JPS5941472A - 黒鉛ルツボ - Google Patents
黒鉛ルツボInfo
- Publication number
- JPS5941472A JPS5941472A JP15121082A JP15121082A JPS5941472A JP S5941472 A JPS5941472 A JP S5941472A JP 15121082 A JP15121082 A JP 15121082A JP 15121082 A JP15121082 A JP 15121082A JP S5941472 A JPS5941472 A JP S5941472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphite
- silicon carbide
- aluminum
- crucible
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はアルミニウム、もしくは銀、ガトニウム、銅、
亜鉛等の金属を品温高真空Ｆで蒸発芒せ、フィルム、シ
ート等の材料表面にその金属を沈着させ、金属薄膜を生
成させる真空金属蒸着法で使用されるアルミニウム溶融
用の黒鉛Ｉレッポ゛の改良に関する。
亜鉛等の金属を品温高真空Ｆで蒸発芒せ、フィルム、シ
ート等の材料表面にその金属を沈着させ、金属薄膜を生
成させる真空金属蒸着法で使用されるアルミニウム溶融
用の黒鉛Ｉレッポ゛の改良に関する。
一般に金属薄膜を製造するには真空蒸着法が用いられて
おり、この方法はアルミニウムの場合には１２ （１０
〜１４５０℃の高温度で且つ１０ ’ 〜１０ ’ＴＯ
ＲＲｔｙ）高真空下で、主に、誘導加熱によシ、アルミ
ニラムラ溶融蒸発させ、紙或いはフ゛ラスチンクなどの
フィルム又はシート等の表面にアルミニウムの薄膜を沈
着させるものである。この際、溶融アルミニウムの容器
として、主として耐熱、耐蝕性の優れた黒鉛質材料′＃
器、すなわち黒鉛素材から成るルッホ（原子「黒鉛ルツ
ボ゛」という。）が使用されている。
おり、この方法はアルミニウムの場合には１２ （１０
〜１４５０℃の高温度で且つ１０ ’ 〜１０ ’ＴＯ
ＲＲｔｙ）高真空下で、主に、誘導加熱によシ、アルミ
ニラムラ溶融蒸発させ、紙或いはフ゛ラスチンクなどの
フィルム又はシート等の表面にアルミニウムの薄膜を沈
着させるものである。この際、溶融アルミニウムの容器
として、主として耐熱、耐蝕性の優れた黒鉛質材料′＃
器、すなわち黒鉛素材から成るルッホ（原子「黒鉛ルツ
ボ゛」という。）が使用されている。
そして、黒鉛ルツ１ｊ２′を繰り返し使用していくと、
黒鉛ドアルミニウムとが化学反応し、アルミニウムカー
バイトを生成するっこのアＩレミニウムカーバイドカ風
化するため、黒鉛ルツホか侵蝕され、肉厚か減少し遂に
は穴があいたり、或いは割れを生じて使用か不可能とな
る。
黒鉛ドアルミニウムとが化学反応し、アルミニウムカー
バイトを生成するっこのアＩレミニウムカーバイドカ風
化するため、黒鉛ルツホか侵蝕され、肉厚か減少し遂に
は穴があいたり、或いは割れを生じて使用か不可能とな
る。
本発明者らは 上記の欠点に鑑み、黒鉛ルツボの寿命向
上を計るために、寿命゛を阻害する黒鉛とアルミニウム
との反応を根本的に排除する方法として、黒鉛ルツｓｔ
の表層部をアルミニウムに対し１安定な炭化珪素に転化
し或いは炭化珪素を被覆ぜ］、めたものとすることによ
り、黒鉛とアルミニウムとの反応を防止することができ
寿命を大巾に向上することが可能となることを新規に
知見し本発明を完成するに至った。すなわち、真空蒸着
に使用する黒鉛ルッゼは誘導加熱法にて加熱されること
から、黒鉛の持つ電気比抵抗を保持した状態て炭化珪素
の層を形成することから、本発明によって、／Ｌツボ寸
法及び電源等は同一のものが使用できると同時に従来ア
ルミニウムカーバイトが生成１−ることによる黒鉛ｌル
ツボの電気比抵抗の変化により、各ルツホヘ供給する熱
景のアンバランスなどによる品質ムラの防止も可能とな
った。
上を計るために、寿命゛を阻害する黒鉛とアルミニウム
との反応を根本的に排除する方法として、黒鉛ルツｓｔ
の表層部をアルミニウムに対し１安定な炭化珪素に転化
し或いは炭化珪素を被覆ぜ］、めたものとすることによ
り、黒鉛とアルミニウムとの反応を防止することができ
寿命を大巾に向上することが可能となることを新規に
知見し本発明を完成するに至った。すなわち、真空蒸着
に使用する黒鉛ルッゼは誘導加熱法にて加熱されること
から、黒鉛の持つ電気比抵抗を保持した状態て炭化珪素
の層を形成することから、本発明によって、／Ｌツボ寸
法及び電源等は同一のものが使用できると同時に従来ア
ルミニウムカーバイトが生成１−ることによる黒鉛ｌル
ツボの電気比抵抗の変化により、各ルツホヘ供給する熱
景のアンバランスなどによる品質ムラの防止も可能とな
った。
以下本発明の黒鉛ルツボを使用（７で温度１４００℃。
ｌθ−”ｒＯＲＲの真空Ｆでアルミニウムを溶解させ２
時間類発場せた時の実施例について説明［２、その効果
をト紀の表に示す。上記実施例においで、炭化珪素の被
覆は四塩化珪素とトルエンとを水素気流中にて１２００
ｔにて所定の厚さまで被慣し、その後、史にｘ９ｏｕｔ
で熱処理を行なった。そして黒鉛表面の炭化珪素への転
−トは石英と金属珪素〃・ら、−酸化珪素を発生させ。
時間類発場せた時の実施例について説明［２、その効果
をト紀の表に示す。上記実施例においで、炭化珪素の被
覆は四塩化珪素とトルエンとを水素気流中にて１２００
ｔにて所定の厚さまで被慣し、その後、史にｘ９ｏｕｔ
で熱処理を行なった。そして黒鉛表面の炭化珪素への転
−トは石英と金属珪素〃・ら、−酸化珪素を発生させ。
１９００ｔｉにて反応させ所定の厚婆１で軸化した。な
お、比較例における／１，０．含浸処理については、リ
ン酸アルミニウム含浸処理を８〜５回繰り返したのち、
１ （１００℃で熱処理を施したものである。
お、比較例における／１，０．含浸処理については、リ
ン酸アルミニウム含浸処理を８〜５回繰り返したのち、
１ （１００℃で熱処理を施したものである。
表
上記表の実施例の結果からも明らかな様に、黒鉛ルンイ
の表曲部を炭化珪素を級覆し或いは炭化珪素に転化する
ことにより、大幅な使用寿命の向上を図ることができる
ことが明ら〃・となりた。本発明において、黒鉛Ｉルツ
ボ゛に使用する黒鉛素材は炭化珪素との熱膨張差が小さ
い程良く熱膨張係数が４．６±ｏ、ａｘｌｏ）、のもの
が好ましい。しかしながら、熱膨張係数が４３×ｌＯ−
′／以−ト、或いは４．９ Ｘ １０−Å以上であると
きは℃ 表面処輿面に微測な亀裂が生成するが表面処理を施さな
い従来の黒鉛ルツゼに比較して、本発明の黒鉛ルツボの
寿命改善には大＠な阻害要因とはならないことが判った
。以上のことから、本発明によればアルミニウム蒸着装
散に使用する黒鉛ルツ７ドの寿命を大幅に向上させるこ
とができ、工業上極めて有用なものである。
の表曲部を炭化珪素を級覆し或いは炭化珪素に転化する
ことにより、大幅な使用寿命の向上を図ることができる
ことが明ら〃・となりた。本発明において、黒鉛Ｉルツ
ボ゛に使用する黒鉛素材は炭化珪素との熱膨張差が小さ
い程良く熱膨張係数が４．６±ｏ、ａｘｌｏ）、のもの
が好ましい。しかしながら、熱膨張係数が４３×ｌＯ−
′／以−ト、或いは４．９ Ｘ １０−Å以上であると
きは℃ 表面処輿面に微測な亀裂が生成するが表面処理を施さな
い従来の黒鉛ルツゼに比較して、本発明の黒鉛ルツボの
寿命改善には大＠な阻害要因とはならないことが判った
。以上のことから、本発明によればアルミニウム蒸着装
散に使用する黒鉛ルツ７ドの寿命を大幅に向上させるこ
とができ、工業上極めて有用なものである。
特許登録量１人の名称
揖斐川穎藏二１−東株式会社
代表者多賀潤一 部
Claims (3)
- （１） アｌレミニウム溶融用ルッゼにおいて、そつ
材料となる黒鉛素材の表層部に炭化珪素を形成させて成
る黒鉛Ｉレツボ゛。 - （２） 前記黒鉛素材の表層部が炭化珪素を転化した
ものであることを特徴とする特許請求の範囲＠１項記載
の黒鉛ルツボ゛。 - （３）前記黒鉛素材の表層部が炭化珪素を被覆したもの
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の黒
鉛ルツボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15121082A JPS5941472A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 黒鉛ルツボ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15121082A JPS5941472A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 黒鉛ルツボ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5941472A true JPS5941472A (ja) | 1984-03-07 |
| JPH0229745B2 JPH0229745B2 (ja) | 1990-07-02 |
Family
ID=15513638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15121082A Granted JPS5941472A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 黒鉛ルツボ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5941472A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6133997U (ja) * | 1984-08-01 | 1986-03-01 | 三菱電機株式会社 | ロ−タリ圧縮機の消音構造 |
| JPS63462A (ja) * | 1985-11-02 | 1988-01-05 | レイボルド アクティエンゲゼルシャフト | 媒体に対する電子流の入射点の基準値を定める装置 |
| JPH01151196U (ja) * | 1988-04-11 | 1989-10-18 | ||
| US5272298A (en) * | 1991-04-03 | 1993-12-21 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Apparatus for vacuum deposition of sublimative substance |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5055540A (ja) * | 1973-09-17 | 1975-05-15 | ||
| JPS5170191A (ja) * | 1974-12-16 | 1976-06-17 | Ibigawa Electric Ind Co Ltd | Tankakeisohimakukeiseihoho |
| JPS5727984A (en) * | 1980-07-24 | 1982-02-15 | B Purojiekutou Puruzemisuru Me | Corrosion suppressive protection for silicon carbide product |
-
1982
- 1982-08-31 JP JP15121082A patent/JPS5941472A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5055540A (ja) * | 1973-09-17 | 1975-05-15 | ||
| JPS5170191A (ja) * | 1974-12-16 | 1976-06-17 | Ibigawa Electric Ind Co Ltd | Tankakeisohimakukeiseihoho |
| JPS5727984A (en) * | 1980-07-24 | 1982-02-15 | B Purojiekutou Puruzemisuru Me | Corrosion suppressive protection for silicon carbide product |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6133997U (ja) * | 1984-08-01 | 1986-03-01 | 三菱電機株式会社 | ロ−タリ圧縮機の消音構造 |
| JPS63462A (ja) * | 1985-11-02 | 1988-01-05 | レイボルド アクティエンゲゼルシャフト | 媒体に対する電子流の入射点の基準値を定める装置 |
| JPH01151196U (ja) * | 1988-04-11 | 1989-10-18 | ||
| US5272298A (en) * | 1991-04-03 | 1993-12-21 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Apparatus for vacuum deposition of sublimative substance |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0229745B2 (ja) | 1990-07-02 |
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