JPS592039A - 色フィルタ染色受容層形成用組成物 - Google Patents
色フィルタ染色受容層形成用組成物Info
- Publication number
- JPS592039A JPS592039A JP57110860A JP11086082A JPS592039A JP S592039 A JPS592039 A JP S592039A JP 57110860 A JP57110860 A JP 57110860A JP 11086082 A JP11086082 A JP 11086082A JP S592039 A JPS592039 A JP S592039A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- composition
- color filter
- acid
- methyl
- photosensitive resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
- G03F7/0388—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable with ethylenic or acetylenic bands in the side chains of the photopolymer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、色フイルタ染色受容層形成用組成物に関し、
更に詳しくは、分光特性が優れた撮像素子を得ることが
可能な色フイルタ染色受容層形成用組成物に関する。
更に詳しくは、分光特性が優れた撮像素子を得ることが
可能な色フイルタ染色受容層形成用組成物に関する。
従来、カラーテレビジョンカメラ等に使用される撮像素
子用色フィルタは、例えば、ゼラチンやカゼイン等の蛋
白質或いはポリビニルアルコール（Ｐ Ｖ Ａ）に、重
クロム酸アンモニウム（ＡＤＣ） を添加したフォトレ
ジスト材料を用いて、光照射によυ得たパターンを染料
で染色することによシ製造されている。
子用色フィルタは、例えば、ゼラチンやカゼイン等の蛋
白質或いはポリビニルアルコール（Ｐ Ｖ Ａ）に、重
クロム酸アンモニウム（ＡＤＣ） を添加したフォトレ
ジスト材料を用いて、光照射によυ得たパターンを染料
で染色することによシ製造されている。
しかし、上記したフォトレジスト材料を色フィルタの染
色受容層を形成するために使用すると、ＡＤＣが含まれ
ているために、パターンを現像した後に排出される現像
廃液が大量のクロムを含有するものとなる。そのため、
廃棄前にクロムを回収し、無公害化処理を施さねばなら
ず、製造コストが上昇するという問題点を有している。
色受容層を形成するために使用すると、ＡＤＣが含まれ
ているために、パターンを現像した後に排出される現像
廃液が大量のクロムを含有するものとなる。そのため、
廃棄前にクロムを回収し、無公害化処理を施さねばなら
ず、製造コストが上昇するという問題点を有している。
又、ＡＤＣを感光剤とする材料は、プリベーキング温度
によシ露光量が変化して、所謂、熱かぶシ現象を呈する
ために、製造条件を厳密に管理しなければならないとい
う問題点を有している１、更に、ゼラチンやカゼイン等
の蛋白質を基本ポリマーとして使用した場合には、天然
物質であるために品質が一定したものを得ることが困難
である。そのため、製造工程におけるパタンの制御が困
難であるという問題点を有している１゜〔発明の目的〕 本発明の目的は、上記した問題点を解消し、その製造時
に現像廃液処理等を要さず、又、熱かぶシ等が起こらず
、分光特性が優れた色フィルタを得ることが可能な色フ
イルタ受容層形成用組成物を提供することにある。
によシ露光量が変化して、所謂、熱かぶシ現象を呈する
ために、製造条件を厳密に管理しなければならないとい
う問題点を有している１、更に、ゼラチンやカゼイン等
の蛋白質を基本ポリマーとして使用した場合には、天然
物質であるために品質が一定したものを得ることが困難
である。そのため、製造工程におけるパタンの制御が困
難であるという問題点を有している１゜〔発明の目的〕 本発明の目的は、上記した問題点を解消し、その製造時
に現像廃液処理等を要さず、又、熱かぶシ等が起こらず
、分光特性が優れた色フィルタを得ることが可能な色フ
イルタ受容層形成用組成物を提供することにある。
本発明の色フイルタ受容層形成用組成物は、次式
（式中、Ｒはメチル基又はエチル基を表わし、Ｘ−は塩
素、臭素、ヨウ素、過塩素酸、酢酸、メチル硫酸、硫酸
、硝酸又はｐ−）ルエンスルポン酸のそれぞれのイオン
を表わす。） で示されるポリビニルアルコール誘導体単位を含有する
感光性樹脂から成ることを特徴とするものである。
素、臭素、ヨウ素、過塩素酸、酢酸、メチル硫酸、硫酸
、硝酸又はｐ−）ルエンスルポン酸のそれぞれのイオン
を表わす。） で示されるポリビニルアルコール誘導体単位を含有する
感光性樹脂から成ることを特徴とするものである。
以下において、本発明を更に詳しく説明する。
本発明において使用される感光性樹脂は、例えハ、ポリ
ビニルアルコール又は部分ケン化ポリ酢酸ビニルに、次
式 （式中）Ｒ及びＸ−は前記と同意義である。）で示され
るホルミルスチリルピリジニウム塩を反応せしめること
によシ得ることが可能である。このような感光性樹脂と
しては、例えば、特公昭５６−５７６１号公報等に記載
されＣいる感光性樹脂を適宜使用することが可能である
。
ビニルアルコール又は部分ケン化ポリ酢酸ビニルに、次
式 （式中）Ｒ及びＸ−は前記と同意義である。）で示され
るホルミルスチリルピリジニウム塩を反応せしめること
によシ得ることが可能である。このような感光性樹脂と
しては、例えば、特公昭５６−５７６１号公報等に記載
されＣいる感光性樹脂を適宜使用することが可能である
。
本発明の組成物は、前記スチリルピリジニウム塩ヲ、ポ
リビニルアルコールの構成単位当ＪＪ ０．１〜１０モ
ル％含有するものであることが好ましい。
リビニルアルコールの構成単位当ＪＪ ０．１〜１０モ
ル％含有するものであることが好ましい。
又、ソの重合度は、ビニルアルコール単位で２０〜１０
０程度であることが好ましい。更に、そのケン化度は５
０−１００％であることが好ましい。
０程度であることが好ましい。更に、そのケン化度は５
０−１００％であることが好ましい。
上記組成物を使用して、例えば、撮像素子用色フィルタ
を製造する場合には、次のよう外方法を採ることが可能
である。、 即ち、先ず、表面を平滑化した撮像素子上に、本発明の
組成物を、例えば、スピンナー、シルクスクリーン法等
を用いて、０．１〜５μｍ程度の厚さで形成する。次い
で、４０〜８０℃、１０〜６０分間のプリベーキング処
理を施した後、所望のパターンを有するシャドウマスク
を介して露光する。
を製造する場合には、次のよう外方法を採ることが可能
である。、 即ち、先ず、表面を平滑化した撮像素子上に、本発明の
組成物を、例えば、スピンナー、シルクスクリーン法等
を用いて、０．１〜５μｍ程度の厚さで形成する。次い
で、４０〜８０℃、１０〜６０分間のプリベーキング処
理を施した後、所望のパターンを有するシャドウマスク
を介して露光する。
露光に際しては、例えば、水銀ランプを用いて、２００
〜４００ ｎｍの領域の波長を有する光を、５．０〜１
００ ｍＪ ／、Ｊで１〜１０秒間照射することが好ま
しい。次いで、純水の中に５〜３０秒間程度浸漬して現
像処理を施した後、メチルアルコール、エタノール、イ
ソプロピルアルコール等に５〜ｌＯ秒間程度浸漬してリ
ンス処理を施し、６０〜１００℃で乾燥する。
〜４００ ｎｍの領域の波長を有する光を、５．０〜１
００ ｍＪ ／、Ｊで１〜１０秒間照射することが好ま
しい。次いで、純水の中に５〜３０秒間程度浸漬して現
像処理を施した後、メチルアルコール、エタノール、イ
ソプロピルアルコール等に５〜ｌＯ秒間程度浸漬してリ
ンス処理を施し、６０〜１００℃で乾燥する。
上記処理によシ得た所望パターンを有する撮像素子を、
４０〜８０℃程度に保持した染料水溶液中に、１−１０
分間程度浸漬して染色し、水洗することによシ、所望の
色フィルタ層を得ることが可能である。完成した色フィ
ルタを得るためには、上記処理を繰り返せばよい。
４０〜８０℃程度に保持した染料水溶液中に、１−１０
分間程度浸漬して染色し、水洗することによシ、所望の
色フィルタ層を得ることが可能である。完成した色フィ
ルタを得るためには、上記処理を繰り返せばよい。
本発明の組成物を用いて形成される色フィルタは、優れ
たパターン性を有するものであり、鮮明な画像を得る仁
とが可能外ものである。
たパターン性を有するものであり、鮮明な画像を得る仁
とが可能外ものである。
又、本発明の組成物は、クロム等の有害な金属元素を含
有していないため、色フィルタの製造時に排出される現
像廃液の処理が容易であυ、製造作条者に対しても、衛
生上何ら悪影響を及はすことのないものである。
有していないため、色フィルタの製造時に排出される現
像廃液の処理が容易であυ、製造作条者に対しても、衛
生上何ら悪影響を及はすことのないものである。
以下において、本発明の実施例を記載する。
実施例】
ポリイミド樹脂を用いてその表面を平滑化したＣＣＤ撮
像素子を用意した。このＣＣＤ撮像素子の平滑面上に、
ケン化度８７％、重合度２６００を有するポリビニルア
ルコールにメチル−ｒ−スチリルピリジニウムメチル硫
酸塩を０．７モル％導入した樹脂を、スピンナーを用い
て、１．０μｍの厚さで形成した。次いで、４０℃で３
０分間ブリベーキング処理を施した後、３６５ ｎｍの
水銀ランプ下で、所定のパターンを有するマスクを介し
て、１５０ ｍＪ ／、、Ｆの条件で露光した。このＣ
ＣＤ撮像素子を、純水中に２０秒間浸漬して現像した後
、メチルアルコール中に１０秒間浸漬してリンス処理を
施し１．８０℃で３０分間乾燥した。
像素子を用意した。このＣＣＤ撮像素子の平滑面上に、
ケン化度８７％、重合度２６００を有するポリビニルア
ルコールにメチル−ｒ−スチリルピリジニウムメチル硫
酸塩を０．７モル％導入した樹脂を、スピンナーを用い
て、１．０μｍの厚さで形成した。次いで、４０℃で３
０分間ブリベーキング処理を施した後、３６５ ｎｍの
水銀ランプ下で、所定のパターンを有するマスクを介し
て、１５０ ｍＪ ／、、Ｆの条件で露光した。このＣ
ＣＤ撮像素子を、純水中に２０秒間浸漬して現像した後
、メチルアルコール中に１０秒間浸漬してリンス処理を
施し１．８０℃で３０分間乾燥した。
上記処理により得た所定のパターンを有するＣＣＤ撮像
素子を、５０℃に保持したスミノールミーリングイエロ
ー（住人化学■製）の２ｉＪＡ９６’水溶液から成る染
色溶液中に３分間浸漬した後、水洗した。その結果、均
一、且つ、鮮明な黄色パターンを有するＣＣＤ撮像素子
が得られた。
素子を、５０℃に保持したスミノールミーリングイエロ
ー（住人化学■製）の２ｉＪＡ９６’水溶液から成る染
色溶液中に３分間浸漬した後、水洗した。その結果、均
一、且つ、鮮明な黄色パターンを有するＣＣＤ撮像素子
が得られた。
実施例２〜５
染色受容層形成用組成物として、ケン化度８７％、重合
度１，７００を有するポリビニルアルコールに表に示す
ような量のメチル−ｒ−スチリルピリジニウム塩を導入
した組成物を使用した他は、実施例１と同様の操作を施
して色フィルタを得た。
度１，７００を有するポリビニルアルコールに表に示す
ような量のメチル−ｒ−スチリルピリジニウム塩を導入
した組成物を使用した他は、実施例１と同様の操作を施
して色フィルタを得た。
比較例１へ・２
染色受容層形成用組成物として、実施例２〜５で使用し
たポリビニルアルコールに導入するメチル−γ−スチリ
ルピリジニウム塩の量が少ないものを使用した他は、実
施例１と同様の操作を施して色フィルタを作成した。そ
の組成を実施例２〜５と共に表に示す。
たポリビニルアルコールに導入するメチル−γ−スチリ
ルピリジニウム塩の量が少ないものを使用した他は、実
施例１と同様の操作を施して色フィルタを作成した。そ
の組成を実施例２〜５と共に表に示す。
表
上記比較例１及び２の組成の染色受容層形成用組成物を
使用したものは、基板上に形成した染色受容層が染色時
に基板よシ剥離しパターン化が不可能であった。これら
に対し、実施例２〜５のそれぞれの組成物を用いて形成
した色フィルタは、顕微鏡により調べたところ、均一、
且つ、鮮明なパターンを有するものであることが確認さ
れた。
使用したものは、基板上に形成した染色受容層が染色時
に基板よシ剥離しパターン化が不可能であった。これら
に対し、実施例２〜５のそれぞれの組成物を用いて形成
した色フィルタは、顕微鏡により調べたところ、均一、
且つ、鮮明なパターンを有するものであることが確認さ
れた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 次式 （式中、Ｒはメチル基又はエチル基を表わし、Ｘ−は塩
素、臭素、ヨウ素、過塩素酸、酢酸、メチル硫酸、硫酸
、硝酸又はＰ−）ルエンスルホン酸のそれぞれのイオン
を表わす。） で示されるポリビニルアルコール鰐導体単位を含有する
感光性樹脂から成ることを特徴とする色フイルタ染色受
容層形成用組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57110860A JPS592039A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 色フィルタ染色受容層形成用組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57110860A JPS592039A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 色フィルタ染色受容層形成用組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS592039A true JPS592039A (ja) | 1984-01-07 |
| JPH0412465B2 JPH0412465B2 (ja) | 1992-03-04 |
Family
ID=14546500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57110860A Granted JPS592039A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 色フィルタ染色受容層形成用組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS592039A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5979246A (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-08 | Toshiba Corp | カラ−フイルタ−用レジスト組成物 |
| JPS61186954A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-20 | Sanyo Kokusaku Pulp Co Ltd | 着色画像形成用感光材料 |
| JPS62109040A (ja) * | 1985-11-08 | 1987-05-20 | Nippon Kayaku Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
| EP0271851A2 (en) * | 1986-12-16 | 1988-06-22 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Light sensitive mixtures for making repeatedly tonable layers |
| EP0373537A1 (en) | 1988-12-14 | 1990-06-20 | THE STATE OF JAPAN, as Represented by the DIRECTOR GENERAL of the AGENCY of INDUSTRIAL SCIENCE and TECHNOLOGY | Photosensitive poly(vinyl alcohol) derivative |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55135834A (en) * | 1979-04-10 | 1980-10-23 | Oriental Shashin Kogyo Kk | Photosensitive peeling film |
| JPS5756978A (en) * | 1981-08-12 | 1982-04-05 | Hitachi Ltd | Color solid state image pickup element |
-
1982
- 1982-06-29 JP JP57110860A patent/JPS592039A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55135834A (en) * | 1979-04-10 | 1980-10-23 | Oriental Shashin Kogyo Kk | Photosensitive peeling film |
| JPS5756978A (en) * | 1981-08-12 | 1982-04-05 | Hitachi Ltd | Color solid state image pickup element |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5979246A (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-08 | Toshiba Corp | カラ−フイルタ−用レジスト組成物 |
| JPS61186954A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-20 | Sanyo Kokusaku Pulp Co Ltd | 着色画像形成用感光材料 |
| JPS62109040A (ja) * | 1985-11-08 | 1987-05-20 | Nippon Kayaku Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
| JPH0462660B2 (ja) * | 1985-11-08 | 1992-10-07 | Nippon Kayaku Kk | |
| EP0271851A2 (en) * | 1986-12-16 | 1988-06-22 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Light sensitive mixtures for making repeatedly tonable layers |
| EP0373537A1 (en) | 1988-12-14 | 1990-06-20 | THE STATE OF JAPAN, as Represented by the DIRECTOR GENERAL of the AGENCY of INDUSTRIAL SCIENCE and TECHNOLOGY | Photosensitive poly(vinyl alcohol) derivative |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0412465B2 (ja) | 1992-03-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS592039A (ja) | 色フィルタ染色受容層形成用組成物 | |
| JPH0259450B2 (ja) | ||
| US2685510A (en) | Sensitive photographic element for use in the silk screen process | |
| DE2335072A1 (de) | Fotografisches aufzeichnungsmaterial zur direkten herstellung von fotomasken und verfahren zu dessen herstellung | |
| JPS6063501A (ja) | カラ−フイルタ−要素 | |
| JPS6357771B2 (ja) | ||
| JPH01130102A (ja) | 塗膜の染色法 | |
| JPS5979248A (ja) | 感光性組成物 | |
| JPS63217304A (ja) | 着色パタ−ンの製法 | |
| US3156562A (en) | Reproduction of photographic images on ceramic surfaces | |
| DE62662C (de) | Herstellung von Photographien mittels Guajaretinsäure als lichtempfindlicher Substanz | |
| KR100229211B1 (ko) | 수용성 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 형광막 제조 방법 | |
| US2411108A (en) | Developing colloid resists with substantive dyes | |
| JPS6029740A (ja) | カラ−フィルタ用レジスト | |
| JPS5979246A (ja) | カラ−フイルタ−用レジスト組成物 | |
| JPH0462660B2 (ja) | ||
| JPS5931943A (ja) | 画像形成材料 | |
| JPH0693120B2 (ja) | 感光性組成物 | |
| US980962A (en) | Producing colored photographic prints in graduated relief. | |
| JPS61172104A (ja) | カラ−フイルタ | |
| JPS59116651A (ja) | 固体撮像素子のカラ−フイルタ用レジスト | |
| SU776938A1 (ru) | Способ изготовлени форм плоской печати | |
| JP2956732B2 (ja) | 固体撮像装置カラーフィルターの製造方法 | |
| JPH07134398A (ja) | フォトレジスト組成物 | |
| JPH04372905A (ja) | アンスラキノン化合物を用いたカラ−フィルタ− |