JPS59188902A - 電圧非直線抵抗体用半導体磁器の製造方法 - Google Patents

電圧非直線抵抗体用半導体磁器の製造方法

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JPS59188902A
JPS59188902A JP58064353A JP6435383A JPS59188902A JP S59188902 A JPS59188902 A JP S59188902A JP 58064353 A JP58064353 A JP 58064353A JP 6435383 A JP6435383 A JP 6435383A JP S59188902 A JPS59188902 A JP S59188902A
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voltage
nonlinear resistor
nonlinear
voltage nonlinear
mol
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治文 万代
清 岩井
康行 内藤
和敬 中村
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電圧非直線抵抗体用半導体磁気組成物に関する
ものである。
近年、電圧電流特性が非直線的な抵抗体、いわゆるバリ
スタとして、チタン酸ストロンチウム系半導体磁器を素
体とするものが開発されている。
この種の電圧非直線抵抗体としては、(イ)チタン酸ス
トロンチウムを半導体化してなる半導体磁器の表面に、
Mn 、 Zn 、 Goなどの金属酸化物を含有する
ペーストを塗布し、空気中または窒素雰囲気中で120
0〜1300℃の温度て熱処理して前記半導体磁器の結
晶粒界に絶縁層を形成させたものを素体とし、これに電
極を取付けたもの、あるいは(ロ)チタン酸ストロンチ
ウムの主成分に、半導体化促進用金属酸化物、例えば、
Nb2O5、Ta205、La2O3、CeO2、Nd
2O3、Wハなどと、電圧電流非直線特性改善用金属酸
化物であるv203、Cr2O3、CuO1CuO2、
MoO3、MnO2などを含有させたものを素体とし、
これに電極を取り付けたものが知られている。この電圧
非直線抵抗体は、その素体かペロブスカイト結晶構造を
有し、強誘電性を示すため単にバリスタとしての機能の
みてなくコンデンサとしての機能をも有し、従って、そ
れ自体で異常高電圧(サージ)の吸収や電圧の安定化な
どを行なえるという利点を有している。しかしながら、
従来の゛チタン酸ストロンチウム系半導体磁器を用いた
ものでは、例えば、前記(イ)のものでは、結晶粒界を
絶縁化するためにMn、 Zn、 Co などの金属酸
化物を小さな半導体磁器の表面に塗布しなければならず
、さらに酸化物を半導体磁器の結晶粒界に均一に拡散さ
せる熱処理が必要であるなど製造工程が煩雑で、制御が
困難な工程を含む他、製造条件によって特性が左右され
易いことに起因して電圧非直線抵抗体の非直線指数(σ
)やしきい値電圧(V c h )などの特性のバラツ
キが大きいという欠点があった。また、後者の(ロ)の
ものでは、中性または還元性雰囲気中で焼成する際、電
圧電流非直線特性改善用金属酸化物が金属化して蒸発し
、焼成炉の炉材などを損傷したり、所望の組成のものが
得難く、しかも非直線指数(α)やしきい値電圧(Vt
h)などの特性にバラツキを生じるという欠点があった
本発明は、このような欠点に鑑みてなされたもので、製
造条件によって特性や組成が大きく変動するのを防止し
、もってしきい値電圧や非直線ル数など特性のバラツキ
の小さい電圧非直線抵抗体を製造することができる半導
体磁器組成物を得ることを目的とするものである。
本発明の要旨は、式: %式%) (式中、x、y、zは各成分のモル分率、0.03 ’
; X <0.30.0.03< y <o、 30、
x + Y<0.5 o、o<z≦0.20 )で表わ
される主成分99.0〜99.9モル%と、希土類元素
、NJWおよびTaの酸化物からなる群から選ばれた少
なくとも一種の半導体化剤0.1〜10モル%とを含有
してなる電圧非直線抵抗体用半導体磁器組成物にある。
本発明の一実施態様においては、前記組成物に5モル%
以下のS I02および/またはAl2O3を鉱化剤と
して含有させることが行なわれる。
また、他の実施態様においては1モル%以下のMnO2
等を含有させることが行なわれる。
これらの成分の含有量を前記の如く限定したのは前記含
有量を超えると特性に悪影響を与えるからである。
本発明に係る半導体磁器組成物の組成を前記のように限
定したのは次の理由による。すなわち、主成分lこおけ
るCaのモル分率Xが0.03未満ては非直線指数(α
)が小さくなりすきで実用的でなく、また0、30を超
えると、しきい値電圧が高くなるので、Xは前記範囲と
した。また、Baのモル分率)・が0.03未満ては非
直線指数が小さくなり、0.30を超えるとしきい値電
圧が高くなるのてyは前記範囲とした。なお、x+y<
0.5としたのは、X+γが0.5を超えると、しきい
値電圧が高くなりすきで実用的でなるからである。主成
分におけるZr  のモル分率Zを0〜020としたの
は、Zが0.20を頽えると、しきい値電圧が高くなり
すき乞からである。半導体化剤を01〜1,0モル%と
したのは、半導体化剤が0.1モル%未満ではしきい値
電圧が高くなったり、半導体化せず、1.0−)ル%を
超えるとバリスタ特性が得難くなるからである。
前記本発明に係る電圧非直線抵抗体用半導体磁器組成物
は、主成分と半導体化剤とを調合し、ボールミルにて混
合粉砕し、乾燥後、有機バインダを適@1混合して造粒
し、次いで成形し、これを中性または還元性雰囲気中1
350〜1400℃て焼成し、さらに自然雰囲気または
酸化性雰囲気中1000〜1200℃で熱処理すること
により製造することができ、得られた半導体磁器の表面
に′覗極を形成することにより電圧非直線抵抗体とする
ことができる。
以下、本発明の実施例について説明する。
実施例 原料としてS r C03、Ca C03、B a C
03、T i02およびZ r 02を用い、これらを
第1表に示す組成比で調合し、ボールミルにて10時間
湿式混合し、乾燥後、空気中1100〜1250℃で2
時間仮焼して主成分(Sr1−x−γCaxl3ay)
(Ti1−7.Zr7)03を用意し、これを第1表に
示す割合で半導体化剤と混合し、同表に示す組成比率の
ものが得られるように調合した。この調合原料に有機バ
インダを6重量%加え、ボールミルにて充分に湿式混合
し、脱水、乾燥させた後、2000に!i’/cJの圧
力を加えて円板状に成形した。この成形物を自然雰囲気
中1150°Cて1時間予備焼成し、次いて還元性雰囲
気(95%N2千5%■]2)中1350〜1400℃
で2時間焼成し、直径8馴、肉厚1mmの半導体磁器円
板を得た。次に、この円板を自然雰囲気中1000〜1
200℃で熱処理して、その結晶粒界を絶縁層化し、電
圧非直線抵抗体用半導体磁器円板を得た。この円板の相
対する表面に銀ペーストを印刷塗布し、自然雰囲気中8
00℃で焼付けて電極を形成し電圧非直線抵抗体を得た
このようにして得た電圧非直線抵抗体のI、きい値電圧
(VLIN)および非直線指数(α)を求めた。それら
の結果を第1表に合わせて示す。第1表中、汗印を付し
た番号の試料は本発明の範囲外のものを示し、Vthは
電圧非直線抵抗体にlQmA流したときの電圧(■□。
)であり、αは前記V□。と1mA流したときの電圧(
■□)とから次式により求めた値である。α−1/l!
θg(■□o/V1)比較例 5rTi0 99.3モル%、Y2O302モル%Cu
0 0.5モル%を秤量し、その混合物に有機ノくイン
タを6重量%加え、ホールミルにて充分に湿式混合し、
脱水、乾燥させた後、2000に9/clの圧力を加え
て円板状に成形した。次いで、この成形物を自然雰囲気
中1150℃で1時間予備焼成し、還元性雰囲気(95
%N2 + 5%H2)中1380℃で2時間焼成した
後、自然雰囲気中1100℃で熱処理して、結晶粒界を
絶縁層化した直径8mIn、肉厚1順の半導体磁器円板
を得、これに実施例と同様にして電極を形成して電圧非
直線抵抗体を得た。
実施例で得た試料番号3および6の電圧非直線抵抗体と
、比較例で得た電圧非直線抵抗体につし)て、300■
のパルス電圧を印加する前後のしきい値電圧(VLI]
)および非直線指数(α)を求めた。
それらの結果を第2表に示す。なお、第2表には100
個の試料についての平均値(又)と偏差値(σ)を合わ
せて示した。
第   2   表 第1表および第2表の結果から明らかなよう番こ本発明
によれば、しきい値電圧が低し)領域で非直線指数の大
きい電圧非直線抵抗体を製造することができ、しかも比
較例に示す従来のもの番こ比べ、しきい値電圧および非
直線指数の各偏差値が半分以下と、特性のバラツキの少
なし)電圧非直線抵抗体を製造することができる。また
、本発明【こ係る電圧非直線抵抗体は、パルス電圧を印
加してもしきい値電圧および非直線指数がさほど低下せ
ず、かえってバラツキが少なくなってG′Iる。
以上の説明から明らかなように、本発明は、従来のチタ
ン酸ストロンチウム系半導体磁器を素体とする電圧非直
線抵抗体における特性のバラツキが大きいという欠点を
な(し、しきい値電圧が数ボルトの低電圧領域から百ボ
ルト程度の高電圧領域にわたって大きな非直線指数を有
し、しかも特性のバラツキの小さな電圧非直線抵抗体を
製造することを可能にし、かつ、結晶粒界に絶縁層を形
成するために金属酸化物を塗布、熱拡散させる工程が不
要であり、しかも半導体化するため還元処理する際、成
分が金属化して蒸発することがほとんどなく、従って、
製造が容易で歩留まりもよく、焼成炉を損傷したりする
ことがないなど優れた効果を特する

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)式: (S r 1 x y Ca x Ba 
    y) (T lt 、Z r z )03(式中、x、
    y、zは各成分のモル分率、0.03≦X≦0.30.
    0.03≦y≦0.30、x十y(0,50,0≦l≦
    O,’20)で表わされる主成分99.0〜99.9モ
    ル%と、希土類元素、ITh、 Wおよび−の酸化物か
    らなる群から選ばれた少なくとも一種の半導体化剤0.
    1〜1.0モル%とを含有してなる電圧非直線抵抗体用
    半導体磁器組成物。
JP58064353A 1983-04-11 1983-04-11 電圧非直線抵抗体用半導体磁器の製造方法 Granted JPS59188902A (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6252927A (ja) * 1985-08-30 1987-03-07 Sharp Corp 薄膜半導体装置の電極形成方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS6252927A (ja) * 1985-08-30 1987-03-07 Sharp Corp 薄膜半導体装置の電極形成方法

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