JPS5958332A - 差圧発信器 - Google Patents
差圧発信器Info
- Publication number
- JPS5958332A JPS5958332A JP16874182A JP16874182A JPS5958332A JP S5958332 A JPS5958332 A JP S5958332A JP 16874182 A JP16874182 A JP 16874182A JP 16874182 A JP16874182 A JP 16874182A JP S5958332 A JPS5958332 A JP S5958332A
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- JP
- Japan
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- pressure
- spacer
- liquid
- pressure side
- differential pressure
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はプロセス変量である２点間の圧力差を測定する
差圧発信器に関するものである。
差圧発信器に関するものである。
例えは管内清５体の流口を測定しようとする場合、管内
にオリフィス板を設けて０１［、体抵抗とし、その上流
側と下流、 ｆｆｌとの圧力差を測定して所定の演算式
に基づき流）よを−蜂定することが行なわれている。
にオリフィス板を設けて０１［、体抵抗とし、その上流
側と下流、 ｆｆｌとの圧力差を測定して所定の演算式
に基づき流）よを−蜂定することが行なわれている。
この種の圧力差測定に用いられる差圧発信器は、高圧側
と低圧側との受圧ダイヤフラムに各測定圧力を与え、こ
の圧力による内封液の移動を、封入回路を仕切って設け
た半導体センサの歪によ抄電気的出力として取出すよう
に構成されている。
と低圧側との受圧ダイヤフラムに各測定圧力を与え、こ
の圧力による内封液の移動を、封入回路を仕切って設け
た半導体センサの歪によ抄電気的出力として取出すよう
に構成されている。
ところが、この種の差圧発信器において娃１、プロセス
の測定仕様に応じた適切刃寸法２強度、材料などを備え
た受圧ダイヤフラムが選定されて用いられたとしても、
時には過大圧力を受けることがあり、この過圧が半導体
センサに及んでＣれを損傷さぜることにより爾後の測定
を不可能にすることがある。そこで従来この過大圧力か
らセンサを保護する各■ＩＲの装閤が提案されて差圧発
信器に付設されている。
の測定仕様に応じた適切刃寸法２強度、材料などを備え
た受圧ダイヤフラムが選定されて用いられたとしても、
時には過大圧力を受けることがあり、この過圧が半導体
センサに及んでＣれを損傷さぜることにより爾後の測定
を不可能にすることがある。そこで従来この過大圧力か
らセンサを保護する各■ＩＲの装閤が提案されて差圧発
信器に付設されている。
第１図はこの種の過大王力保Ｃ・′η装置を協えた従来
の差圧発信器の断面図であって、これを同図（τ男：い
て説、明すると、ｆ剣状のボディ１の両側には、波形円
板状に形成さｉした高圧側のバリアダイヤフラム２と低
圧１１１１のバリアダイヤフラム３とが装着さり、てお
り、これらのバリアタイヤフラム２．３には、ボディ１
にボルト締めさ）１．だ両１ｒ１．１のカバー４とボデ
ィ１との間の孔５，６から流入する流体によって高圧と
低圧とがそれぞれ印加さ１１ている。
の差圧発信器の断面図であって、これを同図（τ男：い
て説、明すると、ｆ剣状のボディ１の両側には、波形円
板状に形成さｉした高圧側のバリアダイヤフラム２と低
圧１１１１のバリアダイヤフラム３とが装着さり、てお
り、これらのバリアタイヤフラム２．３には、ボディ１
にボルト締めさ）１．だ両１ｒ１．１のカバー４とボデ
ィ１との間の孔５，６から流入する流体によって高圧と
低圧とがそれぞれ印加さ１１ている。
一方、ボディ１上方のセンサカプセル７内のセンサ室に
―、図示しない端子と接続された半導体センサ８が、基
板９に保持されて配設されており、このセンサ８の下側
である高圧ｆｆ！Ｉ＋と上側である低圧側とからは、液
通路１０および１１がボディ１に向って延設されている
。符号１２で示すものは波形円板状に形成されたセンタ
ダイヤプラムであって、半割状ボディ１の中央接合部に
設けた内室を高圧側内室１３と低圧側内寧１４とに構成
するようにボディ１に固定さＪｌており、前記各液通路
１０．１１は内室１３，１４にそれぞｉ１開口されてい
る。また、前記各バリアダイヤフラム２．３どボディ１
との間に形成されたすき間と内室１３．１４とは、液通
路１５．１６によってそ１１ぞれ連通されている。そし
て、バリアダイヤフラム２．３とボディ１との間の−ｔ
−Ｘ間から液う１１路１５゜１６、内室１３，１４およ
び７〃通路１０．１１を経てセンサ８の高圧側と低圧側
とに至る間にＶｔ１シリコンオイル等の内封液１７が封
入されている。
―、図示しない端子と接続された半導体センサ８が、基
板９に保持されて配設されており、このセンサ８の下側
である高圧ｆｆ！Ｉ＋と上側である低圧側とからは、液
通路１０および１１がボディ１に向って延設されている
。符号１２で示すものは波形円板状に形成されたセンタ
ダイヤプラムであって、半割状ボディ１の中央接合部に
設けた内室を高圧側内室１３と低圧側内寧１４とに構成
するようにボディ１に固定さＪｌており、前記各液通路
１０．１１は内室１３，１４にそれぞｉ１開口されてい
る。また、前記各バリアダイヤフラム２．３どボディ１
との間に形成されたすき間と内室１３．１４とは、液通
路１５．１６によってそ１１ぞれ連通されている。そし
て、バリアダイヤフラム２．３とボディ１との間の−ｔ
−Ｘ間から液う１１路１５゜１６、内室１３，１４およ
び７〃通路１０．１１を経てセンサ８の高圧側と低圧側
とに至る間にＶｔ１シリコンオイル等の内封液１７が封
入されている。
以上のように構成された差圧発信器において、バリアダ
イヤフラム２，３にプロセスからの高圧と低圧とがそれ
ぞれ印加されると、バリアダイヤフラム２，３が凹んで
その圧縮分だ（づ内封液１７が移動１し、両側の圧力差
による内封液１７の移ル１１量の差をセンサ８が検出し
てこれを電気信号とし２て発信することにより差■ｆ二
力稙１１定される。この場合センタダイヤフラム１２目
両側の圧力差によって変形するが内室１３，１４の壁面
にｄ２着座しないし、また、バリアダイヤフラム２，３
も正常ガ差圧１ｆｌｌＩ定中＆′、１ボディ１に着Ｐ＋
くしない。そして例えば高圧側に過大ＩＴ力が作用する
と、高圧側のバリアダイヤフうム２が大きく変形してボ
ディ１へ全面的Ｖ盾部するので、高圧側のＦ１ニカが内
部に伝達さｉｌ、々くなる。すなわち、バリアダイヤフ
ラム２が弘用４すること１よって過大Ｆ１：力保匹のｆ
？：ｒきをする。
イヤフラム２，３にプロセスからの高圧と低圧とがそれ
ぞれ印加されると、バリアダイヤフラム２，３が凹んで
その圧縮分だ（づ内封液１７が移動１し、両側の圧力差
による内封液１７の移ル１１量の差をセンサ８が検出し
てこれを電気信号とし２て発信することにより差■ｆ二
力稙１１定される。この場合センタダイヤフラム１２目
両側の圧力差によって変形するが内室１３，１４の壁面
にｄ２着座しないし、また、バリアダイヤフラム２，３
も正常ガ差圧１ｆｌｌＩ定中＆′、１ボディ１に着Ｐ＋
くしない。そして例えば高圧側に過大ＩＴ力が作用する
と、高圧側のバリアダイヤフうム２が大きく変形してボ
ディ１へ全面的Ｖ盾部するので、高圧側のＦ１ニカが内
部に伝達さｉｌ、々くなる。すなわち、バリアダイヤフ
ラム２が弘用４すること１よって過大Ｆ１：力保匹のｆ
？：ｒきをする。
１〜かし７なシバら、従来の過大１−ｆ：力１〒＝ｊ７
Ｈｐ：、ドを備えた差圧発信器においては、過大圧力が
作用しない丁常の１ｆｌｌｌ定圧力範囲下でも内封液１
７がセン甘８方向だけでなくセンタダイヤフラム１２を
変位さセる方向へもｈ’ ｆｈ Ｌ 、バリアダイヤフ
ラム２，３に対する圧力がそのま＼センサに伝達さｉｉ
、々いので、伝達効率が低く応答性がＮ・、（いはかり
でなく、センタダイヤフラム１２の反復変ｆｉνによる
ヒステリシスが大きく測定精度が低下するという欠点が
あった。また、この種の差圧発（Ａ器において口１−５
０℃から１２０℃に及ぶ↓μ境温度の変化に対応さ旦−
かつ製造イ古度やばね常俄のばらつきを考１・４．１゜
て測定レンジの上限値に対しセンサの破」・ｊ′：強度
を５倍相度ＶＬ二引’ｊ定しているが、測定レンジを大
きくしｎｌ；１定着度を高くするためには、」二記比率
を小さくして測定レンジの上１ｇ５値をセンサの破ト；
・１強度に近づけることが望ましい。
Ｈｐ：、ドを備えた差圧発信器においては、過大圧力が
作用しない丁常の１ｆｌｌｌ定圧力範囲下でも内封液１
７がセン甘８方向だけでなくセンタダイヤフラム１２を
変位さセる方向へもｈ’ ｆｈ Ｌ 、バリアダイヤフ
ラム２，３に対する圧力がそのま＼センサに伝達さｉｉ
、々いので、伝達効率が低く応答性がＮ・、（いはかり
でなく、センタダイヤフラム１２の反復変ｆｉνによる
ヒステリシスが大きく測定精度が低下するという欠点が
あった。また、この種の差圧発（Ａ器において口１−５
０℃から１２０℃に及ぶ↓μ境温度の変化に対応さ旦−
かつ製造イ古度やばね常俄のばらつきを考１・４．１゜
て測定レンジの上限値に対しセンサの破」・ｊ′：強度
を５倍相度ＶＬ二引’ｊ定しているが、測定レンジを大
きくしｎｌ；１定着度を高くするためには、」二記比率
を小さくして測定レンジの上１ｇ５値をセンサの破ト；
・１強度に近づけることが望ましい。
本とＬ毛明は以上のような点に鑑み身されたもので、シ
ール部（Ａで保１゛〒さ）１．てボディ内室内に２シ：
（を１桶成する面ｆ、゛、板の両側に一１内封液の連通
手段を（、ｉｊ“イヌだスパー９−をボディ、７（−面
との間のばね部材で面（５＜板側へ付勢さけ一’？Ｔ
１ｉＳｌ ＆ｊることにより、平貼のｌ１ＩＩ定圧力下
では作孔ｉ板とスペーーーリとを静止させ、ｊノ１大圧
力発生時にシ゛１受圧ダイヤフラムを着）・１１させる
ように１１・１成してＩＬ力伝達効率を１．シ苔性なら
ひに１″・１１１定オー１亀′の向−上をｄするととも
に１高圧側ばね＋ｅｌ（ｌｌＩ”＋と低Ｉトｆｌｉｔば
ね部４１とのはわ定敬にす１′上を言′１けて高圧側と
低圧側とのｉｊ、；ｉ太圧力保ｔｏの電！１作点を独立
的に選択゛３ることを”ｌ’ ｉｔ己１’ Ｌ、かつば
ね部利の９１１１発力を調節自在−に構成［７，て過大
圧力保護装臼の動作圧力な正（ｉζＯζ与えることを”
Ｊ能にした差圧発信器を提供するものである。以下本発
明の実ＭＪ４例を図面に基＆Ｔｈ’？ｒ詳Ｘ１ｔ１に説
明゛ｌる。
ール部（Ａで保１゛〒さ）１．てボディ内室内に２シ：
（を１桶成する面ｆ、゛、板の両側に一１内封液の連通
手段を（、ｉｊ“イヌだスパー９−をボディ、７（−面
との間のばね部材で面（５＜板側へ付勢さけ一’？Ｔ
１ｉＳｌ ＆ｊることにより、平貼のｌ１ＩＩ定圧力下
では作孔ｉ板とスペーーーリとを静止させ、ｊノ１大圧
力発生時にシ゛１受圧ダイヤフラムを着）・１１させる
ように１１・１成してＩＬ力伝達効率を１．シ苔性なら
ひに１″・１１１定オー１亀′の向−上をｄするととも
に１高圧側ばね＋ｅｌ（ｌｌＩ”＋と低Ｉトｆｌｉｔば
ね部４１とのはわ定敬にす１′上を言′１けて高圧側と
低圧側とのｉｊ、；ｉ太圧力保ｔｏの電！１作点を独立
的に選択゛３ることを”ｌ’ ｉｔ己１’ Ｌ、かつば
ね部利の９１１１発力を調節自在−に構成［７，て過大
圧力保護装臼の動作圧力な正（ｉζＯζ与えることを”
Ｊ能にした差圧発信器を提供するものである。以下本発
明の実ＭＪ４例を図面に基＆Ｔｈ’？ｒ詳Ｘ１ｔ１に説
明゛ｌる。
第２図は本発明に係る差圧発１Ｆ器の実施例の断面図で
ある。図において差圧発信器２１のボディ２２は、［Ｔ
Ｊ版板状形成された高圧ｐｉｌｌのバックプレー ト２
２ｉ１と低圧側のバックプレート２２αおよびこれら両
バックプレート２２Ｒ，２２ｂを両端凹陥部に嵌合さぜ
る円筒状のセンタボディ２２ｃとで一体的（，４形成さ
れている。各バックプレート２２ａ、２２ｂの側部受圧
凹陥面に目、波形円板状に形成された低圧側のバリアタ
イヤフラム２３と高圧側のバリアダイヤフラム２４とが
、口形状の受圧１ｉ′ｉｇ面との間に１き開２５，２６
を残して周ＡＭＰ、￥１５をボディ２２側に固定さ〕］
、ている。また各バックプレート２２ａ、’ｌ ２ｂに
は、図示を省略したが２１４１図に示しだものと巨１じ
２しり々カバーが」弁内さＪ＋でおり、バリアダイヤフ
ラム２３．２４にｄ１カバーの孔から涼１人Ｊ゛る？ｒ
：ｆ、体の低圧と高圧とメ）（そｊｔぞ１１印加されて
いる。さらに各バツクブｌ／−）２２ａ、２２１）の中
心部Ｖ″ＪｊＪｊバイパス背設されており、このバイパ
ス２１上ずなわち両側ｉのバックプレート２２ａ。
ある。図において差圧発信器２１のボディ２２は、［Ｔ
Ｊ版板状形成された高圧ｐｉｌｌのバックプレー ト２
２ｉ１と低圧側のバックプレート２２αおよびこれら両
バックプレート２２Ｒ，２２ｂを両端凹陥部に嵌合さぜ
る円筒状のセンタボディ２２ｃとで一体的（，４形成さ
れている。各バックプレート２２ａ、２２ｂの側部受圧
凹陥面に目、波形円板状に形成された低圧側のバリアタ
イヤフラム２３と高圧側のバリアダイヤフラム２４とが
、口形状の受圧１ｉ′ｉｇ面との間に１き開２５，２６
を残して周ＡＭＰ、￥１５をボディ２２側に固定さ〕］
、ている。また各バックプレート２２ａ、’ｌ ２ｂに
は、図示を省略したが２１４１図に示しだものと巨１じ
２しり々カバーが」弁内さＪ＋でおり、バリアダイヤフ
ラム２３．２４にｄ１カバーの孔から涼１人Ｊ゛る？ｒ
：ｆ、体の低圧と高圧とメ）（そｊｔぞ１１印加されて
いる。さらに各バツクブｌ／−）２２ａ、２２１）の中
心部Ｖ″ＪｊＪｊバイパス背設されており、このバイパ
ス２１上ずなわち両側ｉのバックプレート２２ａ。
２２ｂ間にけ、ボディ内室２８が形成されている。
符号２９で示すものけシール部材としての・＼ローズで
あって、ボディ側であるセンタボディ２２Ｃの内周面に
固５１慢１１１ｉを固定されており、その可ｆｉｌｌ端
に固定された平板状の面積板３０と一体となってゝ・ボ
ディ内室２８内に高圧ｆ１１の内室と低圧側１の内室と
の２室を隔成している。このうち高圧１１！１の内室内
に１、円板状に形成さノ１−だスペーサ３１と、低い頭
裁円錐形に形成された皿はね３２とが内装されており、
スペーサ３１ ｉｊ：皿はね３２によって面ｆｉ１板３
０ ｆｌｌｌｌへ付勢されている３、また、低圧側の内
室内には、ベローズ２９鴫避けて円板状に形成されたス
ペーサ３３と、低い頭裁円錐形の皿はね３４とが内装さ
れており、スペーサ３３は皿はね３４によって面積板３
０側へ付勢されている。なお、差圧が００）１％自スス
ペーサ３１．３３センタボディ２２Ｃの段部２２ｄに圧
接されており、面積板３０ともほとんどすき間のないよ
うに対接している。
あって、ボディ側であるセンタボディ２２Ｃの内周面に
固５１慢１１１ｉを固定されており、その可ｆｉｌｌ端
に固定された平板状の面積板３０と一体となってゝ・ボ
ディ内室２８内に高圧ｆ１１の内室と低圧側１の内室と
の２室を隔成している。このうち高圧１１！１の内室内
に１、円板状に形成さノ１−だスペーサ３１と、低い頭
裁円錐形に形成された皿はね３２とが内装されており、
スペーサ３１ ｉｊ：皿はね３２によって面ｆｉ１板３
０ ｆｌｌｌｌへ付勢されている３、また、低圧側の内
室内には、ベローズ２９鴫避けて円板状に形成されたス
ペーサ３３と、低い頭裁円錐形の皿はね３４とが内装さ
れており、スペーサ３３は皿はね３４によって面積板３
０側へ付勢されている。なお、差圧が００）１％自スス
ペーサ３１．３３センタボディ２２Ｃの段部２２ｄに圧
接されており、面積板３０ともほとんどすき間のないよ
うに対接している。
そして、１き間２５，２６、バイパス２７およびボディ
内室２８内にはシリコンオイル等の内封液３５が旧人さ
れており、前記スペーサ３１．３３ＶＬｋｌ−、この内
封液３５の連通手段としての↑Ｎ’Ｊ個の連通孔３６が
、皿はね３２．３４側と面積板３０側と４眉通して設け
られている。またスペー田３１．３３の面積板３０゛へ
の対接面＆７’ ｉｆ、中心部の連通孔３６１ＦＩ Ｄ
、’４ｊＡから放射方向へ十字状に延びるｉｒＶ通路
３７が投′けられている。
内室２８内にはシリコンオイル等の内封液３５が旧人さ
れており、前記スペーサ３１．３３ＶＬｋｌ−、この内
封液３５の連通手段としての↑Ｎ’Ｊ個の連通孔３６が
、皿はね３２．３４側と面積板３０側と４眉通して設け
られている。またスペー田３１．３３の面積板３０゛へ
の対接面＆７’ ｉｆ、中心部の連通孔３６１ＦＩ Ｄ
、’４ｊＡから放射方向へ十字状に延びるｉｒＶ通路
３７が投′けられている。
一方、口１示を省略したが、センタボディ２２Ｃの−に
端部に固定し／ζセンザカプセル内に目 ９ｉ目図にお
いて符号８．９を伺して鋭、明Ｉ、た半導体センサと、
Ｈ７，：板とが、周Ｐ部を接合させて、ｉ、１１．匿固
定さノ［だ状Ｑ１で配設さ）１ており、センサの高圧Ｉ
ｎｔｔ ｉ、ｔ ７ｒｖ、：イｌ路３８Ｖｒよ−ってボ
ディ内室２８の高圧０１１［内室と連通されている。ま
たセンサの低圧（ｆ：ｌ＋ ＆、ｉ液通路３９によって
ボディ内室２８の低圧ｆｕｌｌ内室と連通されている。
端部に固定し／ζセンザカプセル内に目 ９ｉ目図にお
いて符号８．９を伺して鋭、明Ｉ、た半導体センサと、
Ｈ７，：板とが、周Ｐ部を接合させて、ｉ、１１．匿固
定さノ［だ状Ｑ１で配設さ）１ており、センサの高圧Ｉ
ｎｔｔ ｉ、ｔ ７ｒｖ、：イｌ路３８Ｖｒよ−ってボ
ディ内室２８の高圧０１１［内室と連通されている。ま
たセンサの低圧（ｆ：ｌ＋ ＆、ｉ液通路３９によって
ボディ内室２８の低圧ｆｕｌｌ内室と連通されている。
以−Ｈのように構成された差圧発信器の動作を第２図お
よび第１図の一部を用いて説明する。バリアタイヤフラ
ム２３，２４にプロセスからの高）■と低圧とがそれぞ
れ印加されると、バリアダイヤフラム２３，２４が凹ん
でその圧縮分だけ内封液３５ノ】＜ｆ動し、それぞれの
圧力がセンサ８の高圧側と低圧側とに印加される。七ン
→Ｊ８１ｄ両側の圧力差を検出しこれを電気信号として
発信することにより差圧力１１１１１＋定される。
よび第１図の一部を用いて説明する。バリアタイヤフラ
ム２３，２４にプロセスからの高）■と低圧とがそれぞ
れ印加されると、バリアダイヤフラム２３，２４が凹ん
でその圧縮分だけ内封液３５ノ】＜ｆ動し、それぞれの
圧力がセンサ８の高圧側と低圧側とに印加される。七ン
→Ｊ８１ｄ両側の圧力差を検出しこれを電気信号として
発信することにより差圧力１１１１１＋定される。
そして、プロセスからの圧力は、高圧側のバリアダイヤ
フラム２３に印加される圧力が低圧側のバリアタイヤフ
ラム２４に印加される圧力よりも高い１易合がほとんど
であって先ずこの場合について説明する。いま高圧側の
圧力をＰＩ、低圧側の圧力をＰ２．面積板３ｏの有効面
積をＡ、差圧０のときの皿ばねの９１１発力をＦとし、
差圧Ｐｌ−Ｐ２が内月７Ｉ！ｊ３５を介して面積板３ｏ
にか５ると、面積板３０＆；ｔＡ（Ｐｌ−１’ｚ ）の
力で低ＩＥ側へ移動しようとする。しかしながら、Ａ（
Ｐ １−Ｐ ２ ）〈Ｆ”の範囲では低圧側のスペーサ
３３が移動せず、面積板３０も移１ｔｌｉ＋ Ｌ、ない
。そ１７て面積板３ｏの押圧力Ａ（Ｐｉ−Ｐ２）が皿は
ね３４のり甲発力Ｆよりも大きいときにｄ゛、低圧側の
スペーサ３１Ｊ：、ｍｌばね３４の１ＪＪｉ発力Ｆに抗
して５丁多動する。さらに禍大王力が高圧１１１１のバ
リアダイヤフラム２３に印加されると、バリアダイヤフ
ラム２３がバックプレート２２ａに着座し、それ以上内
封液３５が圧縮されないので、過大圧力がセンサに伝達
さノ１々い。
フラム２３に印加される圧力が低圧側のバリアタイヤフ
ラム２４に印加される圧力よりも高い１易合がほとんど
であって先ずこの場合について説明する。いま高圧側の
圧力をＰＩ、低圧側の圧力をＰ２．面積板３ｏの有効面
積をＡ、差圧０のときの皿ばねの９１１発力をＦとし、
差圧Ｐｌ−Ｐ２が内月７Ｉ！ｊ３５を介して面積板３ｏ
にか５ると、面積板３０＆；ｔＡ（Ｐｌ−１’ｚ ）の
力で低ＩＥ側へ移動しようとする。しかしながら、Ａ（
Ｐ １−Ｐ ２ ）〈Ｆ”の範囲では低圧側のスペーサ
３３が移動せず、面積板３０も移１ｔｌｉ＋ Ｌ、ない
。そ１７て面積板３ｏの押圧力Ａ（Ｐｉ−Ｐ２）が皿は
ね３４のり甲発力Ｆよりも大きいときにｄ゛、低圧側の
スペーサ３１Ｊ：、ｍｌばね３４の１ＪＪｉ発力Ｆに抗
して５丁多動する。さらに禍大王力が高圧１１１１のバ
リアダイヤフラム２３に印加されると、バリアダイヤフ
ラム２３がバックプレート２２ａに着座し、それ以上内
封液３５が圧縮されないので、過大圧力がセンサに伝達
さノ１々い。
次に（ｌｒ、 ［側の圧力Ｐ ２７’＋３高圧側の圧力
Ｐｌよりも高い場合も全く同様にしてＡ、 （Ｐ２−Ｐ
ｔ ）（Ｆの範囲内ではスペーサ３１と面（♂（板３ｏ
とが作問１ぜず、まだＡ、（Ｐ２．−Ｐｌ））Ｆのとき
に１高圧側のスペーーリ°３１が間は゛ね３２を圧紅例
る方向に移ｌＴ１１１する。さらｌ’４低圧側のバリア
ダイヤクラムレζ４１局大圧力が印加された場合に−は
バリアダイヤフラム２４がハックプレｈ ２２ ｈ Ｋ
；＊ Ｉ’１５． シ、４ 大ＩＥ カカセ７−リ゛
に伝達さノ１．ない。なお、スペーサ３１．３３に設け
だ液通路３７け、ｉ＋ｉＧ ；’、ｉｉ路３６全３６ｔ
ｘｔ ？？￥３５が面積板３０方向へ＃即１したときに
１、内刊溶３５を面積板３０とスペーサ３１．３３との
間へ導いて両者の自ニド間’５’ Ｉｔ’進するだめの
ものである。
Ｐｌよりも高い場合も全く同様にしてＡ、 （Ｐ２−Ｐ
ｔ ）（Ｆの範囲内ではスペーサ３１と面（♂（板３ｏ
とが作問１ぜず、まだＡ、（Ｐ２．−Ｐｌ））Ｆのとき
に１高圧側のスペーーリ°３１が間は゛ね３２を圧紅例
る方向に移ｌＴ１１１する。さらｌ’４低圧側のバリア
ダイヤクラムレζ４１局大圧力が印加された場合に−は
バリアダイヤフラム２４がハックプレｈ ２２ ｈ Ｋ
；＊ Ｉ’１５． シ、４ 大ＩＥ カカセ７−リ゛
に伝達さノ１．ない。なお、スペーサ３１．３３に設け
だ液通路３７け、ｉ＋ｉＧ ；’、ｉｉ路３６全３６ｔ
ｘｔ ？？￥３５が面積板３０方向へ＃即１したときに
１、内刊溶３５を面積板３０とスペーサ３１．３３との
間へ導いて両者の自ニド間’５’ Ｉｔ’進するだめの
ものである。
熾３図は本発明の他の実施ＩＣ１１の断面図であって、
本実施例では、前記実施例においでベローズ２９であっ
たシール部利を、センタダイヤフラム４゜としたもので
ある。前記実施例よりもトＩ目の面積板３０Ａは、固定
端をセンタボデ−（２２Ｃに固定された環状のセンタダ
イヤフラム４０の口Ｊ動端に固定されており、液通路３
７を備えたスペーサ３１．３３Ｑよ、皿はね３２．３４
によってセンタボディ２２Ｃの段部２２ｄＫ、ＩＴＥ接
さｉｌている。またスペーサ３１．３３と面積板３０Ａ
とけほとんどすき間なく対接されている。その仙の構成
Ｈ前信己実施例と同じであるから同一符号を伺してその
詰）明を省略するとともげ、作用も前記実施例と同じで
あるから説明台省略する。
本実施例では、前記実施例においでベローズ２９であっ
たシール部利を、センタダイヤフラム４゜としたもので
ある。前記実施例よりもトＩ目の面積板３０Ａは、固定
端をセンタボデ−（２２Ｃに固定された環状のセンタダ
イヤフラム４０の口Ｊ動端に固定されており、液通路３
７を備えたスペーサ３１．３３Ｑよ、皿はね３２．３４
によってセンタボディ２２Ｃの段部２２ｄＫ、ＩＴＥ接
さｉｌている。またスペーサ３１．３３と面積板３０Ａ
とけほとんどすき間なく対接されている。その仙の構成
Ｈ前信己実施例と同じであるから同一符号を伺してその
詰）明を省略するとともげ、作用も前記実施例と同じで
あるから説明台省略する。
次に高［Ｆイ１１１１のＴＩＮはね３２と低圧側１σ月
１１１はね３４どのばね定↓ｋに差を設（Ｊだものを、
第３図に基いてＨ’ｌ明する。ｌＶ４において高王仰１
σ月１１（はね３２すなわち低圧側の１１１１圧によっ
て圧縮される冊はね３２のばね定４！Ｊ、が、他方の拙
ばね３４のばね定数よりも小さく設定されている。こう
することにより、過大圧力作１ｉｉｉの電１作点を高圧
ｆｉｌｌｌ 、低圧ｆｆ１ｊ＋につきそれぞれ独立（７
てａ択することができる。すなわち冊ばね３２が皿ばね
３４よシも弱いので、低圧側の方が高ＪＥ （ｌ！ＩＩ
よりも低い：＋１．ｉ大圧力で内月液３５の移動を停止
させることにより、例えばセンサの七を造がｆ！ｒ：
［（ｆｉｌからの１ｒ：、力に弱い構造である場合等に
おいて有効である。
１１１はね３４どのばね定↓ｋに差を設（Ｊだものを、
第３図に基いてＨ’ｌ明する。ｌＶ４において高王仰１
σ月１１（はね３２すなわち低圧側の１１１１圧によっ
て圧縮される冊はね３２のばね定４！Ｊ、が、他方の拙
ばね３４のばね定数よりも小さく設定されている。こう
することにより、過大圧力作１ｉｉｉの電１作点を高圧
ｆｉｌｌｌ 、低圧ｆｆ１ｊ＋につきそれぞれ独立（７
てａ択することができる。すなわち冊ばね３２が皿ばね
３４よシも弱いので、低圧側の方が高ＪＥ （ｌ！ＩＩ
よりも低い：＋１．ｉ大圧力で内月液３５の移動を停止
させることにより、例えばセンサの七を造がｆ！ｒ：
［（ｆｉｌからの１ｒ：、力に弱い構造である場合等に
おいて有効である。
次に間はね３２．３４の弓１発力を机側は時に１；１Ｍ
節できるようにしたもの台２１）、４Ｉ゛、！ｌにノ占
いてｊｌｌ蝉月する。実ノ商例として示す差圧発信’；
、’＝’ｒ ２１１３は、第２ｆａｌｌ／ｒ示ず実が１
１例と大部分が同じ１１１成であり、同４１（を成の１
５，１所についてＱ」同−符月を伺Ｌ２てそのＡ”１．
明を・省略する。図において、ボディ２２ 肴１．’Ｖ
威−するバックプレート２２ｅ、２２ｆの４１１周と、
４−４ンクボデイ２２ｇの凹陥部内置とにはそれ−ＦＪ
ｈねしがｔ：ｌｌ Ｉ″、ｉｌでおり、皿ばね３２，３
４のボディ１ｌｌｌ支承部Ｈとしてのバックプレート２
２ｅ、２２ｆはセンタボディ２２ｇと輪゛自されて１１
１０よね３２．３４（ハ伸Ｊｊｉｉ力向′＼進退自在に
−Ｊｇｌ成されている。そし７て゛バックプレート２２
ｅ、２２ｆｉＪ、差圧発信’ｒ’５２１ Ｂ ｏ１ｑｇ
伺けＶ Ｖｌ、ｙしてこねｔＪ１’−’ｙｌＡさぜるこ
とＩｔｒより１世（１ね３２，３４０弓い発力がｎｔ’
ｌ ＊ｉ＋さｉｌ、飼節後、バックプレート２２ｅ、２
２ｆとセンタボディ２２ｇと＆：ｊ ｉｌ着さｉｌる。
節できるようにしたもの台２１）、４Ｉ゛、！ｌにノ占
いてｊｌｌ蝉月する。実ノ商例として示す差圧発信’；
、’＝’ｒ ２１１３は、第２ｆａｌｌ／ｒ示ず実が１
１例と大部分が同じ１１１成であり、同４１（を成の１
５，１所についてＱ」同−符月を伺Ｌ２てそのＡ”１．
明を・省略する。図において、ボディ２２ 肴１．’Ｖ
威−するバックプレート２２ｅ、２２ｆの４１１周と、
４−４ンクボデイ２２ｇの凹陥部内置とにはそれ−ＦＪ
ｈねしがｔ：ｌｌ Ｉ″、ｉｌでおり、皿ばね３２，３
４のボディ１ｌｌｌ支承部Ｈとしてのバックプレート２
２ｅ、２２ｆはセンタボディ２２ｇと輪゛自されて１１
１０よね３２．３４（ハ伸Ｊｊｉｉ力向′＼進退自在に
−Ｊｇｌ成されている。そし７て゛バックプレート２２
ｅ、２２ｆｉＪ、差圧発信’ｒ’５２１ Ｂ ｏ１ｑｇ
伺けＶ Ｖｌ、ｙしてこねｔＪ１’−’ｙｌＡさぜるこ
とＩｔｒより１世（１ね３２，３４０弓い発力がｎｔ’
ｌ ＊ｉ＋さｉｌ、飼節後、バックプレート２２ｅ、２
２ｆとセンタボディ２２ｇと＆：ｊ ｉｌ着さｉｌる。
すなわぢ、一般に過大圧力保進装置■のｌｊｊ：１保圧
力ｄ大きく、こｔｌに使用さｈる■旧よね３２，３４４
”ｌ大きな５”Ｆ発力を必要とする。といってボディ内
（７） ｙ、ｔ′。
力ｄ大きく、こｔｌに使用さｈる■旧よね３２，３４４
”ｌ大きな５”Ｆ発力を必要とする。といってボディ内
（７） ｙ、ｔ′。
い箇所でｔ」間ばね３２．３４に大きな変も１を持たぜ
ることか困う“・１ｔであり、まだ１０を大きくすると
多段の白１」θｖ３５を必要とするので、上記θ）よう
なＩｑ成とすることにより、小さ一６変位で大きな弾発
力が正確かつ賛結Ｖ得られる。
ることか困う“・１ｔであり、まだ１０を大きくすると
多段の白１」θｖ３５を必要とするので、上記θ）よう
なＩｑ成とすることにより、小さ一６変位で大きな弾発
力が正確かつ賛結Ｖ得られる。
な紮、前記各実施例では、スペー→）３１．３３と面積
板３０ 、３０Ａ−との１碓間を促進させるだめの内封
液の３．１通手段として十字状の液通路３７を設けた例
を示したが、スペーサ３１，３３または面積板３０ 、
３０Ａの対向面に、例えば星打ち加工とＩ１１′は、ｌ
ｉ、 、７・７１９ンチ式の突起形成加工により多数の
突起を；ｉ！？ける々どの塑性加工を施してスペーサ３
１．３３と面ｆＩＩｉ番反３０．３ＯＡとを隅肉ｆ？さ
せるようにすり、ば、液通路形成のための加工が容易に
なり、加工費を削減することができる。
板３０ 、３０Ａ−との１碓間を促進させるだめの内封
液の３．１通手段として十字状の液通路３７を設けた例
を示したが、スペーサ３１，３３または面積板３０ 、
３０Ａの対向面に、例えば星打ち加工とＩ１１′は、ｌ
ｉ、 、７・７１９ンチ式の突起形成加工により多数の
突起を；ｉ！？ける々どの塑性加工を施してスペーサ３
１．３３と面ｆＩＩｉ番反３０．３ＯＡとを隅肉ｆ？さ
せるようにすり、ば、液通路形成のための加工が容易に
なり、加工費を削減することができる。
さらＶ前記各す施例で１１、スペーサ３０．３ＯＡに設
Ｈ，ｇ、内−ｔ′Ｉ液３５の神通手段として連通孔３６
を設（Ｊた例を示しだが、スペーサ３０．３０Ａを、通
気性のある多孔質の焼結金属やケ、泡状の金属またはセ
ラミックなどの林料で形成ｌ、でもよく、こｆｌ、によ
って孔１１１１工や曲面加工などの必要が々くなって力
１工費を大幅に剛健、ｌることかできるとともに、内旧
液のｆ）ｉｒ、通が円滑になり、；晶大圧力保Ｗ（シセ
ニドイの連応Ｉ牛を向上させることができる。
Ｈ，ｇ、内−ｔ′Ｉ液３５の神通手段として連通孔３６
を設（Ｊた例を示しだが、スペーサ３０．３０Ａを、通
気性のある多孔質の焼結金属やケ、泡状の金属またはセ
ラミックなどの林料で形成ｌ、でもよく、こｆｌ、によ
って孔１１１１工や曲面加工などの必要が々くなって力
１工費を大幅に剛健、ｌることかできるとともに、内旧
液のｆ）ｉｒ、通が円滑になり、；晶大圧力保Ｗ（シセ
ニドイの連応Ｉ牛を向上させることができる。
ルＬ−ヒの説、明により明らかなように、本発明によｈ
ば差圧発信器妊おいてシール部材′て保持さ）１てボデ
ィ内室内に２室を隔成する面積板の両１１ｊｌｌに、内
封Ｉ７″′ｉの悼通手段を備えたスペーサをボディｒ、
・７面との間のはね部層で面積板側へｆ；ｌ勢さぜで設
Ｃツ乙ことにより、過大圧力発生時には受圧ダイヤフラ
ムが着座して内封液の移動を停止させセンサを過大圧力
から４ｉ護することができること目もとより、丁時の測
定圧力下では高圧（Ｉｌｌ 、低圧側いず）１の方向か
らの圧力が大きくてもこれが（Ｙね部Ｈのｉｊ＋１′１
発力以下の揚力以下し、↓スペーサおよび面ｉ−，ｌ（
板戸（静止し°Ｃいて内封液がセンサ方向以外へ移動せ
ず、受圧ダイヤフラムが端座する直前妊わず゛かＶ移ｒ
山するだけであるから、平時には差圧がそのままセンサ
に伝達され従来と比べて伝達効率が著しく向１−すると
ともに、センタダイヤプラムの静止によりヒステリシス
を少なくすることができる。また、センサ方向以外への
内ｆｉｌ液の、ｉ′！、動が六い（ハで、圧力のＬし、
容性がきわめて良好であって国定精度が向上するととも
に、測定レンジの上限値をセンサの破１”°強度に近づ
けることができるので、Ｎｌｌ＋定レンジを拡大するこ
とができ、センサの伝達効率の高い測定レンジを使用で
きることにより測定精度および計器の性能が大幅に向上
する。さらに、ボディ低圧側ばね部層のばね定数をボデ
ィ高圧側ばね部利のはね定数よりも大きく設定すること
により、高圧側、低圧（ＩＩＩの過大圧力作ａ等の圧力
動作点を低圧ψ１１からのｊｌ、：４大圧力Ｖ（−弱い
センサの（出前に対応させることができるので、過大圧
力作Ｃ偽装ｆ＋ｔとしての機能が向上する。才だ、ばね
部層のボディ１１＋１支承部材をばね部材の伸縮方向へ
進退自在に形成ゴることにより、過大圧力保護装置の動
作点を畠圧側、低圧側ごとにそれぞｉ］独立して調節す
ることができるので、センサを過大圧力から完全に係上
〇することができ、保に５装口とＬ’Ｃの機能が向上す
る。
ば差圧発信器妊おいてシール部材′て保持さ）１てボデ
ィ内室内に２室を隔成する面積板の両１１ｊｌｌに、内
封Ｉ７″′ｉの悼通手段を備えたスペーサをボディｒ、
・７面との間のはね部層で面積板側へｆ；ｌ勢さぜで設
Ｃツ乙ことにより、過大圧力発生時には受圧ダイヤフラ
ムが着座して内封液の移動を停止させセンサを過大圧力
から４ｉ護することができること目もとより、丁時の測
定圧力下では高圧（Ｉｌｌ 、低圧側いず）１の方向か
らの圧力が大きくてもこれが（Ｙね部Ｈのｉｊ＋１′１
発力以下の揚力以下し、↓スペーサおよび面ｉ−，ｌ（
板戸（静止し°Ｃいて内封液がセンサ方向以外へ移動せ
ず、受圧ダイヤフラムが端座する直前妊わず゛かＶ移ｒ
山するだけであるから、平時には差圧がそのままセンサ
に伝達され従来と比べて伝達効率が著しく向１−すると
ともに、センタダイヤプラムの静止によりヒステリシス
を少なくすることができる。また、センサ方向以外への
内ｆｉｌ液の、ｉ′！、動が六い（ハで、圧力のＬし、
容性がきわめて良好であって国定精度が向上するととも
に、測定レンジの上限値をセンサの破１”°強度に近づ
けることができるので、Ｎｌｌ＋定レンジを拡大するこ
とができ、センサの伝達効率の高い測定レンジを使用で
きることにより測定精度および計器の性能が大幅に向上
する。さらに、ボディ低圧側ばね部層のばね定数をボデ
ィ高圧側ばね部利のはね定数よりも大きく設定すること
により、高圧側、低圧（ＩＩＩの過大圧力作ａ等の圧力
動作点を低圧ψ１１からのｊｌ、：４大圧力Ｖ（−弱い
センサの（出前に対応させることができるので、過大圧
力作Ｃ偽装ｆ＋ｔとしての機能が向上する。才だ、ばね
部層のボディ１１＋１支承部材をばね部材の伸縮方向へ
進退自在に形成ゴることにより、過大圧力保護装置の動
作点を畠圧側、低圧側ごとにそれぞｉ］独立して調節す
ることができるので、センサを過大圧力から完全に係上
〇することができ、保に５装口とＬ’Ｃの機能が向上す
る。
４、 １’−”：ｌ而の筒中々１５明
汀）１図シ、［禍大圧力ＩＩ＋！護装［：・Ｙをｌｉｉ
λＡ−従来の７川発信器の断面図 ；Ｐ ２図力いし８
１１４図Ｑ」本発明匠係る差ＦＥ発信器の実施例を示し
、ハ゛１，２図し１そのｔｊｆ面図、第３図）：［本発
明の他の実１イへ例を示す断面図、汀・４図１ｉＪばね
部材のボディ側支承部材を進退訴１ｔ；６自在に形成し
７た差圧発信器のｌｌ）ｉ面図である。
λＡ−従来の７川発信器の断面図 ；Ｐ ２図力いし８
１１４図Ｑ」本発明匠係る差ＦＥ発信器の実施例を示し
、ハ゛１，２図し１そのｔｊｆ面図、第３図）：［本発
明の他の実１イへ例を示す断面図、汀・４図１ｉＪばね
部材のボディ側支承部材を進退訴１ｔ；６自在に形成し
７た差圧発信器のｌｌ）ｉ面図である。
２１．２１Ａ、２１Ｂ・・・・差圧発信器、２２・＠Ｏ
・ボディ、２３，２４・・・−バリアダイヤフラム、２
５．２６−−−−−Ｊき間、２７−−−・バイパス、２
８・・・・ボディ内冷、２９・・・・ベローズ、３０．
３ＯＡ−・・・面積板、３１．３３・・・−スペーサ、
３２，３４・・・Φ１１１１ばね、３５・・・・内封液
、３６・・・・連通孔、３８．３９・・・・液通路、４
０・・・・センタダイヤフラム。
・ボディ、２３，２４・・・−バリアダイヤフラム、２
５．２６−−−−−Ｊき間、２７−−−・バイパス、２
８・・・・ボディ内冷、２９・・・・ベローズ、３０．
３ＯＡ−・・・面積板、３１．３３・・・−スペーサ、
３２，３４・・・Φ１１１１ばね、３５・・・・内封液
、３６・・・・連通孔、３８．３９・・・・液通路、４
０・・・・センタダイヤフラム。
廿πｌ−Ｉｌｌ ｒｉｊ人 山武ハネウェル株式会社
代理人 山用政４１．１ （ほか１名）第１１矧 姐２図 １ 鵠３図 ２１Ａ
代理人 山用政４１．１ （ほか１名）第１１矧 姐２図 １ 鵠３図 ２１Ａ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）ボディ両側の各受圧ダイヤフラムとボディとの間
のすき間を中心部で連結するバイパス上にボディ内室を
設け、センサの高圧（１４，＋１ 、低圧（１１１１と
の間をγ１に通１１；１でそれぞれ連結された２室を前
記ボディ内’４＜内に隔成する面積板を、ボディ側にシ
ール部４Ｎで保持させると共に、前記ボディ内室内の前
記面積板両側に、内封液の連通手段を備えた一対のスペ
ーサを両側壁面との間にばね０利をそれぞれ介在させて
配設したことを特徴とする差圧発信器。 （２１スペーザに設ける内封液の連通手段としてこのス
ペーサを通液性の材料で形成したことを特徴とする特許
Ｍ＃求の範囲第１項記載の差圧発信器。 （３）ボディ両側の各受圧ダイヤフラムとボディとの間
のすき間を中心部で連結するバイパス上にボディ内室を
設け、センサの高圧側、低圧側との間を液通路でそれぞ
れ連結された２室を前記ボディ内室内に隔成する面積板
を、ボディ１１１１にシール部材で保持させると共に、
前記ボディ内室内の前記面積板画側に、内封液の連通手
段を備えだ一対のスペーサを両側壁面との間にばね０制
をそれぞれ介在させて配設し、前記ばね０相のばね定数
を、ボディ高圧１１ｊｉのものよりもボディ低圧側のも
のを大きく設定したことを特徴とＪる差圧発信器。 （４）スペーサに設ける内封液の連通手段としてこのス
ペーサを通液性の材料で形成したことを特徴とする特許
ａＩｆ求の範囲第３項記載の差圧発信器。 （５）ボディ両側の各受圧ダイヤフラムとボディとの間
のすき間を中心部で連結するバイパス上にボディ内室を
設け、センサの高圧側、低圧側との間を液、ｉｉｌ’＋
路でそれぞれ連結された２室を前記ボディ内室内に隔成
する面積板を、ボディ側にシール部材で保持させると共
に前記面積板両側に、内封液の連通手段を備えだ一対の
スペーサを両側１壁面とのににばね０拐を介在させて配
設し、かつ前記はね０利のボディ側支承部材を前記はね
０拐の伸縮方面へ進退調節自在に形成したことを特徴と
する差圧発信器。 （６）スペーサに設ける内封液の連通手段とじてこのス
ペーサを通数性の拐料で形成したことを特徴とする特許
請求の範囲第５項Ｆ載の差圧発信器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16874182A JPS5958332A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 差圧発信器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16874182A JPS5958332A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 差圧発信器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5958332A true JPS5958332A (ja) | 1984-04-04 |
| JPH0322576B2 JPH0322576B2 (ja) | 1991-03-27 |
Family
ID=15873549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16874182A Granted JPS5958332A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 差圧発信器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5958332A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56129832A (en) * | 1980-02-13 | 1981-10-12 | Honeywell Inc | Differential pressure transmitter |
-
1982
- 1982-09-28 JP JP16874182A patent/JPS5958332A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56129832A (en) * | 1980-02-13 | 1981-10-12 | Honeywell Inc | Differential pressure transmitter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0322576B2 (ja) | 1991-03-27 |
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