JPH0540069A - 脈動圧力センサ - Google Patents
脈動圧力センサInfo
- Publication number
- JPH0540069A JPH0540069A JP19771791A JP19771791A JPH0540069A JP H0540069 A JPH0540069 A JP H0540069A JP 19771791 A JP19771791 A JP 19771791A JP 19771791 A JP19771791 A JP 19771791A JP H0540069 A JPH0540069 A JP H0540069A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- chamber
- pressure sensor
- passage
- pulsation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 脈動のみを検出できる脈動圧力センサを提供
すること。 【構成】 脈動圧力センサは、ベース１の上に台座３を
接合し、この台座３の上に差圧センサ５を接合し、ベー
ス１にキャップ９を接合してなる。また、キャップ９と
ベース１及び差圧センサ５とでＡ室７を設ける。Ａ室７
の圧力は、圧力通路１３を介して差圧センサ５に設けた
Ｂ室１１に導く。この圧力通路１３には、Ｂ室１１に導
く脈動圧力を平滑する積分機構（積分絞り１７、積分タ
ンク２７）とを備えている。このＡ室７には測定する入
力圧力を、Ｂ室１１には入力圧力Ｐi を積分機構で平滑
して得た静圧力Ｐs をそれぞれ導き、これら圧力Ｐi 、
Ｐsを差圧センサ５で検出する。これにより、静圧力Ｐs
に重畳された微小な圧力脈動を高精度に測定できる。
すること。 【構成】 脈動圧力センサは、ベース１の上に台座３を
接合し、この台座３の上に差圧センサ５を接合し、ベー
ス１にキャップ９を接合してなる。また、キャップ９と
ベース１及び差圧センサ５とでＡ室７を設ける。Ａ室７
の圧力は、圧力通路１３を介して差圧センサ５に設けた
Ｂ室１１に導く。この圧力通路１３には、Ｂ室１１に導
く脈動圧力を平滑する積分機構（積分絞り１７、積分タ
ンク２７）とを備えている。このＡ室７には測定する入
力圧力を、Ｂ室１１には入力圧力Ｐi を積分機構で平滑
して得た静圧力Ｐs をそれぞれ導き、これら圧力Ｐi 、
Ｐsを差圧センサ５で検出する。これにより、静圧力Ｐs
に重畳された微小な圧力脈動を高精度に測定できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、微小な圧力脈動を測定
できる脈動圧力センサに関する。
できる脈動圧力センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧力の測定に使用される圧力セン
サとしては、例えば図５に示すようなものがある。すな
わち、上記圧力センサでは、円柱状のベース１０１に円
柱状の台座１０３を同心状に固定し、その台座１０３の
上に有底円筒状の圧力センサ１０５を同心状に固定する
とともに、測定圧力が導入されるＡ室１０７を形成する
円筒状のキャップ１０９をベース１０１に固定してい
る。また、前記圧力センサ１０５は台座１０３に固定さ
れることによりＢ室１１１を形成している。また、台座
１０３、ベース１０１に圧力通路１１３を形成すること
によりＢ室１１１を大気に連通している。また、前記圧
力センサ１０５には、測定レンジの広い、例えば半導体
圧力センサを使用している。
サとしては、例えば図５に示すようなものがある。すな
わち、上記圧力センサでは、円柱状のベース１０１に円
柱状の台座１０３を同心状に固定し、その台座１０３の
上に有底円筒状の圧力センサ１０５を同心状に固定する
とともに、測定圧力が導入されるＡ室１０７を形成する
円筒状のキャップ１０９をベース１０１に固定してい
る。また、前記圧力センサ１０５は台座１０３に固定さ
れることによりＢ室１１１を形成している。また、台座
１０３、ベース１０１に圧力通路１１３を形成すること
によりＢ室１１１を大気に連通している。また、前記圧
力センサ１０５には、測定レンジの広い、例えば半導体
圧力センサを使用している。
【０００３】ところで、上述した圧力センサでは、Ａ室
１０７に導入される測定圧力に対してＢ室１１１側は大
気に開放している。このため、圧力センサ１０５の受圧
能力として静圧分をも測定できるようにしている。した
がって、測定したい脈動圧幅に対して静圧分が大きい場
合、例えば１０〔Ｋｇ／ｃｍ2 〕の静圧に対して０．１
〔Ｋｇ／ｃｍ2 〕の脈動圧を測定するときには、圧力セ
ンサ１０５のレンジは、０〜１０．１〔Ｋｇ／ｃｍ2 〕
となり、圧力レンジに対し測定したい脈動圧の幅が少な
くなる。
１０７に導入される測定圧力に対してＢ室１１１側は大
気に開放している。このため、圧力センサ１０５の受圧
能力として静圧分をも測定できるようにしている。した
がって、測定したい脈動圧幅に対して静圧分が大きい場
合、例えば１０〔Ｋｇ／ｃｍ2 〕の静圧に対して０．１
〔Ｋｇ／ｃｍ2 〕の脈動圧を測定するときには、圧力セ
ンサ１０５のレンジは、０〜１０．１〔Ｋｇ／ｃｍ2 〕
となり、圧力レンジに対し測定したい脈動圧の幅が少な
くなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記圧力センサの場
合、圧力センサは大気と脈動圧力との差圧を検出し脈動
のみを検出するものではないので、測定精度が低下し、
あるいは脈動測定ができない。
合、圧力センサは大気と脈動圧力との差圧を検出し脈動
のみを検出するものではないので、測定精度が低下し、
あるいは脈動測定ができない。
【０００５】本発明は、上述した従来の課題を解消する
ためになされたものであり、脈動のみを検出できる脈動
圧力センサを提供することを目的とする。
ためになされたものであり、脈動のみを検出できる脈動
圧力センサを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の脈動圧力センサは、測定する圧力を導く第
１の圧力室と、この第１の圧力室の圧力を圧力通路を介
して取り込む第２の圧力室と、前記第１の圧力室と第２
の圧力室の間に設け、各圧力室の差圧を電気信号に変換
する圧力センサと、前記圧力通路と連通され、かつ第２
の圧力室に導く脈動圧力を平滑する積分機構とを備えた
ことを特徴とするものである。
に、本発明の脈動圧力センサは、測定する圧力を導く第
１の圧力室と、この第１の圧力室の圧力を圧力通路を介
して取り込む第２の圧力室と、前記第１の圧力室と第２
の圧力室の間に設け、各圧力室の差圧を電気信号に変換
する圧力センサと、前記圧力通路と連通され、かつ第２
の圧力室に導く脈動圧力を平滑する積分機構とを備えた
ことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】上述した構成としたので、第１の圧力室には測
定する入力圧力を、第２の圧力室には入力圧力を積分機
構で平滑して得た静圧力をそれぞれ導き、これら圧力を
圧力センサで検出するようにしたので、静圧力に重畳さ
れた微小な圧力脈動を高精度に測定できることになる。
定する入力圧力を、第２の圧力室には入力圧力を積分機
構で平滑して得た静圧力をそれぞれ導き、これら圧力を
圧力センサで検出するようにしたので、静圧力に重畳さ
れた微小な圧力脈動を高精度に測定できることになる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明について図示の実施例を基に説
明する。
明する。
【０００９】図１は、本発明の脈動圧力センサの一実施
例を示す断面図である。図１において、脈動圧力センサ
は次のように構成されている。すなわち、金属等の素材
で円柱状に形成されたベース１には、絶縁材料で構成さ
れた円柱状の台座３が同心状に接合されている。この台
座３の上には、圧力センサとしての差圧センサ５が同心
状に接合されている。この差圧センサ５は、機械応力を
電気信号に変換する例えば半導体を断面Ｕ字状で有底円
筒状に形成したものである。
例を示す断面図である。図１において、脈動圧力センサ
は次のように構成されている。すなわち、金属等の素材
で円柱状に形成されたベース１には、絶縁材料で構成さ
れた円柱状の台座３が同心状に接合されている。この台
座３の上には、圧力センサとしての差圧センサ５が同心
状に接合されている。この差圧センサ５は、機械応力を
電気信号に変換する例えば半導体を断面Ｕ字状で有底円
筒状に形成したものである。
【００１０】上記測定圧力を導入する第１の圧力室とし
てのＡ室７を形成する円筒状のキャップ９は、ベース１
に接合されている。また、前記差圧センサ５は台座３に
接合されることにより、その差圧センサ５の中空部が第
２の圧力室としてのＢ室１１を形成することになる。ま
た、Ａ室７とＢ室１１との間を連通するために、ベース
１及び台座３に圧力通路１３を形成している。ベース１
の下方には、圧力通路１３に絞りピン１５の先端部に設
けた積分絞り１７が位置するように、絞りピン１５用の
ねじ孔１９が設けてある。絞りピン１５は、シール用オ
ーリング２１を介して前記ねじ孔１９に螺着される。前
記ベース１には、比較的大きな空間２３を穿設し、この
空間２３を圧力通路１３に連通し、かつ空間２３を盲板
２５で塞ぐことにより、積分タンク２７を形成させてい
る。なお、前記積分絞り１７及び／または積分タンク２
７により、Ａ室７から圧力通路１３を通してＢ室１１に
導く脈動圧力を平滑できる積分機構が構成されている。
てのＡ室７を形成する円筒状のキャップ９は、ベース１
に接合されている。また、前記差圧センサ５は台座３に
接合されることにより、その差圧センサ５の中空部が第
２の圧力室としてのＢ室１１を形成することになる。ま
た、Ａ室７とＢ室１１との間を連通するために、ベース
１及び台座３に圧力通路１３を形成している。ベース１
の下方には、圧力通路１３に絞りピン１５の先端部に設
けた積分絞り１７が位置するように、絞りピン１５用の
ねじ孔１９が設けてある。絞りピン１５は、シール用オ
ーリング２１を介して前記ねじ孔１９に螺着される。前
記ベース１には、比較的大きな空間２３を穿設し、この
空間２３を圧力通路１３に連通し、かつ空間２３を盲板
２５で塞ぐことにより、積分タンク２７を形成させてい
る。なお、前記積分絞り１７及び／または積分タンク２
７により、Ａ室７から圧力通路１３を通してＢ室１１に
導く脈動圧力を平滑できる積分機構が構成されている。
【００１１】このように構成された実施例の作用を説明
する。
する。
【００１２】測定される入力圧力Ｐi は、図２に示すよ
うに、時間ｔの経過にともなって脈動するものとする。
この圧力Ｐi は、図示しない管路を介してＡ室７に導か
れる。このＡ室７内の圧力Ｐi は、圧力通路１３を介し
てＢ室１１に導かれる途中で、積分絞り１７及び積分タ
ンク２７により平滑・積分されて静圧力Ｐs となってＢ
室１１に導かれる。すなわち、このＢ室１１に導かれた
静圧力Ｐs は、脈動する圧力Ｐi を平滑・積分したもの
となる。従って、差圧センサ５は、前記入力圧力Ｐi と
静圧力Ｐsとの差分を検出することになる。
うに、時間ｔの経過にともなって脈動するものとする。
この圧力Ｐi は、図示しない管路を介してＡ室７に導か
れる。このＡ室７内の圧力Ｐi は、圧力通路１３を介し
てＢ室１１に導かれる途中で、積分絞り１７及び積分タ
ンク２７により平滑・積分されて静圧力Ｐs となってＢ
室１１に導かれる。すなわち、このＢ室１１に導かれた
静圧力Ｐs は、脈動する圧力Ｐi を平滑・積分したもの
となる。従って、差圧センサ５は、前記入力圧力Ｐi と
静圧力Ｐsとの差分を検出することになる。
【００１３】上述の動作をブロック図で表すと、入力圧
力Ｐi は、直接減算器３１に導かれるとともに、積分要
素３３に導かれる。ここで、減算器３１は差圧センサ５
に相当し、積分要素３３は積分絞り１７及び積分タンク
２７に相当する。また、積分要素３３の伝達関数は、
｛１／（１＋ＳＴ）｝で表される。この場合、１／Ｓは
積分因子であり、Ｔは積分要素３３の時定数である。そ
して、入力圧力Ｐi は、積分要素３３で積分された静圧
力Ｐs とされて減算器３１に供給される。減算器３１で
は、入力圧力Ｐi と静圧力Ｐs との差分を出力すること
になり、脈動成分のみを測定することができることにな
る。これにより、差圧センサ５の圧力レンジは脈動圧力
の幅だけでよく、高精度で測定できる。
力Ｐi は、直接減算器３１に導かれるとともに、積分要
素３３に導かれる。ここで、減算器３１は差圧センサ５
に相当し、積分要素３３は積分絞り１７及び積分タンク
２７に相当する。また、積分要素３３の伝達関数は、
｛１／（１＋ＳＴ）｝で表される。この場合、１／Ｓは
積分因子であり、Ｔは積分要素３３の時定数である。そ
して、入力圧力Ｐi は、積分要素３３で積分された静圧
力Ｐs とされて減算器３１に供給される。減算器３１で
は、入力圧力Ｐi と静圧力Ｐs との差分を出力すること
になり、脈動成分のみを測定することができることにな
る。これにより、差圧センサ５の圧力レンジは脈動圧力
の幅だけでよく、高精度で測定できる。
【００１４】図４は、本発明の脈動圧力センサの他の実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【００１５】この実施例は、上記第１実施例と同様にＡ
室７とＢ室１１とを連通する圧力通路１３に絞りピン１
５を設け、かつ圧力通路１３に連通する積分タンク２７
を設けるとともに、かつ第１実施例とは別にバイパス通
路３５を設け、このバイパス通路３５の一部にその通路
３５の開通／遮断ができる弁３７を設けている。また、
前記弁３７はベローズ３９に連結されており、ベローズ
３９の伸び縮みに応じて弁３７が上下動するようになっ
ている。このベローズ３９は、その内側にＡ室７の側の
圧力が、その周囲にＢ室１１の側の圧力が導かれるよう
してある。
室７とＢ室１１とを連通する圧力通路１３に絞りピン１
５を設け、かつ圧力通路１３に連通する積分タンク２７
を設けるとともに、かつ第１実施例とは別にバイパス通
路３５を設け、このバイパス通路３５の一部にその通路
３５の開通／遮断ができる弁３７を設けている。また、
前記弁３７はベローズ３９に連結されており、ベローズ
３９の伸び縮みに応じて弁３７が上下動するようになっ
ている。このベローズ３９は、その内側にＡ室７の側の
圧力が、その周囲にＢ室１１の側の圧力が導かれるよう
してある。
【００１６】この実施例によれば、上記第１実施例と同
様な作用効果を奏する。また、ベローズ３９は、Ａ室７
とＢ室１１の圧力の差により伸縮し、弁３７を操作す
る。したがって、この実施例では、静圧力Ｐs の思いが
けない急変があった場合に、ベローズ３９による弁３７
の操作により、弁３７がバイパス通路３５を開くことに
なり、Ａ室７とＢ室１１との圧力差を強制的に低減す
る。これにより、第１の実施例では、静圧力Ｐs の思い
がけない急変があった場合、Ａ室７とＢ室１１の圧力差
が差圧センサ５のレンジをオーバーして差圧センサ５を
破損することがあるが、この実施例では弁３７が開いて
Ａ室７とＢ室１１との圧力差をなくすので、差圧センサ
５の破損を防止することができる。
様な作用効果を奏する。また、ベローズ３９は、Ａ室７
とＢ室１１の圧力の差により伸縮し、弁３７を操作す
る。したがって、この実施例では、静圧力Ｐs の思いが
けない急変があった場合に、ベローズ３９による弁３７
の操作により、弁３７がバイパス通路３５を開くことに
なり、Ａ室７とＢ室１１との圧力差を強制的に低減す
る。これにより、第１の実施例では、静圧力Ｐs の思い
がけない急変があった場合、Ａ室７とＢ室１１の圧力差
が差圧センサ５のレンジをオーバーして差圧センサ５を
破損することがあるが、この実施例では弁３７が開いて
Ａ室７とＢ室１１との圧力差をなくすので、差圧センサ
５の破損を防止することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、第１の圧力室と第２の圧力室との間に差圧センサを
設け、第１圧力室と第２圧力室に連通する通路に積分機
構を設けた構造としたため、静圧力に重畳された微小な
圧力脈動を高精度に測定でき、かつ応答周波数を可変で
きるという効果が得られる。
ば、第１の圧力室と第２の圧力室との間に差圧センサを
設け、第１圧力室と第２圧力室に連通する通路に積分機
構を設けた構造としたため、静圧力に重畳された微小な
圧力脈動を高精度に測定でき、かつ応答周波数を可変で
きるという効果が得られる。
【図１】本発明の脈動圧力センサの第１実施例を示す断
面図である。
面図である。
【図２】本発明で測定する圧力の説明図である。
【図３】本発明の脈動圧力センサの動作を説明するため
のブロック図である。
のブロック図である。
【図４】本発明の脈動圧力センサの第２の実施例を示す
断面図である。
断面図である。
【図５】従来の脈動圧力センサの例を示す断面図であ
る。
る。
１ ベース ３ 台座 ５ 差圧センサ ７ Ａ室 ９ キャップ １１ Ｂ室 １３ 圧力通路 １５ 絞りピン １７ 積分絞り ２３ 空間 ２７ 積分タンク ３５ バイパス通路 ３７ 弁 ３９ ベローズ
Claims (1)
- 【請求項１】測定する圧力を導く第１の圧力室と、 この第１の圧力室の圧力を圧力通路を介して取り込む第
２の圧力室と、 前記第１の圧力室と第２の圧力室の間に設け、各圧力室
の差圧を電気信号に変換する圧力センサと、 前記圧力通路と連通され、かつ第２の圧力室に導く脈動
圧力を平滑する積分機構とを備えたことを特徴とする脈
動圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19771791A JPH0540069A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 脈動圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19771791A JPH0540069A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 脈動圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0540069A true JPH0540069A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16379185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19771791A Pending JPH0540069A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 脈動圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0540069A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010139285A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Yazaki Corp | 判断装置及び圧力信号出力装置 |
| EP3231977A1 (en) | 2016-04-15 | 2017-10-18 | Nuova Star S.p.A. | Actuating system for a door of an electrical domestic appliance |
| JPWO2017212800A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2019-01-31 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力センサ |
| WO2022239442A1 (ja) * | 2021-05-12 | 2022-11-17 | 株式会社村田製作所 | 差圧センサ及びその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS552009A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-09 | Ricoh Co Ltd | Ink jet recorder of speed control and bias type |
| JPS57108727A (en) * | 1980-12-26 | 1982-07-06 | Nippon Soken Inc | Method and device for detection of knocking for internal combustion engine |
| JPS6454226A (en) * | 1987-08-25 | 1989-03-01 | Nippon Denso Co | Semiconductor pressure detector |
-
1991
- 1991-08-07 JP JP19771791A patent/JPH0540069A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS552009A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-09 | Ricoh Co Ltd | Ink jet recorder of speed control and bias type |
| JPS57108727A (en) * | 1980-12-26 | 1982-07-06 | Nippon Soken Inc | Method and device for detection of knocking for internal combustion engine |
| JPS6454226A (en) * | 1987-08-25 | 1989-03-01 | Nippon Denso Co | Semiconductor pressure detector |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010139285A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Yazaki Corp | 判断装置及び圧力信号出力装置 |
| EP3231977A1 (en) | 2016-04-15 | 2017-10-18 | Nuova Star S.p.A. | Actuating system for a door of an electrical domestic appliance |
| JPWO2017212800A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2019-01-31 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力センサ |
| WO2022239442A1 (ja) * | 2021-05-12 | 2022-11-17 | 株式会社村田製作所 | 差圧センサ及びその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR920005348Y1 (ko) | 압력센서 | |
| JP6014225B2 (ja) | 測定機構 | |
| US7062974B2 (en) | Pressure transmitter | |
| KR101152086B1 (ko) | 듀얼 압력 센서 | |
| US20050241400A1 (en) | Combined absolute-pressure and relative-pressure sensor | |
| JPS6021330B2 (ja) | 多重機能圧力センサ | |
| US4825685A (en) | Pressure transducer | |
| JP2004511795A (ja) | 圧力計測装置 | |
| KR19980702019A (ko) | 테스트 가스 누출 검출기 | |
| CA2173786A1 (en) | Semiconductor Differential Pressure Measuring Device | |
| JP3325879B2 (ja) | 相対圧センサ | |
| JPS54123077A (en) | Pressure sensor | |
| US8256299B2 (en) | Pressure sensor having a cap above a first diaphragm connected to a hollow space below a second diaphragm | |
| JPH0540069A (ja) | 脈動圧力センサ | |
| JPH0260881B2 (ja) | ||
| US7428844B2 (en) | Pressure sensor | |
| US5029610A (en) | Flow-control type piezoelectric element valve | |
| US4594881A (en) | Pressure detecting apparatus | |
| JP3683756B2 (ja) | リーク測定器 | |
| US20210130161A1 (en) | Micromechanical pressure sensor device and corresponding production method | |
| US9618414B2 (en) | Device for determining a pressure and method for manufacturing the same | |
| US3491599A (en) | Pressure transmitter | |
| KR0172858B1 (ko) | 진공 측정 시스템 | |
| US20240102873A1 (en) | Notification Sensor Arrangement for a Differential Pressure Sensor and a Method for Outputting a Sensed Warning Signal | |
| JPS5912127B2 (ja) | 液封式差圧検出器 |