JPS623374B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はガス検知素子、ことに都市ガス用ガ
ス漏れ警報器に用いるに適したガス検知素子に関
する。 ある種の金属酸化物半導体はガス分子を吸着し
たときその電導度に変化を生ずる。そこで、この
ような現象を利用してガス検知を行うため、ガス
を検知する能力（ガス検知能）を示す成分すなわ
ち有効成分を金属酸化物半導体で構成することが
知られている。 しかし、従来知られている半導体方式の可燃性
ガス検知素子は、都市ガス用ガス漏れ警報器に用
いると、都市ガスの種類によつて警報濃度が大き
く異なるという問題があつた。一般的には、液化
含天然ガス（LNG）を主成分とする都市ガスに
対しては高濃度となるまで警報を発しないが、液
化石油ガス（LPG）を主成分とする都市ガスに対
してはより低濃度でも警報を発するという傾向が
あつた。それは、従来のガス検知素子の場合、
LNGの主成分たるメタン（CH₄）ガスに対する感
度がLPGの主成分たるブタン（C₄H₁₀）ガスに対
する感度よりも低いという理由による。ところ
が、前記の問題は、単純に、メタンガスに対する
感度を高めるというだけでは解決されない。すな
わち、メタンガスの爆発下限（LEL）が5.6vol％
であるのに対し、iso−ブタンガスの爆発下限は
1.8vol％であるた、ブタンとメタンとの相対感度
ではブタンの方が高くなければならないからであ
る。さらに、都市ガスの主成分として一般的な水
素（H₂）ガスはその爆発下限が4vol％であり、こ
れに対しても適当な相対感度を示すものでなけれ
ばならない。 以上により明らかなように、都市ガス用ガス漏
れ警報器に用いるに好適なガス検知素子として
は、主成分がメタン、ブタンまたは水素で構成さ
れる各種の都市ガスが存在する以上、これら３種
の主成分ガスにバランス良く感度を示すものであ
ることが要求される。 このような事情に鑑み、この要求を満たすべ
く、この発明の発明者らは、先に、メタン、ブタ
ンおよび水素に対しそれぞれの爆発下限に比例す
る相対感度をバランス良くもつガス検知素子を提
供した。すなわち、酸化インジウム、酸化錫およ
び酸化パラジウムの３者によつて有効成分を構成
し、それぞれの組成比を定めたものである。とこ
ろが、その後の研究の進展により、所期の目的を
達成する上でより好ましい組成比の存在すること
を確かめ、ここにこの発明を完成した。 すなわち、この発明にかかるガス検知素子は、
有効成分が35〜45重量％の酸化インジウム、55〜
65重量％の酸化錫および0.06〜５重量％の酸化パ
ラジウムからなる三ことを特徴とする。つぎに、
これをより詳しく説明する。 この発明にかかるガス検知素子は有効成分を酸
化インジウム、酸化錫および酸化パラジウムの３
者で構成しているところに第１の特徴がある。す
なわち、各種ガスに対する感度の向上とバランス
を図るため、それぞれに特質を有する３種の成分
を混ぜ合わせて用いることとしたのである。 素子を構成する各酸化物は、複数種類の原子価
をもつことに起因して種々の酸化形態をとりうる
ことがあるが、その種類は問わない。また、複数
種類の酸化形態が存在する酸化物については、い
ずれかの酸化形態のものが単独で素子中に存在す
る場合のほか、複数種類の酸化形態のものが併せ
て素子中に存在する場合もある。なお、ここにい
う酸化形態には格子欠陥などに起因して非化学量
論的組成をもつものも含まれている。 もつとも、普通、酸化インジウムはIn₂O₃、酸
化錫はSnO₂という酸化形態であり、酸化パラジ
ウムはPbOという酸化形態である。したがつて、
この明細書において、素子を構成する成分の割合
（組成比）を考えるに当たつては、各酸化物はす
べて上に表わされている酸化形態のものに換算さ
れることとしている。 この発明にかかるガス検知素子は、上記３種の
成分の相互割合を、酸化インジウムが有効成分全
体の35〜45重量％（以下％と略す）を占め、酸化
錫が有効成分全体の55〜65％を占め、酸化パラジ
ウムが有効成分全体の0.06〜５％を占めるように
選んでいるところに、第２の特徴がある。酸化イ
ンジウムが45％を超えると、素子抵抗値が小さく
なりすぎて警報器の回路形成上問題が生じる。さ
らに、メタンに比較して水素やブタンに対する感
度が低くなるという問題も生じる。酸化錫が65％
を超えるとメタンやブタンに比較して水素に対す
る感度が高くなりすぎる。酸化パラジウムが５％
を超えると素子抵抗値が小さくなり、各ガスに対
する３感度も下つてくる。 ガス検知素子をつくるに当たつては、ガス検知
能を示す成分にバインダーとして機能する成分や
単なる増量剤として働く成分等が加えらることも
ある。このようなときにおいても、ガス検知能を
示す成分が酸化インジウムと、酸化錫と、酸化パ
ラジウムとからなるものでありさえすれば、この
発明の範囲に入る。この明細書において、有効成
分が前記３種の酸化物からなると述べているの
は、正に、上記のように、実際にガス検知素子を
つくるに当たつてはガス検知能を示す成分以外の
成分がしばしば添加されることを考慮した結果で
ある。もつとも、このように述べたからと言つ
て、上記のような有効成分のみで可燃性ガス検知
素子が構成されている場合も勿論この発明の範囲
に入るのであり、このような場合を除く趣旨では
ない。 この発明にかかる可燃性ガス検知素子の形態と
しては、良好なガス感度が容易に得られる、経時
安定性が良い等の理由から、一般的には焼結体に
構成する形態が選ばれるが、これに限定されるも
のでなく、たとえば薄膜や厚膜に形成されてもよ
いのであつて、その形態は自由である。また、そ
の製造原料、製造方法等も、原料の入手の容易
さ、コストやその使用目的等を勘案して適宜に選
ばれる。製造用出発原料としては、素子となつた
ときに酸化インジウムであり、酸化錫であり、ま
た酸化パラジウムでありさえすれば種類は問わず
（目的の酸化物そのものであつてもよい）、また必
要により出発原料に加えられる中間処理の区別も
問わない。 前述のように、水素、ブタン、メタンは、それ
ぞれ、４％、1.8％、5.6％という異なつた値の爆
発限界下限値をもつている。この発明によると、
上記各下限値を基準として、それぞれの100分の
１、10分の１、４分の１などのガス濃度で、ガス
種を問わずすべて同一のガス感度をそなえたガス
検知素子が得られる。したがつて、この発明にか
かるガス検知素子は、これを用いることにより、
ガス種がいずれであつても、すべてほぼ同一程度
でその危険状態を検出することができるようにな
るので、種々のガス成分が存在する都市ガスに対
し同一のガス漏れ警報器によつてガス漏れを監視
することができ、家庭用ガス漏れ警報器の検知素
子としては、理想的なものであると言える。 つぎに、実施例について比較例と併せて説明す
る。 原料粉末として、In₂O₃，SnO₂およびPdOを選
び、これらを、素子組成が後掲の表記載のとおり
となる割合で配合し、石川式擂潰機で充分混合
（総量１ｇ−60分間）したのち、混合粉末を一定
量（20mｇ）秤量して、白金線電極（直径0.2mm
φ、長さ15mm）が２本平行に埋設された直径２mm
φ、長さ２mmで円柱状の素子形状に圧縮成形（圧
力１〜2t／cm²）し、焼成温度600℃または800℃、
焼成時間１〜３時間、空気中という焼成条件で焼
成することによつて素子すなわちガス感応体（焼
結体）をつくつた。 Ｘ線分析の結果によると、ガス感応体を構成し
ている各酸化物は混合状態で存在していることが
分かつた。また、Ｘ線マイクロアナライザーで分
析した結果によると、各成分の分散状態は非常に
均一であることも分かつた。ESCAによつて確認
したところによると、酸化パラジウムが一部金属
パラジウムに環元されている場合もあることが分
かつたが、この発明ではこの金属パラジウムも酸
化パラジウムとみなし、組成比の計算においては
酸化パラジウムに算入した。 上記で得られた各ガス感応体のまわりに、コイ
ル状ヒータを付設し、さらに防爆のためステンレ
ススチール製の金網キヤツプで被覆したものをガ
ス検知部とした。 各素子のガス感応特性について調べた結果は下
表のとおりであり、ガス感応諸特性を総合して判
定すれば、実施例はいずれも比較例よりすぐれて
いた。 なお、ガス感応特性は、上記コイル状ヒータに
一定電圧を付加して素子の温度を450℃一定に保
持しつつ、精製空気、メタン濃度0.1容量％のメ
タン含有空気、ブタン濃度0.1容量％のブタン含
有空気および水素濃度0.1容量％の水素含有空気
をそれぞれ接触させてガス感応体の電気抵抗値を
測定し、ガス感度については下式に基いてその変
化を求めるという方法によつて調べた。 ガス感度＝Ｒ_ａｉｒ−Ｒ_０．_１／Ｒ_ａｉｒ×100 ここに、 Ｒ_air：精製空気（露点13℃）中での抵抗値、す
なわち、いわゆる素子抵抗値。 Ｒ₀.₁：濃度0.1容量％のメタン、ブタンまたは
水素含有空気（露点13℃）中での抵抗
値。 【表】

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 有効成分が35〜45重量％の酸化インジウム、
   55〜65重量％の酸化錫および0.06〜５重量％の酸
   化パラジウムからなるガス検知素子。 ２ 焼結体である特許請求の範囲第１項記載のガ
   ス検知素子。