JPS59221945A - 表示パネル - Google Patents
表示パネルInfo
- Publication number
- JPS59221945A JPS59221945A JP9596883A JP9596883A JPS59221945A JP S59221945 A JPS59221945 A JP S59221945A JP 9596883 A JP9596883 A JP 9596883A JP 9596883 A JP9596883 A JP 9596883A JP S59221945 A JPS59221945 A JP S59221945A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- display
- display electrode
- display panel
- thin film
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/10—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
- H01J31/12—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
- H01J31/15—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen with ray or beam selectively directed to luminescent anode segments
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/08—Electrodes intimately associated with a screen on or from which an image or pattern is formed, picked-up, converted or stored, e.g. backing-plates for storage tubes or collecting secondary electrons
- H01J29/085—Anode plates, e.g. for screens of flat panel displays
Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は螢光表示パネル、プラズマディスプレイパネル
、液晶表示パネル等絶縁基板上に金属薄膜から成る表示
電極を有する表示パネルに関する。
、液晶表示パネル等絶縁基板上に金属薄膜から成る表示
電極を有する表示パネルに関する。
これら表示パネルの表示電極形成法としては一般にガラ
ス基板上にスパッター、蒸着法等によ〃形成した金属薄
膜例えばアルミ薄膜を、所謂フォトエツチング法によシ
加工して所定形状の表示電極とすることが知られている
。
ス基板上にスパッター、蒸着法等によ〃形成した金属薄
膜例えばアルミ薄膜を、所謂フォトエツチング法によシ
加工して所定形状の表示電極とすることが知られている
。
この従来技術は例えば螢光表示パネルに於て、形成した
表示電極上に螢光体を付与した際、表示電極外に、はみ
出した螢光体が表示品位を劣化させたり、プラズマディ
スプレイパネルに於ては、放電光が表示電極外に漏れる
ことによル表示品位を低下させる等の欠点があった。こ
れらの欠点を改善するためには、フォトエッ゛チング法
によシ表示電極を形成した後、例えはホウ硅酸鉛ガラス
を主成分とする絶縁ペーストラスクリーン印刷によシ所
定形状で印刷することによシ表示パターンの輪郭を明確
化するという手段を採っていたが、反面コストを高くす
る原因となっていた。
表示電極上に螢光体を付与した際、表示電極外に、はみ
出した螢光体が表示品位を劣化させたり、プラズマディ
スプレイパネルに於ては、放電光が表示電極外に漏れる
ことによル表示品位を低下させる等の欠点があった。こ
れらの欠点を改善するためには、フォトエッ゛チング法
によシ表示電極を形成した後、例えはホウ硅酸鉛ガラス
を主成分とする絶縁ペーストラスクリーン印刷によシ所
定形状で印刷することによシ表示パターンの輪郭を明確
化するという手段を採っていたが、反面コストを高くす
る原因となっていた。
本発明はこれら従来技術の欠点を解決しうる表示電極構
造を有する表示パネル全提供するもので、その要旨とす
るところは絶縁基板上に一様に被着した金属薄膜の表示
電極とする部分を除く残部を陽極酸化法により絶縁体化
することによ勺形成した表示電極を有することを特徴と
するものである。
造を有する表示パネル全提供するもので、その要旨とす
るところは絶縁基板上に一様に被着した金属薄膜の表示
電極とする部分を除く残部を陽極酸化法により絶縁体化
することによ勺形成した表示電極を有することを特徴と
するものである。
以下に不発明全螢光表示パネルに適用した実軸例を述べ
、更にその詳細を説明する。
、更にその詳細を説明する。
第１図は従来の螢光表示パネル構造を示す断面図であシ
、第２図は不発明の一実施例である螢光表示パネルの構
造を表わす断面図である。
、第２図は不発明の一実施例である螢光表示パネルの構
造を表わす断面図である。
従来の螢光表示パネルは第１図に示す如く、ガラス基板
１１上に例えばスパッタ法によシ厚さ約１μｍのＡＡ薄
膜を被着ぜしめ、 これをフォトエツチング法によシ所
定形状にパターニングして表示電極１２’（５形成した
のち１表示電極１２にほぼ接っする状態に絶縁層１３’
ｅ、更には表示電極と略々同一パターンで螢光体層１４
？！−スクリーン印刷で形成せしめる０次いでこの表示
電極に対して適切なる位置関係を保ってグリッド１５．
フィラメント１６金固定し、これらｔカバーガラス１７
で覆って真空容量に形成して螢光表示パネルと成してい
た。
１１上に例えばスパッタ法によシ厚さ約１μｍのＡＡ薄
膜を被着ぜしめ、 これをフォトエツチング法によシ所
定形状にパターニングして表示電極１２’（５形成した
のち１表示電極１２にほぼ接っする状態に絶縁層１３’
ｅ、更には表示電極と略々同一パターンで螢光体層１４
？！−スクリーン印刷で形成せしめる０次いでこの表示
電極に対して適切なる位置関係を保ってグリッド１５．
フィラメント１６金固定し、これらｔカバーガラス１７
で覆って真空容量に形成して螢光表示パネルと成してい
た。
これに対し１本発明の一実施例である螢光表示パネルで
は第２図に示す如く、ガラス基板上にスパッタで被着し
た厚さ約１μｍのへｌ薄膜上に所定パターンの７オトレ
ジスト像を形成した後２％硫ぽ溶液中で、レジスト被覆
部以外金陽極酸化によル絶縁層２３と成した０次いでレ
ジス）ｋ除去して、所定パターンの表示電極２２を得た
。以降は従来と全く同様の方法で螢光体層２４．グリッ
ド２５．フィラメント２６．カバーガラス２７を付与し
て螢光表示管を完成した。
は第２図に示す如く、ガラス基板上にスパッタで被着し
た厚さ約１μｍのへｌ薄膜上に所定パターンの７オトレ
ジスト像を形成した後２％硫ぽ溶液中で、レジスト被覆
部以外金陽極酸化によル絶縁層２３と成した０次いでレ
ジス）ｋ除去して、所定パターンの表示電極２２を得た
。以降は従来と全く同様の方法で螢光体層２４．グリッ
ド２５．フィラメント２６．カバーガラス２７を付与し
て螢光表示管を完成した。
本発明によれば上記実施例に示した如く、基本的には従
来工程全人きく変えＺことなく、単に表示電極を形成す
るだめのフォトエツチング工程でレジスト像形成後表示
電極部以外のＡ／薄膜をエツチングで除去する替ルに陽
極酸化によシ絶縁体化することで、従来工程よシ工程が
短縮され、且つ１表示電極と絶縁層の位置ずれに起曲す
る表示の不明確さも改善されるという効果が得られた。
来工程全人きく変えＺことなく、単に表示電極を形成す
るだめのフォトエツチング工程でレジスト像形成後表示
電極部以外のＡ／薄膜をエツチングで除去する替ルに陽
極酸化によシ絶縁体化することで、従来工程よシ工程が
短縮され、且つ１表示電極と絶縁層の位置ずれに起曲す
る表示の不明確さも改善されるという効果が得られた。
上記実施例は不発明を螢光表示パネルに適用した例を示
したが、上記内存が不発明の請求範囲を限足するもので
はなく、絶縁基板上に金属薄膜から成る表示電極を有す
るプラズマディスパネル。
したが、上記内存が不発明の請求範囲を限足するもので
はなく、絶縁基板上に金属薄膜から成る表示電極を有す
るプラズマディスパネル。
液晶表示パネル等に於ても同様に適用することが出来る
。
。
また金属薄１反を部分的に陽極酸化して絶縁体化する方
法についても、省属の種類や、得るべき絶縁層の特性に
応じて公知の陽極酸化技術から適切なる方法を選択しう
ろことは云うまでもない。
法についても、省属の種類や、得るべき絶縁層の特性に
応じて公知の陽極酸化技術から適切なる方法を選択しう
ろことは云うまでもない。
第１図は従来の螢光表示パネル構造を示す断面図。第２
図は不発明の一実施例である螢光表示パネルの構造を表
わす断面図。 １１．２１・・・・・・ガラス基板、１２．２２・・・
・・・表示電極、１３．２３・・・・・・絶縁層、１４
．２４・・川・螢光体層、１５．２５・・・・・・グリ
ッド、１６，２６・・・・・・フィラメント、１７．２
７・川・・カバーガラス。
図は不発明の一実施例である螢光表示パネルの構造を表
わす断面図。 １１．２１・・・・・・ガラス基板、１２．２２・・・
・・・表示電極、１３．２３・・・・・・絶縁層、１４
．２４・・川・螢光体層、１５．２５・・・・・・グリ
ッド、１６，２６・・・・・・フィラメント、１７．２
７・川・・カバーガラス。
Claims (1)
- 絶縁基板上に金属薄膜から成る表示電極を有する表示パ
ネルにおいて、前記絶縁基板上に一様に被着した金属薄
膜の表示電極とする部分７除く残部を陽極酸化法によ）
絶縁体化することによル形成した表示電極を有すること
を特徴とする表示パネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9596883A JPS59221945A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 表示パネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9596883A JPS59221945A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 表示パネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59221945A true JPS59221945A (ja) | 1984-12-13 |
Family
ID=14151988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9596883A Pending JPS59221945A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 表示パネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59221945A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0949650A2 (en) * | 1994-11-11 | 1999-10-13 | Sony Corporation | Light-emitting device |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP9596883A patent/JPS59221945A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0949650A2 (en) * | 1994-11-11 | 1999-10-13 | Sony Corporation | Light-emitting device |
| EP0949650A3 (en) * | 1994-11-11 | 2000-03-01 | Sony Corporation | Light-emitting device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5922337B2 (ja) | ガス・パネル装置の製造方法 | |
| JPS59221945A (ja) | 表示パネル | |
| JPS61273546A (ja) | 金属シリサイドフオトマスクの製造方法 | |
| JPH09274860A (ja) | プラズマディスプレイパネル | |
| JP2571016B2 (ja) | ガス放電表示パネルの製造方法 | |
| JP3062637B2 (ja) | 蛍光表示管の製造方法 | |
| JPH083562B2 (ja) | カラ−フイルタ−の製造方法 | |
| JP2001176381A (ja) | プラズマディスプレーパネルの電極およびその製造方法 | |
| JPH0322843Y2 (ja) | ||
| KR920001841B1 (ko) | 형광표시관의 양극패턴 및 그 형성방법 | |
| JPH08273535A (ja) | 気体放電表示パネルにおける電極の形成方法 | |
| JPH07220623A (ja) | 冷陰極電極及びその製造方法 | |
| JPS6060623A (ja) | 液晶表示素子の電極構造 | |
| JP2002134004A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| KR100393040B1 (ko) | 플라즈마표시소자의제조방법 | |
| JP2001084909A (ja) | プラズマディスプレイパネルの電極 | |
| JPH04301884A (ja) | 表示素子用電極板およびその製造方法 | |
| JP2804253B2 (ja) | 電子デバイス | |
| JPH01159930A (ja) | 蛍光表示管における蛍光面形成方法 | |
| JPH05134263A (ja) | 表示素子用電極板およびその製造方法 | |
| JPS6019095B2 (ja) | 螢光表示管用陽極基板の製造方法 | |
| JPS6138929A (ja) | 液晶表示体 | |
| JPS5913132B2 (ja) | 表示パネルの電極形成法 | |
| JPS6028237A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH04301883A (ja) | 表示素子用電極板およびその製造方法 |