JPS5932697A - ターボ分子ポンプ用加熱装置および加熱装置を備えたターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプ用加熱装置および加熱装置を備えたターボ分子ポンプInfo
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- JPS5932697A JPS5932697A JP58078872A JP7887283A JPS5932697A JP S5932697 A JPS5932697 A JP S5932697A JP 58078872 A JP58078872 A JP 58078872A JP 7887283 A JP7887283 A JP 7887283A JP S5932697 A JPS5932697 A JP S5932697A
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- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
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- KZMAWJRXKGLWGS-UHFFFAOYSA-N 2-chloro-n-[4-(4-methoxyphenyl)-1,3-thiazol-2-yl]-n-(3-methoxypropyl)acetamide Chemical compound S1C(N(C(=O)CCl)CCCOC)=NC(C=2C=CC(OC)=CC=2)=C1 KZMAWJRXKGLWGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/10—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications
- H05B6/105—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications using a susceptor
- H05B6/109—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications using a susceptor using magnets rotating with respect to a susceptor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/10—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications
- H05B6/105—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications using a susceptor
- H05B6/108—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications using a susceptor for heating a fluid
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ポンプ、特にターボ分子ポンプの加熱装置に
関する。
関する。
ターボ分子ポンプは高真空又は超高真空を形成するため
の虚空・ｒンプである６、排気に四１ろ時間を短縮する
ために高真空側の表面のデソープション（ｄｅｓｏｒｐ
ｔｉｏｎ）を加速する必要がある。それらの人１ｌｌ１
口２、ポンプハウジングと、ロー タと、ロータディス
クすなわち羽根と、ステータディスクすなわち羽根より
なる。これらの表面のデソープションは該表面を加熱す
ることにより加速される。
の虚空・ｒンプである６、排気に四１ろ時間を短縮する
ために高真空側の表面のデソープション（ｄｅｓｏｒｐ
ｔｉｏｎ）を加速する必要がある。それらの人１ｌｌ１
口２、ポンプハウジングと、ロー タと、ロータディス
クすなわち羽根と、ステータディスクすなわち羽根より
なる。これらの表面のデソープションは該表面を加熱す
ることにより加速される。
こＡ１迄、該加熱はジャケットヒータの形体よりなる’
Ｆｔｊ；気抵抗に１り行われてきた。
Ｆｔｊ；気抵抗に１り行われてきた。
この方法では、高真空側におけるターボ分子ポンプのハ
ウジングの表面は比較的迅速に加温される。し２かしな
がら、一方において高真空側におけルロ−タどステータ
の表面は、ハウジングとの十分な接触がないために、ま
た真空中において熱伝導性がないために、非常にゆっく
り加温さねるにすぎない。加温は本質的に高真空側にお
ける加熱表面から発散する放射によってのみ生ずる。限
られた加熱能力しか得られず、又ハウジングは或温度以
上に加熱されてはならないので、ロータとスー】−タの
表面の加熱時間に影響を与えることはできな℃・３、現
在、ロータの加熱時間は約６時間にも及ぶ。
ウジングの表面は比較的迅速に加温される。し２かしな
がら、一方において高真空側におけルロ−タどステータ
の表面は、ハウジングとの十分な接触がないために、ま
た真空中において熱伝導性がないために、非常にゆっく
り加温さねるにすぎない。加温は本質的に高真空側にお
ける加熱表面から発散する放射によってのみ生ずる。限
られた加熱能力しか得られず、又ハウジングは或温度以
上に加熱されてはならないので、ロータとスー】−タの
表面の加熱時間に影響を与えることはできな℃・３、現
在、ロータの加熱時間は約６時間にも及ぶ。
ターボ分子ポンプを加熱するための上記従来方法の他の
欠点は、ロータの速度が低下したときに加熱を停止する
ために安全措置がとられなけれはならないことである。
欠点は、ロータの速度が低下したときに加熱を停止する
ために安全措置がとられなけれはならないことである。
本発明の目的は、ターボ分子ポンプのロータおよびステ
ータの表面が在来の装置よりもより迅速かつ安全に加温
できる装置を提供することにある。
ータの表面が在来の装置よりもより迅速かつ安全に加温
できる装置を提供することにある。
本発明によれば、ポンプのための加熱装置は、ロータの
軸に直角に走行ずイ）磁力線を形成する磁界形成手段を
備えている。
軸に直角に走行ずイ）磁力線を形成する磁界形成手段を
備えている。
本発明はまた、ロータと、複数の高真空側部品と、該部
品の加熱手段とを備え、該加熱手段はロータの軸に直角
に走行する磁力線を形成する磁界形成手段よりなるター
ボ分子ポンプを提供１′る。
品の加熱手段とを備え、該加熱手段はロータの軸に直角
に走行する磁力線を形成する磁界形成手段よりなるター
ボ分子ポンプを提供１′る。
以下、添附図面に沿って本発明の好適な実施例を説明す
る。
る。
基本的に本発明は、磁力線がポンプのロータ軸に直角に
走く）磁界によってポンプ部品か加熱さＡ１゜るポンプ
用加熱装置を提供する。
走く）磁界によってポンプ部品か加熱さＡ１゜るポンプ
用加熱装置を提供する。
このようにして、ロータはますロータ自身の回転による
磁界との相互作用によって形成される渦電流により加熱
される。
磁界との相互作用によって形成される渦電流により加熱
される。
ロータとステータのディスクは互いに対向するようにし
て交互に配置されているので、放射によるロータディス
クからステ・−タブ゛イスクへの熱伝達のための条件は
理想的である。
て交互に配置されているので、放射によるロータディス
クからステ・−タブ゛イスクへの熱伝達のための条件は
理想的である。
磁界は永久磁石か又は電磁石により形成される。
両名の組合わせも可能である。電磁石を使用するどぎは
、電磁石の界磁巻線の電気抵抗を同時にポンプハウジン
グの加熱にも使用できろ。
、電磁石の界磁巻線の電気抵抗を同時にポンプハウジン
グの加熱にも使用できろ。
図面を参照１−ると、第１図お。Ｊ、ひ第２図は、ノ・
ウジング１と、ロータ２と、ロータディスクすなわち羽
根：３どを備えた一方向ターボ分子ポンプなン１＜シて
いる３、ステー・タデ・イスクすフ、１ミわち羽根・１
はｌ−１−タブ・イスクの間にくるように交互に配置１
５′さ牙している。ポンプはさらに、高真空側の連結フ
ランジ−ずブよりちツク゛ソｌ□ ５と、ベアリング８
と駆動モーり９とを含む。ハウジング１の外周には磁界
形成用の永久磁石６又は電磁石７が配置され、該磁石の
磁力線はロータ軸に直角に走る。磁界はまた永久磁石と
電磁石との組合わぜによってもつくられる。
ウジング１と、ロータ２と、ロータディスクすなわち羽
根：３どを備えた一方向ターボ分子ポンプなン１＜シて
いる３、ステー・タデ・イスクすフ、１ミわち羽根・１
はｌ−１−タブ・イスクの間にくるように交互に配置１
５′さ牙している。ポンプはさらに、高真空側の連結フ
ランジ−ずブよりちツク゛ソｌ□ ５と、ベアリング８
と駆動モーり９とを含む。ハウジング１の外周には磁界
形成用の永久磁石６又は電磁石７が配置され、該磁石の
磁力線はロータ軸に直角に走る。磁界はまた永久磁石と
電磁石との組合わぜによってもつくられる。
第６図および第４図は本発明による加熱装置を備えた２
方向ターボ分子・１ソンプを示す。高真空側部分は特別
なハウジング１かも形成されている。
方向ターボ分子・１ソンプを示す。高真空側部分は特別
なハウジング１かも形成されている。
ここではロータを加熱するための必要な磁界を形成する
永久磁石か、電磁石又はそれらの組合わせが設けられて
いる。
永久磁石か、電磁石又はそれらの組合わせが設けられて
いる。
ターボ分子ポンプの高真空側を加温するだめの本発明に
よる上述した装置は在来の装置に比べ次のような利点を
有する。
よる上述した装置は在来の装置に比べ次のような利点を
有する。
ロータは渦電流により直接か−）迅速に加熱される。ス
テー タデイスクがロータディスクに対向配置されてい
るので、熱は直接放射によつ“Ｃステ−タデイスクに伝
達可能であイ）ｃ、ＣＩ −タの速度低下を引き起重障
害があった場合には、１−１−タの加熱が低減される。
テー タデイスクがロータディスクに対向配置されてい
るので、熱は直接放射によつ“Ｃステ−タデイスクに伝
達可能であイ）ｃ、ＣＩ −タの速度低下を引き起重障
害があった場合には、１−１−タの加熱が低減される。
もしロータが停止−１Ｘ、 Ｌ、た場合は、渦電流が生
じないので加熱作用はなくなる。
じないので加熱作用はなくなる。
−Ｌ述ｌ、５た本発明は神々の変形、変化および応用に
滴合し７得る。
滴合し７得る。
２０１図は本発明による加熱装置を備えた一方面ターボ
分子ポンプの断面図、 第２図は第１図の概略平面図、 ｉ″８３図は本発明による加熱装置を備えた二方向タ
−ボ分子ボ／プ、 第４図は第５図の線Ａ−Ａに沿う断面図を示す。 ！時πｒ出ＩＭｔ人 アルツール・ファイフェル
、ヴアークウムテクニック・ヴエツツラー・ゲーエムベ
ーハー （外４名） 図面のｒｒｌｔ！）（内容に変更なし）尾ｌ１２］ ＬＢ図 Ｌ４図 手続補正書（方式） 昭和６２年９ 月５日 昭和夕ど年 ７１す１願第 ７ｇ？７ｘ 号６補正を
する者 事件との関係 出 願 人 住所 ４、代理人
分子ポンプの断面図、 第２図は第１図の概略平面図、 ｉ″８３図は本発明による加熱装置を備えた二方向タ
−ボ分子ボ／プ、 第４図は第５図の線Ａ−Ａに沿う断面図を示す。 ！時πｒ出ＩＭｔ人 アルツール・ファイフェル
、ヴアークウムテクニック・ヴエツツラー・ゲーエムベ
ーハー （外４名） 図面のｒｒｌｔ！）（内容に変更なし）尾ｌ１２］ ＬＢ図 Ｌ４図 手続補正書（方式） 昭和６２年９ 月５日 昭和夕ど年 ７１す１願第 ７ｇ？７ｘ 号６補正を
する者 事件との関係 出 願 人 住所 ４、代理人
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） ひ−夕をＵするボ゛ンプのための加熱装置で
あって、該ロータの軸に面角に走る磁力線を牛ぜし、ぬ
る磁界形成手段を備えてなるポンプ用加熱装置。 （２）前記磁界形成手段が１つ又はそれ以上の永久磁石
よりな４）第１項の加熱装置。 （３）１）ＩＪ記磁界形成手段が１つ又はそれ以上の電
磁石よりなる第１項の加熱装置。 （’） ｆｊ：Ｉ Ｍ？ボ゛ンク０がハウジン−グお
よび又は他の非回転部分なイ１］７、前記各電磁石は界
磁巻線を備え、前記・・１：ノジ／グおよび又は他の非
回転部分が界（直巻線の電気抵抗熱により加熱さねる第
３項の加熱装置。 （Ｆ）） 当該υ１１熱装柩がポ”ンプの高真空側に
設けられ一’Ｃ’ｖ・る第１項の加熱装置。 （６）ロータ軸に直角に走る磁力線を生せしめる磁界形
成手段を備えたポンプ用加熱装置と、・・ウジングと、
高真空側とを有し、該ノ・ウシシングはポンプの高真空
側にフランジを有し、該磁界形成手段が前記フランジの
直下に設けられている一方面ターボ分子ポンプ。 （７） ロータ軸に直角に走る磁力線を生ぜしめる磁
界形成手段を備えたポンプ用加熱装置と、球形ハウジン
グと、高真空側とを有し、該磁界形成手段はポンプの高
真空側で該ハウジングに設けられている二方向ターボ分
子ポンプ。 （８） ロータと、複数の高真空側部品と、該部品の
ための加熱装置とを備え、該加熱装置はロータ軸に直角
に走る磁力線をつくる磁界形成手段よりなるターボ分子
ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3216404A DE3216404C2 (de) | 1982-05-03 | 1982-05-03 | Heizung für eine Turbo-Molekularpumpe |
| DE3216404.1 | 1982-05-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5932697A true JPS5932697A (ja) | 1984-02-22 |
| JPH0368238B2 JPH0368238B2 (ja) | 1991-10-25 |
Family
ID=6162517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58078872A Granted JPS5932697A (ja) | 1982-05-03 | 1983-05-04 | ターボ分子ポンプ用加熱装置および加熱装置を備えたターボ分子ポンプ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5932697A (ja) |
| CH (1) | CH662691A5 (ja) |
| DE (1) | DE3216404C2 (ja) |
| FR (1) | FR2526090B1 (ja) |
| GB (1) | GB2119609B (ja) |
| IT (1) | IT1161046B (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6411393U (ja) * | 1987-07-09 | 1989-01-20 | ||
| JPH0270994A (ja) * | 1988-07-27 | 1990-03-09 | Alcatel Cit | 分子ポンプ |
| JP2019031969A (ja) * | 2017-08-09 | 2019-02-28 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプの回転子を熱する方法 |
| WO2022264924A1 (ja) | 2021-06-18 | 2022-12-22 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
Families Citing this family (9)
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|---|---|---|---|---|
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| US5914065A (en) * | 1996-03-18 | 1999-06-22 | Alavi; Kamal | Apparatus and method for heating a fluid by induction heating |
| JP3982656B2 (ja) * | 1998-05-19 | 2007-09-26 | 臼井国際産業株式会社 | マグネット式ヒーター |
| DE19858137B4 (de) * | 1998-12-16 | 2016-12-15 | BSH Hausgeräte GmbH | Heizung zum Erwärmen der Spülflüssigkeit in einer Geschirrspülmaschine |
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| US7339144B2 (en) | 2001-07-24 | 2008-03-04 | Magtec Llc | Magnetic heat generation |
| US7573009B2 (en) | 2001-07-24 | 2009-08-11 | Magtec Energy, Llc | Controlled magnetic heat generation |
| KR20040040435A (ko) * | 2001-07-24 | 2004-05-12 | 마그텍,엘엘시 | 자석 히터 장치 및 열생성 방법 |
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| JPS5134441A (en) * | 1974-09-18 | 1976-03-24 | Tomoya Desaki | Ryutai no kanetsuyusohoho |
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-
1982
- 1982-05-03 DE DE3216404A patent/DE3216404C2/de not_active Expired
-
1983
- 1983-02-07 CH CH674/83A patent/CH662691A5/de not_active IP Right Cessation
- 1983-04-19 IT IT20671/83A patent/IT1161046B/it active
- 1983-04-28 GB GB08311657A patent/GB2119609B/en not_active Expired
- 1983-05-03 FR FR838307316A patent/FR2526090B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1983-05-04 JP JP58078872A patent/JPS5932697A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5017687A (ja) * | 1973-06-13 | 1975-02-25 | ||
| JPS5134441A (en) * | 1974-09-18 | 1976-03-24 | Tomoya Desaki | Ryutai no kanetsuyusohoho |
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| JPH0270994A (ja) * | 1988-07-27 | 1990-03-09 | Alcatel Cit | 分子ポンプ |
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| WO2022264924A1 (ja) | 2021-06-18 | 2022-12-22 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| KR20240019076A (ko) | 2021-06-18 | 2024-02-14 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3216404C2 (de) | 1984-05-03 |
| FR2526090B1 (fr) | 1990-01-05 |
| IT1161046B (it) | 1987-03-11 |
| GB8311657D0 (en) | 1983-06-02 |
| FR2526090A1 (fr) | 1983-11-04 |
| CH662691A5 (de) | 1987-10-15 |
| JPH0368238B2 (ja) | 1991-10-25 |
| IT8320671A0 (it) | 1983-04-19 |
| GB2119609A (en) | 1983-11-16 |
| DE3216404A1 (de) | 1983-11-10 |
| GB2119609B (en) | 1985-11-13 |
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