JPS59205771A - 太陽電池セル - Google Patents
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- JPS59205771A JPS59205771A JP59082094A JP8209484A JPS59205771A JP S59205771 A JPS59205771 A JP S59205771A JP 59082094 A JP59082094 A JP 59082094A JP 8209484 A JP8209484 A JP 8209484A JP S59205771 A JPS59205771 A JP S59205771A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02167—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
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- H01L31/054—Optical elements directly associated or integrated with the PV cell, e.g. light-reflecting means or light-concentrating means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の背景
本発明は太陽電池セル、特に二次元反射回折格子によっ
て、半導体の固有の吸収が特に弱い光波長の範囲におい
て、入射太陽光の吸収を増加する太陽電池セルに関する
。
て、半導体の固有の吸収が特に弱い光波長の範囲におい
て、入射太陽光の吸収を増加する太陽電池セルに関する
。
太陽電池セルに使用するけい素のような物質の多くは、
入射光の吸収が弱いので、活性層を厚くする必要がある
。しかし、このように厚くすると、半導体物質に対する
不純物についての要求が厳格になる。吸収された太陽光
によって発生する電子正孔対の寿命が活性物質の純度に
よって決定されるためである。発生した対の寿命は拡散
の長さに比例する。この拡散の長さは発生したキャリア
が再び結合するまでに進行する平均の長さである。太陽
電池セルは入射太陽光を吸収できるように厚くする必要
がある。拡散の長さは太陽電池セルの厚み程度であって
、発生した対が電池によって発生する電流として寄与し
なければならない。
入射光の吸収が弱いので、活性層を厚くする必要がある
。しかし、このように厚くすると、半導体物質に対する
不純物についての要求が厳格になる。吸収された太陽光
によって発生する電子正孔対の寿命が活性物質の純度に
よって決定されるためである。発生した対の寿命は拡散
の長さに比例する。この拡散の長さは発生したキャリア
が再び結合するまでに進行する平均の長さである。太陽
電池セルは入射太陽光を吸収できるように厚くする必要
がある。拡散の長さは太陽電池セルの厚み程度であって
、発生した対が電池によって発生する電流として寄与し
なければならない。
活性物質の厚みの減少が望ましいことは次の理由にもと
づく。第1に、層が薄いと、量が減少するので、活性物
質のコスIf低下させる。第2に、層が薄いと、発生し
たキャリアの拡散の長さを短縮することができる。拡散
の長さが短かいと、上記のように活性物質の純度を低下
させることができる。
づく。第1に、層が薄いと、量が減少するので、活性物
質のコスIf低下させる。第2に、層が薄いと、発生し
たキャリアの拡散の長さを短縮することができる。拡散
の長さが短かいと、上記のように活性物質の純度を低下
させることができる。
発明の概要
本発明は二次元反射回折格子に取付けた半導体物質活性
層を有する太陽電池セルである。
層を有する太陽電池セルである。
回折格子は格子と活性物質との間の界面において反射物
質層によって被覆されている。格子は多数の凸出部およ
び/または凹入部が六角形に配置されておシ、隣接する
凸出部または凹入部の間の距離すなわち周期が同一であ
る。
質層によって被覆されている。格子は多数の凸出部およ
び/または凹入部が六角形に配置されておシ、隣接する
凸出部または凹入部の間の距離すなわち周期が同一であ
る。
実施態様として、活性層がけい素であシ、回折格子が銀
層によって被覆されていることが好ましい。
層によって被覆されていることが好ましい。
発明の詳細
便宜上、活性物質がけい素である太陽電池セルについて
本発明を説明するが、他の活性物質も使用できることを
理解すべきである。
本発明を説明するが、他の活性物質も使用できることを
理解すべきである。
本発明は太陽電池セルに入射する光のうち、特定の光が
活性層の内部で「案内された光波」となる太陽電池セル
である。この案内された光波はけい素膜表面に平行して
けい素の内部を水平方向に進行する。その距離は平均し
てけい紫の厚みよりはるかに長い。これによってけい素
の厚みを減少させて、活性物質を薄膜とすることができ
る。このように入射光をセル表面に対して水平に変える
のは、活性物質の一面に固定した回折格子によって行な
う。回折格子は、凸出部または凹入部を六角形に配置し
た二次元格子である。
活性層の内部で「案内された光波」となる太陽電池セル
である。この案内された光波はけい素膜表面に平行して
けい素の内部を水平方向に進行する。その距離は平均し
てけい紫の厚みよりはるかに長い。これによってけい素
の厚みを減少させて、活性物質を薄膜とすることができ
る。このように入射光をセル表面に対して水平に変える
のは、活性物質の一面に固定した回折格子によって行な
う。回折格子は、凸出部または凹入部を六角形に配置し
た二次元格子である。
第1図は本発明の好ましい実施態様の略断面図であって
、太陽電池セル10の回折格子16のプロファイルを示
す。太陽電池セル10け厚みLの半導体活性層12を有
する。けい素の構造は、結晶、多結晶または無定形であ
ってもよい。入射光に対向するけい素膜12の表面は反
射防止1%14で被覆して、入射光の反射損失を減少さ
せることができる。このような被扮は厚み0.07μm
程度の5n02 ’)たはZ r O2蒸着層でもよい
。入射光に対して反対側のけい素膜12の表面は反射回
折格子16に固定されている。このり折格子16は入射
光20に対向する側を反射物質18で被覆されている。
、太陽電池セル10の回折格子16のプロファイルを示
す。太陽電池セル10け厚みLの半導体活性層12を有
する。けい素の構造は、結晶、多結晶または無定形であ
ってもよい。入射光に対向するけい素膜12の表面は反
射防止1%14で被覆して、入射光の反射損失を減少さ
せることができる。このような被扮は厚み0.07μm
程度の5n02 ’)たはZ r O2蒸着層でもよい
。入射光に対して反対側のけい素膜12の表面は反射回
折格子16に固定されている。このり折格子16は入射
光20に対向する側を反射物質18で被覆されている。
この物質としては銀またはアルミニウムが好ましく、銀
がもっとも好ましい。けい素膜12を格子に沈着させる
には蒸着または他の薄膜沈着法によって行なう。太陽光
が任意の角度で太陽電池セル入射するときは、反射防止
膜およびけい素の屈折率が大きいので、太陽光は次の5
nai1式によって屈折する。
がもっとも好ましい。けい素膜12を格子に沈着させる
には蒸着または他の薄膜沈着法によって行なう。太陽光
が任意の角度で太陽電池セル入射するときは、反射防止
膜およびけい素の屈折率が大きいので、太陽光は次の5
nai1式によって屈折する。
N8石1=nsinr
式中、N=第1媒質の屈折率、
n=第2媒質の屈折率、
1−垂直線に対する入射光の角度、
r−第2媒質中における垂@線に対する光の角度、
入射光20が太陽電池セルに入ると、各界面において屈
折する。反射防止膜21の界面において入射光は垂直線
に向かって屈折する、これは5nel1式において反射
防止膜の屈折率が空気の屈折率より大きいためである。
折する。反射防止膜21の界面において入射光は垂直線
に向かって屈折する、これは5nel1式において反射
防止膜の屈折率が空気の屈折率より大きいためである。
反射防止膜の表面23において、光線24は再び垂直線
に向かって屈折する、これはけい素の屈折率が反射防止
膜の屈折率より大きいためである。
に向かって屈折する、これはけい素の屈折率が反射防止
膜の屈折率より大きいためである。
けい素層12は薄膜であるので、光が赤色または赤外光
であるときけ、けい素膜12を横切るときの吸収がもっ
とも少ない。光が反射回折格子に当ると、図示のように
、0、■およびHなどの種種な回折次数で回折する。
であるときけ、けい素膜12を横切るときの吸収がもっ
とも少ない。光が反射回折格子に当ると、図示のように
、0、■およびHなどの種種な回折次数で回折する。
回折格子16は二次元格子であって、凸出部または凹入
部が六角形に配置されている。第2図は本発明の格子の
好ましい実施態様を示す、格子は相互1−距離り離れた
円柱形凸出部28が配置されている。この距離は円柱2
8の断面中心29から測定した。格子の周期はDに等し
い。円柱28相互の間隔はd1円柱28の高さはHであ
る。
部が六角形に配置されている。第2図は本発明の格子の
好ましい実施態様を示す、格子は相互1−距離り離れた
円柱形凸出部28が配置されている。この距離は円柱2
8の断面中心29から測定した。格子の周期はDに等し
い。円柱28相互の間隔はd1円柱28の高さはHであ
る。
第3図は、第2図の凸出部の平面図であシ、円柱の断面
中心29間の距離麩@接する2つの凸出部28の間では
同一であることを示す。第3図の方向1.2および3に
おいて中心29を通る断面平面は角度60°で交差する
。各方向1.2および3における格子のプロファイルは
方形波形である。
中心29間の距離麩@接する2つの凸出部28の間では
同一であることを示す。第3図の方向1.2および3に
おいて中心29を通る断面平面は角度60°で交差する
。各方向1.2および3における格子のプロファイルは
方形波形である。
第4図は本発明の格子16の他の実施態様を示す。この
場合、格子16のな力・で凹入部30が凸出部28に入
れかわっている。凸出部28の断面中心29は凹入部3
0の断面中心31に対応する。
場合、格子16のな力・で凹入部30が凸出部28に入
れかわっている。凸出部28の断面中心29は凹入部3
0の断面中心31に対応する。
第4図に示すように、凹入部30は円筒であ夛、隣接す
る2つの円筒30は、断面中心間の距離がり、2つの円
筒間の間隔が61円筒の深さがHである。方向1.2お
よび3における断面間の関係は、凹入部30に対しても
凸出部28に対するのと同様である。
る2つの円筒30は、断面中心間の距離がり、2つの円
筒間の間隔が61円筒の深さがHである。方向1.2お
よび3における断面間の関係は、凹入部30に対しても
凸出部28に対するのと同様である。
この図面では凸出部28または凹入部30を直角の円柱
または円筒として示したが、これらは同一形状を有すれ
ば他の幾何学的形状とすることもできる。たとえば、凸
出部28の頂部または凹入部30の底部を丸形として、
半球形または円錐形の上端または下端としてもよい。こ
の場合、2つの隣接する凸出部28間の周期を同一とし
、また2つの隣接する凹入部30間の周期を同一とする
。
または円筒として示したが、これらは同一形状を有すれ
ば他の幾何学的形状とすることもできる。たとえば、凸
出部28の頂部または凹入部30の底部を丸形として、
半球形または円錐形の上端または下端としてもよい。こ
の場合、2つの隣接する凸出部28間の周期を同一とし
、また2つの隣接する凹入部30間の周期を同一とする
。
さらに、格子16を切って、すべての凸出部28または
凹入部30と交わる断面においては、これらの部分28
または30け、第3図の方向1.2または3において、
−線上に一定周期りを繰返して配置されている。この場
合、プロファイルは四角の方形波形ではなくて、第2図
に示す実施態様では丸い上端、また第4図に示す実施態
様では丸い下端全有する波形である。
凹入部30と交わる断面においては、これらの部分28
または30け、第3図の方向1.2または3において、
−線上に一定周期りを繰返して配置されている。この場
合、プロファイルは四角の方形波形ではなくて、第2図
に示す実施態様では丸い上端、また第4図に示す実施態
様では丸い下端全有する波形である。
回折光はすべての格子が同一の全体形状および周期を有
する3つの一次元格子によって順次回折されるとほぼ考
えることができる。
する3つの一次元格子によって順次回折されるとほぼ考
えることができる。
回折格子16は、けい素膜を沈着させる基板表面を銀1
8で被援することが好ましい。この基板は、たとえばク
ロムのように容易に格子を形成することができる物質か
ら作る。さらに、格子16をガラスまたは石英で支持し
て基板の強度を増加することができる。回折角の種々な
回折次数は格子周期りによって決定される。種々な回折
次数の間の強さの分布は凸出部28の高さHによって決
定される。回折次数がたとえば0の光はけい素層から出
てしまう。しかし多くの回折次数の光、たとえばIおよ
びHの光は頂面に入射する光の垂直線に対する角度が臨
界角C,l)大きいので、全部反射されるであろう。
8で被援することが好ましい。この基板は、たとえばク
ロムのように容易に格子を形成することができる物質か
ら作る。さらに、格子16をガラスまたは石英で支持し
て基板の強度を増加することができる。回折角の種々な
回折次数は格子周期りによって決定される。種々な回折
次数の間の強さの分布は凸出部28の高さHによって決
定される。回折次数がたとえば0の光はけい素層から出
てしまう。しかし多くの回折次数の光、たとえばIおよ
びHの光は頂面に入射する光の垂直線に対する角度が臨
界角C,l)大きいので、全部反射されるであろう。
臨界角は次式によって決定される、
5lnc−1/Nけい素
式中、空気に対する屈折率を1と仮定し、Nけい素をけ
い素の屈折率とした。反射防止膜は臨界角に影響を与え
ない。
い素の屈折率とした。反射防止膜は臨界角に影響を与え
ない。
捕獲された光、たとえば回折次数■および■の光は、け
い素層の内部で「案内されたモード」になる。もちろん
全体として反射された光は再び格子に衝当フ、このとき
回折してけい素層の外に出る光もある。
い素層の内部で「案内されたモード」になる。もちろん
全体として反射された光は再び格子に衝当フ、このとき
回折してけい素層の外に出る光もある。
上述のように、入射光を閉込めるモードの機構は、頂部
である界面に回折光が衝当る角度が臨界角よシ大きいこ
とである。しかし、艦界角よル大きいすべての光線がけ
い素層中を進行するとは限らない。周知のように、所定
の波長に対して、特定の角度で表面に交差する光線のみ
が2つの平行面の間に閉込められる。従ってこれらの光
線は「案内されたモード」になることができる、たとオ
ばTheory of Dielectric Opt
icalWavegk、1des 、 I)ietri
ch Marcuge 、 Acade−mic Pr
ess 1974参照。
である界面に回折光が衝当る角度が臨界角よシ大きいこ
とである。しかし、艦界角よル大きいすべての光線がけ
い素層中を進行するとは限らない。周知のように、所定
の波長に対して、特定の角度で表面に交差する光線のみ
が2つの平行面の間に閉込められる。従ってこれらの光
線は「案内されたモード」になることができる、たとオ
ばTheory of Dielectric Opt
icalWavegk、1des 、 I)ietri
ch Marcuge 、 Acade−mic Pr
ess 1974参照。
本発明の六角形の格子配置の利点は、格子が第3図に示
す方向1.2および3にそう3つの案内されたモードに
同時に適合することである。これに対して、凸出部また
は凹入部を四角形の格子配置としたときは、格子の2つ
の主要な方向(X、Y)に沿う回折、が、案内されたモ
ードに有効に適合する回折角となる。六角形の格子配置
では、第2および第4図に示すように、3つの主要方向
に沿う周期性が同一である。四角形の格子配置では、垂
直に入射した光に対して2つの方向であるのに対して、
六角形の格子配置では、3つの案内されたモードに同時
に適合することができる。この適合動車の増加によって
、薄膜で吸収される光が増加して、太陽電池セルの効率
を高める結果となる。
す方向1.2および3にそう3つの案内されたモードに
同時に適合することである。これに対して、凸出部また
は凹入部を四角形の格子配置としたときは、格子の2つ
の主要な方向(X、Y)に沿う回折、が、案内されたモ
ードに有効に適合する回折角となる。六角形の格子配置
では、第2および第4図に示すように、3つの主要方向
に沿う周期性が同一である。四角形の格子配置では、垂
直に入射した光に対して2つの方向であるのに対して、
六角形の格子配置では、3つの案内されたモードに同時
に適合することができる。この適合動車の増加によって
、薄膜で吸収される光が増加して、太陽電池セルの効率
を高める結果となる。
この3つの方向のいずれかにおける光の最終的平衡配分
はパラメータ、d2D、Lならびに被覆層および活性物
質の誘電定数によって決定される。
はパラメータ、d2D、Lならびに被覆層および活性物
質の誘電定数によって決定される。
ここでλけ光の波長である。これらの/やラメータは次
の考察によって選択した。波長λく0255μmの光に
対しては結晶けい素の吸収定数が大きいので、吸収を増
加させる必要がない。さらに、波長λ〉1.1μmの光
はけい素に対するバンドギャップより低いので電子正孔
対を発生することができない。従ってλ=9.55μm
とλ=1.1μmとの間の光スペクトルに対する吸収を
増加することのみが必要となる。太陽電池セルおよび格
子のパラメータは、λ=0.55μmとλ=1.1μm
との間の部分の光の結合、および入射光が水平方向に進
行する案内されたモードへの変換を最大にするように選
択する。
の考察によって選択した。波長λく0255μmの光に
対しては結晶けい素の吸収定数が大きいので、吸収を増
加させる必要がない。さらに、波長λ〉1.1μmの光
はけい素に対するバンドギャップより低いので電子正孔
対を発生することができない。従ってλ=9.55μm
とλ=1.1μmとの間の光スペクトルに対する吸収を
増加することのみが必要となる。太陽電池セルおよび格
子のパラメータは、λ=0.55μmとλ=1.1μm
との間の部分の光の結合、および入射光が水平方向に進
行する案内されたモードへの変換を最大にするように選
択する。
実施例
無定形けい素太陽電池セルは六角形の二次元格子を有し
、クロムのような金属の基板に電子ビームリソグラフィ
ーによって下記ジオメトリ−の格子を形成した。次に格
子基板に蒸着によって厚み500Xの銀層を被覆した。
、クロムのような金属の基板に電子ビームリソグラフィ
ーによって下記ジオメトリ−の格子を形成した。次に格
子基板に蒸着によって厚み500Xの銀層を被覆した。
こうした作成した基板の頂面に5ll(4のグロー放電
によって厚み0.5μmの無定形けい素の活性層を沈着
させた。このけい素の頂面に厚み700XのTiO2ま
たは550XのZ r O2を蒸着して反射防止膜とし
た。下記ジオメトリ−の格子つき基板を有する太陽電池
セルの吸収は、六角形の回折格子の効果を細分して、同
一プロファイルを有する3つの一次元格子によって順次
回折するとして計算した。
によって厚み0.5μmの無定形けい素の活性層を沈着
させた。このけい素の頂面に厚み700XのTiO2ま
たは550XのZ r O2を蒸着して反射防止膜とし
た。下記ジオメトリ−の格子つき基板を有する太陽電池
セルの吸収は、六角形の回折格子の効果を細分して、同
一プロファイルを有する3つの一次元格子によって順次
回折するとして計算した。
平坦基板(銀被覆されて匹る)の場合に、d/D= 1
/2、D=0゜25μm、h−800Xであるときに、
6 mA7crr?の増加を示した。
/2、D=0゜25μm、h−800Xであるときに、
6 mA7crr?の増加を示した。
第1図は本発明の太陽電池セルの断面図であり、第2図
は本発明の回折格子の好ましい実施態様の斜視図であり
、 第3図は第2または第4図の回折格子の平面図であシ、 第4図は本発明の回折格子の他の実施態様の斜視図であ
る。 lO・・・太陽電池セル、12・・・活性層、14・・
・反射防止膜、16・・・回折格子、18、・・・反射
物質、20・・・入射光、21・・・空気と反射防止膜
との界面122.24・・・屈折光、23・・・反射防
止膜と活性物質との界面、28・・・凸出部、29.3
1・・・断面中心、30・・・凹入部、0,1.1・・
・回折次数。 特許出願人 エクソン リサーチ アンド エンジニアリング カンパニー 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士西舘和之 弁理士 寺 1) 豊 弁理士 山 口 昭 之 弁理士 西 山 雅 也
は本発明の回折格子の好ましい実施態様の斜視図であり
、 第3図は第2または第4図の回折格子の平面図であシ、 第4図は本発明の回折格子の他の実施態様の斜視図であ
る。 lO・・・太陽電池セル、12・・・活性層、14・・
・反射防止膜、16・・・回折格子、18、・・・反射
物質、20・・・入射光、21・・・空気と反射防止膜
との界面122.24・・・屈折光、23・・・反射防
止膜と活性物質との界面、28・・・凸出部、29.3
1・・・断面中心、30・・・凹入部、0,1.1・・
・回折次数。 特許出願人 エクソン リサーチ アンド エンジニアリング カンパニー 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士西舘和之 弁理士 寺 1) 豊 弁理士 山 口 昭 之 弁理士 西 山 雅 也
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、(a) 対向する一対の表面を有する半導体物質
活性層と、 (b) この活性層の1つの表面に固定された二次元
回折格子とを有し、 この回折格子が、回折格子と活性層との間の界面におい
て反射物質層で被覆されている格子であって、この格子
が多数の凸出部および/または凹入部を六角形に配置し
た格子であフ、かつこの凸出部または凹入部が円柱また
は円筒の形状を有し、この円柱または円筒の円形断面中
心間の距離が、隣接する2つの円柱または円筒の間で同
一であることを特徴とする太陽電池セル。 2、回折格子が円柱形凸出部全配置した格子である、特
許請求の範囲第1項記載の太陽電池セル。 3 回折格子が円筒形凹入部を配置した格子である、特
許請求の範囲第1項記載の太陽電池セル。 4 隣接する2つの凸出部の間の周期が同一である、特
許請求の範囲第2項記載の太陽電池セル。 5、隣接する2つの凸出部の中心を通る格子断面が方形
波形である、特許請求の範囲第4項記載の太陽電池セル
。 6、隣接する2つの凹入部の間の周期が同一である、特
許請求の範囲第3項記載の太陽電池セル。 7、隣接する2つの凹入部の中心を通る格子断面が〃形
波形である、特許請求の範囲第6項記載の太陽電池セル
。 8、任意の1つの凸出部およびこれに隣接する任意の2
つ凸出部の断面中心を通る任意の2つの格子断面の間の
交差角が、60°またはその倍数である、特許請求の範
囲第2項記載の太陽電池セル。 9、任意の1つの凹入部およびこれに@接する任意の2
つの凹入部の断面中心を通る任意の2つの格子断面の間
の交差角が60°またはその倍数である、特許請求の範
囲第3項記載の太陽電池セル。
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