JPH04129141A - 蛍光表示管 - Google Patents
蛍光表示管Info
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- JPH04129141A JPH04129141A JP25060190A JP25060190A JPH04129141A JP H04129141 A JPH04129141 A JP H04129141A JP 25060190 A JP25060190 A JP 25060190A JP 25060190 A JP25060190 A JP 25060190A JP H04129141 A JPH04129141 A JP H04129141A
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- display tube
- electrode
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Links
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Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は蛍光表示管に関し、特にＡｌ薄膜による配線パ
ターンを形成する平面発光型蛍光表示管に関する。
ターンを形成する平面発光型蛍光表示管に関する。
従来、視野角的に有利な方式である透光性陽極基板側よ
り観察を行なう平面発行型蛍光表示管が市場に供給され
ている。この種の平面発行型蛍光表示管は、例えば、第
２図に示すように、透光性絶縁基板１上にＡ１薄膜をス
パッタ法等により厚さ約１μｍ被着させ、ホトリソグラ
フィ法等によりストライブ又はメツシュ状の透光窓を有
する表示電極８及び配線パターン２を形成し、次に、表
示パターンに応じた開口部を有する遮光性絶縁層３を表
示電極の位置に合わせスクリーン印刷法等により形成し
、更に、表示電極８上に蛍光体からなる表示パターン４
を電気泳動法等により塗布形成することにより透光性陽
極基板を得る。
り観察を行なう平面発行型蛍光表示管が市場に供給され
ている。この種の平面発行型蛍光表示管は、例えば、第
２図に示すように、透光性絶縁基板１上にＡ１薄膜をス
パッタ法等により厚さ約１μｍ被着させ、ホトリソグラ
フィ法等によりストライブ又はメツシュ状の透光窓を有
する表示電極８及び配線パターン２を形成し、次に、表
示パターンに応じた開口部を有する遮光性絶縁層３を表
示電極の位置に合わせスクリーン印刷法等により形成し
、更に、表示電極８上に蛍光体からなる表示パターン４
を電気泳動法等により塗布形成することにより透光性陽
極基板を得る。
次に、透光性陽極基板１上の表示パターン４と対向する
位置に制御用のグリッド５及びフィラメント６を各々適
当な距離をおいて配設し、透明導電膜を施したカバーガ
ラス７と透光性陽極基板１を封着し、真空封止した構造
を有するものであった。
位置に制御用のグリッド５及びフィラメント６を各々適
当な距離をおいて配設し、透明導電膜を施したカバーガ
ラス７と透光性陽極基板１を封着し、真空封止した構造
を有するものであった。
以上に述べた従来内平面発行型蛍光表示管は、透光性陽
極基板側から表示の観察を行なうため、ホトリソグラフ
ィ法等によって形成された配線パターンも同時に観察面
から見えることとなり、配線パターンの反射による表示
の視認性が損なわれる欠点があった。
極基板側から表示の観察を行なうため、ホトリソグラフ
ィ法等によって形成された配線パターンも同時に観察面
から見えることとなり、配線パターンの反射による表示
の視認性が損なわれる欠点があった。
この欠点を補うため、通常、蛍光表示管の表示面側に置
かれたカラーフィルタを介して表示を観察する方法が行
なわれているが、この方法では視認性はある程度改善さ
れるものの、表示輝度の低下が避けられないという欠点
があった。
かれたカラーフィルタを介して表示を観察する方法が行
なわれているが、この方法では視認性はある程度改善さ
れるものの、表示輝度の低下が避けられないという欠点
があった。
本発明の目的は、視認性が良く、表示輝度の高い蛍光表
示管を提供することにある。
示管を提供することにある。
本発明は、蛍光物質の発光からなる表示を透光性陽極基
板側から観察する平面発光型蛍光表示管において、真空
気密容器の内側となる前記透光性陽極基板の片面に微細
な凹凸を形成した上に陽極電極が形成されている。
板側から観察する平面発光型蛍光表示管において、真空
気密容器の内側となる前記透光性陽極基板の片面に微細
な凹凸を形成した上に陽極電極が形成されている。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例の要部断面図である。
第１図に示すように、まず、ソーダライムガラスからな
る透光性絶縁基板１上の配線パターン２および表示電極
８を形成する部分を含む全面にＴｉＮ薄膜を５００〜１
０００人形成させ、それをフッ硝酸液（６１％の硝酸液
に４６％のフッ化水素酸液を６対２５の割合で混合した
もの）に液温２５℃で約１６秒間浸漬するという化学処
理を加えると、ＴｉＮ薄膜が溶解すると同時に、透光性
絶縁基板１のＴｉＮ薄膜が付着していた部分の表面に微
細な透光性絶縁基板１上の凹凸部９が形成される。
る透光性絶縁基板１上の配線パターン２および表示電極
８を形成する部分を含む全面にＴｉＮ薄膜を５００〜１
０００人形成させ、それをフッ硝酸液（６１％の硝酸液
に４６％のフッ化水素酸液を６対２５の割合で混合した
もの）に液温２５℃で約１６秒間浸漬するという化学処
理を加えると、ＴｉＮ薄膜が溶解すると同時に、透光性
絶縁基板１のＴｉＮ薄膜が付着していた部分の表面に微
細な透光性絶縁基板１上の凹凸部９が形成される。
次に、その微細な透光性絶縁基板上の凹凸部９上にＡ１
薄膜を被着し、ホトリソグラフィ法により、配線パター
ン２及び表示電極８形成した。
薄膜を被着し、ホトリソグラフィ法により、配線パター
ン２及び表示電極８形成した。
続いて、低融点ガラス粉末、着色顔料および有機バイン
ダからなる黒色又は白色の絶縁ガラスベーストをスクリ
ーンプリント法により塗布し、５８０℃で焼成して厚さ
３０μｍの遮光性絶縁層３を設けた。
ダからなる黒色又は白色の絶縁ガラスベーストをスクリ
ーンプリント法により塗布し、５８０℃で焼成して厚さ
３０μｍの遮光性絶縁層３を設けた。
更に、透光性窓を有する表示電極８上にＺｎＯ：Ｚｎ蛍
光体と有機バインダからなる蛍光体ペーストをスクリー
ンプリント法により塗布し、５００℃で焼成して厚さ２
０μｍの表示パターン４とした。
光体と有機バインダからなる蛍光体ペーストをスクリー
ンプリント法により塗布し、５００℃で焼成して厚さ２
０μｍの表示パターン４とした。
以上の操作で得た透光性陽極基板の表示パターン４と対
向する位置に制御用グリッド５およびフィラメント６を
配設し、導電膜を施したカバーガラス７と透光性陽極基
板とを封着して真空気密容器を形成し、一般の蛍光表示
管と同じ工程により、平面発光型蛍光表示管を製作しな
。
向する位置に制御用グリッド５およびフィラメント６を
配設し、導電膜を施したカバーガラス７と透光性陽極基
板とを封着して真空気密容器を形成し、一般の蛍光表示
管と同じ工程により、平面発光型蛍光表示管を製作しな
。
得られた平面発光型蛍光表示管は、透光性絶縁基板１上
に形成された表面の微細な透光性絶縁基板上の凹凸部９
によりＡＩ薄膜製配線パターン２および表示電極８の金
属光沢が抑制され、外部からの進入光の反射による視認
性の低下を著しく低減することができな。
に形成された表面の微細な透光性絶縁基板上の凹凸部９
によりＡＩ薄膜製配線パターン２および表示電極８の金
属光沢が抑制され、外部からの進入光の反射による視認
性の低下を著しく低減することができな。
以上説明したように本発明は、透光性絶縁基板の真空気
密容器の内側の面を化学処理し、微細な透光性絶縁基板
上の凹凸を形成し、更に、この透光性絶縁基板上の凹凸
部上に配線パターンを形成することにより、配線パター
ンの反射を抑制し、視認性の良好な平面発光型蛍光表示
管を得ることができるとともに、カラーフィルタを介し
て表示を観察する必要がないなめ、表示輝度の低下を改
善できる効果がある。
密容器の内側の面を化学処理し、微細な透光性絶縁基板
上の凹凸を形成し、更に、この透光性絶縁基板上の凹凸
部上に配線パターンを形成することにより、配線パター
ンの反射を抑制し、視認性の良好な平面発光型蛍光表示
管を得ることができるとともに、カラーフィルタを介し
て表示を観察する必要がないなめ、表示輝度の低下を改
善できる効果がある。
更に、透光性絶縁基板の表示パターンを形成する位置に
も透光性絶縁基板上の凹凸部を形成することができるた
め、遮光性絶縁被膜を透光性絶縁基板と配線パターンと
の間に配設する方法に比べ、表示パターンを形成する部
分を避けて絶縁被膜を配設する必要がなく、より微細な
表示パターンに適用することができる効果がある。
も透光性絶縁基板上の凹凸部を形成することができるた
め、遮光性絶縁被膜を透光性絶縁基板と配線パターンと
の間に配設する方法に比べ、表示パターンを形成する部
分を避けて絶縁被膜を配設する必要がなく、より微細な
表示パターンに適用することができる効果がある。
第１図は本発明の一実施例の要部断面図、第２図は従来
の平面発光型蛍光表示管の一例の要部断面図である。 １・・・透光性絶縁基板、２・・・配線パターン、３・
・遮光性絶縁層、４・・表示パターン、５・・・制御用
グリッド、６・・・フィラメント、７・・・カバーガラ
ス、８・・・表示電極、９・・・透光性絶縁基板上の凹
凸部。
の平面発光型蛍光表示管の一例の要部断面図である。 １・・・透光性絶縁基板、２・・・配線パターン、３・
・遮光性絶縁層、４・・表示パターン、５・・・制御用
グリッド、６・・・フィラメント、７・・・カバーガラ
ス、８・・・表示電極、９・・・透光性絶縁基板上の凹
凸部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、蛍光物質の発光からなる表示を透光性陽極基板側か
ら観察する平面発光型蛍光表示管において、真空気密容
器の内側となる前記透光性陽極基板の片面に微細な凹凸
を形成した上に陽極電極を形成したことを特徴とする蛍
光表示管。 ２、前記陽極電極が金属薄膜で構成されていることを特
徴とする請求項１記載の蛍光表示管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25060190A JPH04129141A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 蛍光表示管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25060190A JPH04129141A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 蛍光表示管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04129141A true JPH04129141A (ja) | 1992-04-30 |
Family
ID=17210302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25060190A Pending JPH04129141A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 蛍光表示管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04129141A (ja) |
-
1990
- 1990-09-20 JP JP25060190A patent/JPH04129141A/ja active Pending
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