JPS5926975A - Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法 - Google Patents

Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法

Info

Publication number
JPS5926975A
JPS5926975A JP57132961A JP13296182A JPS5926975A JP S5926975 A JPS5926975 A JP S5926975A JP 57132961 A JP57132961 A JP 57132961A JP 13296182 A JP13296182 A JP 13296182A JP S5926975 A JPS5926975 A JP S5926975A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sintered body
sintering
zro2
sintered
manufacture
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP57132961A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61313B2 (ja
Inventor
栄治 上條
修 小村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agency of Industrial Science and Technology filed Critical Agency of Industrial Science and Technology
Priority to JP57132961A priority Critical patent/JPS5926975A/ja
Publication of JPS5926975A publication Critical patent/JPS5926975A/ja
Publication of JPS61313B2 publication Critical patent/JPS61313B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は高密度で靭性が高く、また摺動性にすぐれだ
S i 3N4焼結体およびその製造方法に関するもの
である。
S i 8N4焼結体は近年その高温、高強度、耐摩耗
性などのすぐれた特性が注目され、ガスタービン、ディ
ーゼルエンジン用部材、まだ1iiJ摩耗性を必要とす
る1幾械部品などへの応用が検討されている。
しかしてSi3N4の結合様式は共有結合であるため、
単独では焼結がb′イ(シ<、MgOlAfgOa、’
1’298する効果はかなりの程腿達成されることが認
めらそこで木兄り1者らは高強度で靭性が高く、シかも
;r、8?動特性にもすぐれたSi8N4焼結体を得る
ことを目的として検討を重ねた結果この発明に至ったも
のである。
即ち、コノ発明はZrO22〜20 正電%、Y20g
および/またはYN O,01〜10 型開:%、Al
2O8オよび/またはAI!N O,01〜10重i 
%、・浅部S i 3N4よりなる混合粉末を粉砕、混
合し、加圧成形したのち非酸化性雰囲気中でホットプレ
ス方法にて、あるいは非酸化性雰囲気、特に1〜200
気圧の一゛N素雰囲気中で常圧乃至は雰囲気加圧焼結法
を用いて焼結することを特徴とするSi8N4焼結体お
よびその製造方法を要旨とするものである。
ところでZrO2を焼結助剤として添加するS i 8
N4の焼結は、Rice等によって加圧焼結法にて試み
られ、ある種のSi8N4粉末にはZrO2の添加が有
効で本発明者らは上記の点に鑑みて検討の結果、ZrO
2甲”IFP、3および/または孔、さらにAI!20
Bおよび/て;焼結を行ったところ、高強度で靭性もM
gO、AlgOa、Y2Qsなどを焼結助剤として用い
た従来のSi8N4焼結体に比べて非常に高い焼結体が
得られることを見出したものである。
即ちZrO22〜20 垂g1 %、Y2O3および/
−1,たはYN O,01〜10Mt量係、さらにAJ
?2011および/またはAlN 0.01〜10蛋量
襲をSi3N+に添加して粉砕混合し、成形したのち、
非酸化性雰囲気中で常圧焼結、訓圧焼!l′jあるいは
ホットプレス法によって焼結したところ、上記の特性に
すぐれたS i 8N+焼A古体が1尋られたのである
上記において、Y2O3νよび/またはYN 、 Al
2O”aおよび/またはAI!NのZrO2への添加が
有効である理由は、ZrO2単独ではS i 8N+粒
子表面のS i02やSi8N4と反応せず、焼結は進
行しないが、ZrO2にY2O3および/またはYNさ
らにA120Bおよび/またはAlNをさらに添加する
ことによシ、ZrO2の一部が安定化し、残シが液相を
形成することに!# :S i 3N4と反応するため
と考えられる、。
昂た高強度で靭性が向上する原因としては、粒WにSi
、Zr、’ Y、 Ae、OlNの元素の組合わ即ち、
ガラス質粒界相内に部分安定化ZrO2を分散させるこ
とによシ、クラックが成長していく際に、クラックが分
散している部分安定化ZrO2内の正方晶粒子に当って
周囲の圧縮応力をiQ%放し、周囲の圧縮応力から解放
された正方晶が単斜晶に相移転して体積膨張を起し、ク
ラックの先端を押しつぶしてクランクの伝播を抑制する
ためである0次にこの発明において、ZrO2、Y2O
3および/またはYN、Al2O5および/またはAI
Nなどの焼結助剤の添加量を上述のように限定する理由
についてのべる。
まずZrO2を2〜20重量係に限定するのは、2重量
製以下では充分な密度が達成されないために高強度の焼
結体が得られず、また20ffifa係を越えても密度
は上がるが、強度が低下するという欠点を有するだめで
ある。
さらにZrO2を同時に添加するY2O3および/−1
って焼結性が極端に悪くなシ、また10重M%以上を用
いると、焼結体の強度および・靭性が低下して好ましく
なく、とのためO0旧〜10重量%が適   1当であ
る。
次にこの発明のSi8N4焼結体を得るに当って、ホッ
トプレス法にて焼結するときの焼結温度を1650〜1
900”Cに限定するのは、1650°C以下では焼結
反応が進行しに<<、まだ1900°C以上ではSi8
N4の分)す¥が急激に増大し、密度および強度が低下
するためである。
まだ1気圧以上200気圧以下の窒素雰囲気中で常圧焼
結あるいは雰囲気力胎)へ焼結を行う際に焼結温度を1
700〜1950°Cとするのは、1700’C以下で
は十分な収縮が起らず、1950°C以上で焼結しだ際
には雰囲気圧力を200気川にすると、SillN4の
分解は起らないが、焼結体の破断面をSk−M覗らノす
ると、Si8N4粒子の異常粒成長や気孔の合体がみも
れ、これらが破壊の起点となって強度並びにワイプル係
数を低下させるものと考えられるからである。
以下この発明を実力m例によシ詳^411に説明する。
したのち、ボールミルにて30時間粉砕、混合を示す種
々の温度で焼結を行った。
得られた各焼結体の緒特性値は第1表の′JJLシであ
る。
なお比較例配合の焼結体についての特性値もM、71表
に示した。
イ2: 4×7×25rnIRの試料を2 Q mmス
パンで3点曲げを行なった結果を示し た。
実施例 市販Si8N4粉末とZrO2、Y2O3、YN、AI
BOB、Alなとの粉末を第2表に示す組成に配合した
のち、ボールミルにて30時間粉砕混合を行った。
次いでこれら各混合粉末を2協で試験片形状に型押しし
、2oo惇λの圧力をかけながらA、rガス1気圧の雰
1」気中で1700℃と1850℃の2種類の焼結温度
でホットプレを行なった。
イ4tられた鵠結体の諸持性は第2表に示す通りであっ
た。
なお、この実施例13〜18においては非酸化性“−j
7囲気として1気体のArガスを使用したが、匁ii6
 N2やH2ガスなど他の非酸化性ガスを用いても同様
の結果が得られることはいうまでもない。
特開昭59−26975(4) 実施例19〜24 市販S i 8N4粉末と、ZrO2、Y2O3、■、
Aj’!!03AINなどの粉末を用いて第3表に示す
組成に配合したのち、ボールミルにて30時間粉砕混合
を行なった。
次いでこれら混合粉末を2駅tで試験片形状に型押しし
、1〜200気圧のN2ガスガ囲気中で1750℃ど1
900”Cの2イβ」の焼結温度で焼結を行った。
これら焼結体の緒特性をN3表に示した。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)Zr022〜20重量%、Y2O3および/また
    はYN O,01〜10重量%、AI!808および/
    またはYN O,01〜10重量%、1120Bおよび
    /また遣方法。 (3)焼結を1650〜1900℃でホットプレス法に
    て行うことを特徴とする特許mW求の範囲第2項記載の
    5isN4焼結体の製造方法。 (4)焼結を1〜200気圧の窒素雰囲気中1700〜
    1950℃にて行うことを特徴とする特許請求の範囲第
    2項記載のS i 8N4焼結体の製造方法。
JP57132961A 1982-07-31 1982-07-31 Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法 Granted JPS5926975A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57132961A JPS5926975A (ja) 1982-07-31 1982-07-31 Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57132961A JPS5926975A (ja) 1982-07-31 1982-07-31 Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5926975A true JPS5926975A (ja) 1984-02-13
JPS61313B2 JPS61313B2 (ja) 1986-01-07

Family

ID=15093542

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57132961A Granted JPS5926975A (ja) 1982-07-31 1982-07-31 Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5926975A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63162574A (ja) * 1986-12-24 1988-07-06 住友電気工業株式会社 切削工具用窒化ケイ素焼結体の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63162574A (ja) * 1986-12-24 1988-07-06 住友電気工業株式会社 切削工具用窒化ケイ素焼結体の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS61313B2 (ja) 1986-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0925166A (ja) 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法
US5773733A (en) Alumina-aluminum nitride-nickel composites
JPH0222175A (ja) 炭化珪素ホイスカー又は窒化珪素粉末を含む反応結合窒化珪素複合材料の製造及び焼結
JPS5926975A (ja) Si↓3N↓4焼結体およびその製造方法
CN112239363B (zh) 氮化硅镁粉体及其制备方法、陶瓷材料及导热基板
JP2008156142A (ja) 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法
JPS6152110B2 (ja)
JP3564165B2 (ja) 窒化珪素反応焼結体の製造方法
JP2826080B2 (ja) 窒化珪素/炭化珪素複合焼結体及び複合粉末の製造方法
JPH08319168A (ja) サイアロンセラミックスの製造方法
JPH0321503B2 (ja)
JPS60264366A (ja) 複合焼結体
JPH09295869A (ja) 耐衝撃性に優れたサイアロンセラミックス及びその製 造方法
JPH01172276A (ja) β−サイアロン質複合セラミックスの製造方法
JPH05117040A (ja) β−サイアロン基焼結体の製造方法
JPS6369759A (ja) 窒化けい素焼結体の製造方法
JPS6241773A (ja) 複合セラミツクスの製造法
JPS63303864A (ja) サイアロン焼結体の製造方法
JPH0412066A (ja) SiC複合セラミックス材の製造方法
JPH04317468A (ja) SiC強化窒化珪素複合材
JPH07187796A (ja) セラミックス複合体
JP2000143352A (ja) 窒化珪素質焼結体およびその製造方法
JPH06166569A (ja) 窒化珪素焼結体の製造方法
JPH0517210A (ja) アルミナ基複合焼結体の製造方法及びアルミナ基複合焼結体
JPH07115928B2 (ja) 繊維強化酸窒化珪素焼結体の製造方法