JPS5928757A - 回転多面鏡走査装置 - Google Patents
回転多面鏡走査装置Info
- Publication number
- JPS5928757A JPS5928757A JP57138387A JP13838782A JPS5928757A JP S5928757 A JPS5928757 A JP S5928757A JP 57138387 A JP57138387 A JP 57138387A JP 13838782 A JP13838782 A JP 13838782A JP S5928757 A JPS5928757 A JP S5928757A
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- Japan
- Prior art keywords
- polygon mirror
- rotating polygon
- scanning device
- mirror scanning
- armature coil
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えばファクシミリ等の画像記録装置におい
てレーザ光音回転多面鏡に照射し、その反射光にて画面
を走査するが如き回転多面鏡走査装置に関する。
てレーザ光音回転多面鏡に照射し、その反射光にて画面
を走査するが如き回転多面鏡走査装置に関する。
従来から情報信号によって変調さｎた情報レーザ光全鏡
やその池の偏光手段を用いて偏光σせ、感光体金配した
被走査面上を走査させて情報信号の記録を行なったり、
被走査面上の情報の読み出しを行なうことはよく知らｎ
でいる１かかる光偏光器としては種々の形式のものがあ
るが、回転多面鏡走査装置もその一つである。この回転
多面鏡走査装置は、偏光速度が速く、連続的な光信光が
できるので高速度で冒密度の情報の記録乃至は読出しが
可能である。
やその池の偏光手段を用いて偏光σせ、感光体金配した
被走査面上を走査させて情報信号の記録を行なったり、
被走査面上の情報の読み出しを行なうことはよく知らｎ
でいる１かかる光偏光器としては種々の形式のものがあ
るが、回転多面鏡走査装置もその一つである。この回転
多面鏡走査装置は、偏光速度が速く、連続的な光信光が
できるので高速度で冒密度の情報の記録乃至は読出しが
可能である。
しかるに従来の回転多面鏡走査装置は、突愉ロータ葡有
する円筒型モータを使用している／こめに小型會要求σ
ｎる装置であるにもがかわらず、重畳が重く、大型でコ
スト安で高精能のものが得らｎなかった。特に厚みの薄
いものは得ることができなかった。こｎらのものとして
は、特開昭４９−９３０２７号、同５７−６２７５１号
に開示さ几ている。またこ汎らに示でｎる両端軸回転型
の構造のものは、軸受の芯出しが除めて難かしく、その
ために回転多面鏡ケ動的にも極めて変動しないように一
定回転σぜるために用いる空気軸受ケ便用することは不
可能であつ７こ。
する円筒型モータを使用している／こめに小型會要求σ
ｎる装置であるにもがかわらず、重畳が重く、大型でコ
スト安で高精能のものが得らｎなかった。特に厚みの薄
いものは得ることができなかった。こｎらのものとして
は、特開昭４９−９３０２７号、同５７−６２７５１号
に開示さ几ている。またこ汎らに示でｎる両端軸回転型
の構造のものは、軸受の芯出しが除めて難かしく、その
ために回転多面鏡ケ動的にも極めて変動しないように一
定回転σぜるために用いる空気軸受ケ便用することは不
可能であつ７こ。
本発明は上記事情に基づいてな３ｎだもので、以下図面
ケ参照しつつ本発明の詳細な説明することとする。
ケ参照しつつ本発明の詳細な説明することとする。
第１図乃至第５図ケ参照して本発明の第一実施例を説明
する。
する。
第１図は回転多面鏡走査装置の縦断面図、第２図は第１
図の組立図である。
図の組立図である。
第１図及び第２図ケ主に参照して、１は本発明第−実施
例奮示す回転多面鏡走査装置、２は偏平カップ型支持体
（第２図では図示せず）、３は上記支持体２の略中心部
に垂直に固設σｎだスクリュー溝を有する固定軸、４は
上記支持体２の上端開口部に固設σｔ″Ｌ７こフラット
な円環状の磁性体ヨークで、例えば鉄粉とプラスチック
粉との混合粉末ケ圧縮成型して形成したものケ用いてい
る。５は空隙で、駆動回路収納部、６は枠状に巻回形成
で′！′Ｌだ電機子コイルで、磁性体ヨーク４上に適宜
数配設σ汎でいる。このことは第３図で説明する。
例奮示す回転多面鏡走査装置、２は偏平カップ型支持体
（第２図では図示せず）、３は上記支持体２の略中心部
に垂直に固設σｎだスクリュー溝を有する固定軸、４は
上記支持体２の上端開口部に固設σｔ″Ｌ７こフラット
な円環状の磁性体ヨークで、例えば鉄粉とプラスチック
粉との混合粉末ケ圧縮成型して形成したものケ用いてい
る。５は空隙で、駆動回路収納部、６は枠状に巻回形成
で′！′Ｌだ電機子コイルで、磁性体ヨーク４上に適宜
数配設σ汎でいる。このことは第３図で説明する。
７は中心部に透孔を有し且つ図示しないプリント配勝導
体部會有するプリント基板で、電機子コイル６の上面に
固設σ几ている。８はプリント基板７の下面で、且つ電
機子コイル６の枠内空胴部９に臨むような位置に配設式
ｔ″Ｌだ位置検知素子として用いたホール素子やホール
ＩＣ等の磁電変換素子である。この磁電変換素子８の配
設位置等については後記する。１０は固定軸３の外周部
に回動自在に装着σ７したｌＪ］筒状軸受都１０ａ及び
該軸受都１０ａの外周に一体形成σ几７こ鍔＋ｏｂケ有
する円筒状の叫１受である。禰ｊ受］０は磁性体によっ
て形成している。寸７こ後６αする界磁マグネット１１
のｆｆＨｈ８ ｋ閉じるための１、・８件体ヨークで形
成した鍔＋ｏｂは、後記する回転釜［…匈１２の支持都
拐として機能するようにしている。１１はＩｌ長良性ヨ
ークである鍔ＴＯｂＯ下Ｆ用に固設σ７″１．たＮ、Ｓ
の磁極盆父互に有する２ ｐ （ｐ（は１以上の正の整
数）除の円環状の界磁マグネット（第４図参照）で、上
記鍔１０ｂの下面に固設して土面にプリント基板７ケ有
する電機子コイル９群に面対向σゼている。上記鍔１０
ｂはその外周部に垂直に延長し７ｎ折曲部１０ｃを設け
、この折曲部１０ｃで界峰マグイ・ノド１１葡保持する
ようにしている。
体部會有するプリント基板で、電機子コイル６の上面に
固設σ几ている。８はプリント基板７の下面で、且つ電
機子コイル６の枠内空胴部９に臨むような位置に配設式
ｔ″Ｌだ位置検知素子として用いたホール素子やホール
ＩＣ等の磁電変換素子である。この磁電変換素子８の配
設位置等については後記する。１０は固定軸３の外周部
に回動自在に装着σ７したｌＪ］筒状軸受都１０ａ及び
該軸受都１０ａの外周に一体形成σ几７こ鍔＋ｏｂケ有
する円筒状の叫１受である。禰ｊ受］０は磁性体によっ
て形成している。寸７こ後６αする界磁マグネット１１
のｆｆＨｈ８ ｋ閉じるための１、・８件体ヨークで形
成した鍔＋ｏｂは、後記する回転釜［…匈１２の支持都
拐として機能するようにしている。１１はＩｌ長良性ヨ
ークである鍔ＴＯｂＯ下Ｆ用に固設σ７″１．たＮ、Ｓ
の磁極盆父互に有する２ ｐ （ｐ（は１以上の正の整
数）除の円環状の界磁マグネット（第４図参照）で、上
記鍔１０ｂの下面に固設して土面にプリント基板７ケ有
する電機子コイル９群に面対向σゼている。上記鍔１０
ｂはその外周部に垂直に延長し７ｎ折曲部１０ｃを設け
、この折曲部１０ｃで界峰マグイ・ノド１１葡保持する
ようにしている。
１２は回転多面鏡で、周囲に４箇所の反射面１２ａケＭ
する軸方向に偏平な四角形状のものとなっテオリ、鍔１
０ｂの上面に固設している。１３は回転多面鏡１２の半
径より長い半径の風防用円板体で、上記回転多面鏡１２
の土面に固設でｎている。この風防用円板体１３は、回
転多面鏡１２が多面体であるときには、逆に不必要とな
るものであるが、回転多面鏡１２が三面鏡や四面鏡等の
ように少面体の場合には必要となるものである。即ち、
回転多面鏡１２が多Ｕｋｉ体のものであるときには、回
転多面鏡１２が回転したとしても風圧抵抗が少ないｌこ
め、風防用円板体１３を設けると、風の逃げ場がなくな
り、逆に回転多面鏡】２の回転による大きな回転音が生
ずる。こｎＫ対して、回転多面鏡１２が四面体等の少面
体の場合には、その反射面１２ａは風圧抵抗が犬さいの
で、そのため、そのまま回転多面鏡〕２が高速回転する
と犬さな回転音ケ生ずる。従って、回転多面鏡１２が少
面体の場合には、風防用円板体１３ケ設けておくと、反
射面１２ａに有する風は、上記円板体１３によって逃げ
道がなくなるので、回転多面鏡１２０回転に伴い上記反
射面１２ａと共に上記風は回転する。このため、上記風
防用円板体１３ケ設けていない場合に比較して風圧抵抗
が小σくなるので、回転多面鏡１２の回転によって生ず
る音が非常に小さくなる効果がある。
する軸方向に偏平な四角形状のものとなっテオリ、鍔１
０ｂの上面に固設している。１３は回転多面鏡１２の半
径より長い半径の風防用円板体で、上記回転多面鏡１２
の土面に固設でｎている。この風防用円板体１３は、回
転多面鏡１２が多面体であるときには、逆に不必要とな
るものであるが、回転多面鏡１２が三面鏡や四面鏡等の
ように少面体の場合には必要となるものである。即ち、
回転多面鏡１２が多Ｕｋｉ体のものであるときには、回
転多面鏡１２が回転したとしても風圧抵抗が少ないｌこ
め、風防用円板体１３を設けると、風の逃げ場がなくな
り、逆に回転多面鏡】２の回転による大きな回転音が生
ずる。こｎＫ対して、回転多面鏡１２が四面体等の少面
体の場合には、その反射面１２ａは風圧抵抗が犬さいの
で、そのため、そのまま回転多面鏡〕２が高速回転する
と犬さな回転音ケ生ずる。従って、回転多面鏡１２が少
面体の場合には、風防用円板体１３ケ設けておくと、反
射面１２ａに有する風は、上記円板体１３によって逃げ
道がなくなるので、回転多面鏡１２０回転に伴い上記反
射面１２ａと共に上記風は回転する。このため、上記風
防用円板体１３ケ設けていない場合に比較して風圧抵抗
が小σくなるので、回転多面鏡１２の回転によって生ず
る音が非常に小さくなる効果がある。
第３図は電機子コイル６群の条件及び配設方法等を説明
するための斜視図である。
するための斜視図である。
この第３図から明らかなように６個の電（幾重コイル１
４−＋、 ・、１４−６は、扇枠状に巻回形成テｎ１
ζものとなっており、６個の電機子コイル＋４−１．−
．１４−６は互いに重畳しないように等間隔配設さｎで
いる。３個の電機子コイル１４−１．−．１４−３の枠
内空胴部９には、磁電変換素子８−１．８−２．８−３
が配設でｎている。このことについては第５図において
、史に詳説する。
４−＋、 ・、１４−６は、扇枠状に巻回形成テｎ１
ζものとなっており、６個の電機子コイル＋４−１．−
．１４−６は互いに重畳しないように等間隔配設さｎで
いる。３個の電機子コイル１４−１．−．１４−３の枠
内空胴部９には、磁電変換素子８−１．８−２．８−３
が配設でｎている。このことについては第５図において
、史に詳説する。
第４図は界磁マグイ； ノド１１の平面図で、Ｎ。
Ｓの磁極を交互に有する８極のものケ本実施例では用い
ていること葡示す、 第５図は界磁マグネットと電機子コイルとの展開図で、
更に磁電変換素子の配設位置等ケ示す。
ていること葡示す、 第５図は界磁マグネットと電機子コイルとの展開図で、
更に磁電変換素子の配設位置等ケ示す。
この第５図から明らかなように電機子コイル６は、半径
方向の発生トルクに寄与する導体都６ａと６ｂとの開角
が、界磁マグネット１１の磁極幅の略々２ｎ−１（但し
ｎ＝１）倍、即ち、界磁マグネット１１の磁極幅と略々
等しい開角幅に巻回形成テア″Ｌｌｃものとなっており
、各電機子コイル６群は第３図及び第５図に示すように
、互いに重畳しないように等間隔配設−Ｇｎている。電
機子コイル６群は、電９（的に同相にある、周方向［１
８０１Ｗ位相がずｆ′ｌ−７ｃ２個の電機子コイ１１６
群ケ１組としたものを３組設けている。即ち、電機子コ
イル６−１と６−４．６−２と６−５．６−３と６−６
とが各組を形成している。各組の電機子コイル６群にそ
ｎぞｔｌ、１個の磁電変換素子８ヶ設けている。該磁電
変換素子８は電機子コイル６の枠内空胴部９に収納配設
σｎている。
方向の発生トルクに寄与する導体都６ａと６ｂとの開角
が、界磁マグネット１１の磁極幅の略々２ｎ−１（但し
ｎ＝１）倍、即ち、界磁マグネット１１の磁極幅と略々
等しい開角幅に巻回形成テア″Ｌｌｃものとなっており
、各電機子コイル６群は第３図及び第５図に示すように
、互いに重畳しないように等間隔配設−Ｇｎている。電
機子コイル６群は、電９（的に同相にある、周方向［１
８０１Ｗ位相がずｆ′ｌ−７ｃ２個の電機子コイ１１６
群ケ１組としたものを３組設けている。即ち、電機子コ
イル６−１と６−４．６−２と６−５．６−３と６−６
とが各組を形成している。各組の電機子コイル６群にそ
ｎぞｔｌ、１個の磁電変換素子８ヶ設けている。該磁電
変換素子８は電機子コイル６の枠内空胴部９に収納配設
σｎている。
第５図を参照して、電機子コイル６−４．６−５．６−
６の発生トルクに寄与する導体部６ａ土の位置Ｕ、Ｖ、
Ｗ上に配設する磁電変換素子８を、こｎと均等位置にあ
る電機子コイル６−１．６−２．６−３の枠内空胴部９
の記号Ｖ’ 、 Ｕ’ 、Ｗ’位置に配設している。
６の発生トルクに寄与する導体部６ａ土の位置Ｕ、Ｖ、
Ｗ上に配設する磁電変換素子８を、こｎと均等位置にあ
る電機子コイル６−１．６−２．６−３の枠内空胴部９
の記号Ｖ’ 、 Ｕ’ 、Ｗ’位置に配設している。
第６図は本発明の第二実施例ケ示す回転多面鏡走査装置
１′で、第１図に示す空隙５の厚み幅ケ増加することで
、制御回路、１駆動回路等を装備したプリント基板全平
行に複数収納できるようにするとともに、上記装置１′
の安定化を図ったものである。
１′で、第１図に示す空隙５の厚み幅ケ増加することで
、制御回路、１駆動回路等を装備したプリント基板全平
行に複数収納できるようにするとともに、上記装置１′
の安定化を図ったものである。
第７図は本発明の第三実施例を示す回転多面鏡走査装置
１〃で、第１図及び第６図を示す空隙５ヶ全くなくシ、
電機子コイル６、界磁マグイ・ソト１１、回転多面鏡１
２等を下部に設けることで、装置１〃の安定化ケ図ると
共に当該装置１〃ケ厚みが薄くなるように形成し７こも
のである。１４はスラストキャップである。
１〃で、第１図及び第６図を示す空隙５ヶ全くなくシ、
電機子コイル６、界磁マグイ・ソト１１、回転多面鏡１
２等を下部に設けることで、装置１〃の安定化ケ図ると
共に当該装置１〃ケ厚みが薄くなるように形成し７こも
のである。１４はスラストキャップである。
本発明は上記構成からなるため、磁電変換素子８が界磁
マグネット１１のＮ又はＳの磁極葡検Ｉ）″すると適宜
な方向の’ｔ Ｎ、ｌ：電機子コイル６に流し、このこ
とによりフレミングの左手の法則によって界（厩マグネ
ット１１は適宜な方向に回転する。
マグネット１１のＮ又はＳの磁極葡検Ｉ）″すると適宜
な方向の’ｔ Ｎ、ｌ：電機子コイル６に流し、このこ
とによりフレミングの左手の法則によって界（厩マグネ
ット１１は適宜な方向に回転する。
従って、回転軸１０（で固設σｎだ回転多面（滉１２が
回転し、該多面鏡１２０反射面１２ａに照射ざｎだ情報
レーザ光は偏光σｎだ反射光にて画面を走査する。
回転し、該多面鏡１２０反射面１２ａに照射ざｎだ情報
レーザ光は偏光σｎだ反射光にて画面を走査する。
上記説明から明らかなように本発明の回転多面鏡走査装
置は、ディスク型の量産に適するブラシレスモータを用
いているので、長寿命化が期待でき、小型で重畳が軽い
厚みの薄いものが得ら几る。
置は、ディスク型の量産に適するブラシレスモータを用
いているので、長寿命化が期待でき、小型で重畳が軽い
厚みの薄いものが得ら几る。
また変動が少なく一定回転するものが容易に得らｎる。
第１図は本発明の第一実施例を示す縦断面図、第２図は
同組立図、第３図は電機子コイル群の一例としての配設
方法を示す斜視図、第４図は一例として示した界磁マグ
ネットの平面図、第５図は界磁マグネットと電機子コイ
ル群との展開図、第６図は本発明第三実施例盆示す縦断
面図、第７図は本発明第三実施例を示ア縦断面図である
。 １．１′。１〃・・・回転多面鏡走査装置、 ２・・
・偏平カップ型支持体、 ３・・・固定軸、 ４・
・・磁性体ヨーク、 ５・・空隙（駆動回路収納部）
、 ６・・・電機子コイル、 ７・・・プリント基
板、 ８・・・位置検知素子（磁電変換素子）、
９・・・電機子コイルの枠内空胴部、 １０・・・回
転軸、 １０ａ・・・軸受、１０ｂ・・・鍔、 １
１・・・界磁マグネ７ｈ １２・・・回転多面鏡、
１３・・風防用円板体、 １４・・・スラストキ
ャップ。 特許出願人 高 橋 義 照■ ト、−ト 第 ５ 図 第６図 第 ７ 図
同組立図、第３図は電機子コイル群の一例としての配設
方法を示す斜視図、第４図は一例として示した界磁マグ
ネットの平面図、第５図は界磁マグネットと電機子コイ
ル群との展開図、第６図は本発明第三実施例盆示す縦断
面図、第７図は本発明第三実施例を示ア縦断面図である
。 １．１′。１〃・・・回転多面鏡走査装置、 ２・・
・偏平カップ型支持体、 ３・・・固定軸、 ４・
・・磁性体ヨーク、 ５・・空隙（駆動回路収納部）
、 ６・・・電機子コイル、 ７・・・プリント基
板、 ８・・・位置検知素子（磁電変換素子）、
９・・・電機子コイルの枠内空胴部、 １０・・・回
転軸、 １０ａ・・・軸受、１０ｂ・・・鍔、 １
１・・・界磁マグネ７ｈ １２・・・回転多面鏡、
１３・・風防用円板体、 １４・・・スラストキ
ャップ。 特許出願人 高 橋 義 照■ ト、−ト 第 ５ 図 第６図 第 ７ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 回転する多面鏡によって入射光ビームを偏光させる
ようにした回転多面鏡走査装置において、回転軸に多面
（億及びフラットな円環状のＮ、Ｓの磁極全交互に有す
る２ｐ（ｐは１以上の正の整数）極の界ｈＲマグネット
葡取付け、該界磁マグネットに対向する固定側位置に枠
状に巻回式ｆ１．た電機子コイル群と該電機子コイル群
のための位置検知素子を設けたことを特徴とする回転多
面鏡走査装置。 ２、上記回転軸は、固定軸の外周部に設けらｆ′Ｌだ軸
受であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
回転多面鏡走査装置。 ３、上記界ｆ＋ＨマグネットのｇｉＥｋ閉じるための部
材と上記回転多面鏡の支持部材とは一体形成きｆ′Ｌだ
ものであること全特徴とする特許請求の範囲第１項又は
第２項記載の回転多面鏡走査装置。 ４、上記回転多面；境は、上部に風防用円板体葡有する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第３項いず
ｎかに記載の回転多面鏡走査装置。 ５ 上記電機子コイルは５発生トルクに寄与する導体部
の開角が界磁マグネットの磁極幅と略等しい開角幅に巻
回形成さｎだものであること全特徴とする特許請求の範
囲第１項乃至第４項いず几かに記載の回転多面鏡走査装
置。 ６、上記電機子コイル群は互いに重畳しないように等間
隔配設してなること全特徴とする特許請求の範囲第１項
乃至第５項いず几かに記載の回転多面鏡走査装置。 ７、上記位置検知素子は、磁電変換素子であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項乃至第６項いずｎかに記
載の回転多面鏡走査装置。 ８、上記磁電変換素子は、電気的に同相にある数個の電
機子コイル群につき１１固のみ設けらｎていること全特
徴とする特許請求の範囲第７項記載の回転多面鏡走査装
置、 ９ 上記磁電変換素子は、電機子コイルの発生Ｉ・ルク
に寄与する導体部と均等位置にある電機子コイルの枠内
空胴部位置に配設してなることを特徴とする特許請求の
範囲第８項記載の回転多面鏡走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57138387A JPS5928757A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 回転多面鏡走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57138387A JPS5928757A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 回転多面鏡走査装置 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15668487A Division JPS63253323A (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 | 回転多面鏡走査装置 |
| JP15668387A Division JPS63253322A (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 | 回転多面鏡走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5928757A true JPS5928757A (ja) | 1984-02-15 |
| JPH0425522B2 JPH0425522B2 (ja) | 1992-05-01 |
Family
ID=15220748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57138387A Granted JPS5928757A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 回転多面鏡走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5928757A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61209416A (ja) * | 1984-11-27 | 1986-09-17 | Takahashi Yoshiteru | 回転多面鏡走査装置 |
| JPS61204991U (ja) * | 1985-06-13 | 1986-12-24 | ||
| JPS6270811A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-04-01 | Ricoh Co Ltd | 空気・磁気軸受型光偏向器 |
| JPS6432512U (ja) * | 1987-08-21 | 1989-03-01 | ||
| JPS6468715A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-14 | Seiko Epson Corp | Galvanomirror |
| US4984881A (en) * | 1989-12-19 | 1991-01-15 | Ebara Corporation | Rotation supporting device of a polygon mirror |
| US4998033A (en) * | 1989-04-12 | 1991-03-05 | Ebara Corporation | Gas dynamic bearing for spindle motor |
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