間与えて該フィルムを親水化処理した。

この処理フィルムの表面に、アクリルエマルジョンを均
一に塗布し風乾（１日）した。

このアクリル被覆フィルムをプラズマ発生装置内にセツ
トシ装置内を１０−’トルまで減圧にした後、トリメチ
ルクロロシランの蒸気および空気をこの装置内に導入し
、流通下トリメチルクロロシランガス分圧０．８トルお
よび空気分圧０．１トルに調整保持し、１１０ＫＨｚ　
Ｉ　ＫＷの高周波電力を３分間与えて該被覆フィルムの
表面にプラズマ重合膜を形成させた。

このようにしてプラズマ重合膜を形成したものおよび形
成しなかったものについて前例と同様に諸物性を測定し
たところ、下記のとおりであった。

第】４表 （注）ｃｉ−ｃｍ／ｄ・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ実施例　１５ 無機多孔質材料として孔径１μｍ直径９ｃｍ、厚さ０．
５ｃｍのステンレス製焼結板（焼結金属工業袋）の表面
に、シリコーンＲＴＶ　ＫＥ−４５０’）２０％（重量
）トルエン溶液を塗布し風乾（１日）した。

このようにしてシリコーン被覆したステンレス製焼結板
について実施例１と同様にしてプラズマ重合処理を行っ
た。

上記プラズマ重合処理をしたものおよび処理を行わなか
ったものについて前例と同様に諸物性を測定したところ
、第１５表に示すとおりであった。

第　　１５　表 ３１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、　表面が高分子材料で被覆された、気体透過部にお
   ける酸素透過係数が１×１Ｏ−８ｃＩＴｒ−ＣＩＴＩ／
   ｄ・ｓｅｃ−ａｎＨｇ　Ｐｉ上である成形体に、有機化
   合物の低温プラズマ重合膜を設けてなる気体分離用複合
   成形体