JPS5939067B2 - 画像処理装置 - Google Patents

画像処理装置

Info

Publication number
JPS5939067B2
JPS5939067B2 JP13843777A JP13843777A JPS5939067B2 JP S5939067 B2 JPS5939067 B2 JP S5939067B2 JP 13843777 A JP13843777 A JP 13843777A JP 13843777 A JP13843777 A JP 13843777A JP S5939067 B2 JPS5939067 B2 JP S5939067B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
scanning
signal
digital
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP13843777A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5471948A (en
Inventor
道明 宮川
正夫 仁藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Priority to JP13843777A priority Critical patent/JPS5939067B2/ja
Publication of JPS5471948A publication Critical patent/JPS5471948A/ja
Publication of JPS5939067B2 publication Critical patent/JPS5939067B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Image Processing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、二次元的配列の画像情報面を第1走査信号に
より第1方向に走査すると共に第2走査信号により前記
第1方向と直交する第2方向に走査することにより、第
1方向の走査を順次に第2方向に繰り返していき前記画
像情報面の画像情報を電気的画像信号に変換する逐次走
査形二次元撮像素子を有する画像素子装置に関し、特に
撮像素子からの画像信号をメッシュ状画素に分割してサ
ンプリングする際に発生するサンプリングエラーを小さ
くすることを意図して適切な二次元的ぼけ処理を電気的
に施すようにした画像処理装置に関するものである。
上述した二次元撮像素子として、例えばテレビジヨンカ
メラを用いる場合、電子ビームにより二次元光電変換面
を繰返し水平走査しながらそれと同時に水平走査に対し
て相当遅い速度で垂直走査を行ない、二次元的拡がりを
もつ画像情報を時間的に直列な電気信号の形態の画像信
号に変換して取り出す。
このような撮像素子を使用して画像処理を行なう場合、
通常は、画像を適当な分解能をもつメツシユ状の画素に
分割し、これら画素の単位で画像処理を行う。
ところで、撮像素子より出力される画像信号は、画像の
もつ空間的周波数の高い成分から低い成分まで含まれた
ものとして得られ、これを第1図Aに示すようなある粗
さのメツシユの交点でサンプリングを行なつて画像分割
すると、第1図Bに示すようなメツシユ状画素が得られ
る。第1図Bを第1図Aと対比するとわかるように、第
1図Aのメツシユの1区画より小さい画像パターンにつ
いては、サンプリング点によりサンプリングされたり或
いはされなかつたりするので、このようなサンプリング
の不確定さがサンプリングエラーとして発生する。画像
分割後の画像処理においては、かかるサンプリングエラ
ーを考慮する必要があり、このことがかかる画像処理を
複雑なものとしている。サンプリングエラー防止対策と
しては、テレビジヨンカメラの焦点を故意にずらして撮
像したり、必要以上の細かいメツシユの小画素に分解し
た後に二次元局部処理を施して、高い空間的周波数成分
を除去している。
カメラの焦点をずらすことは大変簡単であるが、再現性
に乏しく、他方、二次元局部処理を行なうことは、多値
の場合は複雑で大規模な回路構成となる欠点がある。こ
こで、上述した二次元局部処理について述べる。
例えば、テレビジヨン画面を縦をi等分、横をj等分に
分解して画像処理装置内の主メモリーに記憶する場合に
ついて述べる。二次元局部処理では、主メモリーの1画
素を得るために、この1画素を更に細分割し、例えば第
2図に示すように主メモリー1の1画素2に対して4X
4−16個の小画素3を割り当てた局部メモリー4を考
え、この16個の小画素3の各サンプリング点の値を平
均化回路5に加え、この平均値を所定値と比べて主メモ
リー1の画素2の値を決める。このような二次元局部処
理をアナログ加算により実現する従来の一例を第3図に
示す。
第3図において、撮像素子としてのテレビジヨンカメラ
11からの画像信号を2値化回路12に加えて2値化画
像信号を形成し、この2値化画像信号を次段の二次元局
部メモリー13に供給する。メモリー13から読み出し
た小画素についてのサンプリング出力をアナログ加算回
路14により加算し、その加算出力を比較器15におい
て比較レベル16と比較し、それにより加算出力が所定
量以上の値であるか否かを確認し、この比較器15の出
力を主メモリー17に記憶する。ここで、アナログ加算
を行なうのは、時間遅れを等しく高速に加算を行なうた
めである。しかし、このような構成では、1画素を16
個のサンプリング点から決めており、量子化の周波数が
著しく高くなり、アナログ加算回路は正常に動作しなく
なる惧れがあり、すなわち発振しやすくなり、その調整
が大変難しい。
白黒パターンのみで画像表示を行なう場合には技術的に
難しいという欠点だけであるが、対象パターンの濃淡階
調が複雑であるときには誤差が大きくて全く使用できな
い致命的欠点がある。本発明の目的ぱ、上述したような
画像のサンプリングによる画素分割にあたり、画像信号
に含まれる高い空間的周波数の成分、すなわちサンプリ
ング周波数に対して空間的周波数の高い成分によつて発
生するサンプリングエラーを、簡単な構成ではあるが高
精度を以て、低下させることのできる画像処理装置を提
供することにある。
すなわち、本発明は信号幅が小さいためにサンプリング
エラーとなるような信号のうち、信号振幅の大きいもの
(例えば、文字の濁点)のサンプリングエラーをなくそ
うとするものである。かかる目的を達成するために、本
発明画像処理装置は、二次元的配列の画像情報面を第1
走査信号により第1方向に走査すると共に第2走査信号
により前記第1方向と直交する第2方向に走査すること
により、第1方向の走査を順次に第2方向に繰り返して
いき前記画像情報面の画像情報を電気的画像信号に変換
する逐次走査形二次元撮像素子と、該撮像素子からの画
像信号をメツシユ状画素に分割してサンプリングを行な
い、そのサンプリング出力をデジタル信号に変換するA
D変換回路とを有する画像処理装置において、前記撮像
素子からの画像信号を積分手段に通して前記第1方向の
走査における信号幅を積分により拡げるとともに高周波
成分を阻止し、そのフイルタ出力を前記AD変換回路に
供給し、該AD変換回路においては、前記画像情報面を
第1方向にm等分、第2方向にn等分したメツシユに対
応して画像信号サンプリングし、そのサンプリング出力
をデジタル画像信号に変換し、該デジタル画像信号を(
k1)個のmビツトデジタル遅延素子を直列に接続した
デジタル遅延回路の第1段目のデジタル遅延素子に供給
し、走査点の移動と共に前記デジタル画像信号を順次に
シフトしながら一時蓄積し、それにより前記(k−1)
個のデジタル遅延素子より(k−1)個の第1方向走査
の前記第2方向における同一位置の、互いに時間的に離
散した第1番目から第(1+k−1)番目までの走査点
におけるデジタル画像信号を同時に取り出し、これら(
k−1)個のデジタル画像信号の各々および前記AD変
換回路の出力をk個の一時記憶回路に供給し、それぞれ
の一時記憶回路に第1番目から第(1+k)番目までの
第1方向走査の前記第2方向における同一位置の走査点
のデジタル画像信号を一時蓄積し、これら一時蓄積回路
の各出力を平均化回路に加え、ここで前記一時蓄積回路
出力の平均を得、それにより時間的に離散した走査点の
第2方向についての高周波成分を阻止し、以て二次元的
ぼけ操作を行なうことを特徴とするものである。
以下に図面を参照して本発明を説明する。
第4図は本発明画像処理装置を用いたパターン検査装置
の一例を示す。
第4図において、検査対象物体21が図示矢印方向に進
行し、この物体21が位置検出器22を通過することに
より、物体21がテレビジヨンカメラ23の適当な視野
位置に到達したことを位置検出器22より出力し、判定
制御回路24に供給する。符号25はカメラ制御回路を
示し、このカメラ制御回路25はテレビジヨンカメラ2
3に垂直および水平同期信号を供給するパルス源を有し
、これら同期信号に基いてテレビジヨンカメラ23を駆
動する。カメラ制御回路25から上記垂直および水平同
期信号を上述した判定制御回路24にも供給する。位置
検出器22からの検出出力および操作パネルのモードス
イツチ出力MSO、すなわち標準メモリー書込みモード
あるいは判定モードを示すスイツチ出力をも判定制御回
路24に供給し、上記同期信号と共に一連のパターン判
定シーケンスを制御する。更に、テレビジヨンカメラ2
3の画像信号をパターン先端検出回路26に供給し、当
該画面の背景部分と検査パターンとを分離してパターン
の先端を検出する。この検出動作は判定制御回路24か
らの同期信号のタイミングに同期して行なう。そのため
に、判定制御回路24よりパターン先端検出回路26に
同期信号を加える。テレビジヨンカメラ23からの画像
信号を積分機能により信号幅を拡げてサンプリングされ
るようにする積分手段27を介してAD変換回路28に
供給し、その変換出力をデジタルフイルタ29に通し、
デジタルフイルタ出力を切換スイツチ30の位置に応じ
て、標準メモリー31またはサンプルメモリー32に書
き込む。
両メモリー31および32への書込み終了後、標準パタ
ーンと被検査パターンについての記憶内容を読み出して
パターンマツチング演算回路33に供給し、両パターン
の類似度を算出する。この類似度出力を良否判定出力回
路34に加え、類似度が所定値以上ならば良、未満なら
ば不良の判定出力を取り出す。上述したデジタルフイル
タ29、メモリー31および32、パターンマツチング
演算回路33および良否判定出力回路34を判定制御回
路24により同期制御する。本発明では、AD変換回路
28の前段にアナログフイルタ27を配設し、同じく後
段にデジタルフイルタ29を配設してぼけ操作を行ない
、以てサンプリングエラーを小さくする。
逐次走査形撮像素子により二次元パターンを撮像すると
き、時間的に連続して得られる画像信号は横(水平)方
向または縦(垂直)方向のいずれか一次元に対してであ
る。例えば横方向に連続して画像信号が得られるときに
は、縦方向の画像信号は離散した形となる。本発明では
これら走査方向、すなわち横方向および縦方向のそれぞ
れに別個の手段でぼけを付与させ、等価的に従来のぼけ
操作を行なう。更に詳述すると、時間的に連続する横方
向の画像信号に対してはAD変換の前に画像信号をその
信号幅を積分機能により拡げる積分手段27に通し、縦
方向の画像信号に対してはAD変換後にデジタル遅延さ
せて縦方向の離散している画像信号を縦に整列させ、デ
ジタルフイルタ29により高周波成分を阻止し、以上に
より総合的に二次元的にぼけを加える。かかる本発明画
像処理装置の構成を第5図に更に詳しく示す。
第5図において第4図と対応する部分には同一符号を付
してその説明を省略する。ここで、積分手段27は上述
したような積分機能を有するものであり、積分機能によ
り画像信号の信号幅を広げてサンプリングさせるように
するとともに、画像信号中の高周波成分を阻止する。積
分手段27の積分時間はサンプリング間隔に応じて設定
する。撮像素子23の時間的に連続して得られる信号が
横方向信号であつて、最終的に例えばm個に横方向に分
割する場合には、AD変換回路28において、横方向に
m回のサンプリングを行ない、従つてm回AD変換を行
なう。AD変換回路28の出力をバネフアレジスタ41
に加えて一時蓄積すると共吟・胛ビツトのシフトレジス
タ42に供給し、AD変換の度毎に、すなわちサンプリ
ングの度毎にAD変換出力を順次にシフトしながら記憶
していく。このシフトレジスタ42は上述したデジタル
遅延を行なうデジタル遅延素子である。シフトレジスタ
42の出力をバツフアレジスタ43に供給すると共にシ
フトレジスタ44にも供給し、更にシフトレジスタ44
の出力をバツフアレジスタ45およびシフトレジスタ4
6に供給し、このシフトレジスタ46の出力をバツフア
レジスタ47に供給する。バッファレジスタ43,45
および47はバツフアレジスタ41と同様のものであり
、シフトレジスタ44および46はシフトレジスタ22
と同様の構成のmビツトシフトレジスタである。上記各
バツフアレジスタ41,43,45および47の出力を
平均化回路48に供給し、これら出力の平均値を算出し
、二次元的にぼけ操作された画素情報を得、この画素情
報を主メモリー49に記憶する。例えば、第6図Aに示
すように4本の水平走査線S1〜S4のうち水平走査線
S2にのみ画像パターンがあるとすると、テレビカメラ
23からの信号は第6図Bの実線に示すようになる。こ
のような画像パターンをTl,t2でサンプリングした
場合にサンプリングエラーとなるのは従来例の説明中に
述べている通りである。このようなテレビカメラからの
信号を本例のように積分手段27に加えると、積分機能
により積分手段27の出力は第6図Bの破線に示すよう
になる。したがつて、水平走査線S2上の画像パターン
は水平走査方向に゛ぼげた状態となる。このような積分
手段27の各出力を(T2−t1)時間間隔でサンプリ
ングしてA/D変換し、第5図に示すようなシフトレジ
スタ42,44、および46に加えていつた場合に、水
平走査線S4の時点T2に対応する信号がA/D変換さ
れてバツフアレジスタ41に蓄積された時には、水平走
査線Sl,S2およびS3の時点T2に対応する信号が
バツフアレジスタ47,45および43にそれぞれ蓄積
されているので、平均化回路48にて平均値を求めた場
合に水平走査線S2の時点T2に対応する信号の平均値
が求められる。すなわち垂直走査方向に゛ぼげた状態と
なるのである。この−ようにして、この平均値を1画素
に対応する信号とすることにより水平および垂直方向の
ぼけ操作が行われるのである。このときにA/D変換を
高速に行う必要がないのは、サンプリング間隔(T2−
t1)が1画素に対応する間隔でよいからである。よつ
て、本例によれば、信号幅が小さいためにサンプリング
エラーとなるような信号のうち、信号振幅の大きいもの
(例えば、文字の濁点)のサンプリングエラーがなくな
る。
なお、信号幅および信号振幅が小さい画像パターンはサ
ンプリングエラーとなるが、そのような画像パターンは
汚れ等のノイズであるのでサンプリングエラーとなつて
もかまわないものである。なお、上記積分手段27の遮
断周波数を横方向のAD変換の周波数付近に定め、それ
以上の高い周波数の成分を遮断するようにする。
シフトレジスタ42,44および46の個数、およびバ
ッフアレジスタ41,43,45および47の個数は、
横方向の分解能と縦方向の分解能とが等しくなるように
選ぶものとする。第5図の例では、横方向の走査線を4
本としている。従つて、積分手段27も横方向の走査線
4本と同等のAD変換が行なえるように入力周波数を制
限する。第5図の構成の動作を具体例について説明する
例えばテレビジヨン画面を縦48、横64に分割して主
メモリー49に記憶する場合について考えてみる。テレ
ビジヨンカメラの1垂直走査期間の横方向走査線すなわ
ち水平走査線は約260本であり、このうち有効な本数
を192本とすると、縦方向の1画素は水平走査線につ
いては4本に相当する。横方向も水平走査線が4本の場
合の分解能と同等の分解能が得られるように積分手段2
7の遮断周波数を適切に定める。今、テレビジヨンカメ
ラ23によりあるパターンを撮像し、そのある1垂直走
査期間における撮像出力を主メモリー49に縦が48で
横が64に分割して記憶するものとする。
ここで、1垂直走査期間において、有効垂直領域の走査
が今開始されたとすると、それと同時に第5図示の本発
明画像処理装置も動作を開始する。
まず、テレビジヨンカメラ23からの画像信号がすでに
積分手段27を通過しAD変換回路28に到達している
ものとする。AD変換回路28は1水平走査期間に対し
て、先に定めた分解能で等間隔にサンプリングを行ない
、AD変換を行なう。それによるAD変換出力はバツフ
アレジスタ41に一時蓄積されると共にシフトレジスタ
42にも順次に蓄積されていく。第1の水平走査が終了
した段階では、シフトレジスタ42には第1水平走査期
間にサンプリングおよびAD変換された64個のデータ
が蓄積されている。このようにして3水平走査期間にわ
たつてサンプリングAD変換を行なうと、第4水平走査
の開始時にはシフトレジスタ46に第1水平走査期間に
おける64個のデータが蓄積され、シフトレジスタ44
には同じく第2水平走査期間における64個のデータ、
およびシフトレジスタ42には同じく第3水平走査期間
における64個のデータがそれぞれ蓄積される。更に第
4水平走査が開始され、最初のサンプリングAD変換を
行なうと、バツフアレジスタ41には第4水平走査の最
初のデータが蓄積され、同様にバツフアレジスタ43に
は第3水平走査の最初のデータ、バツフアレジスタ45
には第2水平走査の最初のデータ、およびバツフアレジ
スタ47には第1水平走査の最初のデータがそれぞれ蓄
積される。これら4個のバツフアレジスタ41,43,
45および47の蓄積内容が平均化回路48に供給され
、まず加算され、次いで平均値がノ取り出される。
この平均値出力を主メモリー49に転送し、主メモリー
49の第1行、第1列目の番地に画素情報として記憶さ
れる。第4水平走査期間においてAD変換が行なわれる
度毎に、主メモリー49の第1行目の各列の番地に、上
記バツフアレジスタ41,43,45および47の蓄積
内容が画素情報として順次に書き込まれていく。第4水
平走査のAD変換が終了すると、第7水平走査が終了す
るまで主メモリー49への書込みは中止され、第8水平
走査の開始と共にこの中止が解除され、主メモリーの第
2行目の各番地へ第5水平走査〜第8水平走査の画像信
号がバツフアレジスタ41,43,45および47を介
して順次に書き込まれる。以下、同様の過程を繰り返し
て、縦48、横64に画像分割を行なつたときのパター
ンが主メモリー49に記憶される。すなわち、本例では
、第6図Cに示すように、主メモリー49のある番地に
書き込むべき1画素分の画像信号に対して、4番地相当
の局部メモリー51を割り当て、その局部メモリー51
の各番地51−1,51−2,51−3および51−4
にいつたん蓄積した画像信号を同時に読み出して平均化
回路48でこれら画像信号の平均値を演算する。
上記4番地は4本の隣接水平走査線のそれぞれ同一サン
プリング位置の画像情報に対応する。局部メモリー51
の各番地51−1,51−2,51−3および51−4
は、第5図の例ではバツフアレジスタ41、レジスタ組
42と43,44と45および46と47にそれぞれ対
応する。以上のような局部メモリーを用いることにより
、本発明によればサンプリングエラーを極めて小さくす
ることができる。以上に説明してきたぼけ操作は1画素
の大きさであつたが、ぼけを1画素以上の大きさに定め
ることも簡単に実現できる。
この場合には隣接する画素が相互に影響しあうことにな
る。この場合の本発明画像処理装置の構成の一例を第7
図に示す。本例では、第5図の構成に加えて、シフトレ
ジスタ46の出力をシフトレジスタ42と同様の構成の
mビツトシフトレジスタ61にも供給し、このシフトレ
ジスタ61の出力をバツフアレジスタ41と同様の構成
のバツフアレジスタ62に加え、このバツフアレジスタ
62の出力を他のバツフアレジスタ41,43,45お
よび47の各出力と共に平均化回路63に供給し、ここ
でバツフアレジスタ41,43,45,47および62
の各出力を加算し、5/4で平均する。この平均値出力
を主メモリー64に書き込んでいく。なお、本例の積分
手段27の遮断周波数は水平走査線5本分に相当する。
本例の装置の動作について述べる。
第4水平走査終了までは第5図の場合と全く同様である
。第5水平走査の開始時には、シフトレジスタ61には
第1水平走査の部分が蓄積されており、同様にシフトレ
ジスタ46には第2水平走査の部分、シフトレジスタ4
4には第3水平走査の部分、シフトレジスタ42には第
4水平走査の部分がそれぞれ蓄積されている。第5水平
走査の最初のAD変換を行なうと、バツフアレジスタ4
1,43,45,47および62にはそれぞれ第5、第
4、第3、第2および第1の各水平走査の最初のデータ
が蓄積され、これらデータを平均化回路63に供給して
得た平均値を主メモリー64に記憶する。すなわち、第
5水平走査期間において、主メモリー64の第1行目の
各列への書込みを行なう。かかる1行目の書込みが終了
すると、第6水平走査期間から第8水平走査期間までの
3水平走査期間中は主メモリー64への書込みを中止し
、シフトレジスタ42,44,46および61にそれぞ
れ第8、第7、第6および第5水平走査のデータが蓄積
されるまで上記書込みの一中止を継続する。次いで第9
水平走査の開始により主メモリー64の第2行目の書込
みを行なう。以下同様にして、縦48、横64に分割し
た画素情報を記憶する。その様子を第8図に示す。第8
図において、主メモリー64のある番地に書き込まれる
1画素分の画像信号に対して局部メモリー65の5番地
分の内容を割り当てる。
例えば主メモワ一64の第1行目には局部メモリー65
の番地65−1,65−2,65−3,654および6
5−5を割り当て、これら番地にいつたん蓄積した画像
信号を同時に読み出して平均化回路63によりこれら画
像信号の平均値を演算する。以下同様にして、局部メモ
リー65の番地65−5,65−6,65−7,65−
8および65−9を主メモリー64の第2行目、局部メ
モリー65の番地65−9,65−10,6511,6
5−12および65−13を主メモリー64の第3行目
というように割り当てる。以上から明らかなように、本
発明によれば、逐次走査形撮像素子の出力をメツシユ状
に分割するにあたり、時間的に連続する走査方向、例え
ば水平走査方向の画像信号を積分によりその信号幅を拡
げた後、シフトレジスタ等によるデジタル遅延素子から
の順次の出力により処理して平均値を求めると共に、時
間的に離散された走査方向、例えば垂直方向の画像信号
は上記デジタル遅延素子の空間的配列を用いて処理する
ことによりぼけ操作を行なつており、AD変換を高速度
に行なう必要はなく、またAD変換後の局部二次元処理
をも大幅に簡素化することができるという利点を具えて
、サンプリングエラーを小さいものとすることができる
しかも、従来の光学系によるぼけ操作に比べて、本発明
は再現性にすぐれたぼけ操作を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図AおよびBはパターンのメツシユ状画像分割説明
用の原パターン図およびサンプリングパターン図、第2
図は従米の二次元局部処理の説明図、第3図はアナログ
加算による従来の二次元局部処理の一例を説明するため
のプロツク線図、第4図は本発明画像処理装置を用いた
パターン検査装置の一例を示すプロツク線図、第5図は
本発明画像処理装置の一例を示すプロツク線図、第6図
Aおよび第6図Bはその動作原理を示す線図、第6図C
は第5図の説明用線図、第7図は本発明の他の例の構成
を示すプロツク線図、および第8図はその説明用線図で
ある。 21・・・・・・検査対象物、22・・・・・・位置検
出器、23・・・・・・テレビジヨンカメラ、24・・
・・・・判定制御回路、25・・・・・・カメラ制御回
路、26・・・・・・パターン先端検出回路、27・・
・・・・積分手段、28・・・・・・AD変換回路、2
9・・・・・・デジタルフイルタ、30・・・・・・切
換スイツチ、31・・・・・・標準メモリー、32・・
・・・・サンプルメモリー、33・・・・・・パターン
マツチング演算回路、34・・・・・・良否判定出力回
路、MSO・・・・・・モードスイツチ出力、41,4
3,45,47・・・・・・バツフアレジスタ、42,
44,46・・・・・・シフトレジスタ、48・・・・
・・平均化回路、49・・・・・・主メモリー 51・
・・・・・局部メモリー、51−1,51−2,51−
3,51−4・・・・・・番地、61・・・・・・シフ
トレジスタ、62・・・・・・バツフアレジスタ、63
・・・・・・平均化回路、64・・・・・・主メモリー
、65・・・・・・局部メモリー、65−1,65−2
,65−3,65−4,65−5,65−6,65−7
,65−8,65−9・・・・・・番地。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 二次元的配列の画像情報面を第1走査信号により第
    1方向に走査すると共に第2走査信号により前記第1方
    向と直交する第2方向に操作することにより、第1方向
    の走査を順次に第2方向に繰り返していき前記画像情報
    面の画像情報を電気的画像信号に変換する逐次走査形二
    次元撮像素子と、該撮像素子からの画像信号をメッシュ
    状画素に分割してサンプリングを行い、そのサンプリン
    グ出力をデジタル信号に変換するAD変換回路とを有す
    る画像処理装置において、前記撮像素子からの画像信号
    を積分手段に通して前記第1方向の走査における信号幅
    を積分により拡げるとともに高周波成分を阻止し、その
    フィルタ出力を前記AD変換回路に供給し、該AD変換
    回路においては、前記画像情報面を第1方向にm等分、
    第2方向にn等分したメッシュに対応して画像信号をサ
    ンプリングし、そのサンプリング出力をデジタル画像信
    号に変換し、該デジタル画像信号を(k−1)個のmビ
    ットデジタル遅延素子を直列に接続したデジタル遅延回
    路の第1段目のデジタル遅延素子に供給し、走査点の移
    動と共に前記デジタル画像信号を順次にシフトしながら
    一時蓄積し、それにより前記(k−1)個のデジタル遅
    延素子より(k−1)個の第1方向走査の前記第2方向
    における同一位置の、互いに時間的に離散した第i番目
    から第(i+k−1)番目までの走査点におけるデジタ
    ル画像信号を同時に取り出し、これら(k−1)個のデ
    ジタル画像信号の各々および前記AD変換回路の出力を
    に個の一時記憶回路に供給し、それぞれの一時記憶回路
    に第i番目から第(i+k)番目までの第1方向走査の
    前記第2方向における同一位置の走査点のデジタル画像
    信号を一時蓄積し、これら一時蓄積記憶回路の各出力を
    平均化回路に加え、ここで前記一時蓄積回路出力の平均
    を得、それにより時間的に離散した走査点の第2方向に
    ついての高周波成分を阻止し、以て二次元的ぼけ走査を
    行うことを特徴とする画像処理装置。 2 特許請求の範囲第1項記載の装置において、前記デ
    ジタル遅延回路をk個のデジタル遅延素子により構成し
    、これらk個のデジタル遅延素子の出力と前記AD変換
    回路の出力とを(k+1)個の一時記憶回路に供給し、
    これら一時記憶回路から第i番目から第(i+k+1)
    番目までの第1方向走査の前記第2方向における同一位
    置の走査点のデジタル画像信号を一時記憶するようにし
    、これら一時記憶回路の出力を前記平均化回路を供給す
    ることを特徴とする画像処理装置。
JP13843777A 1977-11-19 1977-11-19 画像処理装置 Expired JPS5939067B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13843777A JPS5939067B2 (ja) 1977-11-19 1977-11-19 画像処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13843777A JPS5939067B2 (ja) 1977-11-19 1977-11-19 画像処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5471948A JPS5471948A (en) 1979-06-08
JPS5939067B2 true JPS5939067B2 (ja) 1984-09-20

Family

ID=15221952

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13843777A Expired JPS5939067B2 (ja) 1977-11-19 1977-11-19 画像処理装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5939067B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH039265U (ja) * 1989-06-12 1991-01-29

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH039265U (ja) * 1989-06-12 1991-01-29

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5471948A (en) 1979-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4803734A (en) Method of and apparatus for detecting pattern defects
US4292672A (en) Inspection system for detecting defects in regular patterns
JP4932819B2 (ja) 表面検査装置及び方法
US6362802B1 (en) Method and apparatus for acquiring an image for inspection of a flat panel display
US4486777A (en) Defect detecting apparatus and method
JP3239087B2 (ja) 撮像装置
EP0094824B1 (en) Image processing device for continuously extracting features of small regions of an image
JP2947359B2 (ja) 画像の動き測定方法及び装置
JPS5939067B2 (ja) 画像処理装置
JPH09101236A (ja) 表示欠陥検査装置および表示欠陥検査方法
JPH0739999B2 (ja) 欠陥検出方法
JPH0531995B2 (ja)
KR830001829B1 (ko) 결합 검출용 검사장치
JPH06268922A (ja) スミア補正装置
JPS607584A (ja) 映像輪郭抽出装置
JPH10233900A (ja) 画像読取装置
JPS6040071B2 (ja) デイジタル画像処理装置の障害ビツト検知方法
JP2748860B2 (ja) ディジタル変換装置
JPS6314391B2 (ja)
JP3514789B2 (ja) Ccdビデオカメラシステム
JPS61210768A (ja) 画信号の2値化方法
JP2723900B2 (ja) レンズ検査方法
JPH10253332A (ja) 周期パターン内の欠陥検査方法と装置
JP2522707B2 (ja) 画像撮像装置
JPS6112188A (ja) 走査形表示画像を検出する装置および方法