JPS5948758A - 感光性樹脂および色分解フイルタ− - Google Patents
感光性樹脂および色分解フイルタ−Info
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- JPS5948758A JPS5948758A JP57160015A JP16001582A JPS5948758A JP S5948758 A JPS5948758 A JP S5948758A JP 57160015 A JP57160015 A JP 57160015A JP 16001582 A JP16001582 A JP 16001582A JP S5948758 A JPS5948758 A JP S5948758A
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- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive resin
- resin
- dyeing
- color
- color separating
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
- G03F7/0388—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable with ethylenic or acetylenic bands in the side chains of the photopolymer
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は印刷工業における各種の製版旧料やＵ■インキ
、電子工業における精密部品加工のだめのフォトレジス
トあるいは化学工業における紫外線硬化塗料などへ、広
く利用されている感光性樹脂に関するものであり、その
感光性樹脂に染色性を付与したものである。その用途と
１−では、樹脂のパターン形成後、染色し、光に関して
認識したり、尤を分光したりする分野に利用できる。具
体的には、ビデオディスク、カラービデオカメラ。
、電子工業における精密部品加工のだめのフォトレジス
トあるいは化学工業における紫外線硬化塗料などへ、広
く利用されている感光性樹脂に関するものであり、その
感光性樹脂に染色性を付与したものである。その用途と
１−では、樹脂のパターン形成後、染色し、光に関して
認識したり、尤を分光したりする分野に利用できる。具
体的には、ビデオディスク、カラービデオカメラ。
レンズの着色、 ＣＲＴ・ディスプレイの反射防止膜等
がある。以下、カラービデオカメラの色分解フィルター
を例に詳細に説明する。
がある。以下、カラービデオカメラの色分解フィルター
を例に詳細に説明する。
従来例の構成とその問題点
色分解用フィルターは一例として固体撮像素子を用いた
カラーテレビ用カメラのカラー化のために、固体撮像素
子の受光素子面に色要素をモザイク状あるいはストライ
プ状に配列して用いられる。
カラーテレビ用カメラのカラー化のために、固体撮像素
子の受光素子面に色要素をモザイク状あるいはストライ
プ状に配列して用いられる。
用いられる色要素としては、最も一般的には青、赤およ
び緑である。従来の色分解フィルターの製造において用
いられている染色性を有する感光性樹脂としては、ゼラ
チンあるいはカゼインナトの蛋白質に光架橋剤と１〜で
、重クロム酸アンモニウムあるいは重クロム酸カリウム
などを添加した感光性組成物が用いられている。色分解
フィルターの一般的製造方法としては、ゼラチンあるい
はカゼイン（６価クロムを含む）をガラス板にスピンコ
ード法で、塗布し、マスクを介して、紫外線を照射１−
色要素染着層の潜像を形成し、現像により色要素染着層
を顕在化する。
び緑である。従来の色分解フィルターの製造において用
いられている染色性を有する感光性樹脂としては、ゼラ
チンあるいはカゼインナトの蛋白質に光架橋剤と１〜で
、重クロム酸アンモニウムあるいは重クロム酸カリウム
などを添加した感光性組成物が用いられている。色分解
フィルターの一般的製造方法としては、ゼラチンあるい
はカゼイン（６価クロムを含む）をガラス板にスピンコ
ード法で、塗布し、マスクを介して、紫外線を照射１−
色要素染着層の潜像を形成し、現像により色要素染着層
を顕在化する。
次に、これを染料により染色する方法が行なわれている
。赤、緑および青の各色要素層を形成するために、３回
繰返し積層が行なわれ色分解フィルターが形成され、そ
れを固体撮像素子面に接着し、使用される。したがって
−このような工程を・経て、製作される色分解用フィル
ターに使用される染色性を有する感光性樹脂に要求され
る性能としては、第１に解像度が艮いこと、第２に保存
性の良いこと、第３に染色しやすいことおよび第４に感
光性樹脂と現像液に公害を引き起す恐れのないことが挙
げられる。現在広く使用されているカゼインおよびゼラ
チンを原ず＋とする感光性樹脂は解像度に関ｌ〜ではほ
ぼｉｉ：／ａ足する性能を示しているが、水に対する溶
解度を一ヒげるためにアルカリが使用されており、その
ため、暗反応により暗所においても樹脂の加水分解がす
すみ、徐々に変質して使用不可能となる。寸だ、光架橋
剤と［〜て、重クロム酸アンモニウムや重クロム酸カリ
ウムなどの六価クロムを含有するため、廃棄のためには
排水処理の設備が必要となる。さらに、染色性について
は、膜厚に大きく依存し、染色の条件とｌ〜では、高温
・長時間を必要とする。樹脂の膜厚が厚くなると、樹脂
を硬化させるに必要な紫外線の照射；ｊｌ（露光量）が
多くなるだけでなく、マスクによって光を遮断されてい
る部分にまで回折によって光が照射されるため解像度が
低下する。そのため樹脂の膜厚ばできるだけ薄いことが
要求される。
。赤、緑および青の各色要素層を形成するために、３回
繰返し積層が行なわれ色分解フィルターが形成され、そ
れを固体撮像素子面に接着し、使用される。したがって
−このような工程を・経て、製作される色分解用フィル
ターに使用される染色性を有する感光性樹脂に要求され
る性能としては、第１に解像度が艮いこと、第２に保存
性の良いこと、第３に染色しやすいことおよび第４に感
光性樹脂と現像液に公害を引き起す恐れのないことが挙
げられる。現在広く使用されているカゼインおよびゼラ
チンを原ず＋とする感光性樹脂は解像度に関ｌ〜ではほ
ぼｉｉ：／ａ足する性能を示しているが、水に対する溶
解度を一ヒげるためにアルカリが使用されており、その
ため、暗反応により暗所においても樹脂の加水分解がす
すみ、徐々に変質して使用不可能となる。寸だ、光架橋
剤と［〜て、重クロム酸アンモニウムや重クロム酸カリ
ウムなどの六価クロムを含有するため、廃棄のためには
排水処理の設備が必要となる。さらに、染色性について
は、膜厚に大きく依存し、染色の条件とｌ〜では、高温
・長時間を必要とする。樹脂の膜厚が厚くなると、樹脂
を硬化させるに必要な紫外線の照射；ｊｌ（露光量）が
多くなるだけでなく、マスクによって光を遮断されてい
る部分にまで回折によって光が照射されるため解像度が
低下する。そのため樹脂の膜厚ばできるだけ薄いことが
要求される。
そこで、樹脂の染色性としては、薄い膜厚で必要な分光
特性を得るだけの染着濃度を低温度でしかも短時間とい
う染色条件で得られることが必要となる。そのため、カ
ゼインやゼラチンのように０．８μｍ以上の膜厚を必要
とし、また高温・長時間の染色条件を必要とする樹脂は
不適当である。
特性を得るだけの染着濃度を低温度でしかも短時間とい
う染色条件で得られることが必要となる。そのため、カ
ゼインやゼラチンのように０．８μｍ以上の膜厚を必要
とし、また高温・長時間の染色条件を必要とする樹脂は
不適当である。
発明の目的
本発明は、低温度でしかも短時間で染色できるという染
色性の高い解像度の良い感光性樹脂およびこれを用いた
色分解カラーフィルターを提供するものである。
色性の高い解像度の良い感光性樹脂およびこれを用いた
色分解カラーフィルターを提供するものである。
発明の構成
本発明の感光性組成物（は以下の分子設計によりなされ
たものである。すなわち、感光性の機能を有する化合物
と染色性の機能を有する化合物を共重合する。具体的に
は、感光性の機能としては紫外光により容易に二Ｍ化す
るカッＬ、コン系の化合物を用い、染色性の機能を有す
る化合物と１−では、第３級アミンの構造を有しかつ重
合可能な不飽和結合を有する化合物を用いる３、この様
な化合物全共重合した共重合物が前記目的を達成するこ
とができる。第３級アミンの構造を有しかつ重合可能な
不Ｆ′ｌす和結合を有する化合物を挙げれはン欠の如く
である。
たものである。すなわち、感光性の機能を有する化合物
と染色性の機能を有する化合物を共重合する。具体的に
は、感光性の機能としては紫外光により容易に二Ｍ化す
るカッＬ、コン系の化合物を用い、染色性の機能を有す
る化合物と１−では、第３級アミンの構造を有しかつ重
合可能な不飽和結合を有する化合物を用いる３、この様
な化合物全共重合した共重合物が前記目的を達成するこ
とができる。第３級アミンの構造を有しかつ重合可能な
不Ｆ′ｌす和結合を有する化合物を挙げれはン欠の如く
である。
■アクリルアミド
ＣＨ２二ＣＨＣＯＮＨ２
■メタアクリルアミド
ＣＨ３
♂
ＧＨ２＝ Ｇ−ＣＯＮＨ２
■ジメチルアミノブロピルメタアクリルアミト■ジメチ
ルアミンメチルアクリルアミド＠）ジメチルメタアクリ
ルアミド ■ジメチルアミンエチルメタクリレートなどである。
ルアミンメチルアクリルアミド＠）ジメチルメタアクリ
ルアミド ■ジメチルアミンエチルメタクリレートなどである。
カルコン系化合物としての４７−メタクロイロキノカル
コンおよび４−メタクロイロキシカルコン′の少くとも
一種と、例示した第３級アミンの構造を有しかつ重合可
能な不飽和結合を有する単量体を共重合した感光性樹脂
は極めて安定で、暗所に保存すれば、−か年以上の貯蔵
に耐えるととができる。さらに、この感光性樹脂をガラ
ス板に塗布し、紫外線照射を行なった後、染色を行なう
とゼラチンあるいはカゼインの重クロム酸アンモニウム
使用に比較して次の様な利点を持っている。
コンおよび４−メタクロイロキシカルコン′の少くとも
一種と、例示した第３級アミンの構造を有しかつ重合可
能な不飽和結合を有する単量体を共重合した感光性樹脂
は極めて安定で、暗所に保存すれば、−か年以上の貯蔵
に耐えるととができる。さらに、この感光性樹脂をガラ
ス板に塗布し、紫外線照射を行なった後、染色を行なう
とゼラチンあるいはカゼインの重クロム酸アンモニウム
使用に比較して次の様な利点を持っている。
（１）同一光学濃度を得るのに重クロム酸アンモニウム
系に比較して薄い膜厚で達成できる。第１表にその結果
を示す。
系に比較して薄い膜厚で達成できる。第１表にその結果
を示す。
第１表
／ ア ７ ０．６μｍ １．５μｍ注）カゼイ
ン２５ｇに対し、重クロム酸アンモニウム２０％水溶液
２ｃｃ （２）重クロム酸アンモニウム・カゼイン系ハ、素光照
射により染着座席が変化する。本発明では感光性基と染
着座席が互いに独立しているため、染色が光照射に影響
され々い。第２表は、光照射により同一の光学濃度を得
るための膜厚変化を示す。
ン２５ｇに対し、重クロム酸アンモニウム２０％水溶液
２ｃｃ （２）重クロム酸アンモニウム・カゼイン系ハ、素光照
射により染着座席が変化する。本発明では感光性基と染
着座席が互いに独立しているため、染色が光照射に影響
され々い。第２表は、光照射により同一の光学濃度を得
るための膜厚変化を示す。
第２表 注・マゼンタ染色イク１」
紫外線照射時間（照度４．５ｔｏ Ｗ／／ｒｒＭ ）１
０ｓｅｃ２０ｓｅｃ ３０ｓｅｃ ４０ｓ
ｅｃ本発明 ０．４μｍ０．４μｍＯ＋４μｍｏ、４μ
ｍ比較例 ０．６μｍ０１８μｍｉ、○μｍ １．２μ
ｍ（カゼイン 重クロム酸アンモニウム）この結果にみ
られる様に、従来例に比較し約４割の膜厚で同一目的を
達し、染色においても安定な染色を行ないうる。
０ｓｅｃ２０ｓｅｃ ３０ｓｅｃ ４０ｓ
ｅｃ本発明 ０．４μｍ０．４μｍＯ＋４μｍｏ、４μ
ｍ比較例 ０．６μｍ０１８μｍｉ、○μｍ １．２μ
ｍ（カゼイン 重クロム酸アンモニウム）この結果にみ
られる様に、従来例に比較し約４割の膜厚で同一目的を
達し、染色においても安定な染色を行ないうる。
次に、この感光性樹脂に染色可能な染料を例示する。
（１）赤色染料としては、スミノール・ミリング・スカ
ーレット・Ｇ（住友化学）、チバクロン・スカーレソト
・Ｇ−Ｐ （チバ・ガイギー社）、チバクロン・プロン
ト・スカーレット（チバ・ガイギー社）、スミノール・
ファスト・レッド・Ｇ （住友化学）、スミライト・ス
プラ・レッド・４ＢＬ（住友化学）、アミニル・レット
・Ｅ−２ＢＬ（住友化学）、アミニル・レット・Ｅ−３
ＢＬ（ｆｔ［化学）、アフト・スカーレット・９０１（
住友化学）、スミノール・ミリング・スカーレット・Ｆ
Ｇ（住友化学）、スミノール・ミリング・オレンジ・Ｓ
Ｇ（住友化学）、スミノール・ファスト・オレンジ・Ｐ
Ｏ（住友化学）、マキノロン・レッド・ＧＲＬ（チバ・
ガイキー）、エリオノン・スカーレノト・ＲＥ（チバ・
ガイキー社）、ミカワン・ブリリアント・レッド・ｓＢ
Ｓ （三菱化学）。
ーレット・Ｇ（住友化学）、チバクロン・スカーレソト
・Ｇ−Ｐ （チバ・ガイギー社）、チバクロン・プロン
ト・スカーレット（チバ・ガイギー社）、スミノール・
ファスト・レッド・Ｇ （住友化学）、スミライト・ス
プラ・レッド・４ＢＬ（住友化学）、アミニル・レット
・Ｅ−２ＢＬ（住友化学）、アミニル・レット・Ｅ−３
ＢＬ（ｆｔ［化学）、アフト・スカーレット・９０１（
住友化学）、スミノール・ミリング・スカーレット・Ｆ
Ｇ（住友化学）、スミノール・ミリング・オレンジ・Ｓ
Ｇ（住友化学）、スミノール・ファスト・オレンジ・Ｐ
Ｏ（住友化学）、マキノロン・レッド・ＧＲＬ（チバ・
ガイキー）、エリオノン・スカーレノト・ＲＥ（チバ・
ガイキー社）、ミカワン・ブリリアント・レッド・ｓＢ
Ｓ （三菱化学）。
アフト・ライト・スカーｌ／ソト・ＧＬ１３０％（三菱
化学）、カヤノール・ミリング・レットＲ３１２５（三
菱化学）などが挙げられる。
化学）、カヤノール・ミリング・レットＲ３１２５（三
菱化学）などが挙げられる。
（２）緑色素オ」としては、スミノール・ミリング・ブ
１４１ＪアンＩ・・グリーン・５Ｇ（住友化学）、アン
ド・ブリリアント・ミリング・グリーン・Ｇ（住友化学
）、アンド・ブリリアント・ミリング。
１４１ＪアンＩ・・グリーン・５Ｇ（住友化学）、アン
ド・ブリリアント・ミリング・グリーン・Ｇ（住友化学
）、アンド・ブリリアント・ミリング。
クリーン・Ｂ（住友化学）５ミカチオン・オリーフ゛・
グリーン・３（、Ｓ（チバ・ガイキー）、カヤノール・
ミリング・グリーン・６ＧＷ（日本化薬）。
グリーン・３（、Ｓ（チバ・ガイキー）、カヤノール・
ミリング・グリーン・６ＧＷ（日本化薬）。
ソオリダゾール・グリーン・ｐ−ｃｃ（ベキスト）。
ペーパー・ファスト・グリーン・５Ｇ（パイヘル）など
が挙げられる。
が挙げられる。
（３）青色染料としては、スミライト・スプラー・ター
コイス・ブルー・Ｃ（住友化学）、チバクロン・ブルー
・３Ｇ−Ａ（チバ・ガイキー）、チドクロラン・ブルー
・ｓＧ（チバ・ガイキー）、プロ７オン・ターコイス・
Ｈ−Ａ（ＣＩＯ）、カヤチオンタ〜コイス・Ｐ−Ａ（日
本化薬）、カヤチオン・ターコイスＰ−ＮＧＦ（日本化
薬）、スミカロン・ブルー・Ｅ−ＦＢＬ（住友化学）、
スミカロン・ブリリアント・ブルー５−ＢＬ（住友化学
）＋スミノール・レベリング・スカイ・ブルー・Ｒ・エ
キストラ・コンク（住友化学）、オラゾール・ブルー・
ＧＮ（チバ・ガイキー）、マキンオン・ブルー・３（、
Ｓ （三菱化学）、マキノオン・ブルー・２（、Ｓ （
三菱化学）、カヤノール・ミリング・ブルー・（、Ｗ（
日本化薬）、カヤツル・スカイブルーζ・Ｒ（日本化薬
）などが挙げられる。
コイス・ブルー・Ｃ（住友化学）、チバクロン・ブルー
・３Ｇ−Ａ（チバ・ガイキー）、チドクロラン・ブルー
・ｓＧ（チバ・ガイキー）、プロ７オン・ターコイス・
Ｈ−Ａ（ＣＩＯ）、カヤチオンタ〜コイス・Ｐ−Ａ（日
本化薬）、カヤチオン・ターコイスＰ−ＮＧＦ（日本化
薬）、スミカロン・ブルー・Ｅ−ＦＢＬ（住友化学）、
スミカロン・ブリリアント・ブルー５−ＢＬ（住友化学
）＋スミノール・レベリング・スカイ・ブルー・Ｒ・エ
キストラ・コンク（住友化学）、オラゾール・ブルー・
ＧＮ（チバ・ガイキー）、マキンオン・ブルー・３（、
Ｓ （三菱化学）、マキノオン・ブルー・２（、Ｓ （
三菱化学）、カヤノール・ミリング・ブルー・（、Ｗ（
日本化薬）、カヤツル・スカイブルーζ・Ｒ（日本化薬
）などが挙げられる。
実施例の説明
実施例
４′−メタクロイロキソカルコン−＝・３０９ジメチル
アミノプロピルメタアクリルアミド・・・・・４２ｇ アゾイソブチロニトリル ・・・・・・・・ｏ、１６ｇ
テトラハイドロフラン ・・・・・・・・２００ｍｅ
−上記処方の液体を三つロフラスコに入れ、１時間反応
容器を窒素置換後、６０“Ｃに昇温し、この温度で、６
時間放置し、ラジカル共重合を行なった。重合終了後共
重合体のテトラハイドロフラン溶液を約１００ｍ１まで
濃ＭＬ、１１のメタノールに滴下し、再沈澱を行ない共
重合物を得た。イリられた共重合物を減圧乾燥によりメ
タノールを蒸発後、メチルセロソルブアセテートに溶解
し、感光性樹脂とした。なお、４−メタクロイロギシカ
ルコンを用いても同様である。
アミノプロピルメタアクリルアミド・・・・・４２ｇ アゾイソブチロニトリル ・・・・・・・・ｏ、１６ｇ
テトラハイドロフラン ・・・・・・・・２００ｍｅ
−上記処方の液体を三つロフラスコに入れ、１時間反応
容器を窒素置換後、６０“Ｃに昇温し、この温度で、６
時間放置し、ラジカル共重合を行なった。重合終了後共
重合体のテトラハイドロフラン溶液を約１００ｍ１まで
濃ＭＬ、１１のメタノールに滴下し、再沈澱を行ない共
重合物を得た。イリられた共重合物を減圧乾燥によりメ
タノールを蒸発後、メチルセロソルブアセテートに溶解
し、感光性樹脂とした。なお、４−メタクロイロギシカ
ルコンを用いても同様である。
第１図より第３図は固体撮像素子用の色分解フィルター
を形成する各工程を示す断面図である。
を形成する各工程を示す断面図である。
上記に示す本発明の感光性樹脂を、透明基板１上にヌピ
ンナー用いて均一に塗布する。次いで、マスク露光によ
り赤色を感じるべき部分である１色目のパターン部分２
だけを面照度ａ 、ｅｓ ＭＷｙｆ、、ｙ。
ンナー用いて均一に塗布する。次いで、マスク露光によ
り赤色を感じるべき部分である１色目のパターン部分２
だけを面照度ａ 、ｅｓ ＭＷｙｆ、、ｙ。
（展長３５０ｎｍ）で２０秒間露光し、メチルセロソル
ブアセテート（２６℃）で現像しパターン部分２以外の
感光性樹脂を除去する。次にパターン部分２を次の条件
で染色を行なう。
ブアセテート（２６℃）で現像しパターン部分２以外の
感光性樹脂を除去する。次にパターン部分２を次の条件
で染色を行なう。
染色条件
■染浴
スミノール・ファスト・レッド・０５ｗｔ％酢酸
２ｗｔ％水 ■染色温度 ８０℃ ■染色時間 ３分 この上部、透明な中間膜（メチルメタアクリレート）３
を塗布する。第１図がこの状態を示す断面図である。
２ｗｔ％水 ■染色温度 ８０℃ ■染色時間 ３分 この上部、透明な中間膜（メチルメタアクリレート）３
を塗布する。第１図がこの状態を示す断面図である。
次いで、同様に前記本発明の感光性樹脂を均一に塗布し
マスク露光法で緑色を感じるべき部分である２色目のパ
ターン部分４たけを露光し、メチルセロソルブアセテー
ト（２５’ｃ）で現像ｊ〜パターン部分４以外の感光性
樹脂を除去する。次にパターン部分４を次の条件で染色
を行なう。
マスク露光法で緑色を感じるべき部分である２色目のパ
ターン部分４たけを露光し、メチルセロソルブアセテー
ト（２５’ｃ）で現像ｊ〜パターン部分４以外の感光性
樹脂を除去する。次にパターン部分４を次の条件で染色
を行なう。
染色条件
■染浴
ペー パー・ノアスト・グリーン・ｅｓ Ｃｚ
３ｗｔ％酢酸 ２ｗｔ、
％水 ■染色温度 ８０゛Ｃ ■染色時間 ４分 この上部に前述の透明な中間膜６を塗布する。
３ｗｔ％酢酸 ２ｗｔ、
％水 ■染色温度 ８０゛Ｃ ■染色時間 ４分 この上部に前述の透明な中間膜６を塗布する。
第２図がこの状態を示す断面図である。
烙らに、同様にして前記本発明の感光性樹脂を均一に塗
布してマスク露光法で育色を感じるべき部分である３色
目のパターン部分６だけを露光し、メチルセロソルブア
セテート（２ｓ’ｃ）で現像シ、パターン部分６以外を
除去する。次にパターン部分６を次の条件で染色を行な
う。
布してマスク露光法で育色を感じるべき部分である３色
目のパターン部分６だけを露光し、メチルセロソルブア
セテート（２ｓ’ｃ）で現像シ、パターン部分６以外を
除去する。次にパターン部分６を次の条件で染色を行な
う。
染色条件
■染浴
チハクロラン・ブルー・ｓＧ １ｗｔ％酢酸
２ｗｔ％水 ■染色温度 ８０゛Ｃ ■染色時間 ２分 この上部にトゾブコート７を形成して第３図に示す色分
解フづルターを得る。このようにして固体撮像素子用の
モザイクの色分解フィルターを形成することができる。
２ｗｔ％水 ■染色温度 ８０゛Ｃ ■染色時間 ２分 この上部にトゾブコート７を形成して第３図に示す色分
解フづルターを得る。このようにして固体撮像素子用の
モザイクの色分解フィルターを形成することができる。
第４図は、色分解フィルターを上記の方法を用いて半導
体基板等からなる固体撮像素子１０上に直接形成したも
ので、第３図と同一部分には同一番号を付す。１１は素
子１０の光検出部を示す。
体基板等からなる固体撮像素子１０上に直接形成したも
ので、第３図と同一部分には同一番号を付す。１１は素
子１０の光検出部を示す。
発明の効果
本発明は、同一光学濃度を得るため、薄い膜で高濃度に
染色できるため、解像度が増し・くターンの合せが容易
になると同時に、従来の重クロム酸倉、錬り系に比較し
て公害処理設備を省略することができ、色分解フィルタ
ー製造におけるコストを低減することができる。さらに
、暗反応がなく安定に使用することができる。
染色できるため、解像度が増し・くターンの合せが容易
になると同時に、従来の重クロム酸倉、錬り系に比較し
て公害処理設備を省略することができ、色分解フィルタ
ー製造におけるコストを低減することができる。さらに
、暗反応がなく安定に使用することができる。
第１図、第２図、第３図は本発明の一実施例の感光性樹
脂を用いた色分解フィルター製造工程を示す断面図、第
４図は本発明の感光性樹脂を用いた固体撮像装置の断面
図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・第１色目のパター
ン−３゜５・・・・・・中間膜、４・・・・・・第２色
目のパターン、６・・・・・第３色目のパターン。
脂を用いた色分解フィルター製造工程を示す断面図、第
４図は本発明の感光性樹脂を用いた固体撮像装置の断面
図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・第１色目のパター
ン−３゜５・・・・・・中間膜、４・・・・・・第２色
目のパターン、６・・・・・第３色目のパターン。
Claims (2)
- （１） ４’−メタクロイロキンカルコンおよび４−
メタクロイロキノカルコンの少くとも一種と、第３級ア
ミンの構造を有しかつ重合可能な不飽和結合を有する単
量体を共重合したことを特徴とする感光性樹脂。 - （２） 着色部が、４′−メタク「コイロキソカルコ
ンおよび４−メタクロイロキンカルコンの少くトモ一種
ど、第３級アミンの構造を有しかつ重合可能な不飽和結
合を有する単量体を共重合して々る感光性樹脂で形成さ
れたことを特徴とする色分解フィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57160015A JPS5948758A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 感光性樹脂および色分解フイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57160015A JPS5948758A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 感光性樹脂および色分解フイルタ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5948758A true JPS5948758A (ja) | 1984-03-21 |
| JPH05699B2 JPH05699B2 (ja) | 1993-01-06 |
Family
ID=15706130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57160015A Granted JPS5948758A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 感光性樹脂および色分解フイルタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5948758A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61292640A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-23 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 着色樹脂成形体 |
| JPH01200353A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-11 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | 感放射線性着色樹脂組成物 |
| JP2010122274A (ja) * | 2008-11-17 | 2010-06-03 | Osaka Prefecture | フォトレジスト組成物 |
-
1982
- 1982-09-13 JP JP57160015A patent/JPS5948758A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61292640A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-23 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 着色樹脂成形体 |
| JPH01200353A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-11 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | 感放射線性着色樹脂組成物 |
| JP2010122274A (ja) * | 2008-11-17 | 2010-06-03 | Osaka Prefecture | フォトレジスト組成物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05699B2 (ja) | 1993-01-06 |
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