JPS59211812A - 表面検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、個物部品の表面検査装置に係り、特に検査中
に試料表面に付着した異物を欠陥と見ないようにしたも
のに関する。

ここで説明の都合上試料の表面検査は試料表面を走査光
で直線走査し、試料を回転させることにより行なうこと
ができるものとし、さらに試料の形状が三角形である場
合について述べる。

の回転支持装置、３は検査用走査光、４は反射光受光器
である。

次に動作について説明する。

試料１の表面を走査した時の反射光が反射光受光器４で
受光され、試料１が１回転した時に検査が終了する。

この時、表面に発生している欠陥が検知されるのはいう
までもないが、検査装置の置かれている環境によっては
大気中に浮遊する塵埃が検査中に試料表面に付着する場
合があり、このような塵埃も欠陥であると認識されて≠
まうこととなる。しかるにこのような塵埃は空気の流れ
、試料の移動等によって、試料表面から消失することが
あり、したがって検査後に検査結果と試料表面とを照ら
し合わせてみると、全く欠陥のない表面にあたかも欠陥
が存在しているかの如き信号が発生されたこととなり、
そのため−見表面検査装置が誤動作しているかの如き結
果となる。このため表面検査装置にいつまでたっても全
面的な信頼が置かれず、検査ラインの省力化１表面検査
装置の普及に大きな障害となっていた。

本発明は、上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、送風手段により試料の被検査面に
送風し、検査信号発生手段により上記被検査面からの反
射光等の強度に応じた電圧を有する検査信号を発生し、
判定手段により上記被検査面に対するある走査ラインの
同一走査方向の走査時を異にした２つの検査信号を比較
し、両者が一致した場合、上記試料に欠陥があるものと
判定することにより、実際の欠陥と塵埃等による擬似欠
陥とを区別できる表面検査装置を提供することを目的と
している。

以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第２図ないし第６図は本発明の一実施例を示し、第２図
は検査中のある時点における試料の状態を□示し、第３
図は第２図の状態から１／２回転した時の試料の状態を
示し、また第４図は第２図の状態の試料１に対して光を
試料１外方の点Ａから同は第３図の状態の試料１に対し
て光を点Ｂから点Ａに向けて、即ち復路に沿って走査し
た時の反射光受光器４の出力信号を示し、第６図は本発
明の一実施例による表面検査装置の構成を示すブロック
図である。

第２〜第５図において、１ａは試料１の頂点、１ｂは試
料ｌの底辺の中心点であり、５は欠陥、６は塵埃、５ａ
、５ｂは検査信号７，７ａにおける欠陥５による信号部
分、６ａは欠陥６による信号部分、Ａ、Ｂは走査ライン
の両端部である。

また第６図において、１０は信号増幅及び量子化回路、
１１はモーターコントローラ、１２はスキャナーコント
ローラ〃、１３はデータセレクタ〃、１４はデータコン
トローラ、１５はメモリー、１６はアンド回路である。

次に動作について説明する。　　□ 第２図においては試料１上に欠陥５と塵埃６が存在して
おり、試料１を回転中に試料表面に空気を吹き付ける（
図示せず）。するとこれにより、第３図の状態では塵埃
６が消えて欠陥５だけが残っている。この時まず第４図
に示すように、第２図の状態では、光が点Ａから点Ｂに
向うにしたがって検査信号７の電圧は試料１の頂点１８
部で立上った後、まず欠陥５に対する信号部分５ａで低
くなり、次に塵埃６に対する信号部分６ａで再度低くな
り、さらに中心点ｌｂ部で立ち乍る。また第３図の状態
では光が点Ｂから点Ａに向うにしたがって、検査信号７
ａの電圧は試料１の頂点１８部で立上った後、やはり欠
陥５に対する信号部分５ｂが信号部分５ａと同じ位置に
発生して同じ低電圧となり、この場合は塵埃６に対する
信号部分は無くなっている。したがって両信号のＡＮＤ
条件を取れば両信号７．７ａにおける欠陥５に対する信
号部分５ａ’、５ｂのみが一致することとなり、欠陥５
のみを検出−７て塵埃６を検出しないことは明らかであ
る。

第６図多よ実際の検査において本処理を施すための装置
構成の一例を示したものである。同図において５ｉＪｔ
光受光器４からは第４図、第５図に示し子化回路１０に
より量子化した信号３０は、データセレクタ１３に送ら
れる。

一方Ｊモーターコントローラ１１からは検査のスタート
を表わす信号及び試料がスタート時の状態から１／２だ
け回転しこことを示す信号２０がスキャナーコントロー
ラ１２へ送られる。スキャナーコントローラ１２は、ス
キャナーを第２図の点Ａ２点Ｂ間で往復走査させると共
に、試料１が最初の１／２［ｉＪ転を行なっている間は
点Ａから点Ｂへの光の走査を始める時の同期信号２１を
、ま□た終りの１７２回転を行なっている間は点Ｂから
点Ａへの光の走査を始める時の同期信号２２をデ−タセ
レクタ１３に送る。このようにして試料１の表面上のあ
る走査ライン（第２．第３図の例では頂点１ａから中心
点１ｂまでのライン）についてみれば、走査方向は同じ
であり、走査時期が異なっていることとなり、即ち同一
走査方向における走査時を異にした２つの検査信号が発
生されることとる。データセレクタ１３ではスキャナー
コントローラ１２から送られる同期信号を基にして、量
子化された信号３０の中から往路走査（Ａ−Ｂ）波形又
は復路走査ＣＢ−Ａ）波形を選択した選択波形信号３１
をデータコントローラ１４に送る。

この間のタイミングチャートを第７図に示す。データコ
ントローラ１４は選択波形信号３１を受け、モータコン
トローラ１１の出力２０を基にして前半１／２回転中は
選択波形信号３１をメモリーに順次収納し、後半１／２
回転中は、順次入力される選択波形信号３１をそのまま
ＡＮＤ回路１６の一方の入力へ入力すると共にその信号
と同期をとって既にメモリー１５に読み込まれている前
半１／２回転時のデータを読み出し、これをアンド回路
１６の他方の入力へ入力することにより、既に述べた原
理により欠陥５と浮遊塵６を区別することができること
は明らかである。即ち上記両データにおけるある低電圧
部分が一致した場合は該低電圧部分に相当する試料１の
表面部分に欠陥があり、また両データが一致しない場合
は欠陥はないこととなる。

なお、上記実施例では試料が三角形状である場合につい
て説明したが、該試料の形状はいかなる形状であっても
よく、試料の形状に無関係に本発明に係る装置によって
欠陥と浮遊塵を弁別できることは明らかである。また往
路、復路というのは相対的なものであり、要は試料の前
半１／２回転中と、後半１／２回転中とにおいて検査デ
ータを取り込むための走査方向を変えれば良いのであり
、これは結果的にみれば同一走査ラインについては同一
方向に走査していることとなる。また上記実施例では検
査を反射光を用いて実施した場合につ本 いて説明たが、試料が透明体の場合には透過光を利用し
て同様の検査ができることは明らかである。

さらにまた、上記実施例では試料を回転する場合につい
て説明したが試料を回転させるかわりに走査光を回転さ
せても得られる効果は同じである。

査信号を発生し、同一走査ラインの同一走査方向の走査
時を異にした２つの検査信号を比較し、両信号が一致し
た場合、上記試料に欠陥があるものと判定するようにし
たので、実際の欠陥と検査中に付着した浮遊塵等による
擬像欠陥とを区別できる効果があり、実用上の効果は大
なるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の検査装置の斜視図、第２図、第３図は回
転中の試料の状態を示す平面図、第４図。 第５図は各々第２図、第３図の状態にある試料に対する
検査信号を説明するための図、第６図は本発明の一実施
例による表面検査装置の構成図、第７図は第６図におけ
る実施例装置の動作を説明するためのタイミングチャー
ト図である。 １・・・試料、４・・・検査信号発生手段（反射光受光
器）、１３〜１６・・・判定手段（データセレクタ。 データコントローラ、メモリ、アンド回路）。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人　大岩増雄 第１図 第２図 第３図 時間→ 第５図 時間− 第６図 第７図 時間− 手続補正書（自発） 口召徹８　矩　喝　　日 特許庁長官殿 １、事件の表示　　　特願昭５８−８７８８５　　号２
、発明の名称 表面検査装置 ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （１）　　明細書第１頁第１６行の「個物」を１小物」
に訂正する。 （２）同第７頁第７行の１こととる。」を「こととなる
。」に訂正する。 以　　　上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　試料の被検査面を走査光で往復走査する走査
   手段と、上記被検査面に送風する送風手段と、上記被検
   査面からの反射光あるいは透過光の強度に応じた電圧を
   有する検査信号を発生する検査信号発生手段と、上記被
   検査定脊面に対するある走査ラインの同一走査方向の走
   査時を異にした２つの検査信号を相互に比較し両信号が
   一致した場合に上記試料の被検査面に欠陥があるものと
   判定する判定手段とを備えたことを特徴とする表面検査
   装置。