JPS5918678Y2 - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
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- JPS5918678Y2 JPS5918678Y2 JP1980185554U JP18555480U JPS5918678Y2 JP S5918678 Y2 JPS5918678 Y2 JP S5918678Y2 JP 1980185554 U JP1980185554 U JP 1980185554U JP 18555480 U JP18555480 U JP 18555480U JP S5918678 Y2 JPS5918678 Y2 JP S5918678Y2
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- lever
- cam
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- electromagnet
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
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- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はキャピラリの初期位置の調節を容易にしたワイ
ヤポンチ゛イング装置に関する。
ヤポンチ゛イング装置に関する。
半導体装置の製造においてペレットにワイヤを圧着する
ワイヤボンディング工程がある。
ワイヤボンディング工程がある。
この工程においては密接した多数の電極にリード線を圧
着するので、時間がかかり、生産性向上の障害になって
いる。
着するので、時間がかかり、生産性向上の障害になって
いる。
このためワイヤポンチ゛イング装置のキャピラリ駆動機
構は非常に高速な作動が要求されている。
構は非常に高速な作動が要求されている。
この機構は一般にカムによりキャピラリの運動を制御し
ていて、ポンチ゛イングカムにまり回動駆動されるカム
レバーと、回動自在に支持されて、一端部にキャピラリ
を取付けた軽量のキャピラリレバーとを設けて、このキ
ャピラリレバーの他端部をカムレバーの一端にばねによ
り押圧して当接させ、カムレバーの動きに追従させると
ともに、このばねにより濤切なボンディング圧を与えて
いた。
ていて、ポンチ゛イングカムにまり回動駆動されるカム
レバーと、回動自在に支持されて、一端部にキャピラリ
を取付けた軽量のキャピラリレバーとを設けて、このキ
ャピラリレバーの他端部をカムレバーの一端にばねによ
り押圧して当接させ、カムレバーの動きに追従させると
ともに、このばねにより濤切なボンディング圧を与えて
いた。
一方ボンデイング圧は適切に保たねばならないので、ば
ねを強くするには限度があり、高連化に伴ってキャピラ
リレバーがカムレバーに追従しなくなり、チャタリング
を起す不都合があった。
ねを強くするには限度があり、高連化に伴ってキャピラ
リレバーがカムレバーに追従しなくなり、チャタリング
を起す不都合があった。
この不都合を解決するため、キャピラリにボンディング
圧を与える押圧ばねをカムレバーとキャピラリレバーと
の間に設けるとともに、両レバーを電磁石装置により釈
放自在に固定して、キャピラリがボンディング位置近傍
に至るまでは電磁石を付勢して両レバーを一体的にチャ
タリングの恐れなく駆動し、近傍において消勢して押圧
ばねのみでキャピラリレバーを押してボンディングを行
なうキャピラリ駆動機構が考えられている。
圧を与える押圧ばねをカムレバーとキャピラリレバーと
の間に設けるとともに、両レバーを電磁石装置により釈
放自在に固定して、キャピラリがボンディング位置近傍
に至るまでは電磁石を付勢して両レバーを一体的にチャ
タリングの恐れなく駆動し、近傍において消勢して押圧
ばねのみでキャピラリレバーを押してボンディングを行
なうキャピラリ駆動機構が考えられている。
この機構は上述の不都合を解決するものであるが、キャ
ピラリの初期位置すなわち、これのボンディング位置に
対する位置関係（高さ）は電磁石の吸着面とキャピラリ
レバーが吸着される位置との相対位置により決ってしま
うので、上記の位置関係の調節は吸着面の精密移動によ
り行なわねばならない。
ピラリの初期位置すなわち、これのボンディング位置に
対する位置関係（高さ）は電磁石の吸着面とキャピラリ
レバーが吸着される位置との相対位置により決ってしま
うので、上記の位置関係の調節は吸着面の精密移動によ
り行なわねばならない。
このため例えばマイクロメータヘッドのようなものをカ
ムレバーに取付けることも考えられている。
ムレバーに取付けることも考えられている。
しかしこれは重量が増すため、より高速な性能を得るた
めにはこれが著しい障害となっていて、軽量でかつ精密
に初期位置の調節ができるキャピラリの駆動機構をそな
えたワイヤボンディング装置が要望されている。
めにはこれが著しい障害となっていて、軽量でかつ精密
に初期位置の調節ができるキャピラリの駆動機構をそな
えたワイヤボンディング装置が要望されている。
本考案は上述の事情にかんがみてなされたもので、カム
レバーに固定した取付は体に電磁石をもった基体を回動
自在に取付け、これを微回動させることにより、精密に
キャピラリの初期位置を調節できるようにしたもので、
軽量に構成して高速性能を向上したワイヤボンディング
装置である。
レバーに固定した取付は体に電磁石をもった基体を回動
自在に取付け、これを微回動させることにより、精密に
キャピラリの初期位置を調節できるようにしたもので、
軽量に構成して高速性能を向上したワイヤボンディング
装置である。
以下本考案の詳細を図示の一実施例により説明する。
第１図は本実施例の全体構成を示す図で、支持体として
のブラケット１にカムレバー２が回動自在に支持されて
いて、カム軸３に取付けられたポンチ゛イングカム４（
略図的に示す）により駆動され、ばね５によりカムロー
ラ６が常にポンチ゛インク゛勿ム４に追従する。
のブラケット１にカムレバー２が回動自在に支持されて
いて、カム軸３に取付けられたポンチ゛イングカム４（
略図的に示す）により駆動され、ばね５によりカムロー
ラ６が常にポンチ゛インク゛勿ム４に追従する。
カムレバー２はほぼＪの字状に形成されていて、本図右
端の方に上記カムローラ６が回動自在に取付けられてお
り、中央部には電磁石装置１０が固定されていて、本図
左端部には押圧ばね１１が下面側に取付けられている。
端の方に上記カムローラ６が回動自在に取付けられてお
り、中央部には電磁石装置１０が固定されていて、本図
左端部には押圧ばね１１が下面側に取付けられている。
またカムレバー２のブラケット１近傍にばね体としての
板ばね１２が取付けられていて、これの弾性によりアー
ムホールドレバー１３が回動可能に取付けられている。
板ばね１２が取付けられていて、これの弾性によりアー
ムホールドレバー１３が回動可能に取付けられている。
このアームホールドレバー１３は、水平方向に延在する
水平部材１４と、上下方向に延在する直立部材１５とで
Ｌ字状に形成されていて、水平部材１４は押圧ばねの一
端に係合しており、直立部材１５は電磁石装置１０に対
向していて、吸着されることによりカムレバー２に固定
される。
水平部材１４と、上下方向に延在する直立部材１５とで
Ｌ字状に形成されていて、水平部材１４は押圧ばねの一
端に係合しており、直立部材１５は電磁石装置１０に対
向していて、吸着されることによりカムレバー２に固定
される。
そして水平部材１４と平行にキャピラリアーム１７が保
持されていて、これの先端にキャピラリ１８が取付けら
れており、これはポンチ゛イング部位であるペレット１
９に対向している。
持されていて、これの先端にキャピラリ１８が取付けら
れており、これはポンチ゛イング部位であるペレット１
９に対向している。
このアームホールドレバー１３は、水平、直立両部材１
４．１５が一体となった角部で板ばね１２に支持されて
いる。
４．１５が一体となった角部で板ばね１２に支持されて
いる。
次に第２図ないし第５図により電磁石装置１０につき説
明する。
明する。
この装置１０は、電磁石ヘッド２１と制御回路２２とか
らなっている。
らなっている。
電磁石ヘッド２１は、以下に述べる部分から構成されて
いる。
いる。
すなわち断面り字状をなして、その一辺をカムレバー２
の上面に取付けられる固定部２３とし、他辺を直立して
延びる取付は壁部２４′とした一対のＬ形部材２５．２
５を、取付壁部２４．２４が対向するように組立てて形
成した取付は体２６と、中間部に偏心部２８を形成した
偏心ピン２９の一端にハンドル３０を取付けて形成し、
かつ上記取付は壁部２４，２４を貫通して回動自在に設
けられた位置調節体３１と、角ブロック状に形成されて
上部に上記偏心部２８に係合する係合溝３３をもち上記
取付は壁部２４．２４の間に挿入されて、これらを貫通
した支持ピン３４により回動自在に支持された基体３５
と、Ｌ形部材からなり、上部にねし孔３８およびこのね
じ孔３８に達する割り溝３９およびこれを締め付ける挿
通孔４０およびこれに対応したねじ孔４１が設けられて
いて、基体３５を貫通した取付けねじ４２゜４２により
基体３５に固定されている中間体４３と、吸着面４５を
もち中間体４３に皿ねし４６．４６により固定された電
磁石４７と、上記ねじ孔３８にねじ込まれた調節ねじ５
０およびアームホールドレバー１３に当接する当接ねじ
５１および両者を連結するターンバックル５２からなり
、吸着面４５とアームホールドレバー１３との間隙を微
調節する間隙調節体５３と、からなっている。
の上面に取付けられる固定部２３とし、他辺を直立して
延びる取付は壁部２４′とした一対のＬ形部材２５．２
５を、取付壁部２４．２４が対向するように組立てて形
成した取付は体２６と、中間部に偏心部２８を形成した
偏心ピン２９の一端にハンドル３０を取付けて形成し、
かつ上記取付は壁部２４，２４を貫通して回動自在に設
けられた位置調節体３１と、角ブロック状に形成されて
上部に上記偏心部２８に係合する係合溝３３をもち上記
取付は壁部２４．２４の間に挿入されて、これらを貫通
した支持ピン３４により回動自在に支持された基体３５
と、Ｌ形部材からなり、上部にねし孔３８およびこのね
じ孔３８に達する割り溝３９およびこれを締め付ける挿
通孔４０およびこれに対応したねじ孔４１が設けられて
いて、基体３５を貫通した取付けねじ４２゜４２により
基体３５に固定されている中間体４３と、吸着面４５を
もち中間体４３に皿ねし４６．４６により固定された電
磁石４７と、上記ねじ孔３８にねじ込まれた調節ねじ５
０およびアームホールドレバー１３に当接する当接ねじ
５１および両者を連結するターンバックル５２からなり
、吸着面４５とアームホールドレバー１３との間隙を微
調節する間隙調節体５３と、からなっている。
そして上述したように、間隙調節体５３の調節ねじ５０
を回転して、当接ねじ５１をアームホールドレバー１３
に当接させて挿通孔４０に小ねじを挿入してねし孔４１
にねじ込み、割溝３９を締めて調節ねじ５０を固定し、
その後ターンバックル５２を回して吸着面４５とアーム
ホールドレバー１３との間隙を調節する。
を回転して、当接ねじ５１をアームホールドレバー１３
に当接させて挿通孔４０に小ねじを挿入してねし孔４１
にねじ込み、割溝３９を締めて調節ねじ５０を固定し、
その後ターンバックル５２を回して吸着面４５とアーム
ホールドレバー１３との間隙を調節する。
所定の間隙が設定されたら次にキャピラリ１８の初期位
置調節につき述べる。
置調節につき述べる。
位置調節体３１のハンドル３０を回して、偏心ピン２９
を回し、偏心部２８により基体３５を支持ピン３４の回
りに回動させる。
を回し、偏心部２８により基体３５を支持ピン３４の回
りに回動させる。
これにより間隙調節体５３を介してアームホールドレバ
ー１３が回動して、キャピラリ１８がペレット１９に対
して所定の初期位置に調節される。
ー１３が回動して、キャピラリ１８がペレット１９に対
して所定の初期位置に調節される。
調節が完了したら、取付は壁部２４ 、２４を貫通した
固定ねじ５５により基体３５は取付は壁部２４，２４に
固定される。
固定ねじ５５により基体３５は取付は壁部２４，２４に
固定される。
次に作動とともに制御回路２２の説明をする。
まずポンチ゛イングカム４のカム線図を第５図により略
説する。
説する。
本図は縦軸にカム軸３の中心からローラ６の中心までの
距離Ｓを表わし、横軸にカム４の基準位置からの回転角
度θを表わす。
距離Ｓを表わし、横軸にカム４の基準位置からの回転角
度θを表わす。
なおりム４は１回転につき同じ動作を２回繰り返すよう
になっていて、またキャピラリ１８の先端は、はぼこれ
に対応した動きをする。
になっていて、またキャピラリ１８の先端は、はぼこれ
に対応した動きをする。
今カムローラ６は基準のθ＝０の位置においてカム軸３
の中心３ａから最も離れたＳ。
の中心３ａから最も離れたＳ。
にあるとする。この位置においてキャピラリ１８の初期
位置調節が完了すると、カム軸３は始動する。
位置調節が完了すると、カム軸３は始動する。
カム４が回転を始めると、その回転角度θは、カム軸３
に同期して回転するパルスジェネレータ６１が発するパ
ルス数をカウンタ６２で集計して計られる。
に同期して回転するパルスジェネレータ６１が発するパ
ルス数をカウンタ６２で集計して計られる。
回転角度θ１まではカムローラ６は静止していて、電磁
石４７は付勢されている。
石４７は付勢されている。
回転角度θ１から０２の間で急速に中心３ａに近づき（
この間キャピラリ１８もペレット１９に近づく）次の回
転角θ２から０３の間において等速度でＳ２の位置まで
接近する。
この間キャピラリ１８もペレット１９に近づく）次の回
転角θ２から０３の間において等速度でＳ２の位置まで
接近する。
この間カウンタ６２は連続的に集計値を作動回路６３に
送出しており、集計値はカム４が回転計０３に達するわ
ずか前において予め設定した値より大となり、作動回路
６３は出力して電磁石４７を消勢する。
送出しており、集計値はカム４が回転計０３に達するわ
ずか前において予め設定した値より大となり、作動回路
６３は出力して電磁石４７を消勢する。
すなわちカムローラ６がＳ２に達するわずか前にアーム
ホールドレバー１３は吸着を解かれて、押圧ばね１１に
押されてペレット１９にキャピラリ１８が当接する。
ホールドレバー１３は吸着を解かれて、押圧ばね１１に
押されてペレット１９にキャピラリ１８が当接する。
次にカム４が回転角θ３からθ４の間はカムローラ６は
静止していて、この間に所定のボンディング圧でポンチ
゛イングが完了する。
静止していて、この間に所定のボンディング圧でポンチ
゛イングが完了する。
次に回転角θ４から０５の間で゛、カムローラ６は最初
のＳ。
のＳ。
の位置にもどり、また電磁石装置１０も最初の付勢状態
にリセットされ、キャピラリ１８も初期位置に戻る。
にリセットされ、キャピラリ１８も初期位置に戻る。
以上詳述したように、本考案のワイヤボンディング装置
は、そのキャピラリ駆動機構を電磁石装置によりキャピ
ラリがペレット近傍に達するまでカムレバーとアームホ
ールドレバーとヲ一体にし、ペレット近傍において両レ
バーを釈放するように構成したので、高速度でカム駆動
してもチャタリングを起すようなことなく確実に作動し
、ボンディング圧が押圧ばねにより適正に保たれるので
、良好なポンチ゛イングを達成できる。
は、そのキャピラリ駆動機構を電磁石装置によりキャピ
ラリがペレット近傍に達するまでカムレバーとアームホ
ールドレバーとヲ一体にし、ペレット近傍において両レ
バーを釈放するように構成したので、高速度でカム駆動
してもチャタリングを起すようなことなく確実に作動し
、ボンディング圧が押圧ばねにより適正に保たれるので
、良好なポンチ゛イングを達成できる。
また、電磁石を回動自在に取付けてキャピラリの位置調
節をするように構成したので、電磁石装置が簡単かつ軽
量となり高速性および精度向上に益するところ極めて大
である。
節をするように構成したので、電磁石装置が簡単かつ軽
量となり高速性および精度向上に益するところ極めて大
である。
なお本実施例においては、位置調節体を偏心機構により
構成したが、例えば取付は体に調節ねじを回転自在に取
付け、この調節ねじを基体に設けためねじにはめ込み、
調節ねじの回転により基体を回動させるねし機構で構成
してもよい。
構成したが、例えば取付は体に調節ねじを回転自在に取
付け、この調節ねじを基体に設けためねじにはめ込み、
調節ねじの回転により基体を回動させるねし機構で構成
してもよい。
第１図は本考案の一実施例の正面図、第２図は同じく電
磁石ヘッドの平面図、第３図は同じく電磁石ヘッドの断
面正面図、第４図は同じく電磁石ヘッドの側面図、第５
図は同じく作動を説明するカム線図、第６図は同じく制
御回路のブロック図である。
磁石ヘッドの平面図、第３図は同じく電磁石ヘッドの断
面正面図、第４図は同じく電磁石ヘッドの側面図、第５
図は同じく作動を説明するカム線図、第６図は同じく制
御回路のブロック図である。
Claims (3)
- （１）カムレバーと、上記カムレバーを回動自在に支持
する支持体と、キャピラリを取付けたキャピラリアーム
を保持しばね体を介して上記力ムレピーに回動可能に取
付けられたアームホールドレバーと、上記カムレバーを
回動させ上記キャピラリをワイヤポンチ゛イング部位に
対し近接離間させるポンチ゛イングカムと、上記カムレ
バーおよび上記アームホールドレバーの間に設けられて
上記キャピラリに所定のポンチ゛イングに圧を与える押
圧体と、上記カムレバーに固定された取付は体および上
記取付は体に回動自在に支持され所定の位置に釈放自在
に固定された基体および上記取付体に取付けられて上記
基体に係合し上記基体の位置調節をする位置調節体およ
び上記基体に固定され付勢により上記アームホールドレ
バーを吸着する電磁石および上記ボンディングカムに連
動して上記電磁石の付勢消勢をする制御回路をもち上記
付勢により上記カムレバーと上記アームホールドレバー
とを一体回転させ上記キャピラリを上記ワイヤボンディ
ング部位近傍に到達させて上記電磁石を消勢し上記押圧
体によりキャピラリに上記所定の押圧力を与えるととも
に上記基体の位置調節により上記キャピラリの初期位置
を調節する”電磁石装置とを具備したことを特徴とする
ワイヤボンディング装置。 - （２）位置調節体は偏心部をもった偏心ピンと基体に設
けられた上記偏心部に係合した保合溝とをもった偏心機
構であることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載のワイヤボンディング装置。 - （３）位置調節機構はねし機構により構成されているこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のワ
イヤボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980185554U JPS5918678Y2 (ja) | 1980-12-25 | 1980-12-25 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980185554U JPS5918678Y2 (ja) | 1980-12-25 | 1980-12-25 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57108335U JPS57108335U (ja) | 1982-07-03 |
| JPS5918678Y2 true JPS5918678Y2 (ja) | 1984-05-30 |
Family
ID=29986710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1980185554U Expired JPS5918678Y2 (ja) | 1980-12-25 | 1980-12-25 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5918678Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2618279B2 (ja) * | 1990-03-19 | 1997-06-11 | 株式会社カイジョー | ワイヤボンディング装置 |
-
1980
- 1980-12-25 JP JP1980185554U patent/JPS5918678Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57108335U (ja) | 1982-07-03 |
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