JPS5912127B2 - 液封式差圧検出器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は改良された温度静圧誤差防止手段を具備した液
封式差圧検出器に関する。

液封式差圧検出器の温度静圧誤差を防止するためには高
圧側と低圧側の圧力伝達媒体の量を等しくする必要があ
る。

このための調整手段の従来例を第１図を参照して説明す
る。

第１図は圧力を電気信号に変換する感圧素子を圧力検出
手段としている液封式差圧検出器の断面図で、感圧素子
１を内装する本体ケース２と、感圧素子１の両面部と連
通ずる本体ケースの両開口部側に装着され、被検出圧力
Ｐａ 、Ｐｂ（Ｐｂ＞Ｐａ）の圧力導入口３ａ 、３ｂ
を有する受圧フランジ４ａ、４ｂから構成されている。

この本体ケース２と受圧フランジ４ａ、４ｂとの間には
それぞれダイアフラム５ａ 、ｓｂが装着されており、
このダイアフラム５ａ、５ｂと感圧素子１とにより形成
された低圧室６ａ、高圧室６ｂがあり、これらの室内に
は例えばシリコン油のような圧力伝達媒体７ａ、７ｂが
それぞれ液密に封入されている。

前記感圧素子１の出力端はケーブル８を介して図示しな
い前置増幅器などに接続されている。

本体ケース２の内部には、高圧室６ｂと低圧室６ａとの
連絡孔１０を開閉すると共に内部と外気とを封止するプ
ラグ９が設けられている。

また、低圧室６ａには、低圧室６ａの容積を変えること
のできるキャップ１１が装着されている。

いま、圧力伝達媒体７ａと７ｂとの量が等しくないとす
れば、温度の上昇、下降に伴い圧力伝達媒体７ａおよび
７ｂに生ずる膨張、収縮の量が等しくならないので、高
圧室６ｂと低圧室６ａに発生ずる内部圧力に差が生じる
。

これを防止するためプラグ９をゆるめて圧力伝達媒体７
ａ 、７ｂの移動を可能にし、キャップ１１を出し入れ
して低圧室６ａの容積を変化させて、画室の媒体量が等
しくなるように調整している。

実際には、一つの方法として、キャップ１１を所定量移
動させた後、プラグ９により両室６ａ、６ｂを封止し、
温度変化に対する誤差を測定して良好な温度特性か否か
を検査する。

しかしながら、キャップ１１の移動により低圧室６ａの
容積が変化するため、必然的に画室全体の容積も変化し
てしまい、つぎのような不具合が生じる。

即ち、全体容積は変化するが、封入された媒体７ａ、７
ｂの全体量は変らないため、画室の全体容積の変化分に
相当する圧力が媒体７ａ。

７ｂに加えられることになる。

媒体７ａ、７ｂは非圧縮性であるため発生した圧力は弾
性体であるダイアフラム５ａ、５ｂに吸収されることに
なる。

これは外圧が加わっている状態と同じことになり、特性
上好ましくない。

換言すれば、特性変化を起さない範囲にダイアフラム５
ａ、５ｂの変形を押えて調整しなければならず調整が難
し゛い。

また、キャップ１１の移動を注意深く行なわないと、ダ
イアフラム５ａ 、５ｂが塑性変形を起こし測定不能と
いう事態も生じ得る。

本発明は上記の欠点に対処してなされたもので、温度静
圧誤差防止を精度良く容易にできる液封式差圧検出器を
提供することを目的とする。

以下、本発明の一実施例を第２図を参照して説明する。

第２図は本発明の一実施例の断面図で、従来例と同一機
能を有する部分については、同一符号を付し、説明を省
略する。

本体ケース２の内部に、高圧室６ｂと低圧室６ａとにそ
れぞれ連通ずるシリンダ室２１が設けられ、このシリン
ダ室２１内には、０リングを有するピストン２２が軸方
向に摺動可能に設けられ、その図示下端には、めねじが
切られている。

さらに、このめねじに螺合するおねじを有する調整ねじ
２３が前記ピストン２２に螺合されて本体ケース２に回
動可能に設けられている。

この調整ねじ２３は鍔２３ａを有し、そこに０リングが
装着されシリンダ室ηを封止している。

また押整ねしわのおねじ部には導孔２３ｂが設けら件て
おり、圧力伝達媒体７ｂが通過できるようになってい匙
２５は調整ねじ２３の回動をロックするためのプラグで
、中心には調整ねじ２３の頭部に対する逃げ孔２５ａが
明けられている。

またシリンダ室２１内壁には回わり止め２４が突設され
ており、ピストン２２の溝２２ａと係合して、調整ねじ
２３を回わしたときピストン２２の回動を止めている。

そして、ピストン２２、回わり止め２４、ピストンのめ
ねじ、調整ねじ２３のおねじ部およびその内部の導孔２
３ｂは、ピストン２２の移動によるシリンダ室の図示上
部２１ａと下部２１ｂとの容積変化が等しくなるように
形成されている。

つぎに上記のように構成された調整手段による調整につ
いて説明する。

いま、低圧室６ａ内の圧力伝達媒体７ａの量が多いとす
る。

まず、プラグ９をゆるめ両媒体７ａ。７ｂの移動を可能
にする。

つぎに、プラグ２５をゆるめ、調整ねじ２３を反時計回
わりに所定量回動してやると、ピストン２２が回わり止
め２４で回動を止められているので、図示上方に所定量
移動する。

この移動によるシリンダ室の上部２１ａの容積縮少分Δ
Ｖａの体積の圧力伝達媒体７ａがゆるめられたプラグ９
を通って媒体Ｉｂ側に移動する。

この現象と同時に、ピストン移動によるシリンダ室の下
部２１ｂの容積増加分Δｖｂの体積の圧力伝達媒体７ｂ
のシリンダ室下部２１ｂへの移動が起っており、ΔＶａ
−Δｖｂになるようにシリンダ室２１、ピストン２２な
どを形成しであるから、両正力伝達媒体内部には圧力が
発生することがない。

即ち上記の調整では、低圧室６ａの容積がΔＶａだけ減
少し、高圧室６ｂの容積がΔＶａだけ増加したが画室全
体の容積は変らず、したがって、その内部に封入されて
いる媒体に圧力が発生することがない。

この状態で、プラグ９を締めて両室６ａ、６ｂを封止し
、温度変化に対する誤差を測定して結果を見て、必要に
応じて微調整を行なって最良の温度特性が得られる状態
で調整ねじ２３をプラグ２５でロックして調整を終る。

以上説明したように、本発明によれば、高低両圧力室全
体の容積を変えることなく、両圧力室の容積を等しくま
たは必要に応じて所望の比率に設定することができる調
整手段が実現されたので、両圧力室の容積調整に当って
、圧力伝達媒体に内部圧力が発生することを完全に防止
することができ、液封式差圧検出器の温度静圧誤差防止
の調整が容易になり、ひいては、温度静圧誤差のない高
精度の液封式差圧検出器を提供することができる。

なお、上述の実施例では、感圧素子を圧力検出手段とし
ている液封式差圧検出器について説明したが、圧力検出
手段に例えば力平衡機構などを用いた場合にも同様に適
用して実施することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は液封式差圧検出器の従来例を示す断面図、第２
図は本発明の液封式差圧検出器の一実施例を示す断面図
である。 １・・・・・・感圧素子、２・・・・・・本体ケース、
３ａ 、 ３ｂ・・・・・・圧力導入口、４ａ、４ｂ・
・・・・・受圧フランジ、５ａ、５ｂ・・・・・・ダイ
アフラム、６ａ・・・・・・低圧室、６ｂ・・・・・・
高圧室、７ａ、７ｂ・・・・・・圧力伝達媒体、９・・
・・・・プラグ、１０・・・・・・連絡孔、２１・・・
・・・シリンダ室、２２・・・・・・ピストン、２３・
・・・・・調整ねじ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 両端が圧力導入孔を有する受圧フランジで液密に封
   止された本体ケースと、前記受圧フランジと本体ケース
   との間にそれぞれ液密に装着されたダイアフラムと、こ
   の一方のダイヤフラムと本体ケース凹部とで形成された
   高圧室に一面を向けて装着され、他面が前記他方のダイ
   アフラムと本体ケース四部とで形成された低圧室に連通
   された感圧素子と、高低両圧力室をつなぐ連絡孔を開閉
   するプラグと、前記高低側圧力室内に封入された圧力伝
   達媒体と、前記側圧力室を区画するとともにいずれの室
   側にも移動可能に構成されたピストン及びこのピストン
   を移動させる調整ねじを有し、前記プラグの開状態にお
   いて前記ピストンを移動させることによって側圧力室の
   全容積を変えることなく側圧力室の容積を相対的に変化
   させる調整手段とを具備したことを特徴とする液封式差
   圧検出器。 ２ 調整手段が、高圧室および低圧室にそれぞれ連通し
   て本体ケースに形成されたシリンダ室内に回転を係止さ
   れ軸方向摺動可能に配置されるとともにそのシリンダ室
   内を高圧室および低圧室にそれぞれ連通する２室に分割
   するように配置され、その一端にめねじが刻設されたピ
   ストンと、このピストンのめねじに螺合するおねじを有
   し本体ケースに液密に回動可能に嵌装された調整ねじと
   から構成されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載の液封式差圧検出器。