JPS5952893B2 - エポキシ樹脂組成物 - Google Patents
エポキシ樹脂組成物Info
- Publication number
- JPS5952893B2 JPS5952893B2 JP15865779A JP15865779A JPS5952893B2 JP S5952893 B2 JPS5952893 B2 JP S5952893B2 JP 15865779 A JP15865779 A JP 15865779A JP 15865779 A JP15865779 A JP 15865779A JP S5952893 B2 JPS5952893 B2 JP S5952893B2
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- Japan
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- weight
- parts
- epoxy resin
- resin composition
- resin
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- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はエポキシ樹脂組成物にかかり、貯蔵安定性に優
れ、加熱することによつてすみやかに硬化するとともに
、高温度、高湿度下の体積固有抵抗の劣化が少なく、半
導体装置やその他の電子回路部品の封止用樹脂として有
用な組成物を提供しようとするものである。
れ、加熱することによつてすみやかに硬化するとともに
、高温度、高湿度下の体積固有抵抗の劣化が少なく、半
導体装置やその他の電子回路部品の封止用樹脂として有
用な組成物を提供しようとするものである。
一般に、エポキシ樹脂は、アミン類、酸無水物、フェノ
ール樹脂などの硬化剤を用いて硬化させると、電気的、
機械的、熱的な性質に優れたものが得られるため、半導
体装置やその他の電子回路部品の封止用樹脂として用い
られている。
ール樹脂などの硬化剤を用いて硬化させると、電気的、
機械的、熱的な性質に優れたものが得られるため、半導
体装置やその他の電子回路部品の封止用樹脂として用い
られている。
しかしながら、半導体装置や電子回路部品の封止用樹脂
に対して、貯蔵安定性に優れ、加熱することによりすみ
やかに硬化するのはもちろんのこと、特に高温度高湿度
下においても、半導体装置、やその他の電子回路部品の
特性を維持できる封止用樹脂の開発が強く望まれている
。発明者らは、上述のような要望を満足できる樹脂につ
いて検討した結果、高温度、高湿度下において、エポキ
シ樹脂組成物の体積固有抵抗の劣化Ｊが少なければ、半
導体装置や電子回路部品の特性を維持できることを見い
出し、本発明に至つた。
に対して、貯蔵安定性に優れ、加熱することによりすみ
やかに硬化するのはもちろんのこと、特に高温度高湿度
下においても、半導体装置、やその他の電子回路部品の
特性を維持できる封止用樹脂の開発が強く望まれている
。発明者らは、上述のような要望を満足できる樹脂につ
いて検討した結果、高温度、高湿度下において、エポキ
シ樹脂組成物の体積固有抵抗の劣化Ｊが少なければ、半
導体装置や電子回路部品の特性を維持できることを見い
出し、本発明に至つた。
ところで、アミン類には脂肪族ポリアミン、芳香族アミ
ン、ポリアミド樹脂などがあり、これらを硬化剤に用い
たエポキシ樹脂組成物は比較的低・ い温度で硬化する
が、硬化剤として用いられるアミン類が化学的に活性な
ために貯蔵安定性に欠ける。そして、特に低沸点のもの
はアミン化合物特有の臭気をともない、毒性を有すると
いう欠点もある。また、酸無水物系の硬化剤を用いたエ
ポキシ樹脂組成物は、比較的貯蔵安定性に優れているが
、硬化に高温、長時間を要する。
ン、ポリアミド樹脂などがあり、これらを硬化剤に用い
たエポキシ樹脂組成物は比較的低・ い温度で硬化する
が、硬化剤として用いられるアミン類が化学的に活性な
ために貯蔵安定性に欠ける。そして、特に低沸点のもの
はアミン化合物特有の臭気をともない、毒性を有すると
いう欠点もある。また、酸無水物系の硬化剤を用いたエ
ポキシ樹脂組成物は、比較的貯蔵安定性に優れているが
、硬化に高温、長時間を要する。
そこで、第３級アミンなどの硬化促進剤を併用して、硬
化条件の短縮が図られている。しかしながら、硬化促進
剤を用いると硬化性は向上するが、その反面、貯蔵安定
性が著しく低下するという欠点が新たに生じる。フエノ
ール樹脂を硬化剤に用いたエポキシ樹脂組成物は、フエ
ノール樹脂単独であれば硬化性に劣るけれども、硬化促
進剤を併用すれば硬化性に優れ、貯蔵安定性もあまり低
下しない組成物となることは公知であり、硬化促進剤と
してはイミダゾール類が適している。
化条件の短縮が図られている。しかしながら、硬化促進
剤を用いると硬化性は向上するが、その反面、貯蔵安定
性が著しく低下するという欠点が新たに生じる。フエノ
ール樹脂を硬化剤に用いたエポキシ樹脂組成物は、フエ
ノール樹脂単独であれば硬化性に劣るけれども、硬化促
進剤を併用すれば硬化性に優れ、貯蔵安定性もあまり低
下しない組成物となることは公知であり、硬化促進剤と
してはイミダゾール類が適している。
しかしながら、熱水に可溶なイミダゾールを硬化促進剤
として加えたエポキシ樹脂組成物は、高温度、高湿度下
において体積固有抵抗が低下し、半導体装置やその他の
電子回路部品の特性も劣化するので、好ましくない。す
なわち、本発明の目的に適したイミダゾールは２−ウン
デシルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール、
１−シアノエチル２−ウンデシルイミダゾール、および
２，４−ジアミノ−６一〔２″−ウンデシルーイミダゾ
リル一｛１Ｙ〕一エチル一Ｓ−トリアジンから選ばれる
イミダゾール化合物に限られる。また、これら硬化促進
剤としてのイミダゾール化合物の添加量は、硬化剤のフ
エノール樹脂１００重量部に対して、０．５〜６重量部
の範囲が望ましい。それが０．５重量部よりも少ないと
、硬化促進効果が乏しく、組成物の硬化性が劣り、また
６重量部よりも多くなると貯蔵安定性が悪くなる。さら
に詳細に検討した結果、下記組成式で表わされるアルキ
ルアリールシルセスキオキサン系シリコーン化合物（た
だし、式においてＲ１〜Ｒ６はＣ６〜Ｑのアリール基ま
たはＣ１〜Ｃ４のアルキル基）を添加すれば、高温度、
高湿度下において、エポキシ樹脂組成物の体積固有抵抗
の劣化が少なくなり、半導体装置やその他の電子回路部
品の封止に適した特性の良好な樹脂の得られることがわ
かつた。
として加えたエポキシ樹脂組成物は、高温度、高湿度下
において体積固有抵抗が低下し、半導体装置やその他の
電子回路部品の特性も劣化するので、好ましくない。す
なわち、本発明の目的に適したイミダゾールは２−ウン
デシルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール、
１−シアノエチル２−ウンデシルイミダゾール、および
２，４−ジアミノ−６一〔２″−ウンデシルーイミダゾ
リル一｛１Ｙ〕一エチル一Ｓ−トリアジンから選ばれる
イミダゾール化合物に限られる。また、これら硬化促進
剤としてのイミダゾール化合物の添加量は、硬化剤のフ
エノール樹脂１００重量部に対して、０．５〜６重量部
の範囲が望ましい。それが０．５重量部よりも少ないと
、硬化促進効果が乏しく、組成物の硬化性が劣り、また
６重量部よりも多くなると貯蔵安定性が悪くなる。さら
に詳細に検討した結果、下記組成式で表わされるアルキ
ルアリールシルセスキオキサン系シリコーン化合物（た
だし、式においてＲ１〜Ｒ６はＣ６〜Ｑのアリール基ま
たはＣ１〜Ｃ４のアルキル基）を添加すれば、高温度、
高湿度下において、エポキシ樹脂組成物の体積固有抵抗
の劣化が少なくなり、半導体装置やその他の電子回路部
品の封止に適した特性の良好な樹脂の得られることがわ
かつた。
上記アルキルアリールシルセスキオキサン系シリコーン
樹脂は、組成物全量１００重量部に対して０．０５〜１
．０重量部含まれていることが望ましい。
樹脂は、組成物全量１００重量部に対して０．０５〜１
．０重量部含まれていることが望ましい。
それが０．０５重量部より少なくなると、その添加効果
が乏しくなり、また、１．０重量部より多くなると、添
加による効果の向上があまり認められなくなつて、むし
ろ組成物のコストが高くなるので好ましくない。本発明
において用いられるエポキシ樹脂は、１分子中に２個以
上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であつて、ビスフ
エノールＡ型エポキシ樹脂、フエノールノボラツクエポ
キシ樹脂、クレゾールノボラツクエポキシ樹脂などがあ
る。
が乏しくなり、また、１．０重量部より多くなると、添
加による効果の向上があまり認められなくなつて、むし
ろ組成物のコストが高くなるので好ましくない。本発明
において用いられるエポキシ樹脂は、１分子中に２個以
上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であつて、ビスフ
エノールＡ型エポキシ樹脂、フエノールノボラツクエポ
キシ樹脂、クレゾールノボラツクエポキシ樹脂などがあ
る。
また、フエノール樹脂としては、フエノール、クレゾー
ル、キシレノールなどのフエノール類とホルムアルデヒ
ドなどを、酸性または塩基性の触媒下で反応させたもの
、前記フエノール類を脱水素、熱重合したものなどが使
用できる。
ル、キシレノールなどのフエノール類とホルムアルデヒ
ドなどを、酸性または塩基性の触媒下で反応させたもの
、前記フエノール類を脱水素、熱重合したものなどが使
用できる。
本発明のエポキシ樹脂組成物には、必要に応じて、充て
ん剤、着色剤、難燃化剤、離型剤などを添加することが
できる。
ん剤、着色剤、難燃化剤、離型剤などを添加することが
できる。
次に本発明についてその実施例、比較例をあげて説明す
る。
る。
〔実施例 １〕
クレゾールノボラツク型エポキシ樹脂（エポキシ当量２
１５）１００重量部、ノボラツクフエノール樹脂（分子
量７００）５０重量部、２−ウンデシルイミダゾール１
重量部、アルキルアリールシルセスキオキサン系シリコ
ーン化合物（東レシリコーン（株）製「ＳＨ６Ｏｌ８」
）１重量部、石英ガラス粉３００重量部、ステアリン酸
２重量部、およびカーボンブラツク１重量部を、あらか
じめ９５〜１０５℃の範囲内の温度に加熱された２本ロ
ールで２０分間混練し、シート状に取り出し、粉砕し、
組成物を得た。
１５）１００重量部、ノボラツクフエノール樹脂（分子
量７００）５０重量部、２−ウンデシルイミダゾール１
重量部、アルキルアリールシルセスキオキサン系シリコ
ーン化合物（東レシリコーン（株）製「ＳＨ６Ｏｌ８」
）１重量部、石英ガラス粉３００重量部、ステアリン酸
２重量部、およびカーボンブラツク１重量部を、あらか
じめ９５〜１０５℃の範囲内の温度に加熱された２本ロ
ールで２０分間混練し、シート状に取り出し、粉砕し、
組成物を得た。
〔実施例 ２〕クレゾールノボラツク型エポキシ樹脂（
エポキシ当量２２０）８０重量部、臭素化ノボラツクエ
ポキシ樹脂（エポキシ当量３００）２０重量部、ポリＰ
−ビニルフエノール樹脂（分子量３５００）４０重量部
、２−ヘプタデシルイミダゾール２重量部、アルキルア
リールシルセスキオキサン系シリコーン樹脂（東レシリ
コーン（株）製「ＳＨ６Ｏｌ８」）１重量部、シｊリカ
粉２５０重量部、三酸化アンチモン１５重量部、カルナ
バワツクス２重量部、および功一ボンブラツク１重量部
を、実施例１と同じ条件でロール混練して組成物を得た
。
エポキシ当量２２０）８０重量部、臭素化ノボラツクエ
ポキシ樹脂（エポキシ当量３００）２０重量部、ポリＰ
−ビニルフエノール樹脂（分子量３５００）４０重量部
、２−ヘプタデシルイミダゾール２重量部、アルキルア
リールシルセスキオキサン系シリコーン樹脂（東レシリ
コーン（株）製「ＳＨ６Ｏｌ８」）１重量部、シｊリカ
粉２５０重量部、三酸化アンチモン１５重量部、カルナ
バワツクス２重量部、および功一ボンブラツク１重量部
を、実施例１と同じ条件でロール混練して組成物を得た
。
〔実施例 ３〕
クレゾールノボラツク型エポキシ樹脂（エポキシ当量２
１５）８０重量部、ビスフエノールＡ型エポキシ樹脂（
エポキシ当量５００）２０重量部、ノボラツクフエノー
ル樹脂（分子量８００）４５重量部、２，４−ジアミノ
−６−〔２″−ウンデシルーイミ５ダゾリル（１）″〕
一エチル一Ｓ−トリアジン２重量部、アルキルアリール
シルセスキオキサン系シリコーン樹脂（東レシリコーン
（株）製「ＳＨ６Ｏｌ８」）１重量部、石英ガラス粉３
００重量部、ステアリン酸亜鉛２重量部、およびカーボ
ンブラツク１重量部を、実施例１と同じ条件でロール混
練し、組成物を得た。
１５）８０重量部、ビスフエノールＡ型エポキシ樹脂（
エポキシ当量５００）２０重量部、ノボラツクフエノー
ル樹脂（分子量８００）４５重量部、２，４−ジアミノ
−６−〔２″−ウンデシルーイミ５ダゾリル（１）″〕
一エチル一Ｓ−トリアジン２重量部、アルキルアリール
シルセスキオキサン系シリコーン樹脂（東レシリコーン
（株）製「ＳＨ６Ｏｌ８」）１重量部、石英ガラス粉３
００重量部、ステアリン酸亜鉛２重量部、およびカーボ
ンブラツク１重量部を、実施例１と同じ条件でロール混
練し、組成物を得た。
〔実施例 ４〕
フエノールノボラツク型エポキシ樹脂（エポキシ当量１
８５）１００重量部、ノボラツクフエノール樹脂（分子
量７００）５５重量部、１−シアノエチル２ーウンデシ
ルイミダゾール１．５重量部、アルキルアリールシルセ
スキオキサン系シリコーン樹脂（東レシリコーン（株）
製「ＳＨ６Ｏｌ８」）１重量部、シリカ粉３００重量部
、ステアリン酸２重量部、および功一ボンブラツク１重
量部を、実施例１と同じ条件でロール混練し、組成物を
得た。
８５）１００重量部、ノボラツクフエノール樹脂（分子
量７００）５５重量部、１−シアノエチル２ーウンデシ
ルイミダゾール１．５重量部、アルキルアリールシルセ
スキオキサン系シリコーン樹脂（東レシリコーン（株）
製「ＳＨ６Ｏｌ８」）１重量部、シリカ粉３００重量部
、ステアリン酸２重量部、および功一ボンブラツク１重
量部を、実施例１と同じ条件でロール混練し、組成物を
得た。
〔比較例 １〕
クレゾールノボラツク型エポキシ樹脂（エポキシ当量２
１５）１００重量部、アルキルアリールシルセスキオキ
サン系シリコーン樹脂（東レシリコーン（株）製「ＳＨ
６Ｏｌ８」）１重量部、石英ガラス粉３００重量部、ス
テアリン酸２重量部、およびカーボンブラツク１重量部
を、実施例１と同じ条件でロール混練し、組成物を得た
。
１５）１００重量部、アルキルアリールシルセスキオキ
サン系シリコーン樹脂（東レシリコーン（株）製「ＳＨ
６Ｏｌ８」）１重量部、石英ガラス粉３００重量部、ス
テアリン酸２重量部、およびカーボンブラツク１重量部
を、実施例１と同じ条件でロール混練し、組成物を得た
。
この組成物の硬化剤として、４，４″−ジアミノジフエ
ニルメタン２０重量部を使用した。〔比較例 ２〕 クレゾールノボラツク型エポキシ樹脂（エポキシ当量２
２０）８０重量部、臭素化ノボラツクエポキシ樹脂（エ
ポキシ当量３００）２０重量部、無水テトラヒドロフタ
ル酸６０重量部、２−ヘプタデシルイミダゾール０．５
重量部、アルキルアリールシルセスキオキサン系シリコ
ーン樹脂（東レシリコーン（株）製「ＳＨ６Ｏｌ８」）
１重量部、シリカ粉２５０重量部、三酸化アンチモン１
５重量部、カルナバワツクス２重量部、およびカーボン
ブラツク１重量部を、実施例１と同じ条件でロール混練
し、組成物を得た。
ニルメタン２０重量部を使用した。〔比較例 ２〕 クレゾールノボラツク型エポキシ樹脂（エポキシ当量２
２０）８０重量部、臭素化ノボラツクエポキシ樹脂（エ
ポキシ当量３００）２０重量部、無水テトラヒドロフタ
ル酸６０重量部、２−ヘプタデシルイミダゾール０．５
重量部、アルキルアリールシルセスキオキサン系シリコ
ーン樹脂（東レシリコーン（株）製「ＳＨ６Ｏｌ８」）
１重量部、シリカ粉２５０重量部、三酸化アンチモン１
５重量部、カルナバワツクス２重量部、およびカーボン
ブラツク１重量部を、実施例１と同じ条件でロール混練
し、組成物を得た。
〔比較例 ３〕
クレゾールノボラツク型エポキシ樹脂（エポキシ当量２
１５）８０重量部、ビスフエノールＡ型エポキシ樹脂（
エポキシ当量５００）２０重量部、ノボラツクフエノー
ル樹脂（分子量８００）４５重量部、１−シアノエチル
２−エチル４−メチルイミダゾール２重量部、アルキル
アリールシルセスキオキサン系シリコーン樹脂（東レシ
リコーン（株）製「ＳＨ６Ｏｌ８」）１重量部、石英ガ
ラス粉３００重量部、ステアリン酸亜鉛２重量部、およ
びカーボンブラツタ１重量部を、実施例１と同じ条件で
ロール混練し、組成物を得た。
１５）８０重量部、ビスフエノールＡ型エポキシ樹脂（
エポキシ当量５００）２０重量部、ノボラツクフエノー
ル樹脂（分子量８００）４５重量部、１−シアノエチル
２−エチル４−メチルイミダゾール２重量部、アルキル
アリールシルセスキオキサン系シリコーン樹脂（東レシ
リコーン（株）製「ＳＨ６Ｏｌ８」）１重量部、石英ガ
ラス粉３００重量部、ステアリン酸亜鉛２重量部、およ
びカーボンブラツタ１重量部を、実施例１と同じ条件で
ロール混練し、組成物を得た。
〔比較例 ４〕
フエノールノボラツク型エポキシ樹脂（エポキシ当量１
８５）１００重量部、ノボラツクフエノール樹脂（分子
量７００）５５重量部、１−シアノエチル２ウンデシル
イミダゾール１．５重量部、シリカ粉３００重量部、ス
テアリン酸２重量部、および功一フボンブラツク１重量
部を、実施例１と同じ条件でロール混練し、組成物を得
た。
８５）１００重量部、ノボラツクフエノール樹脂（分子
量７００）５５重量部、１−シアノエチル２ウンデシル
イミダゾール１．５重量部、シリカ粉３００重量部、ス
テアリン酸２重量部、および功一フボンブラツク１重量
部を、実施例１と同じ条件でロール混練し、組成物を得
た。
上述の実施例１〜４、比較例１〜４で得た組成物につい
て諸特性を調べた。
て諸特性を調べた。
硬化性については、ＪＩＳＣ２ｌＯ４に準拠して、１８
０℃におけるゲルタイム５で評価した。貯蔵安定性につ
いては、４０℃に調整された乾燥機中に放置し、ＥＭＭ
Ｉｌ−６６に準拠して、５０％スパイラルフローを失う
日数をもつて評価した。体積固有抵抗については、６５
ｍｍの円板に成形し、初期値と２５時間煮沸後の体積固
有抵抗を０もつて評価した。高温、高湿度下の特性評価
は、温度８５℃、相対湿度９５〜１００％の雰囲気中に
モデルトランジスタを放置したときの耐圧劣化をもつて
行なつた。以上の結果を下表に示す。上表より明らかな
ように、本発明によるエポキシ樹脂組成物は、貯蔵安定
性に優れ、加熱することによつてすみやかに硬化すると
ともに、高温度、高湿度下の体積固有抵抗の劣化が少な
く、半導体装置やその他の電子回路部品の封止用樹脂と
してきわめて有用なものである。
０℃におけるゲルタイム５で評価した。貯蔵安定性につ
いては、４０℃に調整された乾燥機中に放置し、ＥＭＭ
Ｉｌ−６６に準拠して、５０％スパイラルフローを失う
日数をもつて評価した。体積固有抵抗については、６５
ｍｍの円板に成形し、初期値と２５時間煮沸後の体積固
有抵抗を０もつて評価した。高温、高湿度下の特性評価
は、温度８５℃、相対湿度９５〜１００％の雰囲気中に
モデルトランジスタを放置したときの耐圧劣化をもつて
行なつた。以上の結果を下表に示す。上表より明らかな
ように、本発明によるエポキシ樹脂組成物は、貯蔵安定
性に優れ、加熱することによつてすみやかに硬化すると
ともに、高温度、高湿度下の体積固有抵抗の劣化が少な
く、半導体装置やその他の電子回路部品の封止用樹脂と
してきわめて有用なものである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、および変性剤
からなり、前記硬化促進剤が２−ウンデシルイミダゾー
ル、２−ヘプタデシルイミダゾール、１−シアノエチル
２−ウンデシルイミダゾール、ならびに２，４−ジアミ
ノ−６−〔２′−ウンデシル−イミダゾリール−（１′
）〕−エチル−Ｓ−トリアジンから選択された少なくと
も一つのイミダゾール化合物であり、前記変性剤が下記
化学式で表わされるアルキルアリールシルセスキオキサ
ン系シリコーン化合物であることを特徴とするエポキシ
樹脂組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼ ただし、上式においてＲ＿１〜Ｒ＿６はＣ＿６〜Ｃ＿９
のアリール基またはＣ＿１〜Ｃ＿４のアルキル基。 ２ 硬化剤がフェノール樹脂であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項に記載のエポキシ樹脂組成物。 ３ 硬化促進剤が硬化剤１００重量部に対して０．５〜
６重量部含まれていることを特徴とする特許請求の範囲
第１項に記載のエポキシ樹脂組成物。 ４ 変性剤が組成物全量１００重量部に対して０．０５
〜１．０重量都合まれていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のエポキシ樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15865779A JPS5952893B2 (ja) | 1979-12-05 | 1979-12-05 | エポキシ樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15865779A JPS5952893B2 (ja) | 1979-12-05 | 1979-12-05 | エポキシ樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5681333A JPS5681333A (en) | 1981-07-03 |
| JPS5952893B2 true JPS5952893B2 (ja) | 1984-12-21 |
Family
ID=15676492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15865779A Expired JPS5952893B2 (ja) | 1979-12-05 | 1979-12-05 | エポキシ樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5952893B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4555532A (en) * | 1983-10-14 | 1985-11-26 | Hitachi, Ltd. | Epoxy resin composition |
| JPH0682764B2 (ja) * | 1985-11-28 | 1994-10-19 | 日東電工株式会社 | 半導体装置 |
| JP2585384B2 (ja) * | 1988-07-28 | 1997-02-26 | 東芝シリコーン株式会社 | 封止用樹脂組成物 |
| JPH0770408A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-03-14 | Nitto Denko Corp | 半導体装置 |
| JP3941262B2 (ja) * | 1998-10-06 | 2007-07-04 | 株式会社日立製作所 | 熱硬化性樹脂材料およびその製造方法 |
| US8053159B2 (en) | 2003-11-18 | 2011-11-08 | Honeywell International Inc. | Antireflective coatings for via fill and photolithography applications and methods of preparation thereof |
| JP2007070600A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-03-22 | Asahi Kasei Corp | 封止材用組成物及び光学デバイス |
-
1979
- 1979-12-05 JP JP15865779A patent/JPS5952893B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5681333A (en) | 1981-07-03 |
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