JPS5926975A - Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法 - Google Patents
Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS5926975A JPS5926975A JP57132961A JP13296182A JPS5926975A JP S5926975 A JPS5926975 A JP S5926975A JP 57132961 A JP57132961 A JP 57132961A JP 13296182 A JP13296182 A JP 13296182A JP S5926975 A JPS5926975 A JP S5926975A
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- JP
- Japan
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- sintered body
- sintering
- zro2
- sintered
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- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は高密度で靭性が高く、また摺動性にすぐれだ
S i 3N4焼結体およびその製造方法に関するもの
である。
S i 3N4焼結体およびその製造方法に関するもの
である。
S i 8N4焼結体は近年その高温、高強度、耐摩耗
性などのすぐれた特性が注目され、ガスタービン、ディ
ーゼルエンジン用部材、まだ1iiJ摩耗性を必要とす
る1幾械部品などへの応用が検討されている。
性などのすぐれた特性が注目され、ガスタービン、ディ
ーゼルエンジン用部材、まだ1iiJ摩耗性を必要とす
る1幾械部品などへの応用が検討されている。
しかしてSi3N4の結合様式は共有結合であるため、
単独では焼結がb′イ(シ<、MgOlAfgOa、’
1’298する効果はかなりの程腿達成されることが認
めらそこで木兄り1者らは高強度で靭性が高く、シかも
;r、8?動特性にもすぐれたSi8N4焼結体を得る
ことを目的として検討を重ねた結果この発明に至ったも
のである。
単独では焼結がb′イ(シ<、MgOlAfgOa、’
1’298する効果はかなりの程腿達成されることが認
めらそこで木兄り1者らは高強度で靭性が高く、シかも
;r、8?動特性にもすぐれたSi8N4焼結体を得る
ことを目的として検討を重ねた結果この発明に至ったも
のである。
即ち、コノ発明はZrO22〜20 正電%、Y20g
および/またはYN O,01〜10 型開:%、Al
2O8オよび/またはAI!N O,01〜10重i
%、・浅部S i 3N4よりなる混合粉末を粉砕、混
合し、加圧成形したのち非酸化性雰囲気中でホットプレ
ス方法にて、あるいは非酸化性雰囲気、特に1〜200
気圧の一゛N素雰囲気中で常圧乃至は雰囲気加圧焼結法
を用いて焼結することを特徴とするSi8N4焼結体お
よびその製造方法を要旨とするものである。
および/またはYN O,01〜10 型開:%、Al
2O8オよび/またはAI!N O,01〜10重i
%、・浅部S i 3N4よりなる混合粉末を粉砕、混
合し、加圧成形したのち非酸化性雰囲気中でホットプレ
ス方法にて、あるいは非酸化性雰囲気、特に1〜200
気圧の一゛N素雰囲気中で常圧乃至は雰囲気加圧焼結法
を用いて焼結することを特徴とするSi8N4焼結体お
よびその製造方法を要旨とするものである。
ところでZrO2を焼結助剤として添加するS i 8
N4の焼結は、Rice等によって加圧焼結法にて試み
られ、ある種のSi8N4粉末にはZrO2の添加が有
効で本発明者らは上記の点に鑑みて検討の結果、ZrO
2甲”IFP、3および/または孔、さらにAI!20
Bおよび/て;焼結を行ったところ、高強度で靭性もM
gO、AlgOa、Y2Qsなどを焼結助剤として用い
た従来のSi8N4焼結体に比べて非常に高い焼結体が
得られることを見出したものである。
N4の焼結は、Rice等によって加圧焼結法にて試み
られ、ある種のSi8N4粉末にはZrO2の添加が有
効で本発明者らは上記の点に鑑みて検討の結果、ZrO
2甲”IFP、3および/または孔、さらにAI!20
Bおよび/て;焼結を行ったところ、高強度で靭性もM
gO、AlgOa、Y2Qsなどを焼結助剤として用い
た従来のSi8N4焼結体に比べて非常に高い焼結体が
得られることを見出したものである。
即ちZrO22〜20 垂g1 %、Y2O3および/
−1,たはYN O,01〜10Mt量係、さらにAJ
?2011および/またはAlN 0.01〜10蛋量
襲をSi3N+に添加して粉砕混合し、成形したのち、
非酸化性雰囲気中で常圧焼結、訓圧焼!l′jあるいは
ホットプレス法によって焼結したところ、上記の特性に
すぐれたS i 8N+焼A古体が1尋られたのである
。
−1,たはYN O,01〜10Mt量係、さらにAJ
?2011および/またはAlN 0.01〜10蛋量
襲をSi3N+に添加して粉砕混合し、成形したのち、
非酸化性雰囲気中で常圧焼結、訓圧焼!l′jあるいは
ホットプレス法によって焼結したところ、上記の特性に
すぐれたS i 8N+焼A古体が1尋られたのである
。
上記において、Y2O3νよび/またはYN 、 Al
2O”aおよび/またはAI!NのZrO2への添加が
有効である理由は、ZrO2単独ではS i 8N+粒
子表面のS i02やSi8N4と反応せず、焼結は進
行しないが、ZrO2にY2O3および/またはYNさ
らにA120Bおよび/またはAlNをさらに添加する
ことによシ、ZrO2の一部が安定化し、残シが液相を
形成することに!# :S i 3N4と反応するため
と考えられる、。
2O”aおよび/またはAI!NのZrO2への添加が
有効である理由は、ZrO2単独ではS i 8N+粒
子表面のS i02やSi8N4と反応せず、焼結は進
行しないが、ZrO2にY2O3および/またはYNさ
らにA120Bおよび/またはAlNをさらに添加する
ことによシ、ZrO2の一部が安定化し、残シが液相を
形成することに!# :S i 3N4と反応するため
と考えられる、。
昂た高強度で靭性が向上する原因としては、粒WにSi
、Zr、’ Y、 Ae、OlNの元素の組合わ即ち、
ガラス質粒界相内に部分安定化ZrO2を分散させるこ
とによシ、クラックが成長していく際に、クラックが分
散している部分安定化ZrO2内の正方晶粒子に当って
周囲の圧縮応力をiQ%放し、周囲の圧縮応力から解放
された正方晶が単斜晶に相移転して体積膨張を起し、ク
ラックの先端を押しつぶしてクランクの伝播を抑制する
ためである0次にこの発明において、ZrO2、Y2O
3および/またはYN、Al2O5および/またはAI
Nなどの焼結助剤の添加量を上述のように限定する理由
についてのべる。
、Zr、’ Y、 Ae、OlNの元素の組合わ即ち、
ガラス質粒界相内に部分安定化ZrO2を分散させるこ
とによシ、クラックが成長していく際に、クラックが分
散している部分安定化ZrO2内の正方晶粒子に当って
周囲の圧縮応力をiQ%放し、周囲の圧縮応力から解放
された正方晶が単斜晶に相移転して体積膨張を起し、ク
ラックの先端を押しつぶしてクランクの伝播を抑制する
ためである0次にこの発明において、ZrO2、Y2O
3および/またはYN、Al2O5および/またはAI
Nなどの焼結助剤の添加量を上述のように限定する理由
についてのべる。
まずZrO2を2〜20重量係に限定するのは、2重量
製以下では充分な密度が達成されないために高強度の焼
結体が得られず、また20ffifa係を越えても密度
は上がるが、強度が低下するという欠点を有するだめで
ある。
製以下では充分な密度が達成されないために高強度の焼
結体が得られず、また20ffifa係を越えても密度
は上がるが、強度が低下するという欠点を有するだめで
ある。
さらにZrO2を同時に添加するY2O3および/−1
って焼結性が極端に悪くなシ、また10重M%以上を用
いると、焼結体の強度および・靭性が低下して好ましく
なく、とのためO0旧〜10重量%が適 1当であ
る。
って焼結性が極端に悪くなシ、また10重M%以上を用
いると、焼結体の強度および・靭性が低下して好ましく
なく、とのためO0旧〜10重量%が適 1当であ
る。
次にこの発明のSi8N4焼結体を得るに当って、ホッ
トプレス法にて焼結するときの焼結温度を1650〜1
900”Cに限定するのは、1650°C以下では焼結
反応が進行しに<<、まだ1900°C以上ではSi8
N4の分)す¥が急激に増大し、密度および強度が低下
するためである。
トプレス法にて焼結するときの焼結温度を1650〜1
900”Cに限定するのは、1650°C以下では焼結
反応が進行しに<<、まだ1900°C以上ではSi8
N4の分)す¥が急激に増大し、密度および強度が低下
するためである。
まだ1気圧以上200気圧以下の窒素雰囲気中で常圧焼
結あるいは雰囲気力胎)へ焼結を行う際に焼結温度を1
700〜1950°Cとするのは、1700’C以下で
は十分な収縮が起らず、1950°C以上で焼結しだ際
には雰囲気圧力を200気川にすると、SillN4の
分解は起らないが、焼結体の破断面をSk−M覗らノす
ると、Si8N4粒子の異常粒成長や気孔の合体がみも
れ、これらが破壊の起点となって強度並びにワイプル係
数を低下させるものと考えられるからである。
結あるいは雰囲気力胎)へ焼結を行う際に焼結温度を1
700〜1950°Cとするのは、1700’C以下で
は十分な収縮が起らず、1950°C以上で焼結しだ際
には雰囲気圧力を200気川にすると、SillN4の
分解は起らないが、焼結体の破断面をSk−M覗らノす
ると、Si8N4粒子の異常粒成長や気孔の合体がみも
れ、これらが破壊の起点となって強度並びにワイプル係
数を低下させるものと考えられるからである。
以下この発明を実力m例によシ詳^411に説明する。
したのち、ボールミルにて30時間粉砕、混合を示す種
々の温度で焼結を行った。
々の温度で焼結を行った。
得られた各焼結体の緒特性値は第1表の′JJLシであ
る。
る。
なお比較例配合の焼結体についての特性値もM、71表
に示した。
に示した。
イ2: 4×7×25rnIRの試料を2 Q mmス
パンで3点曲げを行なった結果を示し た。
パンで3点曲げを行なった結果を示し た。
実施例
市販Si8N4粉末とZrO2、Y2O3、YN、AI
BOB、Alなとの粉末を第2表に示す組成に配合した
のち、ボールミルにて30時間粉砕混合を行った。
BOB、Alなとの粉末を第2表に示す組成に配合した
のち、ボールミルにて30時間粉砕混合を行った。
次いでこれら各混合粉末を2協で試験片形状に型押しし
、2oo惇λの圧力をかけながらA、rガス1気圧の雰
1」気中で1700℃と1850℃の2種類の焼結温度
でホットプレを行なった。
、2oo惇λの圧力をかけながらA、rガス1気圧の雰
1」気中で1700℃と1850℃の2種類の焼結温度
でホットプレを行なった。
イ4tられた鵠結体の諸持性は第2表に示す通りであっ
た。
た。
なお、この実施例13〜18においては非酸化性“−j
7囲気として1気体のArガスを使用したが、匁ii6
N2やH2ガスなど他の非酸化性ガスを用いても同様
の結果が得られることはいうまでもない。
7囲気として1気体のArガスを使用したが、匁ii6
N2やH2ガスなど他の非酸化性ガスを用いても同様
の結果が得られることはいうまでもない。
特開昭59−26975(4)
実施例19〜24
市販S i 8N4粉末と、ZrO2、Y2O3、■、
Aj’!!03AINなどの粉末を用いて第3表に示す
組成に配合したのち、ボールミルにて30時間粉砕混合
を行なった。
Aj’!!03AINなどの粉末を用いて第3表に示す
組成に配合したのち、ボールミルにて30時間粉砕混合
を行なった。
次いでこれら混合粉末を2駅tで試験片形状に型押しし
、1〜200気圧のN2ガスガ囲気中で1750℃ど1
900”Cの2イβ」の焼結温度で焼結を行った。
、1〜200気圧のN2ガスガ囲気中で1750℃ど1
900”Cの2イβ」の焼結温度で焼結を行った。
これら焼結体の緒特性をN3表に示した。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)Zr022〜20重量%、Y2O3および/また
はYN O,01〜10重量%、AI!808および/
またはYN O,01〜10重量%、1120Bおよび
/また遣方法。 (3)焼結を1650〜1900℃でホットプレス法に
て行うことを特徴とする特許mW求の範囲第2項記載の
5isN4焼結体の製造方法。 (4)焼結を1〜200気圧の窒素雰囲気中1700〜
1950℃にて行うことを特徴とする特許請求の範囲第
2項記載のS i 8N4焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57132961A JPS5926975A (ja) | 1982-07-31 | 1982-07-31 | Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57132961A JPS5926975A (ja) | 1982-07-31 | 1982-07-31 | Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5926975A true JPS5926975A (ja) | 1984-02-13 |
JPS61313B2 JPS61313B2 (ja) | 1986-01-07 |
Family
ID=15093542
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57132961A Granted JPS5926975A (ja) | 1982-07-31 | 1982-07-31 | Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5926975A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63162574A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-06 | 住友電気工業株式会社 | 切削工具用窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
-
1982
- 1982-07-31 JP JP57132961A patent/JPS5926975A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63162574A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-06 | 住友電気工業株式会社 | 切削工具用窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61313B2 (ja) | 1986-01-07 |
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