JPS5919849A

JPS5919849A - ガス検知素子の製法

Info

Publication number: JPS5919849A
Application number: JP12949482A
Authority: JP
Inventors: Shigekazu Kusanagi; 草薙　繁量; Masayuki Ishihara; 政行石原; Toru Nobetani; 延谷　徹; Kazuhisa Fujii; 和久藤井
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1982-07-24
Filing date: 1982-07-24
Publication date: 1984-02-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】この発明は、メタンなどの可燃性ガスを感知したときに
警報を発するガス漏れ警報器の素子などとして用いられ
るガス検知素子の製法に関する。

金属酸化物半導体に可燃性ガスが吸着したときに生じる
抵抗値変化を利用してガス検知を行う素子は、公知であ
る。発明者らは、このような素子としてすぐれた特性を
示すものを種々開発した。

それらの中で、目的のガスを検知する能力（ガス検知能
）を示す成分すなわち有効成分が酸化インジウム、酸化
錫および酸化パラジウムからなるガス検知素子が、きわ
めてすぐれていることを見出した。たしかに−このガス
検知素子は可燃性ガスが吸着したときに生じる実用濃度
域での素子抵抗値変化が大きく−かつガス濃度に対して
素子抵抗値変化が直線関係を有し、ガス感応性に富んだ
実用性の大きいものである。

ところで、警報器の誤報または失報をなくするためには
、メタン、ブタンおよび水素の３種ガスにバランスよく
感応することが必要であると共に一雑ガスとしてのエタ
ノールに対し、では低感度であることが必要である。そ
のような観点からみだとき一前記酸化インジウム、酸化
錫および酸化パラジウムからなるガス検知素子はい寸だ
充分に満足できるものではない。すなわち−従来のもの
は、メタン、ブタンおよび水素の３種ガスのいずれに対
してもガス感度がすぐれていることは勿論であるが、雑
ガスとしてのアルコール（エタノール）に対しても感度
が大きいのである。しかし、その後の研究により、発明
者らは、この点の改善は、酸化インジウムの原料粉末の
結晶化度を配慮するとと一素子のエージングを行なうこ
と一酸化インジウムの結晶型を配慮すること、酸化錫の
結晶化度にも配慮すること等々により達成されることン
を見出しだ。酸化インジウムの結晶化度の及ぼす影響に
ついて簡単に述べれば、酸化インジウムの結晶化度が小
さすぎると、上記３成分ガスにバランスヨく感応する点
は変らないが、アルコ−ｆｉｖＫ対する感度が大となる
。他方、酸化インジウムの結晶化度が大きすぎると、ア
ルコールに対する感度は小さくなるが、上記３成分ガス
に対してはバランスよく感応しなくなる。

この発明は、このような経緯を経て完成されたものであ
って、特定の結晶化度を有する原料を使用すること、あ
るいは特定の結晶型態を有する原料を使用すること等に
よってヘメタン、ブタンおよび水素の３種ガスに対する
感度を十分満足させ、かつ雑ガスとしてのエタノールに
対する感度を低くして誤報または失報のほとんどないガ
ス検知素子をつくり得る方法を提供するものである。

この発明は、有効成分が２５〜５０重量％の酸化インジ
ウム、７５〜５０重量％の酸化錫および０．０６〜５重
計チの酸化パラジウムからなるガス検知素子を得るに当
り、前記酸化インジウムの原料粉末として−Ｘ線回折（
ターゲットＣｕ　−Ｋｑ線）２θ＝　４５．７度Ｃ０，
２，４３面ピークの半価巾が０．４５度以上のものを用
い−かつ通常の使用条件下、メタン、ブタン、水素およ
びエタノールの混合ガス中でエージングすることを特徴
とするガス検知素子の製法を第１の要旨とし、有効成分
が、２５〜５０重量％の酸化インジウム、７５〜５０重
量％の酸化錫および０．０６〜５重ｔ％の酸化パラジウ
ムからなるガス検知素子を得るに当り一酸化インジウム
の原料粉末どして、Ｔｌ２Ｏ３型の結晶のものを用いる
ことを特徴とするガス検知素子の製法を第２の要旨とし
、有効成分が、２５〜５０重量％の酸化インジウム、７
５〜５０重量％の酸化錫および０，０６〜５重量係の酸
化パラジウムからなるガス検知素子を得るに当り、前記
酸化インジウムの原料粉末として、Ｘ線回折（ターゲッ
トＣｕ　−Ｋｑ線）２θ＝５１．０８度、面指数［４、
４。

０〕而ピークの半価巾が０．３２度以上０．４８度以下
のものを用い、かつ前記酸化錫の原料粉末として、Ｘ線
回折（ターゲットＣｕ　−Ｋｑ線）２θ＝５４．７度、
面指数［：２．２．０］而ピークの半価巾が０．１０度
以上、０．７０度以下のものを用いることを特徴とする
ガス検知素子の製法を第３の要旨としている。

以下−これについて詳しく述べる。

この発明にかかる製法によって作る検知素子は、各［Ｒ
ガスに対する感度の向上とバランスを図るため、それぞ
れに特質を有する酸化インジウノ１．酸化錫および酸化
パラジウムの３種成分０で構成されている。

３種成分の相互割合によ一酸化インジウムが２５〜５０
重緘チ（以Ｆ％と略す）を占め、酸化研が７５〜５０憾
を占め、酸化パラジウムが０．０６〜５俤を占めるよう
に選ぶことが必要である。酸化インジウムが５０係を超
えると一素子抵抗値が小さくなりすぎて警報器の回路形
成上問題が生じる。

さらに、メタンに比較して水素やブタンに対する感度が
低くなるという問題も生じる。酸化錫が７５係を超える
と一水素の濃度依存性が小さくなり、高濃度での感度が
下がってくる。酸化パラジウムが５チを超えると素子抵
抗値が小さくなり、各ガスに対する感度も下ってくる。

酸化パラジウム量が０．０６係未満になると、メタンに
対する感度がなくなるのである。

素子を構成する各酸化物は、複数種類の原子価をもっこ
とに起因し、て種々の酸化形態をとりうろことがあるが
、その種類は問わガい。寸だ、複数種類の酸化形態が存
在する酸化物についてｉｔ、いずれかの酸化形態のもの
が噺独で素子中に存在する場合のほか、複数種類の酸化
形態のものが併せて素子中に存在する場合もある。なお
−ここにいう酸化形態には格子欠陥などに起因して非化
学量論的組成をもつものも含まれている。

もつとも−普通、酸化インジウムはＩｎ２Ｏ３＋酸化錫
は５ｎ０２　　という酸化形態であり、酸化パラジウム
はＰｄＯという酸化形態である。したがって、この明細
書において、素子を構成する成分の割合（組成比）を考
えるに当たっては、各酸化物はすべて上に表わされてい
る酸化形態のものに換算されることとしている。なお、
Ｉｎ　ｒ　Ｓｎ　；　Ｐｄ　は元素状態で素子中に存在
することもあるが、そのような場合もこれを上記の酸化
物とみなして組成比が計算される。

この発明にかかる第１の方法は、酸化インジウムの原料
粉末として、以下に述べるような結晶化度のものを選択
するのが重要である。この場合、結晶化度はＸ線回折（
ターゲットＣｕ−にα線）での、特定面指数を持つ面ピ
ークの半価中を角度で表わす。これにより規定したとき
、２θ−４５，７度の［０、２、４）面ピークの半価中
が０．４５度以上のものを用いることである。半価中が
０．４５度未満になると、得られる素子はレベル設定余
裕率Ｅ（素子が水素、メタンおよびブタンのいずれに対
１−でも同様に感動しているかどうかを判断する指標）
が小さくなり、信頼性が低下してくる。

前記結晶化度を有する酸化インジウムは、レベル設定余
裕率Ｅが大きく、前記３種ガスに対する信頼性が高いも
のとなる。しかし、そのままでは、誤報またけ失報の原
因となるアルコール（エタノール）に対する感度も高い
ものとなる（アルコール濃度１１０００ｐｐ以下で警報
を発する）。このため〜雑ガスとしてのエタノールに対
する感度（ＡＬ値）を低くする心安がある。この場合、
レベル設定余裕率Ｅの低下を押えながら、ＡＬ値を低下
させることが重装である。そこで−第１の発明では、前
記半価中０．４５度以上の酸化インジウムの原料粉末を
用いて得た素子を一通常の使用条件（素子温度１回路電
圧など）下、メタン、ブタン、水素およびエタノールの
混合ガス中でエージングするようにしている。混合ガス
濃度は、メタン０．１　％　。

ブタン０．１　％　、水素０．１％　、およびエタノー
ルｏ、１〜０．２　％　（いずれも容量係）か好ましく
用いられる。エージング時間は２４時間〜２４０時間が
好ましい。この結果、レベル設定余裕率Ｅの低下を少な
くして、ＡＬ値を低下させることがで□きる。

つまり、メタン、エタン、ブタンの３種ガスに対する感
度上満足させ、しかも雑ガスとしてのエタノールによる
誤報または失報がほとんどないガス検知素子を得ること
ができるのである。

この発明にかさる第２の方法は、酸化インジウムの結晶
型として、完全な’ｒ＋２ｏ３型を選ぶ。酸化インジウ
ムの結晶型としては、Ｔｌ　２０３型とコランターム型
が存在する。コランダム型結晶またはコランダム型結晶
とＴｌ２Ｏ３型結晶の混在した酸化インジウムは−アル
コールに対する感度が高くなり、誤報寸だ−２失報全招
き易い。

こノ］に対し、酸化インジウｌ、の原料が、完全な゛ｒ
１２０３型結晶のものである場合ｔよ、アル：Ｉ−ルに
対する感度が低くなり、誤報−またけ失報が少なくなる
。したがって、酸化インジウムの原料の選択に際しては
、完全なＴｌ２Ｏ３型結晶の本のを採用することとする
１、これにより、＠１のワラ法と同様の性能を持つ素子
が得・らノ１−る。

この発明にかかる第３の方法にｔ、酸化・ｒンジウムの
原料粉末および酸化錫の原料粉末とし７て、以下に述べ
るような結晶化度のものを選択使用するのである。すな
わち、酸化インジウムの原料粉末としてｒ、ｔ＝２θ＝
５１．０８の［’４　、４　、０〕而ピークの半価中が
０．３２度μ上、０．４８度以下のものを用いる。半価
中が０．３２度未満になると、得らノ］、る素子はレベ
ル設定余裕率Ｅが小さくなり一信頼性が低下する。他方
−半価中が０．４８を越えると、素子のアルコール（エ
タノール）に対する感度が高くなり、誤報または失報を
招くことになる。

次に一酸化錫の原料粉末として、Ｘ線回折（ターゲット
Ｃｕ−にα線）２θ＝　５４．７度、面指数〔２゜２、
ＯＪ而面−クの半価中が−０，３０度以上−０，７０度
以下のものを用いる。半価中が０．３０度未満または０
．７０度を越えると、レベル設定余裕率Ｅが小さくなり
、素子としての信頼性に欠けるようになる。酸化インジ
ウムおよび酸化錫の原料の選択に際して、上述のような
半価中のものを採用することにより、第１の方法と同様
の性能を持つ素子が得られる。

ガス検知素子をつくるに当たっては、この発明の効果を
妨げない範囲において、増量剤として働く成分など他の
成分を添加することもできる。

この発明にかかる可燃性ガス検知素子の形態としては、
良好なガス感度が容易に得られる、経時安定性が良い等
の理由から、焼結体に構成する形態が選ばれる。その製
造原料、製造方法等も、原料の入手の容易さ、コストや
その使用目的等を勘案して適宜に選ばれる。製造用出発
原料としては、素子となったときに酸化インジウムであ
り、酸化ｉｆあり、また酸化パラジウムでありさえすれ
げ種類は問わず（目的の酸化物そのものであってもよい
）、また必要に、しり出発原料に加えられる中間処理の
区別本問わない。

との発明によって得られるガス検知素子は、メタン、ブ
タンおよび水素の３種ガスに対してバランスのとれた満
足すべき感度を示し、しかも雑ガスとしてのアルコール
（エタノール）に対しては感度が低くなるため−アルコ
ールによる誤報または失報が少なくなり、信頼性のすぐ
れたものとなる、つぎに一実施例について説明する。

〔第１の方法〕原料粉末としてＩｎ２Ｏ３、５ｎＯｚｋよびＰｄＯを選
び、成分相互割合はＩｎ２０３２９　％　、　５ｎＯｚ
６９％およびＰｄ０２．　Ｏ％とした。

以上の３成分配合物を石川弐捕潰機で充分混合して得た
混合粉末を一定量（１５ｒｎｇ）秤量して、白金線電極
（直径０．２　ｍｍｆ　、長さ１５　ｍｍ）が２水平行
に埋設された直径２　ｍｍ１４．長さ２ｍｍで円柱状の
素子形状に圧縮成形（圧力１〜２　ｔ　／　ｃｍ２）Ｌ
、−焼成温度６００〜８００℃、焼成時間１時間、空気
中という焼成条件で焼成して、ガス検知素子をつくった
。

コノヨうにしてｆ等だ素子を一メタン０．１％、ブタン
０．１　％　、水素ｏ、ｌチおよびエタノール０．１４
の混合ガス中で、４８時間エージングし一試料１〜９の
各ガス検知素子をつくった。

上記で得られた各素子のまわりに、コイル状ヒータを付
設し、さらに防爆のためステンレススチール製の金網キ
ャップで被覆したものをガス検知部とした。

試料１〜９の各素子について、エージングｍ後のレベル
設定余裕率（Ｅ（ｉ＆ｊおよびアルコール不感応値（Ａ
Ｌ値）を調べた結果は、刹１表に示すとおりである。な
卦、Ｅ値とＡ　Ｌ値は、後述のようにして求めた。

酸化インジウム原料の半価値が０．４５度以上であった
試料１〜３は、半価値０．４５未満であった試料４〜９
に比べ、レベル設定余裕率Ｅを満足し、しか４ＡＬ値は
大きく、アルコール（エタノール）に対する感度が低下
している。

〔第２．第３の方法ｊ酸化インジウムの結晶型、酸化インジウムと酸化錫の半
価中が第２表にあられされているとおりのものを、原料
として用いた。ＩｎｚＯ３，５ｎｚＯ３゜およびＰｄＯ
の成分相互割合は、第３表の通りとし、これら３成分の
混合粉末を前記第１の方法と同様に圧縮成形し、焼成し
て試料１０〜２３のガス検知素子をつくった。ガス検知
部は前記同様とした。

各素子について、レベル設定余裕率Ｅ、ＡＬ値および中
間抵抗値を調べた結果は、第３表のとおりである。なお
、これらを調べるために、濃度−抵抗値関係を測定した
結果を第１図〜第１４図に示し、これらの図と素子の対
応を第３表に併記した。

各図において、線ＬＨは水素の、線ＬＭはメタンの、線
り、　　けブタンのそれぞれ濃度−抵抗値関係をあられ
している。

第　　２　　表（注）半価「１】は−Ｘ線回折装置（理学電機Ｒｏｔａ
ｆｌｅｘ＝Ｒｕ−２００）を用い〜スリット（ＤＳ　１
’　、　Ｒ，Ｓ、　０．１５　ｍｍ　、　５．５゜１６
）、管球（ターゲットＣｕ　、　４０　ｋＶ　２００ｍ
Ａ）の条件で酸化インジウム　　面指数ｒ４．４，０１
而中心角５１．０８度酸化スズ　　　　面指数［２，２
，０Ｅ面中心角５４．７　度酸化パラジウム　　面指数
（１，１，２Ｊ而中心角５４．８８度において測定。

酸化インジウム原料としてこの発明で特に規定された半
価ｌ〕と結晶型を持つものを選び、かつ−酸化錫原料と
してもやはり特に規定された半価巾を持つものを選んで
つくられた素子（Ｎｏｌｌ、１３゜１４．１５，１６，
１７，１８．１９　）は−Ｅ値およびＡＬ値ともに満足
すべきものである。これに対し、半価中の低い酸化イン
ジウム原料を用いて得た素子（Ｎｏ２０’）ｖ、ｌ−Ｅ
値が低く、コランダム型混在ノ酸化インジウム原料を用
いて得た素子（Ｎｏ　２１　’）け−ＡＬ（ｌｔｃが低
い。半価巾が高すぎるかまたは低すぎる酸化錫原料を用
いて得た素子（Ｎｏ　１０　、１２．２２゜２３）りよ
−Ｅ値またはＡ　Ｌ値が良い場合もあるが−悪い場合も
あって安定して論ない。

抵抗値の測定は、ｆ記のようにして行なわれた。

すなわち、得られたガス検知素子１に、第１５図に示す
ように抵抗測定用の固定抵抗２（抵抗値はＲ（Ω）を直
列に接続し、これらの両端に５ｖの一定は圧をかける。

固定抵抗２の両端の電位ｖｃ（ｖ）を測定すれば、ガス
検知素子１の抵抗値Ｒｓ（Ω）が次の式により求められ
る。ここに−ｉは回路を流れる電流である。

Ｃガス検知素子を装入した測定槽内に、湿度管理された精
製空気を送り込み、雰囲気を充分に安定さすたのち、前
記の方法で素ｒ抵抗値イｃ測定する。

つぎに−水床、メタン、ブタンを順に測定槽内に送り込
み一充分に安定した状態（約２時間経過後）で、そｉｔ
ぞハ２のガス雰囲気中における抵抗値を同様な方法で測
定する。この場合−測定の履歴を残さなｈよう、それぞ
れの測定の間に１日程度の間隔をあけるのが望ましい。

ｆｘ訃、測定に際しては、素子加熱用ヒータに負荷する
′４圧を調整することにより、素子の温度を４５０℃に
設定保持した。

土のようにしＣ求められた抵抗値測定結果に基き、素子
が水素、メタンおよびブタンのいずれに対しても同様に
感動しているかどうかを判断するレベル設定余裕率Ｅを
下式で求めた。

Ｆ、？′−□ Ｒ２上式において、Ｒ，け爆発限界下限の１００分の１であ
る水素０．０４ＬＩｊ、メタン０．０５係およびブタン
０．０２　％における各素子抵抗値のうちの最小値を、
またーＲ２は爆発限界下限の４分の１である水素ｌ、０
チ、メタン１．２５４およびブタン０．４５係における
各素子抵抗値のうちの最大値をあられす。

ＡＬ値は、上記Ｒ１，Ｒ２を用いて下式で求めた素子中
間抵抗値を指標とし、アルコール含有雰囲気下での素子
の抵抗値が上記中間抵抗値を示すときのアルコール濃度
（ｐｐｒｎ）でもってあられす。

なお、上記検知素子を使用した場合、素子の原料粉末充
填量によっては、各ガスに対する感度のバランスに影響
を受けることがある。

現在の一般的な素子製造工程は一次の通りである。

（１）　　混合工程原料粉末針１ｇに精製水Ｚ　ＣＣを加えて捕潰機で３０
分間混合する。

（２）成型工程混合粉末１５ｍｇを、小型ブレスを用いて圧力２　ｔｏ
ｎ／ｃｍ２　　で成型するか、このとき白金線２本を埋
設するようにする。

（３）焼成工程電気炉を使用し一６００℃、３時間空気中で焼成する。

（４）取付工程素子を固定台に溶接し、加熱用のコイルヒータを周囲に
付設する。

このようにして形成される素子は、第１６図の如き、コ
イルヒータ３を巻かｉした素子４　（０，２ｍｍ−の白
金線５が２本埋設されている）となる。

このようにして素子を作成する時に、原料粉末充填量を
変化させて得た素子の各ガスに対する感度および濃度分
離性を比較すると、第１７図〜第２２図に示す通りであ
る。この結果から一素子の充頃量を増加すると、各ガス
に対する感度が低下することがわかる。特に水素感度の
低下が大きい。

濃度分離性は、メタンでは増加するが〜ブタンおよび水
素では低下する。したがって、後述する参考例にもみら
れるよつに、素子作成時の原料粉末充填量Ｖよ現在の標
準ｊ＆１５ｒｎｇもしくはこれ以下が好ましい。他方、
充填量と素子の破壊強度との関係を検討すると、第２３
図に示すように充填量の減少と共に素子強度が低下する
。鎖線を上まわる荷重に耐えるようでないと、実用性は
ない。このため、充填量としては１０■以上が好ましい
。この範囲内の原料粉末充填量を保持すると、メタン？
ブタンおよび水素の各ガスに対してバランスのよい感度
を示ｆ。ブタンおよび水素に対しても濃度分離性が十分
となる。しかも、実用的な素子強度を確保できるーとい
った効果を奏する。

〔参考例〕

５ｎｕ２＋　Ｉｎ２０ａ　、　ＰｄＯを５８．８１　、
３９．２％　。

２．０係の素子組成とし、前述の湿式混合法の条件にし
たがって混合を行なった。素子の原料粉末充填量を７．
５〜（試料Ｉ）、１５■（試料ＩＩ）および２５哩（試
料ＩＩＩ　）とし−圧力２　ｔｏｎ／ｃｍ２　で成型し
た。焼成工程も前述の条件にｌ−たがった。ガス濃度と
抵抗値の関係を、試料Ｉ　、　ｎ　、　ＩＩＩの順で第
２４図〜第２６図に示した。

試料■は、各ガスに対して非常に高感度となり、濃度分
離性も十分持っている。各ガス間のバランスは−イソブ
タンがやや高感度すぎるが大きな問題ではない。しかし
、試料■は素子強度が十分でなく、これが欠点となる。

試料■け、各ガスに対する感度および濃度分離性が十分
に得られている。各ガス間のバランスはメタンが若干高
いが問題ではない。したがって、試料■は好ましく使用
できる。

試料Ｉｎは、インブタン、水素に対する感度がメタンに
比べて低い。また−水素の濃度分離性が低いだめ一全体
的なバランスをくずしている。したがって、試料１■け
使用の対象から除外すべきである。

現在、メタンよりもイソブタンや、特に水素の濃度分離
性を大きくしたいという要求がある。このこと全考慮す
ると、原料粉末充填量は、少量側に設定するのが望まし
い。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第１４図は一試料ｌＯ〜２３のガス濃度−
抵抗値関係をあられすグラフ、第１５図は、素子の抵抗
を調べるための電気回路図、第１６図は、ガス検知素子
の斜視図、第１７図〜第１９図は一各素子の充填緊−感
度関係をあられすグラフ、第２０図〜第２２図は、素子
の充填険−濃度分離性関係をあられすグラフ、第２３図
は、素子の充填量−破壊荷重関係をあられすグラフ、第
２４図〜第２６図は、試料■〜１「のガス濃度−抵抗値
関係をあられすグラフである。特〃１出厘）人　松ド電工株式会社代理人　弁理士　松　木　　武　　彦第１図第２図第３図第５図第６図第７図第　６１因第１３図第２３図第２５図第２４図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）有効成分が２５〜５０重量％の酸化インジウム、
７５〜５０重量％の酸化錫および０．０６〜５重９９６
の酸化パラジウムからなるガス検知素子を得るに当り一
前記酸化インジウムの原料粉末とじて−Ｘ線回折（ター
ゲットＣｕ　−Ｋσ線）２θ＝４５．７度［０，２，４
］面ビークの半価中が０．４５度以上のものを用い、か
つ通常の使用条件下、メタン、ブタン、水素およびエタ
ノールの混合ガス中でエージングすることを特徴とする
ガス検知素子の製法。
（２）素子が、焼結体である特許請求の範囲第１項記載
のガス検知素子の製法。
（３）混合ガス濃度が、メタン０．１　％　、ブタン０
．１チ、水素０．１％、エタノール０．１〜０．２１で
ある特許請求の範囲第１項ないし第２項記載のガス検知
素子の製法。
（４）エージングを２４時間〜２４０時間で行なう特許
請求の範囲第１項ないし第３項記載のガス検知素子の製
法。
（５）有効成分が、２５〜５０重量％の酸化インジウム
、７５〜５０重量％の酸化錫および０．０６〜５重量％
の酸化パラジウムからなるガス検知素子を得るに当り、
酸化インジウムの原料粉末として−Ｔ１２０３型の結晶
のものを用いることを特徴とするガス検知素子の製法。
（６）有効成分が、２５〜５０重量％の酸化インジウム
、７５〜５０重量％の酸化錫および０．◇６〜５重量％
の酸化パラジウムからなるガス検知素子を得るに当り、
前記酸化インジウムの原料粉末として、Ｘ線回折（ター
ゲラ）　Ｃｕ　−Ｋα線）２θ＝５１．０８度−面指数
’［４，４，０〕面ピークの半価巾が０．３２度以上０
．４８度以丁のものを用い−かつ前記酸化錫の原料粉末
として、Ｘ線回折（ターゲットＣｕ−にα線）２θ＝　
５４．７度−面指数［２、２、０］面ビークの半価巾が
０．３０度以上、０．７０度以下のものを用いることを
特徴とする特ス検知素子の製法。