JPS5966198A

JPS5966198A - マガジンの連続供給方法

Info

Publication number: JPS5966198A
Application number: JP57176154A
Authority: JP
Inventors: 健二渡辺
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1982-10-08
Filing date: 1982-10-08
Publication date: 1984-04-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、マガジンの連続供給方法に関する。

一般に、牛導体装置の製造工程においては、果粕回路や
大規模集積回路が形成ちれたベレットを多Ｏ本の外部リ
ード（ピン）が形成芒ｎだリードフレーム上にベレット
ボンディング装置（以下、ベレットボンダという。）音
用いてホンディングするとともに、ペレソ）＝にボンデ
ィング芒ｎたリードフレーム（以下、ペレット付フレー
ムという。）全マガジンにｌｌｌｌｆｆ次収容していき
、このマガジンをワイヤボンディング工程に供給し、各
マガジンからペレット付フレームを順次Ｊｉ５！！７出
し、ワイヤボンディング装Ｒ（以下、ワイヤボンダとい
う。）を用いて、ベレットの各電極パッドと各ピンの内
部リードとにワイヤの両端をそれぞれボンデインブレ両
者？［［気的に接続する、ことが行なわれる。

従来、ペレットボンダからマガジンをワイヤボンダに供
給する際、マガジンには自動認識可能な識別情報は付さ
れず、マガジンのロフトは同種の各マガジンを１つの箱
に入れタリ、インクで識別標識を表示する等して人間が
介入して構成し、異種ロット間の混入全防止するように
している。

しかしながら、このような従来のマガジンの供給方法に
あっては、非合理的であるばかりでなく、マガジンを連
続的に供給した場合、ロット中にペレット付フレームの
数が不足しているマガジンかあると、ワイヤボンディン
グ工程において先後のロット間で混入か発生するという
欠点かめる。

本発明の目的は、前記従来技術の欠点を解消し、ロット
の混入’ｋｆｆ＆実に防止することができるマガジンの
連続供給方法を提供するにある。

以下、本発明を図面に示す実施的にしたがって説明する
。

第１図に本発明によるマガジンの連続供給方法の一実施
汐りを示す刷視図、第２図および第３図はペレットボン
ディング工程およびワイヤボンディング工程ニついての
各フローチャート図である。

本実施列において、ウェハ１をダイシングされて１個づ
つに独立芒ｎたペレット２はペレット皿３にロット毎に
それぞれ収容され、ペレットボンディング工程に搬入さ
れる。能力、プレスの打抜き加工等にＪ：り所定の形状
に形成さ１ｒＬ７２：ＩＪ−ドフレーム４は同様形状に
より定するロット毎に束ねられ、ベレットボンディング
工程に搬入される。

このリードフレーム４は同一のものが複数枚連らなって
いる。ペレットボンデインク工程に搬入さｎ７ｃベレツ
トおよびリードフレームはペレットボンダ（一部のみ図
示）５に供給δ庇い第２図に示す工うな過程でベレット
ボンディングを実施される。

リードフレーム４はボンディングステージ６に適当な手
段で供給され位置決めされる。ペレット２にボンディン
グツール７に、１ベレット皿３から取り出場れてステー
ジ６上のリードフレーム４のマウント部に上向きにボン
ディングされる。ペレットをボンディングされてなるペ
レット付フレーム８にペレットポンダ５のアンローダ側
に用意された所定のマガジン９に順次収容ちれていく。

このとき、マガジン９の適当箇所に貼着さ′ｔ″した磁
気テープ１０ＶＣは、操作者が書き込み装置１１のキー
ボードをたたく等の適当な手段により、リードフレーム
のロットを識別するための情報としての番号（以下番号
という。）と、ペレットのロット番号と、払い出しロッ
ト番号と、製品品種番号と、数量とが書き込ｌれる。そ
して１箱のマガジン９が満杯になると、次の空マガジン
９か所定のアンローダ位置に供給δれ、このマガジン９
ヘベレツト付フレーム８が順次収容で扛ていく。

このようにして、１０ツトのペレット付フレーム８群に
ついてのペレットボンディングが終了すると、マガジン
９に収容スペースが残さｎていても、七の最終マガジン
９はアンローダ位置から払い出され、ワイヤボンディン
グ工程へ搬送嘔れる。

ワイヤボンディング工程へ搬入されたマガジンはワイヤ
ボンダ（一部のみ図示）１２に供給され、第３図に示す
工うな過程でワイヤボンディングを実施例ワイヤボンダ１２に供給δれたマガジン９に、磁気記録
信号読み取カ装置１３により、磁気テープ１０に記録δ
れた前記リードフレームのロット番号、ペレットのロッ
ト番号、払い出しロット番号、製品品種番号、Ｖ量全読
み取らｎる。この読み取り情報（特に、製品品種番号）
に応じて、あらかじめフロッピーディスク等の磁気記録
媒体に記録嘔ｎでいる所定のボンディングデータが選定
８れ、ワイヤボンダの制御部１４に自動転送される。

この転送６れたボンディングデータによりワイヤボンダ
１２が制御式れて所定のワイヤボンディングが実施され
る。

ベレット付フレーム８はマガジン９から取り出さ扛ボン
ディングステージ１５上に供給δれる。

ワイヤボンダ１２にボンディングツール１６からボンデ
ィングワイヤ１７ｉｉり出し、ペレットｌ上のｔｂバッ
ドとリードフレーム上の内部リードとにワイヤの両ｉｔ
−ボンディングしてパッドとリードと全゛亀気的に接続
していく。このようにして、電極パッドと内部リードと
ヲ屯気的に接続Ｇ　ｆＬ　７ｖペレント伺フレーム（以
下、半導体基板という。）１８はワイヤボンダ１２のア
ンローダ側に用意８れた所定のマガジン１９に順次収容
ちれていく。

このとき、マガジン１９の適当匍１１九に貼着された磁
気テープ２０には、操作者が１３！′込み装置２１のキ
ーボードをたたく等の適当な手段により、前記と同様な
データが誓き込ｉｎる。そして、１箱のマガジン１９２
＞ＩＮ＋！ｊｌｆになると、次の空マガジン１９が所定
のアンローダ位置に供給でれ、Ｃのマガジン１９へ半導
体基板１８が１１ｈ次収容されていく。

このようにして、１０ツトの半導体基板１８群について
のワイヤボンディングが終了すると、マガジン１９に収
容スペースが残ざシｔていても、そ几はアンローダ位置
から払い（支）嘔れ、向えば、半導体基枦１８を非包密
月止するためにパッケージを形成するトランヌファモー
ルド工程等の次工程へ搬送芒れる。

本実施列に工れば、ベレットボンデイングされてなるペ
レット付フレーム全マガジンに＋＋ｍ次収容すると同時
に、マガジンの磁気テープに所にの識別情報を書き込み
、ワイヤボンダにおいてこの書き込１れた漬汁を読み取
り、この読み取った情報によシボンデイングデータ全選
定し、かつ当該マガジンのベレット付フレームにワイヤ
ボンディングを実施する工うにしたので、マガジン全ワ
イヤボンダに連続的に供給してもロットの混入が発生す
るお七〇にない。したかつて、マガジン４１１で連続供
玲することが５１能になり、生産性全高め、自動化？促
進することができる。

なお、前記実施しＯでに、識別情報に磁気テープに省き
込むようにした場合につき説明したが、これに限らず、
例えば、バーコード等を印刷するようにしてもよい。但
し、磁気テープを使用する場合には、貼り換えずに識別
情報の４＃き込み、消去が可能であるので便オリである
。

１π、操作者がキーボードケたたいて識別情報全書き込
むようにした場合につき説明したか、こｎに限らず、列
えば、生産管理全行なうホストコンピュータが書き込む
べき職別情報を指定ル、端末機である４Ｆ＠込み装置に
当該指定情報の曹き込み全指令するようにしてもよい。

以上飲明したように、本発明によルば、ワイヤボンディ
ング工程におけるロットの混入？防止することかできる
。

【図面の簡単な説明】

紀１図は本発明によるマガジンの連続供給方法の一実施
ＷＩＪｋ示す胴視図、第２図にペレットボンテイングエ稈のフローチャート図
、第３図はワイヤボンディング工程のフローチャート図で
ある。２・・ベレット、３・・・ベレット皿、４・・・リード
フレーノ・、５・・・ペレットボンダ、８・・・ぺ１／
ツト付フレーム、９・・・マガジン、１０・・・磁気テ
ープ、１１・・・書き込み装置、１２・・・ワイヤボン
ダ、１３・・・読み取り装置、１８・・・半導体基板、
１９・・・マガジン。代理人　弁理士　薄　１）オｕ　　艷’゛、、：）。第　　２　　図第３図

Claims

【特許請求の範囲】

１、　リードフレームにペレント、ヲボンゲイングした
ベレット付フレーム全マガジンに順次収容していき、こ
のマガジンに適当な識別情報を付し、このマガジンカＳ
ワイヤボンデイング工程に供給芒扛た時に、前記識別情
報音読み取り、この情報によジ選定δれるデータに基き
ワイヤボンディング全実行することに’ｈ徴とするマガ
ジンの連続供給方法。