JPS59501482A

JPS59501482A - ポジ形複写層用の水性アルカリ現像液およびポジ形複写層の現像法

Info

Publication number: JPS59501482A
Application number: JP58502585A
Authority: JP
Inventors: シモン・ウルリツヒ; ボイテル・ライナ−
Original assignee: ヘキスト　アクチエンゲゼルシヤフト
Priority date: 1982-08-13
Filing date: 1983-08-03
Publication date: 1984-08-16
Also published as: DE3230171A1; CA1251678A; FI75680C; EP0101010A1; US4530895A; FI75680B; FI843564A0; ZA835090B; AU1825083A; FI843564L; DK189184D0; EP0131575B1; EP0131575A1; JPH0431105B2; AU556217B2; DE3373370D1; WO1984000826A1; DK189184A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】ポジ形（写）鰻を現像するためのアルカリ水溶液およびこの層を現像する方法本発明はケイ酸塩および少なくとも１つの也の取分を主体とするホゾ形感光性複写層のた６の水性アルカリ現像液およびこのＩ−を現像する方法Ｖこ関する。

感光性複写層はたとえばオフセット印刷７反また・まホトレゾス（以下両方とも複写材料と称する。）＃造の際使用され、すなわちこの複写層は一般に消費者または工菓的メーカによって層支持体に被ｄｋされる。この複写材料の層支持体としては亜鉛、マグネシウム、クロム、鋼、＊虜、鋼、ケイ素、アルミニウムのような金属もしくはこれら金属の組合せ、プラスチックシート、紙または同様の材料が１吏用される。この層支持体は変性前処理なしに、しカーしとくｃこ機械的、化学Ｉｌ＋′：１３よび（または）域気化学的徂面化、数比および（または）親水性化剤による処ｊ４（たとえばオフセット印刷版の支持体の場合）のような表面変性実施説、感光性複写層で被榎される。普通の複写層は少なくとも１つの感九曲化合吻のほかに多くほざらシこ有ｌ！１頑合剤（値）」ゴ４）および場合により可塑剤、顔料、染料、湿潤剤、渭感剤、付Ｓ収嵜剤、指示剤３よびその曲のに用助剤を含む。複写、−はその蕗光後現１象さ孔、噛から！オが発２　特表昭５９−５０１４８２　（２）生じ、このようζこしてたとえば印刷８ｖ　また：まホトレジストが得られる。

ホゾ形復写習の現ｉ象剤は（ａ放射が当った層部分（後の非１１！８ｉ１象部）を露光した層から溶出することができ、その涜放射が当らない、゛層部分（後の画１象部）にほとんど影４を与えてはならない。列として示す西独特肝第１２００１３３号（−米国特許術３１１０５９６号）明細４ｉこは適当な現１象剤としてたとえばリン酸省、ケイ酸塩、フルオロケイ酸塩、スズ酸塩、フルオロホウ酸項またはフルオロチタン酸塩のアルカリ水溶液が挙げられ、これらは場合によりさらに水溶性ハイｒロコロイドまたは有機溶削を含むことができる。

これらの水性アルカリ現像液を改善するため、技術水準Ｑこンますでにされｂて種々の方法または改善が記載される：Ｐｊル虫公＠特許公報第２８３４９５８号（＝哨アフリカ共和国特許７９／４１３１号４．洲書）にはＯ−ナフトキノンジアジド２よびアルカＩＪ　ｇ性ａｔＢ ″ｆｔを主体とするホゾ形感光層の現像法が記載され、層の露光した範囲は水性アルカリ現像液で洗い出され、この現像液ばａ）水ガラス、メタケイ酸ナトリウム、Ｎａ３ＰＯ４、Ｋ３ＰＯ４、Ｎａ２ＨＰＯ４、Ｋ２ＨＰＯ，、ＮａＯＨ５ＫＯＨ、ジエチルアミン、エタノールアミンまたはトリエタノールアミンのようなアルカリ性をこ反応する化合吻およびｂ）元素周期表の第１１ＡもしくはＭＡ族またはＩｌＢ族の元素たとえばカルシウム、ストロンチウムまた。・マバリゲムのような元素の塩、改化物よだ（・ば水ヌ化ｍそ言ひ。

英ｉ刊特許π１５９１９８−ｉ号明１１４っ１ら。−ナツトキノンジアジドエステルおよびアｌレヵり各ａ　（’ＪＴ　Ｉｆｆ　ｆ生年とｒるホゾ形１元層の現象法が公刊でうり、現檀剤、まａ）アルカリ住メタケイ酸ナトリウムまた’ｔｌ　Ｎａ　３　ＰＯ４の水溶液のようなアルカリ性水溶孜７５〜９９．５容量％２よびｂ）アルカノールまたはアルカンジオール（またはそのモノエーテル）のような胃機浴削０．５〜２５容寸チを含む。他の成分としてＮａＯＨ、安息香酸ナトリウム、ジメチルホルムアミド、ポリエチレングリコール、Ｎａ２ＨＰＯ４２よびテトラナトリウムエチレンジアミンテトラアセテートら挙げらｎる。

Ｍ、Ｊ、Ｇｒｉｅｃｏ　４はＩＢＭ−Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　ＤｉｓｃｌｏｓｕｒｅＢｕｌｌｅｔｉｎ　Ｘｖｏｌｌ　３．７ｇ６７．１２／１９７０．　２００９ページをこＰＨ１直９〜１３および水酸化テトラメチルアンモニウム含量５〜２５チの水性よた。まアルコール注−アルカリ浴ｇ　（Ｎａ＋イオンを含まｒ）をホゾ形ホトレゾストの現像に適するとして挙げている。

ｆｉ−開昭５０−１５８２８０号（１９７５手１２月２２日公開）による半導体ｌｉｎ造の場合０−ナフトキノンジアジド３よびノボラック樹脂を主体とするポジ形ホトレジストは水酸化テトラメチルアンモニウム１〜４貞重係を含む水浴液で現像されるｄ特公昭５３−４４２３号（１９７８手２月１７日公告）には水酸化テトラアルキルアンモニウム（０１〜Ｃ，のアルキル）の水性また（まアルコール性浴液が０ −ナフトキノンジアゾｒおよび）ぜラックｍ指を主体とするポジ形ホトレゾストの現１象；こ一傾すると記載される。水＋Ｊ　ｊヒテトラヒドロキシエチルアンモニウムも現１家Ｉ！ｉＩｊ茂汁としで挙げられているけれど、ｂ下り適当でないと記、Ｊ！される。

画法公開特許公４第２３１２４９９号（−英国特許４１３６７８３０号）からゾアデキノンーシロキサンぢよびアルカリ浴性結合剤を主体とするホゾ形ホトレゾストが公刊であり、これは水酸化テトラメチルアンモニウム１．７重量チおよびアニオン団界面活性剤を含む水浴液で現像される。

米国特許第４１４１７３３号明補４・こよるホトレジス）Ｅよび印刷版の分野に３けるキノンジアゾ−言有ポジ形盛光層の現像剤は水溶液に水酸化メチルトリヒドロキシエチルアンモニウム１〜６０重ｔ　％　ｆ含む。

比ＩＮ　ｒｌ　ｉこは水ＩＲ化化上トラメチル−２−テトラエチル２−ベンゾルーメチル−ジヒドロ干ジエチル−３よび一ベンゾルーヒドロキシェチルーゾメチルアンモニウムＧｙｖ用される。少なくとも１つのヒドロキシアルキル基をＭする水酸化第４アンモニウムはヨーロッパ持訂出頑公開公報第００２３．７５８号（米国特許第４２９４９１１号）によれば亜＃Ｌ戚項、ヒドロ亜珈曖塩またはピロ亜誠酸塩（ジ亜疏改塩、メタ亜瞳岐塩）のｍ　７ＪＯｊこよって安定化することができる。

しかし公却現１象剤はまだ少し欠点を有し、たとえばし！−１’Ｌば印刷版の支持材料の酸北アルミニウム壱を浸食し、または画像部のグラデーションを著しくフラットにする（軟か過ぎるグラデーション）。

そ１１．ゆえ不発明の目的は印刷、坂が現象削の：史用γこより複写Ｉ層の父性材料８はとんど受されることなく、画啄部に良好な屏家力で比改的硬いグラデーションが得ら几る、ボッ形感光性複写＋Ｊの現像剤を・尋ることである。

本発明、ｉケイ酸塩および少なくとも１つの曲の成分を正本とする感光ｊ生ポジ形（４層のための公知水性アルカリケイ酸塩）ら出発する。不発明（こよる現１逮液の特畝は第４アンモニウム塩基を含むことである。−Ｉアンモニウム塩基” とは水性アルカリ現、＃！孜外ですでに塩基として存在する化合物のみならず、たとえば現謙液甲で解離する第４アンモニウム塩のよう（こ、アルカリ水溶液中で・イオン平衡状態ｔこめる第４アンモニウムイオンｆ　４４　Ｔる化合切を含む。第４アンモニウム塩基はとくｌこ水該化テトラアルキルアンモニウムであり、そのアルキル直俣分は同じであり、または異ぼり、炭素原子を１〜６個含む。

こｎに、またとえば：水ボ化テトラメチルアンモニウム　（ＴＭＡＨ）水酸化テトラエチ・ルアンモニウム　（ＴＥＡＨ）水酸化テトラプロピルアンモニウム（ＴＰＡＨ）水酸化テトラブチルアンモニウム　（ＴＢＡＨ）水酸化トリブチルメチルアンモニウム（ＴＢＭＡＨ）が挙げられる。

水性アルカリ現１象液は各剤の水のほかに主としてケイ改塩七＜でメタケイ酸ナトリウムのようなアルカリケイ酸塩をとくンこ５〜１５重量％、有利（こ６〜１３重量％含′ｆＪ６ケイ酸塩＃度が比較的低い場合ｑ溶液中に存在する池の成分の量に応じて現１象後にスヵミングが現ｎる。しかしこの効果は製電または他成分のｆｆ１．ｄの変化４こよって防止することができる。

第４アンモニウム塩基はこの水性アルカリ現像液中（コ有利ｆコ０．００１〜１．０３ｉ量チと＜ｌｃｏ、０１１２〜０．１重量係の盪で存在する。有利な現像液は付加的に有機の、場合により置換された芳香族モノカルボン酸の塩、とくに場合により置換された安息香酸のアルカリ塩たとえば安息香酸す）　ＩＪウムまたはサリチル酸ナトリウムを０．０１〜１０．０重量％とくに０．１〜５．０重量％含む。すでに挙げた成分のほかに不発明による現像液は場合ζこよりさらに常用添加剤たとえばイオン性もしくは非イオン性界面活性剤、消泡剤、粘度調節剤、保存剤、錯化剤または（最高５重量％まで）水と混合しうる有機浴剤を含むことができる。

解決すべきもう１つの目的は層の露光した範囲を本発明による現像ｒＬＩこよって況い出す、アルミニウム系支持材料上の４光したホゾ形感光性複写層の現諌法である。

現憤すべき複写層：まとくにオフセット印刷版の一部（感光４　）としてよたｌ・ま支持材料上イこ破覆したレジメト（ホトレジスト−）として存在する。父性材料として；まとくにアルミニウムまたはその合金っＳ挙げられる。

支持体は特殊な変性前焔理なしくこ適当な連写・層をｔＬ慢することができるけれど、有利（ここの彼覆は＠械的、化学的および（または）電気化学的粗面化、酸化２よび（また′ま）親水性化剤による処理（とくにオフセット印刷版の支持体の場合）のような表面変性処理後に初めて実施される。

９８．５重量％を超えるＡｌおよび少鑓のＳｉ、Ｆｅ。

Ｔ１、Ｃｕ１８よびｚｎを含む実地に非常に多く使用される印刷版のアルミニウム支持材料は、一般に銭元層破覆前に機械的（たとえばブラシおよび（または）研削剤ｌこよる処理により）、化学的（たとえば＋４　ｉ　＠ｉこより）または醒気化学的（たとえばＨＣＡまた（まＨＮＯ３水浴液中の又流對理ζこより）に粗面化される。粗面化した表面の平均粗さＲＺは、ｆＪ１〜１５μｍの範囲にある。

粗さは１９７０年１０月発行のＤＩＮ　４７６８　Ｉｔこよってめ、その際祖ざＲ２は互いに隣接する５つの測定区間の谷粗さの算術平均である。

とくに使用した４気化学的粗面化法の後ζこ場合によつ適用されるもう１つの工程として、たとえば支持材料の表面の耐摩耗性および付着性を頃書するため、アルミニウムの陽極酸化が続く。４極酸化にはＨ２ＳＯ４、Ｈ３Ｐ０．、Ｈ２Ｃ２０４、アミ−スルホンｄｌ、スルホコハク酸、スルホサリチル酸またはその混合物のような常用ｔｇ液を１吏用することがで吉る。たとえばアルミニウムの・場函駿化用にＨ２ＳＯ４を含む水性域、４液を１吏用する場合、仄の砿４法が挙げられる（たとえばＭ、ＳｃｈθｎｋによるＷｅｒｋｓｔｏｆｆ　Ａｌｕｍｉｎｉｕｍ　ｕｎｄ　５ｅｉｎｅ　ａｎｏｄｉｓｃｈｅＣ）ｘｙｄａｔｉｏｎ　、　Ｆｒａｎｃｋｓ　Ｖｅｒｌａｇ−Ｂｅｒｎ　、、　１９４１３年、７６０ページ、Ｐｒａｋｔｉｓｃｈｅ　Ｇａ１ｖａｎｏｔｅｃｈｎｉｋ　、　ＥｕｇｅｎＧ、　Ｌｅｕｚｅ　Ｖｅｒｌａｇ−８ａｕ１ｇａｕ　、　１９７０手、６９５ぺよびＣ，Ｔ、ＳｐｅｉｇｅｒによるＤｉｅ　Ｐｒａｘｉｓ　ｄｅｒ　ａｎｏｄｉｓｃｈｅｎＯｘｊ４ａｔｉｏｎ　ｄｅｓ　Ａｌｕｍｉｎｉｕｍｓ　、　Ａｌｕｍｉｎｉｕｍｓ　Ｖｅｒｌａｇ−９直流硫酸？去”、こｎによれば通虜解欣１１当りＨ２Ｓ０４−ｌ！！Ｊ２ろＯｇを含む水性４屏液中で１０〜２２“Ｃおよび０．５〜２．５Ａ／ｄｍ２の１流ｔｊ度に８いて１０〜６０分場極譲１ヒが行わ几る。水性（４液の硫酸濃度はＨ２ＳＯ４８〜１０重徽％　（Ｈ２ＳＯ，約１０ＣＪＩ！／ｌ）まで低下し、または３０電赦％（ａ２ｓｏ、３６５．ｌｉ’／ｌ）以上に上昇することもできる。

″硬買４極設化”ハＨ２Ｓｏ、Ｊ度１６６　ｆｌ／ｌ　（マタは約２６０１／ＩりのＨ２ＳＯ，富有水性′区解漱中で０〜Ｓ−Ｃの作業孟夏、２〜ろＡ／ｄＪｎ ″の一流街・更において、処理の初期の２５〜３０Ｖから来期の約４０〜１００Ｖへ電圧を上昇しながら６０〜２００分間美癩される。

８］刷版支持材はのすで（こ前記した場極・滅化去のほかＶこさらに次の方法を使用することがでさる：Ａ１３＋イオン含量を１２ｇ／ｌより高い値に調節したＨ２ＳＯ４含有水性４解孜中（５檀公開特許公報４２８１１６９６号−米国特許４４２１１６１９号）、Ｈ２ＳＯ，およびＨ３Ｐ０．含有水注鑞眸夜甲（西独公開特杆公報外２７０７８１０号−米国特許第４０４９５０４号）またｌまＨ２ＳＯ，、Ｈ，ＰＯ，およびＡ１３＋イオン含有水性に解散中（西独公開特許公報第２８３６８０３号−米国時ｎ＠４２２９２２６号）゛のアルミニウムの、４極酸化。

４ｊ酸化にはとく（こ直流が使用されるけ孔ど、父＃、マたはこｎらの域流形式の組合せ（たとえば交流を重畳した直流）も使用することができる。脆化アルミニウムの１−重量は一般に約０．６〜６．０μｍの１厚に応して１〜１Ｑ、ｌｉｔ、／ｍ２の範囲内を変動する。

アルミニ・ラムからなる印刷版支持材料の４を極戚化工程のあとに１つまたはチ数の後処理工ｍ　／ｉ−４けることができる。この場合後処理とはとくに酸化アルミニウム層の化学的または１気化学而親水性化処理、たとえば５韻特許第１６２１４７８号（−英国荷許第１２３０４４７号）明細書によるポリビニルホスホン戚水浴液中の材料浸漬処理、西独特許公報第１４７１７０７号（＝米国特許第３１８１４６１号）によるアルカリケイ改塩素溶液中の浸漬処理また（・ま西洩公開特許公報第２５３２７６９号（−米国特許第３９０２９７６号）によるアルカリケイ竣塩水溶液甲の４気化学的処理（湯匝禰化）を表わす。この後６理工哩はとくすこ多くの使用分野のｔｖ　、！ｌ′）に丁でに十分な酸化アルミニウム層の親水性をさらｌこ寸ＤＯ的７こ上昇するために役立ち、その際この１嶋のその１也の公知曲直ンま少なくとも維持される。

本発明ζこよる水性アルカリ現１象液は原則的にすべてのポジ形複写層（こ適するけれど、とくに０−キノンジアジド、とくに低または高分子でありうるナフトキノン−（１，２）−ジアジド−（２）−スルホンＥ便エステルまたは−アミドのような０−ナフトキノンジアジドを感光性化合物として含む層に適する。これらの複写層はこれらのＯ−キノンジアゾＰの少なくとも１つのほかにアルカリ浴性樹脂たとえばフェノール樹脂、アクリルまたはメタクリル酸コーポリマー、マレイン鍍コー？リマーおよび塩を形成しうる基を含む他のポリマーを含む。とくにフェノール樹脂、有利にノざラックを含む。他の可能な層成分はとくに少量のアルカリ浴性樹脂、染料、可塑剤、付看改嵜剤デたは界面活性剤である。このような複写ノーはたとえば西独将許第８５４８９０号、８６５１０９号、８７９２０３号、８９４９５９号、９３８２３３号、１１０９５２１号１１４４７０５号、１１１８６０６号、１１２０２７３号、１１２４８１７号３よび２ろ３１３７７号ならびにヨーロッパ特許出頭公開公報第００２１４２８号２よび００５５８１４号ρこ記載される。

不発明Ｑこよ／）現像後のｌａＪ鐵部が比較的硬いグラデーション３よび良好な、導砿力を示すことが達成される。

この場合面１象部と非面１象部が明りょう−こ区別され、すなりち溶イすべき層成分゛ま面象部のζこじみを生ずることなく、残渣なしに除去さ几る。良好な現！−４目力にもかかわらず不発ＯＡｌとよる現−１Ｉｉ液は榎写蕎の支持材料とくに酸化アルミニウム層を、実際に普通の現像時間を適用する限り浸食しない。

技術水準の現・象液と比較して、同等の激しい酸化物浸食を生ずることなく、もつと１砧ａ更のケイ酸塩を１更用するこ七ができる。

以下の一重で予直は１教に、、、ｉｉ、Ｌ、事漣部、ま容★部（こ対しＪ対ｍ３の関係にある。

Ｐ１１〜１０Ｕ′６よび比較例■１〜■１６二酸中で電気化学的に粗面化し、陽極酸化したアルミニウム板（敵化物順直重約３．Ｖ／ｉ”）をポリビニルホスホン酸７に湛液による浸直工哩で親水圧に杖匙埋し、乾蒙する。このように前処理した支持材料へナフトキノン−（１，２）−ジアジド−（２）−５−スルホクロリド、クレゾール−ホルムアルデヒドノボラックおよび２．３．４−トリヒｒロキシーペンゾフエノンから塩基存在の５とに製造したジアゾチッ素含量４．７％のナフトキノンジアジドスルホン敵エステル　１．８２重４置部ナフトキノンー（１，２）−シアシト−（２）−４−スルホクロリ）Ｆ　０．２２重重部融点範１用（ＤＩＮ　５３１８１による）１０５〜１２０　’Ｃのタレデールーホルムアルヂヒｒノズラツク０．０７重量部テトラヒげロフランＳｇｙｔ部、エチレングリコールモノメチルエーテル４容量部および酢酸ブチルエステル１容を部からなる混合物　９１．１９重量部甲のクリスタルバイオレット　０．０８重量部からのポジ形感光性被ｄｉ（ヨーロッパ特許出願公開公報第００５５８１４号参照）を乾燥後２．３　ｇ／　ｍ２の一重量を有するように被覆する。このように製造した連写材料を憫どりしたポジオリジナルの下で橡に応じて１分間露光し、次に表に示す現！象液の１つで現像する。現像時間は２または１０分であり、すべての場合に２分後酸化物層侵食はほとんど認めら孔なかった。

不発明による組成の現鐵液とケイ酸塩および第４アンモニウム＠基成分の１つを除いた現鐵液との比較により、不発明による進歩Ｔなわら画像部の硬いグラデーションおよび酸化物浸食の有利な影４ｉ！（すなわち減少）が明ら力）ｉこなった。不発明の現Ｉ象液に安息香酸塩を添加せす、または添刀０孟をノ戚する場合、グラデーション３よび解１象力に関する測足１直に大きい変化は生じないけれど、安息香酸塩添加の場合、酸化物層侵食が低くなる方向への影響がある程度認められる。比較向■６〜Ｖ１５では第４アンモニウム塩基としてＴＥＡＲもＴＢＭＡＨｔ−、使用した。

グラデーションの硬さの尺度として１６階段３よびクサビ定数０．１５の露光試験クサビ（第１段の濃度０．１５、最終段のｄｅｌ、９５、たとえ・１Ｋａｌｌｅ、Ｎｉ　Ｑｄ−ｅ　ｒｌａｓｓｕｎｇ　ｄｅｒ　ＨＯｃｈｓｔ　ＡＧ力）ら市販されるＫａｌｌｅ露光試磯クサビＢりＯ１）上の−Ａ１ペタ段と最後の透明段の差がめらｎる、差が小ざいほどグラデーションは硬い。

解１象力はＦｏｇｒａｆｆ密測定ストリツ７°”　ＰＭＳ−Ｋ　”のいわゆるに領域で測定するＣ　Ｄｅｕｔｓｃｈｅｎ　Ｆｏｒｓｃｈｕｎｇｓ−ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ　ｆｕｒ　Ｄｒｕｃｋ−ｕｎｄ　Ｒｅｐｒｏｄｕｋｔｉｏｎｓｔｅｃｈｎｉ”、ｃｅｎａ、Ｖ、（Ｆｏｇｒａ　）、１９７９年１月−Ｍｕｎｃｈｅｎ発行の”　ｆｏｇｒａ　ｐｒａｘｉｓ　ｒｅｐｏｒｔ　”　４　２　４　、Ｄｉｅ　ＦＯＧＲＡ　−Ｐｒ’Ａｚｉｓｉｏｎｓ　−Ｍｅｓｓｔｒｅｉｆｅｎ″参照〕。Ｋ領域は４〜４参照層の９種の；嘔のギャップ８よび、腺を有する９つの部分領域を市む。各部分領域は線幅またはギャップｌｌ１ｇをμ扉で示す数字φ こよって表わされる。４〜４０の値を■するいわゆる”Ｋ値″（表参照）はそれぞｎ複写されたもつとも細い線領域を表わす。Ｋ櫃がたとえば４すなわち解は刀が４μｍの場合、＠４μ扉の線およびヤヤツゾは複写に３いて明らかに分離して複写される。

例イこおいてケイ酸塩としてはつねにＮａ２ＳｉＯ３・９Ｈ２０、安息香酸塩としては安息香酸すｌ−ＩＪウムを使用した。

５１７１　ｊ　！　１詩表昭５９−５０１４８２　（６）２１国際調査報告

Claims

【特許請求の範囲】１、　第４アンモニウム塩基を含ひことを特徴とする、ケイ酸塩、８よび少なくとも１つの他の成分を王手とするメジ形感光性４写層のたろの水性アルカリ現１象液。２、第４アンモニウム塩Ｉとして水酸化テトラアルキルアンモニウムを含み、そのアルキル４８分が同じであるかまたは異なり、かつ炭素原子１〜６個を含むことを特徴とする請求の範囲＄１１項記載現像液。ろ、　付刀口的に有機の、場合により置換された芳香族モノカルｆフ酸の塩を含むことを特徴とする請求の範囲第１項またｌま第２頃記載の現慎液。４、場合により置換された安息香酸の塩を含むことを特徴とする請求の範囲第６項記載の現像液。５、　ケイ酸塩５〜１５重着％３よび第４アンモニウム塩４．ｏ、ｏ　ｏ　ｉ〜１．０重噴チを含むことを特徴とする請求の範囲第１項から第４項までのいずれか１項に記４の現鐵液°。６、　塩を０．０１〜１０．０重着チ含むことを特徴とする請求の範囲第３項から第５項までのいずちか１項に２戒の現像液。Ｚ　アルミニウム系支持材料上の露光したポジ形感光性複写ノーを、層の露光した範囲を、ケイ酸塩２よび少なくとも１つの也の成分を含む水性アルカリ現謙液で況い出すことにより現漂する方法において、第４アするポジ形複写層を現像する方法。８、　現１象液が付加的（こ有機の、場合によｉ／）置換された芳香族モノカルぜン憤の塩を含むことを特徴とする請求の範囲第７項記載の方法。９４写層が感光性化合物としてのＯ−ナフトキノン−ジアジド３よびアルカリ溶性樹・信を吉むことを特徴とする請求の範囲第７項または第８頃記載の方法。１０、支持材料つＳ少なくとも１つの４蝋酸化・てより製造した酸化アルミニウム層を有することを特徴とする請求の＠帽第７項から茗９項までのいずれか１項ｌこ２戒の方法。