JPS5918910A - 光学フイルタ− - Google Patents
光学フイルタ−Info
- Publication number
- JPS5918910A JPS5918910A JP57128539A JP12853982A JPS5918910A JP S5918910 A JPS5918910 A JP S5918910A JP 57128539 A JP57128539 A JP 57128539A JP 12853982 A JP12853982 A JP 12853982A JP S5918910 A JPS5918910 A JP S5918910A
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- filter
- sensor
- parts
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- optical
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は）Ｙ：、電変換手段に対して配置される光学フ
ィルターの構成に関する。特にイメージセンサの受光面
に貼り伺は等により固着されるカラーフィルターの構成
に関する。
ィルターの構成に関する。特にイメージセンサの受光面
に貼り伺は等により固着されるカラーフィルターの構成
に関する。
従来例えばカラーフィルターをイメージセンサの受光面
に固着する場合、フィルターとイメージセンサとの高精
度の位置合わせな行ってから固着をする必要がある。而
もフィルターとセンサとは数ＩＬｍ程度の間隔しか空け
もれな（・。
に固着する場合、フィルターとイメージセンサとの高精
度の位置合わせな行ってから固着をする必要がある。而
もフィルターとセンサとは数ＩＬｍ程度の間隔しか空け
もれな（・。
然し従来この固着の工程においてセンサの受光面を損傷
する事故が度々生じた。
する事故が度々生じた。
これに対し従来はフィルターのエツジ部を丸めろとか、
センサ表面に凸部を形成する事によりこれを回避するも
のが考えられている。
センサ表面に凸部を形成する事によりこれを回避するも
のが考えられている。
然し乍ら、たとえフィルターのエツジ部を丸めたとして
もセンサへの固着工程中にセンザ受元面を傷付ける可能
性は大きく、又センサの表面に凸部を設ける事は製造上
大きな困難を伴なう。
もセンサへの固着工程中にセンザ受元面を傷付ける可能
性は大きく、又センサの表面に凸部を設ける事は製造上
大きな困難を伴なう。
即ちセンサを形成する半導体基板は極めてもろい性質を
有し、この表面にμオーダーの凸部を設けても強度的に
フィルタを支える事が難しく、更にセンサ表面に一連の
回路パターンを形成するプロセスにおいてこの様な凸部
を形成した場合には、この凸部が多層構造として順次形
成される為チップに占める面積が広がってしまい、歩留
りを低下させてしまう。又、■Ｃ化技術的にみてＩＣ表
面の平担性が保たれていないと、フォト・リソグラフィ
ーによりパターンを形成する場合に細かなレジストがの
らない欠点がある。その他信頼性が落ちるという欠点も
ある。
有し、この表面にμオーダーの凸部を設けても強度的に
フィルタを支える事が難しく、更にセンサ表面に一連の
回路パターンを形成するプロセスにおいてこの様な凸部
を形成した場合には、この凸部が多層構造として順次形
成される為チップに占める面積が広がってしまい、歩留
りを低下させてしまう。又、■Ｃ化技術的にみてＩＣ表
面の平担性が保たれていないと、フォト・リソグラフィ
ーによりパターンを形成する場合に細かなレジストがの
らない欠点がある。その他信頼性が落ちるという欠点も
ある。
本発明はこの様な従来技術の欠点を解消′ｆろ事を目的
とし１こものである。
とし１こものである。
その釉徴とする処は、逆に光学フィルターの面」二に凸
部を形成すると共に、この凸部によりフィルターと受光
面との間隔を保つ様構成した点にある。、又、この凸部
を樹脂又はゼラチンなどで形成する事により受光面の損
傷の可能性を低下させた点にある。又、この凸部を光学
フィルターの形成プロセスにおいて多層構造として同時
に形成した点にある。これらの特徴によりフィルタの固
着に際してセンサの受光面を傷付ける事がなく、又、フ
ィルターとセンサの受光面との間隔を容易に、而も最小
間隔となる補設定でき、そのうえフィルター上に凸部を
設けた事から強度的にも安定し、凸部の形成もそれ程精
度良くする必要が無いから容易であってセンサのパター
ンにも何ら影響を与えない。更にカラーフィルターの形
成に伴って同時に形成可能であるから製造も容易である
。
部を形成すると共に、この凸部によりフィルターと受光
面との間隔を保つ様構成した点にある。、又、この凸部
を樹脂又はゼラチンなどで形成する事により受光面の損
傷の可能性を低下させた点にある。又、この凸部を光学
フィルターの形成プロセスにおいて多層構造として同時
に形成した点にある。これらの特徴によりフィルタの固
着に際してセンサの受光面を傷付ける事がなく、又、フ
ィルターとセンサの受光面との間隔を容易に、而も最小
間隔となる補設定でき、そのうえフィルター上に凸部を
設けた事から強度的にも安定し、凸部の形成もそれ程精
度良くする必要が無いから容易であってセンサのパター
ンにも何ら影響を与えない。更にカラーフィルターの形
成に伴って同時に形成可能であるから製造も容易である
。
以下実施例に基づき説明する。
第１図は本発明の実施例を示す図であって、１は本発明
に係る光学フィルターの基板であって例えばガラス基板
として形成されろ。このガラス基板の表面にはゼラチン
等から成る色フィルタ一部４が例えばアクリル、ウレタ
ン樹脂等から成る境界層５を挾んで図の様に形成される
。７はクロムなどにより形成される遮光層である。又、
各色フイルタ−４は対向するイメージセンサ２の各有効
絵素部ろに夫々対応付けられている。
に係る光学フィルターの基板であって例えばガラス基板
として形成されろ。このガラス基板の表面にはゼラチン
等から成る色フィルタ一部４が例えばアクリル、ウレタ
ン樹脂等から成る境界層５を挾んで図の様に形成される
。７はクロムなどにより形成される遮光層である。又、
各色フイルタ−４は対向するイメージセンサ２の各有効
絵素部ろに夫々対応付けられている。
更に本実施例ではセンサ２の有効絵素部６を避けた位置
に対応するフィルター基板１上に各色フイルタ−４及び
境界層５の積層構造から成る凸部が形成されている。こ
の凸部はフィルターのセンサ側の面上に複数箇所設けら
れているが、或いはつながって延長した構造となってい
る。
に対応するフィルター基板１上に各色フイルタ−４及び
境界層５の積層構造から成る凸部が形成されている。こ
の凸部はフィルターのセンサ側の面上に複数箇所設けら
れているが、或いはつながって延長した構造となってい
る。
この凸部は例えば６層構造として形成され、センサ２の
受光面との間に略１〜ろｌＬｍの間隔を形成する。従っ
てセンサ２とフィルター１とを密着させた後で、この間
隔に接着剤を注入する等して両者を固着する。尚この凸
部はフィルター製造プロ七スとは別のプロセスにおいて
形成される例えば樹脂の一層構造から成るものであって
も良い。
受光面との間に略１〜ろｌＬｍの間隔を形成する。従っ
てセンサ２とフィルター１とを密着させた後で、この間
隔に接着剤を注入する等して両者を固着する。尚この凸
部はフィルター製造プロ七スとは別のプロセスにおいて
形成される例えば樹脂の一層構造から成るものであって
も良い。
この様に構成する事により硬度的にもフィルター側の凸
部がセンサの受光面を傷付けたり、逆にセンサによりフ
ィルターが傷付けられたりする事がなく、又ノイルター
側に形成するので製造が容易であり、材質的にも自由度
が有るので強度的にも充分である。
部がセンサの受光面を傷付けたり、逆にセンサによりフ
ィルターが傷付けられたりする事がなく、又ノイルター
側に形成するので製造が容易であり、材質的にも自由度
が有るので強度的にも充分である。
又、フィルター側にはＩＣの如き微細加工技術が必要で
はないから凸部を設けた事により他のパターンに影響を
与える事もない。
はないから凸部を設けた事により他のパターンに影響を
与える事もない。
又、センサの歩留りには何ら影響を与えない事も明らか
であって、センサとの間隙も数μｍに抑える事ができ解
像度を損なう事もない。又、フィルター形成のプロセス
に伴って凸部を形成すれば同時にでき、而も凸部の高さ
も一定となり、センサとフィルターどの平行性も保たれ
ろものである。
であって、センサとの間隙も数μｍに抑える事ができ解
像度を損なう事もない。又、フィルター形成のプロセス
に伴って凸部を形成すれば同時にでき、而も凸部の高さ
も一定となり、センサとフィルターどの平行性も保たれ
ろものである。
尚、実施例ではカラーフィルターとイメージセンサの組
み合わせについて述べたが一般の光学フィルターと光電
変換作用を有する受光面との組み合わせに関して、すべ
てに適用可能である事は言うまでも無い。
み合わせについて述べたが一般の光学フィルターと光電
変換作用を有する受光面との組み合わせに関して、すべ
てに適用可能である事は言うまでも無い。
第１図は本発明に係る光学フィルターの一実施例を示す
図である。 １・・・・ガラス基板、４・・・・色フイルタ−，５・
・・・・境界層、６・・・・凸部。 毛続補正書（自発） 昭和５８年６月ｌろ日 １ 事件の表示 昭和５７年 特許願 第 １２８５３９ 号２ 発明
の名称 光学フィルター ３ 補正をする者 ’Ｉｆ！＋との関係 特許出願人件 所
東全部人１１１区下丸子３−３０−２居 所 １〒ｂ ５、補正の対象 明細書 ６、補正の内容 明細書の浄書。 別紙の通りタイプ写書による明細書を提出致しまｆ（内
容に変更なし）。 ７添付書類の目録
図である。 １・・・・ガラス基板、４・・・・色フイルタ−，５・
・・・・境界層、６・・・・凸部。 毛続補正書（自発） 昭和５８年６月ｌろ日 １ 事件の表示 昭和５７年 特許願 第 １２８５３９ 号２ 発明
の名称 光学フィルター ３ 補正をする者 ’Ｉｆ！＋との関係 特許出願人件 所
東全部人１１１区下丸子３−３０−２居 所 １〒ｂ ５、補正の対象 明細書 ６、補正の内容 明細書の浄書。 別紙の通りタイプ写書による明細書を提出致しまｆ（内
容に変更なし）。 ７添付書類の目録
Claims (1)
- 光電変換面に対して配置される光学フィルターにおいて
、該フィルターと前記光電変換面との間隙を規定する為
の凸部を前記光電変換面と対向するフィルター面」二に
設けた事を特徴とする光学フィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57128539A JPS5918910A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 光学フイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57128539A JPS5918910A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 光学フイルタ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5918910A true JPS5918910A (ja) | 1984-01-31 |
Family
ID=14987252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57128539A Pending JPS5918910A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 光学フイルタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5918910A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11505672A (ja) * | 1996-03-12 | 1999-05-21 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 支持体に接着される基板を有する半導体本体 |
-
1982
- 1982-07-23 JP JP57128539A patent/JPS5918910A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11505672A (ja) * | 1996-03-12 | 1999-05-21 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 支持体に接着される基板を有する半導体本体 |
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