JPS5930449Y2 - ペニング真空計における電源回路 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はペニング真空計における電源回路に関する。

真空装置に使用される真空計としてはペニング真空計が
広く用いられている。

斯かるペニング真空計においては、圧力の高い（例えば
１Ｏ−３Ｔｏｒｒ以上）状態で稼動させると、陰極や陽
極が汚染されて使用不可能になる。

そこで従来は油拡散ポンプを稼動させてから適宜な時間
が経過した後、ペニング真空計の電源を接続し、圧力を
見て、該圧力が基準の圧力以上であれば、手動にて電源
を切っていた。

しかして圧力が基準値に達するまでの動作をくりかえし
ながら行っているため、取扱いが非常に厄介であった。

本考案は斯様な不都合を解決するために、ペニング真空
計の電源の投入、遮断を自動的に行うことのできる新規
な回路を提供するもので、以下図面に基づき詳述する。

添付図面は本考案の一実施例を示す構成略図であり、１
はペニング真空計である。

２は該ペニング真空計１の陰極と陽極との間に高電圧を
印加するための直流高電圧発生回路で、トランス３及び
第１のスイッチ４を介して交流電源６に接続されている
。

７は前記ペニング真空計１に流れる電流を電圧に交換し
て検出するための検出抵抗で、検出された電圧は差動増
巾器８に送られて基準電源９０基準電圧と比較される。

該差動増巾器８は検出電圧が基準電圧よりも大きい場合
、１の出力信号を発してリレーの駆動コイル１０ａを駆
動させ、又検出電圧が基準電圧と等しいか又は小さい場
合０の出力信号を駆動コイル１０ａに送る。

１１はタイマーで、一定時間が経過するたびに出力信号
をパルス発生器１２に送るものであり、又該遅延回路は
油拡散ポンプ（図示せず）のスイッチと連動したスイッ
チＳが閉鎖されたとき作動を開始する。

前記パルス発生器１２は遅延回路１１からの出力信号が
供給されるたびにパルス信号を発生して、リレーの駆動
コイ／Ｌ／１３ａに送る。

該駆動コイル１３ａはパルス信号が送られたとき駆動さ
れ、第２のスイッチ（リレー接点）１３ｂを閉鎖する。

該第２のスイッチ１３ｂの閉鎖によりリレーの駆動コイ
ル１４ａが駆動され、前述した第１のスイッチ４を閉鎖
して前記ペニング真空計１に高電圧を印加する。

又該駆動コイル１４ａの駆動により前記第２のスイッチ
１３ｂと並列に設けられた第３のスイッチ１４ｂが閉鎖
し、第２のスイッチ１３ｂが開放されても駆動コイル１
４ａへの電流供給が遮断されないように構成しである。

１０ｂは前記第２のスイッチ１３ｂとリレーの駆動コイ
ル１４ａとの間に設けられた第４のスイッチで、該スイ
ッチは前記リレーの駆動コイル１０ａが駆動されたとき
開放し、それ以外のときは閉鎖されている。

１５は遅延回路で直流低電圧発生回路１６から電圧が供
給されることにより始動し、所定の時間（例えば３秒程
度）経過後、リレーの駆動コイル１７ａに出力信号を供
給する。

該駆動コイル１７ａは出力信号の供給により駆動し、前
記第４のスイッチ１０ｂと並列におかれた第５のスイッ
チ１７ｂを開放する。

前記直流低電圧発生回路１６には前記トランス３０２次
側コイル５を介して電圧が供給され、又該直流低電圧発
生回路１６からの出力電圧は前記差動増巾器８の電源と
して使用されている。

斯様な構成において、今真空装置を真空にするために油
拡散ポンプを作動させるとその動作に連動してスイッチ
Ｓが閉鎖するので、タイマー１１が始動する。

しかして予じめ設定した時間（例えば１５分程度）が経
過するとタイマー１１は出力信号をパルス発生器１２に
供給するため、一つのパルス信号がリレーの駆動コイ／
１／１３ａに供給され、第２のスイッチ１３ｂが閉鎖す
る。

ここで高電圧発生回路２は作動していないため、差動増
巾器８からは出力信号が発生せず、第４のスイッチ１０
ｂは閉鎖状態を保っている。

従って第２のスイッチ１３ｂの閉鎖によりリレーの駆動
コイル１４ａが駆動され、第１のスイッチ及び第３のス
イッチ１４ｂを閉鎖する。

該第１のスイッチ４の閉鎖によりトランス３を介し直流
高電圧発生回路２に交流電源６が接続されるため、ペニ
ング真空計１に高電圧が印加される。

一方策１のスイッチ４の閉鎖により２次コイル５を介し
て直流低電圧発生回路１６にも交流電源６が接続される
ため、差動増巾器６や遅延回路１５に電圧が供給される
。

該遅延回路１５は電圧が供給されることにより始動し、
設定された時間（例えば３秒程度）経過するとリレーの
駆動コイル１７ａを駆動させて第５のスイッチ１７ｂを
開放する。

前記高電圧の印加によりペニング真空計１に流れる電流
は検出抵抗Ｉで電圧に変換されて常時検出され、差動増
巾器８に送られて基準電圧と比較される。

この基準電源９０基準電圧としてはペニング真空計を稼
動させることのできる圧力（例えば１Ｏ−３Ｔｏｒｒ）
に対応する電圧値が予じめ設定しである。

従って検出された電圧が基準電圧よりも太きかった場合
にはリレーの駆動コイル１０ａを駆動せしめて第４のス
イッチ１０ｂを開放する。

その結果リレーの駆動コイル１４ａの駆動が解除される
ため、第１及び第３のスイッチ４及び１４ｂが開放され
、それによってペニング真空計への高電圧の印加が停止
される。

しかして更に所定時間（１５分）が経過するとタイマー
１１から出力信号がパルス発生器１２に供給されて、パ
ルス信号がリレーの駆動コイル１３ａに送られるため、
前述した動作に従ってペニング真空計１に再び高電圧が
印加される。

ここで第１のスイッチ４が閉鎖して直流高電圧発生回路
２及び直流低電圧発生回路１６に交流電源６が接続され
てから例えば３秒間は第５のスイッチ１７ｂが閉鎖して
いるため、直流高電圧発生回路２や差動増巾器８が不安
定な状態における間は実質的にペニング真空計１の検出
電圧の基準電圧との比較を行なわれないように構成され
ている。

つまり第５のスイッチ１７ｂが閉鎖していることにより
交流電源６の接続直後における直流高電圧発生回路２や
差動増巾器８の不安定な状態によってリレーの駆動コイ
ル１０ａが駆動されて第４のスイッチ１０ｂが開放され
てリレーの駆動コイル１４ａの駆動が解除されるのを防
止することができる。

以上の如く構成することにより本考案においては油拡散
ポンプの始動に連動して自動的にペニング真空計の電源
を接続することができるため、取扱いが非常に容易にな
り。

実用性大である。尚前述の説明ではリレーを使用した場
合について述べたが、リレーに代えて半導体を使用した
スイッチング回路又は論理回路を使用してもよい。

又タイマーから＝定時間経過するたびに出力信号をパル
ス発生器に送るように構成したが、これに限定されるこ
となく時間間隔は例えば２回目は１回目の半分、３回目
は２回目の半分・・・・・・というように次第に短かく
なるように設定してもよい。

【図面の簡単な説明】

添付図面は本考案の一実施例を示す構成略図である。 １ ：ペニング真空計、２：直流高電圧発生回路、３ニ
ドランス、４：第１のスイッチ、６：交流電源、７：検
出抵抗、８：差動増巾器、９：基準電源、１０ａ ニリ
レーの駆動コイル、１０ｂ：第４のスイッチ、１１：タ
イマー、１２：パルス発生器、１３ａ：リレーの駆動コ
イル、１３ｂ：第２のスイッチ、１４ａ：リレーの駆動
コイ／’、１４ｂ：第３のスイッチ、１５：遅延回路、
１６：直流低電圧発生回路、１７ａ：リレーの駆動コイ
ル、１７ｂ＝第５のスイッチ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ペニング真空計と、該ペニング真空計に直流高電圧を印
   加するための直流高電圧発生回路と、前記ペニング真空
   計に流れる電流を基準と比較する比較回路と、前記直流
   高電圧発生回路と電源との間におかれた第１のスイッチ
   手段と、真空ポンプの始動からある時間経過後間歇的に
   パルス信号を発生するパルス発生回路と、該パルス発生
   回路からのパルス信号によって閉鎖される第２のスイッ
   チ手段と、該第２のスイッチ手段が閉鎖することにより
   前記第１のスイッチ手段を閉鎖するための駆動手段と、
   該駆動手段によって前記第１のスイッチ手段と同時に閉
   鎖され、且つ前記第２のスイッチ手段と並列におかれた
   第３のスイッチ手段と、前記第１のスイッチ手段の閉鎖
   によりペニング真空計に直流高電圧が印加されたときペ
   ニング真空計の電流が基準よりも大きい場合前記駆動手
   段の駆動を解除するための第４のスイッチ手段と、該第
   ４のスイッチ手段と並列におかれた第５のスイッチ手段
   と、該第５のスイッチ手段を前記第１のスイッチ手段の
   閉鎖と同時に一定時間閉鎖してから開放させるための手
   段とからなるペニング真空計における電源回路。