JPS59228103A - 変位量検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は平行移動゛４イＪ被測定物体の変位けを検出す
るようにした変位量検出装置に関する。

背景技術とその問題点 先ず、第１図乃至第３図を参照し゛ζ従来のこの種変位
量検出装置について説明する。（ａば平行移動する被測
定物体であっ°Ｃ１これにミラー（２）が取り付けられ
ている。（３）はこのミラー（２）に光線を入射せしめ
る光源であっ′ζ、例えば半導体レーザ光源を用いる。

この半導体レーザ光源（３）よりの光線（レーザ光線）
はレンズ（４）を介し゛ζミラー（２）に入射せしめら
れる。Ｎは、この光線のミラー（２）に幻する入射点に
おける法線を不ず。（５）はミラー（２）よりの反射光
線を被測定物体（１）の変位量にＪＩｉ′）じノ、−受
光部子の位置で受光するライン光検出器である。

このライン光検出器（５）は、その受光而の１暖手力向
（ライン方向）が、入射及び反射光線ｌトびに法線Ｎ・
を含む平面内に位置するように配される。

θはミラー（２）に対する入射光線及び反則光線の夫々
入射、反射角であっ′ζ、これらは互いに等しい。

しかして、被測定物体（１１が平行移動、即ｒ、法線Ｎ
方向に４だり変位したとすると、ライン光検出器（５）
の受光面に入射するミラー（２）からの反射光線の位ｊ
ｉＩＪ：はその長手方向（ライン方向）にＸだり変位Ｊ
る。このＸは次式の様に表わされる。

ｚ＝２７！ｓＩｎθ この式においてθを３０°に選ぶと、ｓｆθは＋になる
から、ｘ−１となる。。

」二連したライン光検出器（５）の−例としては第２図
に等価回路を示す如きＰＩＮソＡトタイオードを用いた
半導体位Ｗ検出器が用いられる。この半導体装置検出器
は入射光線によって生じた光電流が均一なＪｌｌｉ抗層
を通じζ２つの出力端子Ｌ１＋Ｌ２に流れ、その得られ
た差動の第１及び第２の位置検出電流の差を求めること
により、入射する光線の位置が検出されるものである。

ｆｆ５２図においてｔ３はバイアス電圧のイ３（給され
る入力端子である。

又、Ｒ６は抵抗率の一定な表面抵抗であって、ごのＪｉ
ｋ抗Ｒ６に入射する光の位置に応しＣ５その４１７置と
各出力端’Ｉ’＋　　ｔ、間のｌｌｋ：　ｒｆＬ値がそ
の長さに比例し′ζ決定され、その抵抗の逆数の比に応
して出力端子ｔＩ、ｔ２に得られる電流が変化する。

尚、Ｐは電流源、Ｄは理想的グイオート、Ｃ１は接合容
量、ＲＩＪＩは並列抵抗である。

ところで、斯るライン光検出器（５）としての半導体装
置検出器よりの出力端子を五、ｔ２に得られる各出力の
差を取ることにより、被測定物体ｆｌ＋の変位量を検出
することができるが、ライン光検出器（５）に入射する
光量が変化すると、その検出された位置情報は大きな誤
差を含んでしまうことになる。これは、第４図のグラフ
で明らかになる。即も、第４図に、被測定物体の変位量
に対する差出力及び和出力の変化状態を夫々曲線Ｓｄ、
　Ｓａとして示しである。尚、′曲線Ｓｄ、　Ｓａが２
　ｉＲｒｌｌｔ綿であるのは、ヒステリシスによるもの
である。そこで、ライン光検出器（５）の出力を以−ト
に説明する第３図に示す補正回路に供給し゛乙うイン光
検出器（５）に入射する光量の変化に拘わらず被測定物
体の変イ１７甲を正確に検出できるようにする。即ぢ、
ライン光検出器（５）の出力端子Ｌｓ　＋　　１２より
の第１及（）第２の位置検出出力である各電流を電流−
電）Ｌ変換回路（６１）、　　（６２）に供給して市、
１上に変換して得られたごの第１及び第２の位ｉｃ４’
Ｐ出出力！＋。

１２を加算回路（７）及び減！？：ｂＪ路（８）に供給
する。そして、減算回路１８）の減算出力１＋　　　ｊ
２と加界回１／８　（７１よりの加算出力■１→−■２
とを７１１算回路（９）に供給して、減算出力■！〜１
２を加算出力■１１−１２で割算し、その割算出力、を
増幅器（１（Ｑを介して出力端子（１１）に出力するも
のである。

断る第３図の補正回路を設ヲノることにより出力端子（
１１）には、精度の良い被測定物体の変位量検出装置を
１！ｉすることかできるものである。

とごろが、上述の割算回１／８　（９１は、専用の割算
回１−δｒｃや演算増幅器を用いて構成するが、斯る回
１−！Ｇ自体の割′！Ｊ、精度は１％程度であっζ、加
算１ｉ、ｉｌ　ｌ／Ｒ（７）の加算出力１１　＋１２の
レベルが低−１・すると演算誤差が増大し、又、周波数
特性があまり速くなく、しかもこれを改善するために性
能のよい割算回路を用いると装置の価格の１宜につなが
ってしまう。

かかる加算回路（７）の加算出力１ｓ＋＋２の変動原因
としζは、光源（３）の光電の低−１・、ミラー＋２１
０）反射面の汚れ、空気中の埃、ライン光検出ｊ！ｊ’
ｔ　ｍ）の受光部の前面ガラスによる光線の干渉、ライ
ン光検出器＋５）の受光面上の汚れ、光検出感度のバラ
ツキ等が考えられる。

発明の目的 斯る点に鑑み、本発明はライン光検出器よりの差動の第
１及び第２の位置検出出力を減容回路及び加算回路にイ
バ給し、割算回路を設ＧＪて減智回路の出力を加算回路
の出力で割算をすることによっ゛（、被測定物体の変位
量を検出する様にし２だ変（１ン早検出装置においζ、
加算回路よりの加勢出力の変動を除去して、精度の良い
変位Ｐ検出出力をｆ！ｆるごとのできる変位量検出装置
をＩＮ￥Ｌ、　、、Ｉ：・）とするものである。

発明の概要 本発明による変位量検出装置は、平行移り１４°る被測
定物体に取り付けられたミラーと、このミラーに光線を
入射せしめる光源と、このミラーよりの反射光線を被測
定物体の変位量に応じた受Ｊ）’６而、１−の位置で受
光するライン光検出器と、このライン光検出器よりの差
動の第１及び第２の位置検出出力が共ｊ［に供給される
減算回路及び加算回路と、減′Ｒ１１旧−８の減算出力
を加算回１／＆の加算出方で割算（−る８１算回路とを
【ｊし、ごの割χ？回１？δより被測定物体の変位量検
出出力をｉ！ｖる様にし〕、：変位量検出出力において
、加算回路の加算出力をループフィルタを介して光源に
供給してその光量を制御し、加算回路の加算出力が一定
になるように制御するようにしたものである。

斯る本発明によれば、加算回路の加算出力の変動を除去
して、被測定物体の変位量を＋Ｒｉ　ｔＩ！ｉ度をもっ
′ζζ出出ることのできる変位に検出出力を得ることが
できる。

実施例 以トに第５図を参照し°ζ本発明の一実施例を説明する
も、第５図におい゛ζ第３図と対応する部分には同一符
号を付して重複説明を省略する。尚、この第５図の実施
例では、加算回路＋７１及び減算回ｌ／Ｋ　（８１を夫
々演算増幅器で構成し“ζいる６しがし“Ｃ１加算回路
（７）の出力をループフィルタ（１＋−パスフィルタ）
　　（１２）に供給する。尚、（１３）は感度調整用の
直流電源を不ず。このループフィルタ（１２）の周波数
特性は、第７図の曲線ａに示ず如く、カットオフ周波数
がＩ　ＭＩＩ２で、６　ｄＢ／　ｏｃｔの傾斜特性を有
している。尚、斯るループフィルタ（Ｉ２）を２段縦続
接続すれば、第７図の曲線すにボず如く、その傾斜特性
は１２ｄＢ１０ｃｔとなる。

ループフィルタ（１２）の出力はゲイン調替回路（１４
）を介してＮＰＮ形トランジスタ（Ｉ６）のヘースに供
給する。面、ゲイン調堅回路（１４）は′■゛形抵抗抵
抗回路って、そのＴ形回路の脚部の回路の一部に可変抵
抗器が設けられ°Ｃおり、その脚部のコール１′エンド
はリップル除去用のコンデンサ（１５）を介して接地さ
れζいる。又、（１７）は定電圧電源であっ“ζ、負電
源−Ｂを定電圧化し７、その得られた定電１上をトラン
ジスタ（’ｌ　［ｉ）のｊ−ミッタに供給する。トラン
ジスタ（１６）のＪレククは電流制限回路（１６）を介
し゛Ｃ半導体レー＋Ｊ゛光源としてのレーザ発光ダイオ
ード（３）のカッ−１−にｆ１９続される。尚、そのア
ノード′は接１１されζいる。第６図はこのレーザ発光
ダイオードの駆動電流と光出力との特性曲線を不し、電
流が例えば５０ｍ＾稈度で光出力は急激に上昇する。こ
の場合駆動電流の中心値を例えば６０ｍ八程へに選定°
４る。

メ、（１０）はこのレーザ発光ダイオード（３）に逆向
きに並列接続された保１ＷＱＪダーずオー１′である。

次にこの第５１３２１の変位臣稜出装置の動作を説明す
る。上述した様な種々の原因のいずれかによって、加榊
１回路（７）の加算出力ｈ」」２が増大しようとすると
、レーザ発光ダイオード（３）の駆動電流は低減せしめ
られ°ζその発光量が抑えられ、その結果ライン光検出
器（５）への入射光電が減少し、加算出力Ｉｌ　＋１２
の増大は抑圧される。又、加算出力！＋＋＋２が減少し
ようとした場合もｌ＋１　様にその減少は抑えられる。

又、本実施例では光源（３）とし°ζレーザ発光ダイオ
ードを使用し、ライン光検出′ａｌｉｉ＋としζ１）Ｉ
Ｎフメトタイオー１゛から成る半堺体４）γ置検出器（
第２図参ｊｊ４（）を用いているので、ソイードバンク
ループはＩｎＪ速応答がＩｊＪ能となり、又、遅延が少
ないためフィードバックループの帯域及び利得を大きく
とることができる。

又、」二連したループフィルタ（１２）を用いることに
より低周波領域では、６０ｄＢの利得が得られ、又、こ
れを２段縦続接続し°ζ、２次フィルタを構成した場合
には８０ｄＢの利得が得られる。割！？回路（９）の精
度を１％とすると、ループフィルタ（Ｉ２）の低周波領
域での利得が６０ｄｌｌの場合、割算回路（９）の精度
１％に対し、変位量検出出力の精度は０．１％となる。

又、このとき、ループフィルタとし′ζ２次フィルタを
使用する場合は、変位量の精度は０．０１％となる。従
って、加算回路（７）の加算出力の変動による変位量検
出出力への影響はほとんど無視しうる程度になる。

発明の効果 上述せる本発明によればライン光検出器よりの差動の第
１及び第２の位置検出出力を夫々減算回路及び加算１１
！回路に供給し、その各出力を割算同Ｖδに供給しζ、
減算出力を加算出力で割算することにより、その割算回
路より被測定物体の変ｌｌ７ｍ検出出力を得るようにし
た変位量検出装置において、加算回路の加算出力の変動
を除去し′（，１１１１精度の変位ｍ検出出力を得るこ
とのできる変位量検出装置ｉ７を１υるごとがごきる。

【図面の簡単な説明】

第１図はｉπ来の変位量検出装置の光学系をボず配置図
、第２図は第１図の光学系のライン光検出器の一例の半
導体装置検出器の等（ｉ［ｌｉ　ｌｉ、Ｉｌ路をボ“（
１ｉｌ路図、第３図は従来の変位量検出装置の？市１Ｆ
回路をボ１ブロック線図、第４図は特１１曲線図、第５
図は４発明の一実施例を示す回路！！！Ｉ、第（１図は
レーザ発光ダイオ−（゛の特性を刀くず特性曲線図、第
７図は第５図の変位量検出装置に用いるループフィルタ
の特性を示す特性曲線図である。 （１）は被測定物体、（２）はミラー、（３）は光源、
（５）はライン光検出器、（７）は加算回路、（８）は
減算回路、（９）は割算回路、（１２）はループフィル
タごある。 昭和５８年６月３０日 １．事件の表示 昭和５８年特許願第　１０３０６４　号２、発明の名称
　　変位量検出装置 ３、補正をする者 （３３８Ｂ）　　弁理士　伊　　　　藤　　　　貞５、
補正命令の日付　　　昭和　　年　　月　　日６、補正
により増加する発明の数 明　　　細　　　書　（訂正） 発明の名称　　変位量検出装置 特許請求の範囲 平行移動する被測定物体に取り付けられたミラーと、該
ミラーに光線を入射せしめる光源と、上記ミラーよりの
反射光線を」１記被測定物体の変位量に応じた受光面上
の位置で受光するライン光検出器と、該ライン光検出器
よりの差動の第１及び第２の位置検出出力が供給される
減算回１１δとを有し、該陰算回路より」１記被測定物
体の変４１７甲検出出力を得るようにした変位量検出装
置において、算回路の加算出力をループフィルタを介し
て上記光源に供給してその光量を制御し、上配別Ｗ　１
ｉｊｌ　Ｗ８の加算出力が一定になるように制御するよ
うにしたことを特徴とする変位量検出装置。 発明の詳細な説明 産業上の利用分野 本発明は平行移動す◆被測定物体の変位９を検出するよ
うにした変（）７屋検出装置に関する。 背景技術とその問題点 先ず、第１図乃至第３図を参照し゛ζ従来のこの種変位
ｐｉ＃検出装置について説明する。（１）は平行移動す
る被測定物体であっζ、これにミラー（２）が取りｆす
けられている。　１３）はこのミラー（２）に光線を入
射ゼしめる光源であって、１Ｍえぽ半導体レーザ光源を
用いる。この半導体レーザ光源（３）よりの光線（レー
ザ光線）はレンズ（４）を介し゛ζミラー（２）に入射
せしめられる。Ｎは、この光線のミラー（２＋に対する
入射点におりる法線を示す。（５）はミラー（２）より
の反射光線を被測定物体（１１の変位量に応じた受光部
−にの位置で受光するライン光検出器である。 このライン光検出器（５）は、その受光面の長手方向（
ライン方向）が、入射及び反射光線並びに法線Ｎを含む
平面内に位置するように配される。 θはミラー（２）に対する入射光線及び反射光線の夫々
火剤、反射角であって、これらはノ１いに等しい。 しかして、被測定物体（１１が平１■移動、即も法線Ｎ
方向にｐだけ変位したとすると、ライン光検出器（５）
の受光面に入射するミラー（２）からの反！１・１光線
の位置はその長手方向（ライン方向）にＸだり変位する
。このＸは次式の様に表わされる。 ｘ＝２４！ｓｉｎθ この式においζθを３０’に選ぶと、　ｓｉｎθは＋１
になるから、ｘ＝Ｉｔとなる。 上述したライン光検出器（５）の−例としζは第２図に
等価回路を示す如きＰＩＮフォトダイオードを用いた半
導体装置検出器が用いられる。この半導体装置検出器は
入射光線によゲζ生じた光重流が均一な抵抗層を通して
２つの出方端子ｔ、、ｔ２に流れ、その（ｑられた差動
のｍｌ及びｆｆ１２の位置検出電流の差を求めることに
より、入射する光線のイ３′装置が検出されるものであ
る。第２図においてｔ３はバイ”ｒスミ圧の供給される
入力端子でＪＪる。 又、ＲＣｌｉは抵抗率の一定な表面抵抗であっ（、ごの
抵抗ＲＣＲに入射する光の位置に応じて、そのイ１装置
と各出力端ｔｚ、ｔ２間の抵抗値がその長さに比例して
決定され、その抵抗の逆数の比に応じて出力端子ｔｌ＋
’２に得られる電流が変化する。 尚、Ｐは電流源、ｌ）は理想的グイメート、ＣＴＬは接
合容置、ＲＲＣは並列批抗である。 ところで、斯るライン光検出＋ａ！５１としこの半導体
装置検出器よりの出力端子ｔｉｌｔ２に（１ｆられる各
出力の差を取るごとにより、被測定物体（１）の変位ｍ
を検出することができるが、ライン光検出″ａ（５）に
入射する光量が変化すると、その検出された位置情報は
大きな誤差を含んでしまうことになる。これは、第４図
のグラフで明らかになる。即ち、第４図に、被測定物体
の変位量に幻゛］゛る差出力及び和出力の変化状態を夫
々曲線Ｓｄ、　Ｓａとして不しこある。尚、曲線Ｓｄ、
　Ｓａが２車曲線であるのは、ヒステリシスによるもの
である。そこで、ライン光検出器（５）の出力を以下に
説明する第３１図に２１マず補正回路に供給しζ、ライ
ン光検出：！１ｌ（５１に入射する光量の変化に拘わら
ず被測定物体の変位量を正確に検出できるようにする。 即ら、ライン光検出器（５）の出力端子Ｌ１＋Ｌ２より
の第１及び第２の位置検出出力である各電流を電流−電
圧変換回路（６ｓ　）　、　　（６２）に供給し”ζ電
圧に変換して得られたこの第１−及び第２の位置検出出
力１１゜■７を加算回路（７）及び減算回路（８）に供
給する。そして、減算回路（８）の減算出力１１’　　
１２と加算回路（７）よりの加算出力１１　＋Ｉ２とを
割Ｗｌ＋旧−８（９）に供給して、減算出力Ｉｔ　　　
１２を加算出力１．＋■２で割算し、その割算出力を増
幅器（１ψを介して出力端子（１１）に出力するもので
ある。 斯る第３図の補正回路を設けるごとにより出力端子（１
１）には、精度の良い被測定物体の変位量検出出力を得
ることができるものである。 とごろが、上述の割算回ｖＲ（９１は、専用の割算回路
ｒｃや演算増幅器を用いて構成するが、ｌＵｉる回路自
体の割算精度は１％程度であり、加算回路（７）の加算
出力Ｉｓ　＋Ｔｘのレベルが低ドすると演算誤差が増大
し、又、周波数特性があまり速くなく、しかもこれを改
善するために性能のよい割算回路を用いると装置の価格
の上昇につながってしまう。 かかる加算回路（７）の加算出力Ｉｆ　＋Ｉ２の変動原
因としては、光源（３）の光量の低下、ミラー（２）の
反射ｉｂｊの汚れ、空気中の埃、ライン光検出器（５）
の受光部の前面ガラスによる光線の干渉、ライン光検出
器（５）の受光面」二の汚れ、光検出感度のバラツキ等
が考えられる。 発明の目的 断る点に＃ｔｉｉの、本発明はライン光検出器よりの差
動の第１及び第２の位置検出出力を減智回ｌＩ′８に供
給し、この減算回路の出力によっ゛Ｃ，被測定物体の変
位量を検出する様にした変位ｍ検出装置において、構成
簡単、価格低速にして、精度の良い変位量検出出力を得
ることのできる変位量検出装置を従業じようとするもの
である。 発明の概要 本発明による変位量検出装置は、平行移動する被測定物
体に取すイ１けられたミラーと、このミラーに光線を入
射ゼしめる光源と、このミラーよりの反射光線を被測定
物体の変位量に応じた受光面」二の位置で受光するライ
ン光検出器と、このライン光検出器よりの差動の第１及
び第２の位置検出出力が供給される減算回路とを有し、
この減算回路より被測定物体の変位量検出出力を得る様
にした変位量検出装置において、ライン光検出器よりの
差動の第１及び第２の位置検出出力が供給される加算回
路を設け、この加算回路の加算出力をループフィルタを
介して光源に供給してその先９を制御し、加算回路の加
算出力が一定になるように１１ｊＪ　ｉｌｌするように
したものである。 斯る本発明によれば、構成簡単、価格低速にし°６被測
定物体の変位量を高精度をもって検出することのできる
変位量検出装置を１ｑることかできる。 実施例 以下に第５図を参照して本発明の一実施例を説明するも
、第５図におい“ζ第３図と対応Ｊる部分には同一符号
をイ１し°ζ重ｆＪｊ説明を省略する。減算回路（８）
の減算出力Ｉｆ−１２を増幅器０〔を介して出力端子（
１１）に出力する。又、第３図と同様に、加算回路（７
）を設りる。尚、この第５図の実施例では、加算回１１
！＠　（７１及び減算回路（８）を夫々演算増幅器で構
成している。しかして、加算回路（７）の出力をループ
フィルタ　（０−バスフィルタ＞　　（１２）に（１１
給する。尚、（１３）は感度＃ｌｉ＋Ｉ整川の直流用源
を示す。このループフィルタ（１２）の周波数特性は、
第７図の曲線ａに示す如く、カットオフ周波数がＩ　Ｍ
Ｉ＋２で、６　ｄＢ／　ｏｃｔの顔料特性を有しζいる
。 尚、ｊりｉるループフィルタ（１２）を２段縦続接続Ｊ
れば、第７図の曲線すに示す如く、その領斜特ｉ！［は
１２ｄＢ／　ｏｃｔとなる。 ループフィルタ（１２）の出力はゲインｇｌｔ＋ｌ　；
１１ｉＵ路（１４）を介し゛ζＮＰＮ形トランジスタ（
１６）のペースに供給する。面、ゲインｌ！ｉｔ整回路
（１４）はＴ形１１を抗回路ごあって、その１゛形回路
の脚部の回路の一部に角変抵抗器が設けられでおり、そ
の脚部のコールドエンドはリップル除去用のコンデンー
リ（■５）を介し°Ｃ接地されている。又、（１７）は
定電圧電源であって、負電源−Ｂを定電圧化し、その得
られた定電圧をトランジスタ（１６）のエミッタに供給
する。トランジスタ（１６）の、：ルククは電流制限回
路（１６）を介して半導体レーザ光源とし゛このレーザ
発光ダイオード（３）のカソードに接続される。尚、そ
のアノードは接地されている。第６図はこのレーザ発光
ダイオードの駆動電流と光出力との特性曲線を示し、電
流が例えば５０ｍＡ稈度で光出力は急激に上胃する。こ
の場合駆動電流の中心値を例えば６０ｍＡ程度に選定す
る。 又、（１８）はごのレーザ発光ダイオ−１（３）に逆向
きに並列接続された保護用ダイオ−Ｆ　”ｅある。 次にこの第５図の変位量検出装置の動作を説明する。上
述した様な種々の原因のいずれかによって、加算回路（
７）の加算出力１１　＋Ｉ２が増大し、；；うとすると
、レーザ発光ダイオード（３）の駆動電流は低減せしめ
られζその発光量が抑えられ、その結果ライン光検出器
（５）への入射光里が減少し、加算出力１ｘ＋１２の増
大は抑圧される。又、加算出力１１　＋１２が減少しよ
うとした場合も同様にその減少は抑えられる。 このように、ライン光検出器（５）よりのＭ　１ｌｊｌ
Ｊ（ＪＪ第１及び第２の位置検出出力の和が一定になる
ので、減算回路（８）の減算出力から成る変位量検出出
力の誤差は大幅に低減される。 又、本実施例では光源（３）としてレーザ発光ダイオー
ドを使用し、ライン光検出器（５）とし゛ζＰＩＮソオ
］・ダイオードから成る半導体装置検出器（第２１図参
照）を用いζいるので、フィードバックループは１１４
Ｊ速応答が可能となり、又、ｊ１ｙ延が少ないためフィ
ードバックループの帯域及び利１仔を大きくとることが
できる。 又、上述したループフィルタ（１２）を用いることによ
り４１−周波領域では、６０ｄｌｌの利ｉｑが１ｑられ
、又、ごれを２段紺続ｔ？、続して、２次フ２イルクを
構成した場合には８０ｄＢの利ｉ！Ｉが得られる。第３
しＩの割算回１／／ｌを用いた従来例では、その割算回
１−６の精度は１％程度であったが、本発明によれば、
ループフィルタ（１２）ノ低周波ｆｌＪｉ　域テ１７Ｊ
刊（！７が６０＋ＩＢ（７）場合、ループフィルタのオ
？ｉ度は０，１％となる。又、このとき、ループフィル
タ（１２）　として２次フィルタを使用する場合は、ル
ープフィルタの精度は０．０１％となる。（＃：っζ、
変位計の検出精度は従来例に比し大幅に向上するごとに
なる。 発明の効果 上述せる本発明によればライン光検出器よりの差動の第
１及び第２の位置検出出力を夫々減Ｗｌｔｌ路及び加算
回路に供給し、その減算回路より被測定物体の変位量検
出出力を得るようにすると共に、加算回路の加算出力の
ループうイルタを介しζ得た制御信号によって光源の光
量を制御して、その加算出力が一定になるよにしたから
、構成節用、価格低度で、高精度の変位量検出出力をｔ
Ｗるごとのできる変位量検出装置を得ることができる。 図面の簡単な説明 第１図は従来の変位量検出装置の光学系を示す配置図、
第２図は第１図の光学系のライン光検出器の一例の半導
体装置検出器の等価回路を不１回路図、第３図は従来の
変位量検出装置の禎１１・回路を示すブロック線図、第
４図は特性曲線図、第５図は本発明の一実施例を示す回
路図、第６図はレーザ発光ダイオードの特性を示す特性
曲線図、第７図は第５図の変位量検出装置に用いるルー
プフィルタの特性を示す特性曲線図である。 ＋１）は被測定物体、（２）はミラー、（３）は光源、
（５）はライン光検出器、！７１４；ｌ加算回路、（８
）は減算回路、（９）は、ＪＩＩＩ浣０回路、（１２）
むＪループフィルタである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １１２行移動する被測定物体に取りイー［げられたミラ
   ーと、該ミラーに光線を入射−ｕしめる光源と、上記ミ
   ラーよりの反射光線をト記被測定物体の変位量に応じた
   受光面上の位置で受光するライン光検出器と、該ライン
   光検出器よりの差動の第１及び第２の位置検出出力が共
   通に供給される減算回Ｒ３及び加算回１−δと、上記減
   算回路の減算出力を」〜配別算回路の加算出力で割算す
   る割算回１／、’Ｇとを有し、該割算回路より上記被測
   定物体の変位ｌｔｌ検出出力を得るようにし犬変位…検
   出装置において、上記加算回路の加算出力をループフィ
   ル°りを介し°Ｃ−ヒ記光源に供給してその光壁を制御
   し、上記加算量ＩＩ品の加算出力が一定になるように制
   御するよ・）にしたことを特徴とする変位量検出装置。