JPS5948959A - 絶縁ゲ−ト型トランジスタおよびその製造方法 - Google Patents

絶縁ゲ−ト型トランジスタおよびその製造方法

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JPS5948959A
JPS5948959A JP57159807A JP15980782A JPS5948959A JP S5948959 A JPS5948959 A JP S5948959A JP 57159807 A JP57159807 A JP 57159807A JP 15980782 A JP15980782 A JP 15980782A JP S5948959 A JPS5948959 A JP S5948959A
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insulating
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single crystal
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Kiyohiro Kawasaki
清弘 川崎
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D30/00—Field-effect transistors [FET]
    • H10D30/60—Insulated-gate field-effect transistors [IGFET]

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