JPH0322843Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0322843Y2 JPH0322843Y2 JP18122284U JP18122284U JPH0322843Y2 JP H0322843 Y2 JPH0322843 Y2 JP H0322843Y2 JP 18122284 U JP18122284 U JP 18122284U JP 18122284 U JP18122284 U JP 18122284U JP H0322843 Y2 JPH0322843 Y2 JP H0322843Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- phosphor
- fluorescent display
- display electrode
- display tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Landscapes
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は蛍光物質の発光により所望の数字、文
字及び記号等の情報を表示する蛍光表示管に関
し、特に透光性のある表示電極を有する蛍光表示
管の電極構造の改良に関する。
字及び記号等の情報を表示する蛍光表示管に関
し、特に透光性のある表示電極を有する蛍光表示
管の電極構造の改良に関する。
従来の蛍光表示管は第３図に示すように、ガラ
ス素板１上に例えばスパツタ法により厚さ約1μm
のアルミ薄膜を被着せしめ、これをフオトエツチ
ング法により所定形状にパターニングして多数の
透孔を形成して透光性のある表示電極２を形成し
たのち、表示電極を除く部分に絶縁層３を、更に
表示電極と略々同一パターンで蛍光体層４をスク
リーン印刷で形成する。次いでこの表示電極に対
して適切なる位置関係を保つてグリツド５、フイ
ラメント６を固定し、これらをカバーガラス７で
覆つて真空容器を形成した。
ス素板１上に例えばスパツタ法により厚さ約1μm
のアルミ薄膜を被着せしめ、これをフオトエツチ
ング法により所定形状にパターニングして多数の
透孔を形成して透光性のある表示電極２を形成し
たのち、表示電極を除く部分に絶縁層３を、更に
表示電極と略々同一パターンで蛍光体層４をスク
リーン印刷で形成する。次いでこの表示電極に対
して適切なる位置関係を保つてグリツド５、フイ
ラメント６を固定し、これらをカバーガラス７で
覆つて真空容器を形成した。
〔考案が解決しようとする問題点〕
上述した従来の蛍光表示管では、ガラス基板と
蛍光体層が直接、触れ合つている部分があるため
ガラス基板に含まれるNaと蛍光体物質との反応
が起こり易く、例えばガラス基板上に透光性のあ
る表示電極を形成し、ある程度の時間経過後に蛍
光体を印刷方式により塗布し、焼成すると蛍光体
がこれら不純物に汚染され、所望の輝度レベルが
得られず、歩留を大きく低下させることがあつ
た。
蛍光体層が直接、触れ合つている部分があるため
ガラス基板に含まれるNaと蛍光体物質との反応
が起こり易く、例えばガラス基板上に透光性のあ
る表示電極を形成し、ある程度の時間経過後に蛍
光体を印刷方式により塗布し、焼成すると蛍光体
がこれら不純物に汚染され、所望の輝度レベルが
得られず、歩留を大きく低下させることがあつ
た。
本考案は、上記不都合を解決しうる陽極基板構
造を有する蛍光表示管を提供するもので、その目
的は表示電極に対応するガラス基板上にSiO2ま
たはSmO2を形成することにより、ガラス成分と
蛍光体粒子との反応を抑止することを特徴とする
ものである。
造を有する蛍光表示管を提供するもので、その目
的は表示電極に対応するガラス基板上にSiO2ま
たはSmO2を形成することにより、ガラス成分と
蛍光体粒子との反応を抑止することを特徴とする
ものである。
本考案による蛍光表示管について以下に２つの
実施例を述べ、更にその詳細を説明する。
実施例を述べ、更にその詳細を説明する。
実施例 １
第１図は中間層としてガラス基板表面に酸化ケ
イ素膜を形成した構造を示す蛍光表示管の断面図
である。この形成法は例えばガラス基板１上にス
パツタ方式によつて全面にSiO2を厚さ約500Å被
着した後、金属アルミをスパツタにより約1μm被
着しフオトエツチングによつてSiO2膜１ａ上に
透光性の表示電極２を得た。次いでプリント方式
により絶縁層３、蛍光体層４を形成し、以降は従
来と全く同様の方法でグリツド５、フイラメント
６及びカバーガラス７を付与して蛍光表示管を形
成した。
イ素膜を形成した構造を示す蛍光表示管の断面図
である。この形成法は例えばガラス基板１上にス
パツタ方式によつて全面にSiO2を厚さ約500Å被
着した後、金属アルミをスパツタにより約1μm被
着しフオトエツチングによつてSiO2膜１ａ上に
透光性の表示電極２を得た。次いでプリント方式
により絶縁層３、蛍光体層４を形成し、以降は従
来と全く同様の方法でグリツド５、フイラメント
６及びカバーガラス７を付与して蛍光表示管を形
成した。
実施例 ２
透光性の表示電極とガラス基板との間にガラス
成分と蛍光体両者に反応不活性な酸化スズ層を形
成した蛍光表示管の構造の断面図を第２図に示し
た。これは、ガラス基板１上にスパツタ方法によ
りSnO2を約500Å被着し、フオトエツチングによ
つて表示電極と対応するパターンにSnO2膜１ｂ
を形成したのち、スパツタにより被着した約1μm
金属アルミをフオトエツチングによつて所定パタ
ーンに加工し透光性の表示電極２を得た。以降は
前述の実施例１と同様で絶縁層３、蛍光体層４、
を施して陽極基板を形成したのちグリツド５、フ
イラメント６、及びカバーガラス７を付与して蛍
光表示管を形成した。
成分と蛍光体両者に反応不活性な酸化スズ層を形
成した蛍光表示管の構造の断面図を第２図に示し
た。これは、ガラス基板１上にスパツタ方法によ
りSnO2を約500Å被着し、フオトエツチングによ
つて表示電極と対応するパターンにSnO2膜１ｂ
を形成したのち、スパツタにより被着した約1μm
金属アルミをフオトエツチングによつて所定パタ
ーンに加工し透光性の表示電極２を得た。以降は
前述の実施例１と同様で絶縁層３、蛍光体層４、
を施して陽極基板を形成したのちグリツド５、フ
イラメント６、及びカバーガラス７を付与して蛍
光表示管を形成した。
このように本考案によれば蛍光体とガラス基板
間に中間層を施すことにより、ガラス成分の影響
を防止するから表示電極上の蛍光体は安定した特
性が得られ、従来の輝度に対し、30〜50％の輝度
アツプが可能となつた。
間に中間層を施すことにより、ガラス成分の影響
を防止するから表示電極上の蛍光体は安定した特
性が得られ、従来の輝度に対し、30〜50％の輝度
アツプが可能となつた。
本実施例では500Å程度の厚みに反応抑止膜を
付着させたが、100Åから1000Åまでが同効果が
得られる適当な範囲であり、例えば厚さ1000Åを
越えるとある種の金属酸化物はそれ自身の色によ
り蛍光体層からの発光を遮り、蛍光表示管の輝度
を見かけ上低下させ、また100Å以下の厚みでは
ガラス成分と蛍光体の反応を低減出来るが顕著な
効果が望めず、さらにフオトエツチング工程中に
信頼性ある抑止膜が得られない。
付着させたが、100Åから1000Åまでが同効果が
得られる適当な範囲であり、例えば厚さ1000Åを
越えるとある種の金属酸化物はそれ自身の色によ
り蛍光体層からの発光を遮り、蛍光表示管の輝度
を見かけ上低下させ、また100Å以下の厚みでは
ガラス成分と蛍光体の反応を低減出来るが顕著な
効果が望めず、さらにフオトエツチング工程中に
信頼性ある抑止膜が得られない。
以上説明したように本考案によれば、比較的不
安定なガラス表面上に特定の反応抑止層膜を施す
ことにより製造工程中に発生するガラス組成物と
蛍光体成分との直接的な反応を緩和でき、高輝度
で一様な輝度分布の蛍光表示管が提供できる。
安定なガラス表面上に特定の反応抑止層膜を施す
ことにより製造工程中に発生するガラス組成物と
蛍光体成分との直接的な反応を緩和でき、高輝度
で一様な輝度分布の蛍光表示管が提供できる。
なお、反応抑止膜を形成する方法についてもス
パツタ方式に限らず蒸着、CVD、陽極酸化、そ
の他の薄膜技術により形成できることは言うまで
もない。
パツタ方式に限らず蒸着、CVD、陽極酸化、そ
の他の薄膜技術により形成できることは言うまで
もない。
第１図、第２図は本考案の実施例である蛍光表
示管の構造を示す断面図であり、第３図は従来の
蛍光表示管の構造を示す断面図である。 １……ガラス素板、１ａ………SiO2層、１ｂ
……SnO2層、２……アルミ表示電極、３……絶
縁層、４……蛍光体層、５……グリツド、６……
フイラメント、７……カバーガラス。
示管の構造を示す断面図であり、第３図は従来の
蛍光表示管の構造を示す断面図である。 １……ガラス素板、１ａ………SiO2層、１ｂ
……SnO2層、２……アルミ表示電極、３……絶
縁層、４……蛍光体層、５……グリツド、６……
フイラメント、７……カバーガラス。
Claims (1)
- ガラス基板上に被着した金属薄膜をパターニン
グして透孔部と非透孔部を有する表示電極部を形
成して該表示電極部上に螢光体層を形成した螢光
表示管において、少なくとも前記表示電極部の透
孔部に対応するガラス基板上にSiO2層または
SnO2層を有することを特徴とする螢光表示管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18122284U JPH0322843Y2 (ja) | 1984-11-29 | 1984-11-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18122284U JPH0322843Y2 (ja) | 1984-11-29 | 1984-11-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6196454U JPS6196454U (ja) | 1986-06-20 |
| JPH0322843Y2 true JPH0322843Y2 (ja) | 1991-05-17 |
Family
ID=30738777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18122284U Expired JPH0322843Y2 (ja) | 1984-11-29 | 1984-11-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0322843Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-11-29 JP JP18122284U patent/JPH0322843Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6196454U (ja) | 1986-06-20 |
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