JPS5932826A - 焦電型検出器 - Google Patents
焦電型検出器Info
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- JPS5932826A JPS5932826A JP57142892A JP14289282A JPS5932826A JP S5932826 A JPS5932826 A JP S5932826A JP 57142892 A JP57142892 A JP 57142892A JP 14289282 A JP14289282 A JP 14289282A JP S5932826 A JPS5932826 A JP S5932826A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
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- SYHGEUNFJIGTRX-UHFFFAOYSA-N methylenedioxypyrovalerone Chemical compound C=1C=C2OCOC2=CC=1C(=O)C(CCC)N1CCCC1 SYHGEUNFJIGTRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0803—Arrangements for time-dependent attenuation of radiation signals
- G01J5/0805—Means for chopping radiation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は焦電型検出器、特に変調手段を改良した焦電
型検出器に関するものである。
型検出器に関するものである。
焦1tf、7..1jlJ 、溌14臀::(は放音・
1エネルギーの変化分を熱エネルギーの変化分とし゛C
C出出ることを動作原理としており、応用の仕方に大別
しC次の2つのものがある。千の1つとしC彼1fil
J定・吻が惇、「屓〜ないものを71染とrる場合であ
り、たとえ(・よ波測七物の温度を測定し7)′r−ス
が考えられろ。ナにもう1つとし、Ctよ、被τ則ポ吻
が惇ηbiるtうなものを対象とする場合で7ちり、た
とえば浸人膚報器に利用するケースがその応用ijl
Ic孕げら几る。
1エネルギーの変化分を熱エネルギーの変化分とし゛C
C出出ることを動作原理としており、応用の仕方に大別
しC次の2つのものがある。千の1つとしC彼1fil
J定・吻が惇、「屓〜ないものを71染とrる場合であ
り、たとえ(・よ波測七物の温度を測定し7)′r−ス
が考えられろ。ナにもう1つとし、Ctよ、被τ則ポ吻
が惇ηbiるtうなものを対象とする場合で7ちり、た
とえば浸人膚報器に利用するケースがその応用ijl
Ic孕げら几る。
このうち、前音のf71Jでは、検出層の前にヂーヨソ
バを置き、波測定物からの毘を一宇の周期で変1凋す・
Sことう二行わtする7) 従来、変1凋手段を含む検出器の溝我とし°Cは第1図
に示すような削がある。その詳・泪な構成を図にもとづ
い゛C説明すると、1(す披測定′吻である放射源、2
1″、j、b(射(ぢ(1アう・らの放射エネルギー1
路に設置しCいる検出器であり、この演出器2の;j口
Irriには変調手段である円板状のヂョッ・z3が設
置されCいる。チヨ7′・ζ6にj・ま透孔4が、;(
kけられて秒り、ヂョノパ3を回・映さすると、:&
nI源1からの放射エネルギー(」、一定周ノ用で断続
し7て演出器2に入射することになる。チョッパ6の回
転は主動源のモータ5により行われる。
バを置き、波測定物からの毘を一宇の周期で変1凋す・
Sことう二行わtする7) 従来、変1凋手段を含む検出器の溝我とし°Cは第1図
に示すような削がある。その詳・泪な構成を図にもとづ
い゛C説明すると、1(す披測定′吻である放射源、2
1″、j、b(射(ぢ(1アう・らの放射エネルギー1
路に設置しCいる検出器であり、この演出器2の;j口
Irriには変調手段である円板状のヂョッ・z3が設
置されCいる。チヨ7′・ζ6にj・ま透孔4が、;(
kけられて秒り、ヂョノパ3を回・映さすると、:&
nI源1からの放射エネルギー(」、一定周ノ用で断続
し7て演出器2に入射することになる。チョッパ6の回
転は主動源のモータ5により行われる。
しか1,7tから、上記したような構成では、チョッパ
6、モータ5のように機械的な回転部があるため、それ
ぞれの可動部が摩耗し、寿命特性に錐があった。また可
動部の摩耗によって不安な振動や騒隊などの発生が見ら
れた。またチョッパ6−やモータ5を用いると、装置全
体の形状が大きくなるとともに、重置が重くなり、取扱
いが不沈であった。さらにはモータ5を用いると電力の
消費量が多くなり、しかも1面洛も高いものとなってい
た。
6、モータ5のように機械的な回転部があるため、それ
ぞれの可動部が摩耗し、寿命特性に錐があった。また可
動部の摩耗によって不安な振動や騒隊などの発生が見ら
れた。またチョッパ6−やモータ5を用いると、装置全
体の形状が大きくなるとともに、重置が重くなり、取扱
いが不沈であった。さらにはモータ5を用いると電力の
消費量が多くなり、しかも1面洛も高いものとなってい
た。
このような従来構造の欠点を改良し、機械的な回転部を
なくしたものとして、第2図、第6図に示したような変
調手段が考えられる。
なくしたものとして、第2図、第6図に示したような変
調手段が考えられる。
第2図、第6図の構成例を説明すれば、斤叉型”まだは
肝汁型の振動子6を放射源1から検出器2に至る放射エ
ネルギー経路の途中に設置し、振動f6の振動片7に取
り付けだ圧電トランスデユーf8を駆動することにより
、振動片7を励振させる一方、振動片7の先端にあるス
トッパ9に゛C放放射1からの放射エネルギーを変調す
るという構成になっている。
肝汁型の振動子6を放射源1から検出器2に至る放射エ
ネルギー経路の途中に設置し、振動f6の振動片7に取
り付けだ圧電トランスデユーf8を駆動することにより
、振動片7を励振させる一方、振動片7の先端にあるス
トッパ9に゛C放放射1からの放射エネルギーを変調す
るという構成になっている。
しかしながら、図示した第2図、第5図のものでは、放
射源1からの放射エネルギーを宅全に遮断できる大きな
変f立敞を得ることが誰1.<、変調手段として十分に
没立つものではなかった。
射源1からの放射エネルギーを宅全に遮断できる大きな
変f立敞を得ることが誰1.<、変調手段として十分に
没立つものではなかった。
1〜たがつで、この発明は簡単な構成からなり、寿命特
性にすぐれた変調手段を備えだ焦電型検出器を提供する
ことを目的とする。
性にすぐれた変調手段を備えだ焦電型検出器を提供する
ことを目的とする。
丑だこの発明は一定の周期で確実に変調する変調手段を
備えだ焦電型検出器を1ノド供することを目的とする。
備えだ焦電型検出器を1ノド供することを目的とする。
すなわち、この発明の要旨とするところは、放射源から
の放射エネルギー経路を変調して検出器に導く変調手段
を備えた焦電型検出装置があって、前記変調手段は、圧
電振動子と、圧電振動子の振動片の表面に形成した反射
面とからなり、前記反射面は放射源からの放射エネルギ
ーを反射して検出器へ導く位置に設定されCいることを
特徴とするものである。
の放射エネルギー経路を変調して検出器に導く変調手段
を備えた焦電型検出装置があって、前記変調手段は、圧
電振動子と、圧電振動子の振動片の表面に形成した反射
面とからなり、前記反射面は放射源からの放射エネルギ
ーを反射して検出器へ導く位置に設定されCいることを
特徴とするものである。
第4図はこの発明にかかる焦′llt型検出器の一例の
夏略図である。
夏略図である。
図中、11は放射源、12は、鳴五型検出器、16は変
調手段を示し、変調手段13は放射源11からの放射エ
ネルギーを反射し−C焦覗型検出器12に導< Is”
L置に設定されている。
調手段を示し、変調手段13は放射源11からの放射エ
ネルギーを反射し−C焦覗型検出器12に導< Is”
L置に設定されている。
変調手段15は図示しだものでは音叉型の1辰動子14
と、振Iab子14の撮動片15に取り付けた圧電トラ
ンスデユーサ16と、4震動片15の表面に形成した反
射面17とから構成さJシ゛〔いる。反射面17け放射
源11からの放射エネルギー経路を変調l)C検出器1
2に導くように、たとえばAjの蒸着嘆から構成される
。
と、振Iab子14の撮動片15に取り付けた圧電トラ
ンスデユーサ16と、4震動片15の表面に形成した反
射面17とから構成さJシ゛〔いる。反射面17け放射
源11からの放射エネルギー経路を変調l)C検出器1
2に導くように、たとえばAjの蒸着嘆から構成される
。
この変調手段16の働らきを以下に説明する。
まず、1駆動″を毬源18により圧電トランスデユーサ
16を振動させ、振動片15を振動させる。このとき1
昼勤片15に変位が生じ、放射源11からの放射エネル
ギーは反射面17で変位を受ける。しだがつ゛C1反射
反射面で変f■を受けだ反射エネルV−は検出器12付
近で大きなR泣lとなり、検出器12の入射位置から外
れることになる。このように、反射面17で反射された
放射エネルギーは]震動子14の撮動により一定の周期
で検出ds 12に断続的に入射rるよう:てなり、放
射源11からの放射エネルギーが変調されることになる
。7、な卦、この実殉例でケよ圧電]・ランスデユー1
月−11辰動片の片方(て取り11′けたが、両方に取
り付けてもよい。
16を振動させ、振動片15を振動させる。このとき1
昼勤片15に変位が生じ、放射源11からの放射エネル
ギーは反射面17で変位を受ける。しだがつ゛C1反射
反射面で変f■を受けだ反射エネルV−は検出器12付
近で大きなR泣lとなり、検出器12の入射位置から外
れることになる。このように、反射面17で反射された
放射エネルギーは]震動子14の撮動により一定の周期
で検出ds 12に断続的に入射rるよう:てなり、放
射源11からの放射エネルギーが変調されることになる
。7、な卦、この実殉例でケよ圧電]・ランスデユー1
月−11辰動片の片方(て取り11′けたが、両方に取
り付けてもよい。
まだ、1辰助子14の全体を圧、電材料、7tとえばP
ZT系などのセラミックIE電体、PVF、などの高分
子圧![トで構成しCもよい。
ZT系などのセラミックIE電体、PVF、などの高分
子圧![トで構成しCもよい。
さも(てまだ1.■5図に示すように、振動−r−16
のI辰効片14の先端を固定しCもよい。この場合は入
きな変位が14られることになる。
のI辰効片14の先端を固定しCもよい。この場合は入
きな変位が14られることになる。
パg6図は第4図の焦電型検出器置の変形例を示しだも
のCある。
のCある。
この:T、 6図に示しだ構成の特徴は勿調f段13と
4出器12との間にさらに別の反射面19を設定し/こ
もつである。。
4出器12との間にさらに別の反射面19を設定し/こ
もつである。。
この1波I!!1こ、Lhば、・5に射エネルギー経路
の変立清をさらに大きくすることができるものである。
の変立清をさらに大きくすることができるものである。
つまり、反射面19を設定することにより、検出1i3
12までの放射エネルギー経路が長くなり、経路がわず
か変化しても検出器12に達したときにはその変(i″
f、が大きくなる。
12までの放射エネルギー経路が長くなり、経路がわず
か変化しても検出器12に達したときにはその変(i″
f、が大きくなる。
また、この反射面19を組み入れることによつC,4同
戸的な配置の自由度が噌え、小型化が図れるとともに放
射エネルギーの径路の設定も容易にできる。したがって
、反射面19は1個に限らず、複数個設けることも許さ
れる。
戸的な配置の自由度が噌え、小型化が図れるとともに放
射エネルギーの径路の設定も容易にできる。したがって
、反射面19は1個に限らず、複数個設けることも許さ
れる。
その他の構成は44図のものと同一であるので、同一=
a号を[tL’(詳細な説明を省略する。
a号を[tL’(詳細な説明を省略する。
第7図はさらにこの究明にかかる焦fli、型検出装置
の他の実施例を示す政略図である。
の他の実施例を示す政略図である。
第7図に示した構成と第4図のものとの大きな相違点r
l:l:型の振動子14の代わりに廿片型の振動子14
を用いた点にある。
l:l:型の振動子14の代わりに廿片型の振動子14
を用いた点にある。
し、たがつ′C1その基本的な構成および働らきは第4
図の構成例について説明した内容と重複するので、その
詳細な説明は省略する。
図の構成例について説明した内容と重複するので、その
詳細な説明は省略する。
なお、図示したものは圧室トランスガユーザ16を振動
片15の片面に取り1・]°けたが、両1fiiに取り
付けCもよい。
片15の片面に取り1・]°けたが、両1fiiに取り
付けCもよい。
また、第4図の構成におい゛C説明しA−と同じように
、i辰吻了−14のi′−1体全1五′屯(オオー1、
ン′ことえ(・1′、、1?ZT糸などのセラミック月
E ’lにf本、PVI′′、iデとの高分子圧電体で
構成し′こもよい。
、i辰吻了−14のi′−1体全1五′屯(オオー1、
ン′ことえ(・1′、、1?ZT糸などのセラミック月
E ’lにf本、PVI′′、iデとの高分子圧電体で
構成し′こもよい。
また、第8図は第7Nに示しプこ、gi< li型検出
装置の変形1計りを示し1.tもので、第6図と同様に
、一定ti!1’J手段15と検出器12とC)間にさ
らに別の反射〔ハ119を設定し)゛こものである。
装置の変形1計りを示し1.tもので、第6図と同様に
、一定ti!1’J手段15と検出器12とC)間にさ
らに別の反射〔ハ119を設定し)゛こものである。
この反射面19は1個:・′こ限らj″、I処致個設定
し2゛Cもよい、。
し2゛Cもよい、。
第8図の構成、お・よび勘1トき憂こついごシ」、L6
図に示した内aと!■復する)のび、−きの詳rl(N
”、i: i説明を省略する。
図に示した内aと!■復する)のび、−きの詳rl(N
”、i: i説明を省略する。
以ヒの実施向の内δ−から明らか、・rよう、こ・−の
発明によれば、変5週手段)C!HE且)震動トとその
1震動片の表面に形成された反射面とか”) 4t9成
されて1号り、放射源からの放射エネルギーf:振動し
Cいる反射面に反射させることによって変調するという
ものであり、回転部分がなくまたこの回転部分にもとづ
く振動、騒音がないため寿命時1生にすぐれCいる。ま
た回転するチョッパやモータが不要となるだめ、形成が
小型になるとともに重量も軒くなり、さらには消費電力
も少なくなり、利用コストを低減することができる。
発明によれば、変5週手段)C!HE且)震動トとその
1震動片の表面に形成された反射面とか”) 4t9成
されて1号り、放射源からの放射エネルギーf:振動し
Cいる反射面に反射させることによって変調するという
ものであり、回転部分がなくまたこの回転部分にもとづ
く振動、騒音がないため寿命時1生にすぐれCいる。ま
た回転するチョッパやモータが不要となるだめ、形成が
小型になるとともに重量も軒くなり、さらには消費電力
も少なくなり、利用コストを低減することができる。
第1図〜第5図はそれぞれこの発明の従来例を示し、第
1図は(伐略;$1視図、第2図〜第5図は概略側面図
、第4図はこの発明にかかる焦電型検出装置の一実施例
を示す概略側面図、第5図は第4図の焦電型検出装置の
変形列を示す概略側面図、第6図は第4図のその他変形
列を示す1概略側面図、第7図はこの発明にかかる焦電
型検出装置の他の実施例を示す規格側面図、第6図Q」
、第7図の変形例を示す概略側面図である。 11は放射源、12は焦電型検出器、15は変調手段
14は振動子、15は振動片、17は反射面。 第70 1? 躬3図 ゴ・ 続 ン山 正 書 く 方 式
)%式% 1、事件の表示 昭和57年待時許 願第142892号2、発明の名称 焦電型検出器 3、補i[を−りる者 事件との関係 特許出願人 住所 京都府長岡京市天神二丁目26番10号名称 (
623)株式会社 材用製作所昭和57年11月30口
(発送日) 6、補正の対象 (1)明細書の1発明の名称」の欄 (2)明細書の「特許請求の範I11.1の欄(3)明
細書の「発明の詳細な説明1の欄(4)明細書の[図面
の簡単な説明1の欄7、補正の内容 (1)明細内、第1、発明の名称」の欄「焦電型検出装
置」を「焦電型検出器」に補正する。 (2)明細書、第1頁、「特δ′f請求の範囲」の欄別
紙のとおり 〈3)明細書、第4頁、第15行 「焦電型検出装置があって、」をl焦電ハ゛ノ検出器で
あって、」に補正する。 (4)明細書、第5頁、第14行 「働らき」を「働き」に補正覆る。 (5)明細書、第6頁、第1511 「焦電型検出装置」を「焦電型検出器」に補止づる。 (6)明細書、第7頁、第13行〜第14行[焦電型検
出装置」を「焦電型検出器」に補正する。 (7)明細書、第7頁、第18行 ]−則jらさ1を1@き」に補正する。 り8)明細用、第 8頁、第 8行 1焦電型検出装置」を「焦電型検出器」に補正づる。 (9)明細内、第8頁、第14行 「働らき」を[働ぎ」に補正する。 (10)明■l用、第9頁、第11行〜第12行[焦電
型検出装置−1を「焦電型検出器」に補正する。 (11)明細書、第9頁、第13行 1−焦電型検出装置−1を「焦電型検出器」に補正する
。 (12)明細書、第9頁、第15行 「焦電型検出装置」を[焦電型検出器」に補正する。 以上 別 紙 2、特許請求の範囲 (1)lji剣源からの放射エネルギー経路を変調して
検出器に導く変調1段4″備えた焦電へり検出器であっ
τ、前記変調手段は、圧電振動子ど、圧電1.llt動
子の振動片の表面に形成した反射面とから4Cす、前記
反射面は放射源let +らの放射エネルギーを反q・
1して検出器へ導く位置に設定されていることを特徴ど
する焦電型検出器。 (2)圧電振動子は音叉型のものからなる特8′[請求
の範囲第(1)項記載の焦電型検出器。 (3)圧電振動子は音片型のものからなる特許請求の範
囲第り1)項記載の焦電型検出器。 I
1図は(伐略;$1視図、第2図〜第5図は概略側面図
、第4図はこの発明にかかる焦電型検出装置の一実施例
を示す概略側面図、第5図は第4図の焦電型検出装置の
変形列を示す概略側面図、第6図は第4図のその他変形
列を示す1概略側面図、第7図はこの発明にかかる焦電
型検出装置の他の実施例を示す規格側面図、第6図Q」
、第7図の変形例を示す概略側面図である。 11は放射源、12は焦電型検出器、15は変調手段
14は振動子、15は振動片、17は反射面。 第70 1? 躬3図 ゴ・ 続 ン山 正 書 く 方 式
)%式% 1、事件の表示 昭和57年待時許 願第142892号2、発明の名称 焦電型検出器 3、補i[を−りる者 事件との関係 特許出願人 住所 京都府長岡京市天神二丁目26番10号名称 (
623)株式会社 材用製作所昭和57年11月30口
(発送日) 6、補正の対象 (1)明細書の1発明の名称」の欄 (2)明細書の「特許請求の範I11.1の欄(3)明
細書の「発明の詳細な説明1の欄(4)明細書の[図面
の簡単な説明1の欄7、補正の内容 (1)明細内、第1、発明の名称」の欄「焦電型検出装
置」を「焦電型検出器」に補正する。 (2)明細書、第1頁、「特δ′f請求の範囲」の欄別
紙のとおり 〈3)明細書、第4頁、第15行 「焦電型検出装置があって、」をl焦電ハ゛ノ検出器で
あって、」に補正する。 (4)明細書、第5頁、第14行 「働らき」を「働き」に補正覆る。 (5)明細書、第6頁、第1511 「焦電型検出装置」を「焦電型検出器」に補止づる。 (6)明細書、第7頁、第13行〜第14行[焦電型検
出装置」を「焦電型検出器」に補正する。 (7)明細書、第7頁、第18行 ]−則jらさ1を1@き」に補正する。 り8)明細用、第 8頁、第 8行 1焦電型検出装置」を「焦電型検出器」に補正づる。 (9)明細内、第8頁、第14行 「働らき」を[働ぎ」に補正する。 (10)明■l用、第9頁、第11行〜第12行[焦電
型検出装置−1を「焦電型検出器」に補正する。 (11)明細書、第9頁、第13行 1−焦電型検出装置−1を「焦電型検出器」に補正する
。 (12)明細書、第9頁、第15行 「焦電型検出装置」を[焦電型検出器」に補正する。 以上 別 紙 2、特許請求の範囲 (1)lji剣源からの放射エネルギー経路を変調して
検出器に導く変調1段4″備えた焦電へり検出器であっ
τ、前記変調手段は、圧電振動子ど、圧電1.llt動
子の振動片の表面に形成した反射面とから4Cす、前記
反射面は放射源let +らの放射エネルギーを反q・
1して検出器へ導く位置に設定されていることを特徴ど
する焦電型検出器。 (2)圧電振動子は音叉型のものからなる特8′[請求
の範囲第(1)項記載の焦電型検出器。 (3)圧電振動子は音片型のものからなる特許請求の範
囲第り1)項記載の焦電型検出器。 I
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (【) 放射(原からの放射エネルギー経路を変調し
て検出器に厚く変調手段を備えた焦電型検出器置であつ
C1 前記変調手段は、圧電振動子と、IE坦振・助手の1震
動片の表面に形成した反射面とからなり、前に7反IN
面は放射源からの放射エネルぞ−を反射して演出器へ導
く位装置に設定され′Cいることを!時機とするw市型
検出装置。 (2)圧電振動子は音叉型のものからなる特許請求の範
囲第1[)項記載の焦電型検出器。 (3)圧’+’j J震動子はに片県のものからなる゛
、i石6請求の範囲第(1)項記載の焦電型検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57142892A JPS5932826A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 焦電型検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57142892A JPS5932826A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 焦電型検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5932826A true JPS5932826A (ja) | 1984-02-22 |
Family
ID=15326016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57142892A Pending JPS5932826A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 焦電型検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5932826A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0739083A1 (en) * | 1994-11-07 | 1996-10-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric actuator and pyroelectric infrared-ray sensor using the same |
EP0905801A2 (en) * | 1997-09-30 | 1999-03-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric actuator, infrared sensor and piezoelectric light deflector |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5524676A (en) * | 1978-08-09 | 1980-02-21 | Sanyo Electric Co Ltd | Infrared thermometer |
-
1982
- 1982-08-17 JP JP57142892A patent/JPS5932826A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5524676A (en) * | 1978-08-09 | 1980-02-21 | Sanyo Electric Co Ltd | Infrared thermometer |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0739083A1 (en) * | 1994-11-07 | 1996-10-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric actuator and pyroelectric infrared-ray sensor using the same |
EP0739083A4 (en) * | 1994-11-07 | 1999-02-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND INFRARED PYROELECTRIC DETECTOR INCLUDING SUCH AN ACTUATOR |
EP0905801A2 (en) * | 1997-09-30 | 1999-03-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric actuator, infrared sensor and piezoelectric light deflector |
EP0905801A3 (en) * | 1997-09-30 | 2000-01-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric actuator, infrared sensor and piezoelectric light deflector |
US6222302B1 (en) | 1997-09-30 | 2001-04-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric actuator, infrared sensor and piezoelectric light deflector |
KR100330337B1 (ko) * | 1997-09-30 | 2002-05-09 | 모리시타 요이찌 | 압전액추에이터,적외선센서및압전광편향기 |
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