JPS6013248A - レ−ザ光による被検査物表面の欠陥部と塵埃の判別方法 - Google Patents
レ−ザ光による被検査物表面の欠陥部と塵埃の判別方法Info
- Publication number
- JPS6013248A JPS6013248A JP12021583A JP12021583A JPS6013248A JP S6013248 A JPS6013248 A JP S6013248A JP 12021583 A JP12021583 A JP 12021583A JP 12021583 A JP12021583 A JP 12021583A JP S6013248 A JPS6013248 A JP S6013248A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- signal
- defective part
- laser light
- memory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明はレーザ光を被検査物１面に照射し、欠陥部か表
面に付着した塵埃かを判別する方法に関するものである
。
面に付着した塵埃かを判別する方法に関するものである
。
（従来技術）
従来レーザ光を被検査物表面に照射して欠陥部を検査す
る場合、第１図の様に被検査物表面ｌにレーザ光源２よ
りレーザ光３を照射し、所定方向の反射光イの光量を検
知するようになっていた。被検査物表面１が良品の場合
その反射光８は所定方向に集中するので反射光量が最も
多いが第２図の如く被検査物表面１に欠陥部４があると
反射光が散乱するので所定方向の反射光８は光量が小と
なるが、第３図の如く被検査物表面ｌに塵埃５が付着し
ていても反射光は散乱し、所定方向の反射光８″は光量
が小となるので、被検査物１表面の欠陥部と塵埃を判別
することができなかった。
る場合、第１図の様に被検査物表面ｌにレーザ光源２よ
りレーザ光３を照射し、所定方向の反射光イの光量を検
知するようになっていた。被検査物表面１が良品の場合
その反射光８は所定方向に集中するので反射光量が最も
多いが第２図の如く被検査物表面１に欠陥部４があると
反射光が散乱するので所定方向の反射光８は光量が小と
なるが、第３図の如く被検査物表面ｌに塵埃５が付着し
ていても反射光は散乱し、所定方向の反射光８″は光量
が小となるので、被検査物１表面の欠陥部と塵埃を判別
することができなかった。
（目的）
本発明は被検査表面をレーザ光で照射して異常信号があ
った時これが欠陥部によるものか、表面に付着した塵埃
によるものかを簡単確実に判別する方法に関するもので
ある。
った時これが欠陥部によるものか、表面に付着した塵埃
によるものかを簡単確実に判別する方法に関するもので
ある。
（実施例）
次に添付図面に示した実施例に従って本発明方法を説明
する。第４図の如く被検査物表面１０をレーザ光により
Ｘ、Ｙ方向に順次走査し、受光素子からの出力信号を時
分割でＡ／Ｄコンバーターによりデジタル変換し、メモ
リーに記憶させる。そして第５図の如（ｎ、ｍ位置に欠
陥と思われる信号１１を受信した時は該部分をゴム状物
体その他の清掃具で清掃し、再度レーザ光で照射し、別
のメモリーに記憶させる。次いで両メモリーを比較し、
最初に記憶した欠陥信号１１のメモリ一番地ｎ、ｍに対
応した後のメモリ一番地ル９ｍにも第６図の如く欠陥信
号１１’があれば該欠陥信号は真の欠陥部によるもので
あると判断できる。若し後のメモリ一番地ル２ｍに第７
図の如く欠陥信号がなければ該欠陥信号は塵埃によるも
のと判断できる。
する。第４図の如く被検査物表面１０をレーザ光により
Ｘ、Ｙ方向に順次走査し、受光素子からの出力信号を時
分割でＡ／Ｄコンバーターによりデジタル変換し、メモ
リーに記憶させる。そして第５図の如（ｎ、ｍ位置に欠
陥と思われる信号１１を受信した時は該部分をゴム状物
体その他の清掃具で清掃し、再度レーザ光で照射し、別
のメモリーに記憶させる。次いで両メモリーを比較し、
最初に記憶した欠陥信号１１のメモリ一番地ｎ、ｍに対
応した後のメモリ一番地ル９ｍにも第６図の如く欠陥信
号１１’があれば該欠陥信号は真の欠陥部によるもので
あると判断できる。若し後のメモリ一番地ル２ｍに第７
図の如く欠陥信号がなければ該欠陥信号は塵埃によるも
のと判断できる。
（効果）
本発明によると被検査物表面をレーザ光により走査し、
受光素子からの出力信号をメモ＋７ ’地の被検査面を
清掃して再度該被検査物表面をレーザ光により照射し、
受光素子からの出力信号を別のメモリーに記憶させ、両
メモリーを比較し、一方のメモリーのみに欠陥信号があ
るか両方のメモリーに欠陥信号があるかにより最初の異
常信号が欠陥部によるものか塵埃によるものかを判別す
るようになっているので特別な装置を必要とせず、従来
用いている装置により簡単確実に真の欠陥部か塵埃かを
電気的に判別することができる。
受光素子からの出力信号をメモ＋７ ’地の被検査面を
清掃して再度該被検査物表面をレーザ光により照射し、
受光素子からの出力信号を別のメモリーに記憶させ、両
メモリーを比較し、一方のメモリーのみに欠陥信号があ
るか両方のメモリーに欠陥信号があるかにより最初の異
常信号が欠陥部によるものか塵埃によるものかを判別す
るようになっているので特別な装置を必要とせず、従来
用いている装置により簡単確実に真の欠陥部か塵埃かを
電気的に判別することができる。
第１図乃至第８図は従来方法の説明図、第４図乃至第７
図は本発明方法の説明図である。 １０・・・被検査物表面、１１．１１’・・・欠陥信号
。 特許出願人 光洋自動機株式会社 第１図 第３ ７ノ ーイ 汽 と 第４図 ９Ｑ（ 第２図 ３＋１ ・（ シ 第５図 １ 第７図
図は本発明方法の説明図である。 １０・・・被検査物表面、１１．１１’・・・欠陥信号
。 特許出願人 光洋自動機株式会社 第１図 第３ ７ノ ーイ 汽 と 第４図 ９Ｑ（ 第２図 ３＋１ ・（ シ 第５図 １ 第７図
Claims (1)
- 被検査物表面をレーザ光により走査し、受光素子からの
出力信号をメモリーに記憶させ、異常信号がある時その
メモリ一番地の被検前面を清掃して再度該被検査物表面
をレーザ光により照射し、受光素子からの出力信号を別
のメモリーに記憶させ、両メモリーを比較し、一方のメ
モリーのみに欠陥信号があるか両方のメモリーに欠陥信
号があるかにより最初の異常信号が欠陥部によるものか
塵埃によるものかを判別する如くなしたレーザ光による
被検査物表面の欠陥部と塵埃の判別方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12021583A JPS6013248A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | レ−ザ光による被検査物表面の欠陥部と塵埃の判別方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12021583A JPS6013248A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | レ−ザ光による被検査物表面の欠陥部と塵埃の判別方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6013248A true JPS6013248A (ja) | 1985-01-23 |
Family
ID=14780738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12021583A Pending JPS6013248A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | レ−ザ光による被検査物表面の欠陥部と塵埃の判別方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6013248A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109307675A (zh) * | 2017-07-26 | 2019-02-05 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种产品外观检测方法和系统 |
| CN110333248A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-10-15 | 征图新视(江苏)科技股份有限公司 | 玻璃表面缺陷与表面落尘的区分方法 |
| KR20210080660A (ko) * | 2019-12-20 | 2021-07-01 | 한국전력공사 | 탭 절환장치의 기계적 이상 검출방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55102233A (en) * | 1979-01-30 | 1980-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Removing method of dust |
| JPS55112502A (en) * | 1979-02-23 | 1980-08-30 | Hitachi Ltd | Plate automatic examination unit |
-
1983
- 1983-07-04 JP JP12021583A patent/JPS6013248A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55102233A (en) * | 1979-01-30 | 1980-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Removing method of dust |
| JPS55112502A (en) * | 1979-02-23 | 1980-08-30 | Hitachi Ltd | Plate automatic examination unit |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109307675A (zh) * | 2017-07-26 | 2019-02-05 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种产品外观检测方法和系统 |
| CN110333248A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-10-15 | 征图新视(江苏)科技股份有限公司 | 玻璃表面缺陷与表面落尘的区分方法 |
| KR20210080660A (ko) * | 2019-12-20 | 2021-07-01 | 한국전력공사 | 탭 절환장치의 기계적 이상 검출방법 |
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