JPS6348123Y2 - - Google Patents
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- JPS6348123Y2 JPS6348123Y2 JP1982104335U JP10433582U JPS6348123Y2 JP S6348123 Y2 JPS6348123 Y2 JP S6348123Y2 JP 1982104335 U JP1982104335 U JP 1982104335U JP 10433582 U JP10433582 U JP 10433582U JP S6348123 Y2 JPS6348123 Y2 JP S6348123Y2
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- H01L2224/85181—Translational movements connecting first on the semiconductor or solid-state body, i.e. on-chip, regular stitch
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Wire Bonding (AREA)
- Control Of Stepping Motors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、ICペレツトとリードの間などにワ
イヤを懸け渡すボンデイング装置の昇降機構に関
するものである。
イヤを懸け渡すボンデイング装置の昇降機構に関
するものである。
ICチツプのパツドとリードとの間のボンデイ
ングを行なうには、ボンデイング装置のボンデイ
ングアームの先端に設けられたボンデイングツー
ル（例えば金線用のボールボンデイング用のキヤ
ピラリー、或いはアルミニウム線用のステツチボ
ンデイング用のウエツジ）にてワイヤを保持して
対象物であるパツド又はリードの表面に接触せし
めかつボンデイングツールにてワイヤの一部を押
しつぶして、熱圧縮により圧着するか超音波の作
用で溶着せしめる。
ングを行なうには、ボンデイング装置のボンデイ
ングアームの先端に設けられたボンデイングツー
ル（例えば金線用のボールボンデイング用のキヤ
ピラリー、或いはアルミニウム線用のステツチボ
ンデイング用のウエツジ）にてワイヤを保持して
対象物であるパツド又はリードの表面に接触せし
めかつボンデイングツールにてワイヤの一部を押
しつぶして、熱圧縮により圧着するか超音波の作
用で溶着せしめる。
この種のボンデイング装置の従来の例を第１図
に示す。１０は超音波の振動子であり、フレーム
１１上にピン１２により揺動可能に支えられてい
る。１３はホーンであり、先端にキヤピラリー１
が設けられボンデイングアームの作用も有してい
る。振動子１０の他端にはレバー１４が設けら
れ、その端部に設けられたローラ１５がカム１６
と接触するようにバネ１７により反時計方向のモ
ーメントを受けている。１８はワイヤ２のリール
であり、１９はワイヤ２を握持してカツトするた
めのクランプ、２０はボールを引き上げてキヤピ
ラリー１の下端７に接触せしめるためのハーフク
ランプ、２１はボール３（第２図）を作るための
トーチであり、垂直軸２２のまわりに回動し得る
ようになつている。２３は位置検出装置であり、
ペレツト４及び各パツド５（第２図）の標準位置
からのズレを検出する。このズレの検出値に応じ
てフレーム１１又はペレツト４を水平面にＸ又は
Ｙ方向に移動せしめてキヤピラリー１とペレツト
４のパツド５との間の相対位置を調整し整合を行
なう。
に示す。１０は超音波の振動子であり、フレーム
１１上にピン１２により揺動可能に支えられてい
る。１３はホーンであり、先端にキヤピラリー１
が設けられボンデイングアームの作用も有してい
る。振動子１０の他端にはレバー１４が設けら
れ、その端部に設けられたローラ１５がカム１６
と接触するようにバネ１７により反時計方向のモ
ーメントを受けている。１８はワイヤ２のリール
であり、１９はワイヤ２を握持してカツトするた
めのクランプ、２０はボールを引き上げてキヤピ
ラリー１の下端７に接触せしめるためのハーフク
ランプ、２１はボール３（第２図）を作るための
トーチであり、垂直軸２２のまわりに回動し得る
ようになつている。２３は位置検出装置であり、
ペレツト４及び各パツド５（第２図）の標準位置
からのズレを検出する。このズレの検出値に応じ
てフレーム１１又はペレツト４を水平面にＸ又は
Ｙ方向に移動せしめてキヤピラリー１とペレツト
４のパツド５との間の相対位置を調整し整合を行
なう。
ボンデイングに当たつては、パルスモータなど
によりカム１６を回転せしめることにより、カム
１６の形状に応じてキヤピラリー１が昇降し、同
時に、フレーム１１を水平面内に所定の方向に所
定の距離を移動せしめながら、次の如くボンデイ
ング作業を行なう。
によりカム１６を回転せしめることにより、カム
１６の形状に応じてキヤピラリー１が昇降し、同
時に、フレーム１１を水平面内に所定の方向に所
定の距離を移動せしめながら、次の如くボンデイ
ング作業を行なう。
第２図に示す如くキヤピラリー１を用い、ワイ
ヤ２の先端に形成したボール３をICペレツト４
のパツド５にボンデイングする場合につき説明す
る。６はパツド５と接続すべきリードである。
ヤ２の先端に形成したボール３をICペレツト４
のパツド５にボンデイングする場合につき説明す
る。６はパツド５と接続すべきリードである。
先ず、フレーム１１をＸ，Ｙ方向に移動せし
め、同図ａの如くパツド５の直上の或る高さにキ
ヤピラリー１を位置せしめる。このときワイヤ２
の先端にはボール３が形成されている。t0はキヤ
ピラリー１の下端７から突出した部分のボール３
の高さである。次にキヤピラリー１を下降せしめ
て同図ｂの如くボール３をパツド５に接触せしめ
る。その後ローラ１５はカム１６から離れるが、
バネ１７の力により、さらにキヤピラリー１を押
し下げてボール３をつぶし、同図ｃの如く扁平部
８を形成する。この押しつぶしと同時に超音波振
動又は加熱を与える。t1は押しつぶし量、t2は扁
平部８の厚さである。この押しつぶし動作により
ワイヤ２をパツド５に固着せしめるに必要な押付
力を与え、また、扁平部８が形成されて電気的接
触に十分な接触面積が確保される。その後キヤピ
ラリー１を上昇及び水平方向にも移動せしめ、同
図ｄの如く、ポンドすべきリード６の上方に位置
せしめ、二点鎖線の如くキヤピラリー１を下降せ
しめて下端７によりワイヤ２の一部を押しつぶ
し、扁平部９を形成して超音波或いは加熱を併用
してリード６に固定せしめ、ワイヤ２を引いて扁
平部９の端から切断し、その後キヤピラリー１を
上昇せしめて一回のボンデイングを終了する。そ
の後ワイヤ２の先端にトーチによりボール３を形
成し、第２図ａの状態に戻り、次のボンデイング
を行なう。t′0はワイヤ２の直径、t′1は押しつぶ
し量、t′2は扁平部９の厚さである。
め、同図ａの如くパツド５の直上の或る高さにキ
ヤピラリー１を位置せしめる。このときワイヤ２
の先端にはボール３が形成されている。t0はキヤ
ピラリー１の下端７から突出した部分のボール３
の高さである。次にキヤピラリー１を下降せしめ
て同図ｂの如くボール３をパツド５に接触せしめ
る。その後ローラ１５はカム１６から離れるが、
バネ１７の力により、さらにキヤピラリー１を押
し下げてボール３をつぶし、同図ｃの如く扁平部
８を形成する。この押しつぶしと同時に超音波振
動又は加熱を与える。t1は押しつぶし量、t2は扁
平部８の厚さである。この押しつぶし動作により
ワイヤ２をパツド５に固着せしめるに必要な押付
力を与え、また、扁平部８が形成されて電気的接
触に十分な接触面積が確保される。その後キヤピ
ラリー１を上昇及び水平方向にも移動せしめ、同
図ｄの如く、ポンドすべきリード６の上方に位置
せしめ、二点鎖線の如くキヤピラリー１を下降せ
しめて下端７によりワイヤ２の一部を押しつぶ
し、扁平部９を形成して超音波或いは加熱を併用
してリード６に固定せしめ、ワイヤ２を引いて扁
平部９の端から切断し、その後キヤピラリー１を
上昇せしめて一回のボンデイングを終了する。そ
の後ワイヤ２の先端にトーチによりボール３を形
成し、第２図ａの状態に戻り、次のボンデイング
を行なう。t′0はワイヤ２の直径、t′1は押しつぶ
し量、t′2は扁平部９の厚さである。
以上の如きキヤピラリーボンデイングの他の、
例えばウエツジボンデイング（Al線に用いられ
る）の場合でも、押付力及び接触面積を得るため
にワイヤ２の一部の押しつぶしを行なう。
例えばウエツジボンデイング（Al線に用いられ
る）の場合でも、押付力及び接触面積を得るため
にワイヤ２の一部の押しつぶしを行なう。
しかして、カム１６によるキヤピラリー１の昇
降運動のうち、例えば第２図ａの如く、ボール３
が下降してパツド５に近付いて来る場合、或る高
さまでは高速下降を行ない、所定の高さになり、
パツド５に近接すると低速下降としてボール３が
パツド５に接触するときの衝撃を防ぐようにす
る。また、同図ｃからｄの状態に移る場合には高
速上昇を行なう。このように高速下降又は高速上
昇を行なう場合ボンデイングアームを構成するホ
ーン１３やレバー１４などの部分の質量、慣性モ
ーメントによりカム１６とローラ１５との接触が
確保できず、追従の遅れ、オーバーラン、チヤタ
リング、振動等を生じ、正確な精度の高いつぶし
工程を遂行するボンデイングを行なうことが困難
であつた。またチヤタリングなどを防止するため
にバネ１７を強くすると、バネ１７によるボール
の押しつぶしの際の押付力が大き過ぎて適正な押
付力が得られない、などの支障を招いた。
降運動のうち、例えば第２図ａの如く、ボール３
が下降してパツド５に近付いて来る場合、或る高
さまでは高速下降を行ない、所定の高さになり、
パツド５に近接すると低速下降としてボール３が
パツド５に接触するときの衝撃を防ぐようにす
る。また、同図ｃからｄの状態に移る場合には高
速上昇を行なう。このように高速下降又は高速上
昇を行なう場合ボンデイングアームを構成するホ
ーン１３やレバー１４などの部分の質量、慣性モ
ーメントによりカム１６とローラ１５との接触が
確保できず、追従の遅れ、オーバーラン、チヤタ
リング、振動等を生じ、正確な精度の高いつぶし
工程を遂行するボンデイングを行なうことが困難
であつた。またチヤタリングなどを防止するため
にバネ１７を強くすると、バネ１７によるボール
の押しつぶしの際の押付力が大き過ぎて適正な押
付力が得られない、などの支障を招いた。
本考案は、従来のものの上記の欠点を除き、チ
ヤタリングなどの不安定な作動を抑制し、精度の
高い安定した信頼性の高いボンデイング作業を可
能とするボンデイング装置を提供することを目的
とするものである。
ヤタリングなどの不安定な作動を抑制し、精度の
高い安定した信頼性の高いボンデイング作業を可
能とするボンデイング装置を提供することを目的
とするものである。
本考案は昇降ガイドに昇降フレームを昇降可能
に保持し、該昇降フレームに、上下に所定の間隔
を隔てて２個のカムローラを設け、該２個のカム
ローラの間に、回転中心が偏心した一定直径カム
を配備し、該一定直径カムにより前記昇降フレー
ムを駆動するよう構成し、該昇降フレームに、先
端にボンデイングツールを備えたボンデイングア
ームを回動可動に設けたことを特徴とするボンデ
イング装置の昇降機構である。
に保持し、該昇降フレームに、上下に所定の間隔
を隔てて２個のカムローラを設け、該２個のカム
ローラの間に、回転中心が偏心した一定直径カム
を配備し、該一定直径カムにより前記昇降フレー
ムを駆動するよう構成し、該昇降フレームに、先
端にボンデイングツールを備えたボンデイングア
ームを回動可動に設けたことを特徴とするボンデ
イング装置の昇降機構である。
本考案を実施例につき図面を用いて説明する。
第３，４，５図において、水平面内にＸ方向又
はＹ方向に移動可能に支えられているフレーム１
１には、支承フレームとしての昇降フレーム３７
が、昇降ガイド３８に沿つて昇降可能に保持され
ている。昇降フレーム３７にはブラケツト３９が
取付けられ、昇降フレーム３７との間に渡したピ
ン１２により保持具４０を介して、ボンデイング
アームを形成する振動子１０、ホーン１３が回動
可能に支えられている。ホーン１３の先端にはボ
ンデイングツールとしてウエツジ４１が設けられ
ている。
はＹ方向に移動可能に支えられているフレーム１
１には、支承フレームとしての昇降フレーム３７
が、昇降ガイド３８に沿つて昇降可能に保持され
ている。昇降フレーム３７にはブラケツト３９が
取付けられ、昇降フレーム３７との間に渡したピ
ン１２により保持具４０を介して、ボンデイング
アームを形成する振動子１０、ホーン１３が回動
可能に支えられている。ホーン１３の先端にはボ
ンデイングツールとしてウエツジ４１が設けられ
ている。
昇降ガイド３８の裏側には昇降用のパルスモー
タ４２が備えられている。パルスモータ４２の軸
端には確動カムとして一定直径カム４３が備えら
れている。一定直径カム４３は、中心４４は輪か
くに対して偏心しているが、中心４４を通る直径
はD1＝D2と、どこでも等しくなつているカムで
ある。昇降フレーム３７にはカムローラ４５，４
６が、一定直径カム４３を僅かな予圧により挾む
ように設けられている。従つて一定直径カム４３
が一回転すると昇降フレーム３７は、一定直径カ
ムの最大半径Rmaxと最小半径Rminとの差 ΔR＝Rmax−Rmin だけ昇降する。
タ４２が備えられている。パルスモータ４２の軸
端には確動カムとして一定直径カム４３が備えら
れている。一定直径カム４３は、中心４４は輪か
くに対して偏心しているが、中心４４を通る直径
はD1＝D2と、どこでも等しくなつているカムで
ある。昇降フレーム３７にはカムローラ４５，４
６が、一定直径カム４３を僅かな予圧により挾む
ように設けられている。従つて一定直径カム４３
が一回転すると昇降フレーム３７は、一定直径カ
ムの最大半径Rmaxと最小半径Rminとの差 ΔR＝Rmax−Rmin だけ昇降する。
パルスモータ４２の代りにエンコーダ付きの
DCモータを用いてもよい。
DCモータを用いてもよい。
以上の如く、一定直径カム４３を、僅かの予圧
を与えて二個のカムローラ４５，４６にて挾むよ
うに組み合わせたことにより、バツクラツシユは
なく、極めて高い精度でボンデイングツールを昇
降せしめることができる。
を与えて二個のカムローラ４５，４６にて挾むよ
うに組み合わせたことにより、バツクラツシユは
なく、極めて高い精度でボンデイングツールを昇
降せしめることができる。
昇降フレーム３７にはブラケツト２５が固定さ
れ、調節ネジ２６、ムービングコイル２７、タツ
チセンサ４７が取付けられている。調節ネジ２６
は、昇降フレーム３７に対するウエツジ４１の最
低位置を調節し設定するストツパーであり、タツ
チセンサ４７の最小隙間を確保する作用も有す
る。ムービングコイル２７に対応して保持具４０
と一体のレバー４８には鋼などの強磁性体で作ら
れた挿入体２８が設けられ、ムービングコイル２
７の中に一部挿入された形で組み合わされてい
る。ムービングコイル２７は電圧が印加されると
挿入体２８を介して保持具４０を反時計方向に回
転せしめようとするモーメントを与え、ウエツジ
４１に常に下に向けて押付ける向きの力を与えて
いる。タツチセンサ４７は相手の対向片４９との
間隔が所定の値を越えると信号を発するようにな
つている。
れ、調節ネジ２６、ムービングコイル２７、タツ
チセンサ４７が取付けられている。調節ネジ２６
は、昇降フレーム３７に対するウエツジ４１の最
低位置を調節し設定するストツパーであり、タツ
チセンサ４７の最小隙間を確保する作用も有す
る。ムービングコイル２７に対応して保持具４０
と一体のレバー４８には鋼などの強磁性体で作ら
れた挿入体２８が設けられ、ムービングコイル２
７の中に一部挿入された形で組み合わされてい
る。ムービングコイル２７は電圧が印加されると
挿入体２８を介して保持具４０を反時計方向に回
転せしめようとするモーメントを与え、ウエツジ
４１に常に下に向けて押付ける向きの力を与えて
いる。タツチセンサ４７は相手の対向片４９との
間隔が所定の値を越えると信号を発するようにな
つている。
ムービングコイル２７が挿入体２８を引付ける
拘束力は、印加する電圧によつて調節することが
できる。
拘束力は、印加する電圧によつて調節することが
できる。
作動に当たつて、ウエツジ４１がペレツト４の
パツド５に近付くまでは昇降フレーム３７は急速
下降を行なう。このとき、ボンデイングアームが
各部の質量、慣性モーメントなどにより動揺しな
いよう、ムービングコイル２７の拘束力を強力と
なし、動揺を防ぐ。ウエツジ４１がパツド５に近
接し、ウエツジ４１の下側に保持されているワイ
ヤ２がパツド５に接触する直前に速度を切換えて
低速降下となす。
パツド５に近付くまでは昇降フレーム３７は急速
下降を行なう。このとき、ボンデイングアームが
各部の質量、慣性モーメントなどにより動揺しな
いよう、ムービングコイル２７の拘束力を強力と
なし、動揺を防ぐ。ウエツジ４１がパツド５に近
接し、ウエツジ４１の下側に保持されているワイ
ヤ２がパツド５に接触する直前に速度を切換えて
低速降下となす。
このとき、ムービングコイル２７の印加電圧を
小となして拘束力を低下せしめる。
小となして拘束力を低下せしめる。
この状態で昇降フレーム３７を降下させるとウ
エツジ４１の下側のワイヤ２がパツド５と接触す
る。さらに昇降フレーム３７を降下させようとす
ると、ウエツジ４１はパツド５からの反力により
停止し、保持具４０はムービングコイル２７から
の拘束力にさからつて時計方向に回転しようとす
る。このときタツチセンサ４７は対向片４９から
離れるので、これを検出して、ワイヤ２とパツド
５との接触を検出する。
エツジ４１の下側のワイヤ２がパツド５と接触す
る。さらに昇降フレーム３７を降下させようとす
ると、ウエツジ４１はパツド５からの反力により
停止し、保持具４０はムービングコイル２７から
の拘束力にさからつて時計方向に回転しようとす
る。このときタツチセンサ４７は対向片４９から
離れるので、これを検出して、ワイヤ２とパツド
５との接触を検出する。
その後さらに昇降フレーム３７を降下せしめる
に従いムービングコイル２７の拘束力は増大し、
ウエツジ４１によりワイヤ２が押つぶされてゆ
く。昇降フレーム３７が停止した後も、ムービン
グコイル２７の拘束力によりワイヤ２に押付力が
かけられている。ワイヤ２がパツド５に接触した
時点から超音波の振動を与え、溶着を行なう。
に従いムービングコイル２７の拘束力は増大し、
ウエツジ４１によりワイヤ２が押つぶされてゆ
く。昇降フレーム３７が停止した後も、ムービン
グコイル２７の拘束力によりワイヤ２に押付力が
かけられている。ワイヤ２がパツド５に接触した
時点から超音波の振動を与え、溶着を行なう。
溶着が完了した後ウエツジ４１を急速上昇せし
める。このとき、再びムービングコイル２７の拘
束力を強め、ボンデイングアームの動揺を防ぐ。
める。このとき、再びムービングコイル２７の拘
束力を強め、ボンデイングアームの動揺を防ぐ。
このように、支承フレームである昇降フレーム
３７に対するボンデイングアーム（振動子１０、
ホーン１３）の相対的回転はムービングコイル２
７により拘束されその拘束は、任意の時点で任意
の大きさに容易に調節できるので、高速上昇、降
下時には拘束力を大となしてハンテイングなどの
不安定動作を抑制し、精度の高い安定した動作を
行ない、ワイヤやボールを押しつぶす時には適度
な押付力を与えて良好なボンデイングを行なうこ
とが可能となる。
３７に対するボンデイングアーム（振動子１０、
ホーン１３）の相対的回転はムービングコイル２
７により拘束されその拘束は、任意の時点で任意
の大きさに容易に調節できるので、高速上昇、降
下時には拘束力を大となしてハンテイングなどの
不安定動作を抑制し、精度の高い安定した動作を
行ない、ワイヤやボールを押しつぶす時には適度
な押付力を与えて良好なボンデイングを行なうこ
とが可能となる。
５０はワイヤクランプであり、ソレノイド５１
により開閉し、かつガイド５２に沿つて、パルス
モータ（図示せず）により矢印５３の方向に往復
するようになつており、開閉及び往復動作の組み
合わせでワイヤ２をフイードするようになつてい
る。５４はワイヤガイドである。５５はリール１
８のワイヤ繰り出し用のモータである。
により開閉し、かつガイド５２に沿つて、パルス
モータ（図示せず）により矢印５３の方向に往復
するようになつており、開閉及び往復動作の組み
合わせでワイヤ２をフイードするようになつてい
る。５４はワイヤガイドである。５５はリール１
８のワイヤ繰り出し用のモータである。
ワイヤガイド３２，３３、接触棒３４，３５、
圧縮空気噴出のノズル３６とによりワイヤ繰り出
し量検出機構が形成される。即ち、ノズル３６よ
り空気を噴出せしめた場合、モータ５５の繰り出
しが多すぎて、ワイヤ２がたるんでいると吹き下
されて接触棒３４，３５に接しワイヤガイド３
２，３３、接触棒３４，３５の間の何れかの間の
導通が生じる。この導通を検出することによつて
ワイヤのたるみを検知し繰り出し量の多すぎるこ
とを知り、モータ５５を停止するようになつてい
る。
圧縮空気噴出のノズル３６とによりワイヤ繰り出
し量検出機構が形成される。即ち、ノズル３６よ
り空気を噴出せしめた場合、モータ５５の繰り出
しが多すぎて、ワイヤ２がたるんでいると吹き下
されて接触棒３４，３５に接しワイヤガイド３
２，３３、接触棒３４，３５の間の何れかの間の
導通が生じる。この導通を検出することによつて
ワイヤのたるみを検知し繰り出し量の多すぎるこ
とを知り、モータ５５を停止するようになつてい
る。
上記はウエツジを用いた例を示したが、ボール
ボンデイングにおいても同様である。
ボンデイングにおいても同様である。
本考案により、駆動部の一定直径カムと従動部
の昇降フレームとの間にはガタはなく、速やかに
完全に応答し、相対的動きによるチヤタリングや
振動を生ぜず、正確な円滑な動作を行ない、信頼
性の高いボンデイングを行なうことができるボン
デイング装置の昇降機構を提供することができ、
実用上極めて大なる効果を奏する。
の昇降フレームとの間にはガタはなく、速やかに
完全に応答し、相対的動きによるチヤタリングや
振動を生ぜず、正確な円滑な動作を行ない、信頼
性の高いボンデイングを行なうことができるボン
デイング装置の昇降機構を提供することができ、
実用上極めて大なる効果を奏する。
第１図は従来のボンデイング装置の正面図、第
２図ａ，ｂ，ｃ，ｄはボンデイングの工程説明
図、第３図は本考案の実施例の正面図、第４図は
その−線断面図、第５図は第４図の−線
断面図である。 １……キヤピラリー、２……ワイヤ、３……ボ
ール、４……ペレツト、５……パツド、６……リ
ード、７……下端、８……扁平部、９……扁平
部、１０……振動子、１１……フレーム、１２…
…ピン、１３……ホーン、１４……レバー、１５
……ローラ、１６……カム、１７……バネ、１８
……リール、１９……クランプ、２０……ハーフ
クランプ、２１……トーチ、２２……垂直軸、２
３……位置検出装置、２５……ブラケツト、２６
……調節ネジ、２７……ムービングコイル、２８
……挿入体、３２……ワイヤガイド、３３……ワ
イヤガイド、３４……接触棒、３５……接触棒、
３６……ノズル、３７……昇降フレーム、３８…
…昇降ガイド、３９……ブラケツト、４０……保
持具、４１……ウエツジ、４２……パルスモー
タ、４３……一定直径カム、４４……中心、４５
……カムローラ、４６……カムローラ、４７……
タツチセンサ、４８……レバー、４……対向片、
５０……ワイヤクランプ、５１……ソレノイド、
５２……ガイド、５３……矢印、５４……ワイヤ
ガイド、５５……モータ。
２図ａ，ｂ，ｃ，ｄはボンデイングの工程説明
図、第３図は本考案の実施例の正面図、第４図は
その−線断面図、第５図は第４図の−線
断面図である。 １……キヤピラリー、２……ワイヤ、３……ボ
ール、４……ペレツト、５……パツド、６……リ
ード、７……下端、８……扁平部、９……扁平
部、１０……振動子、１１……フレーム、１２…
…ピン、１３……ホーン、１４……レバー、１５
……ローラ、１６……カム、１７……バネ、１８
……リール、１９……クランプ、２０……ハーフ
クランプ、２１……トーチ、２２……垂直軸、２
３……位置検出装置、２５……ブラケツト、２６
……調節ネジ、２７……ムービングコイル、２８
……挿入体、３２……ワイヤガイド、３３……ワ
イヤガイド、３４……接触棒、３５……接触棒、
３６……ノズル、３７……昇降フレーム、３８…
…昇降ガイド、３９……ブラケツト、４０……保
持具、４１……ウエツジ、４２……パルスモー
タ、４３……一定直径カム、４４……中心、４５
……カムローラ、４６……カムローラ、４７……
タツチセンサ、４８……レバー、４……対向片、
５０……ワイヤクランプ、５１……ソレノイド、
５２……ガイド、５３……矢印、５４……ワイヤ
ガイド、５５……モータ。
Claims (1)
- 昇降ガイドに昇降フレームを昇降可能に保持
し、該昇降フレームに、上下に所定の間隔を隔て
て２個のカムローラを設け、該２個のカムローラ
の間に、回転中心が偏心した一定直径カムを配備
し、該一定直径カムにより前記昇降フレームを駆
動するよう構成し、該昇降フレームに、先端にボ
ンデイングツールを備えたボンデイングアームを
回動可能に設けたことを特徴とするボンデイング
装置の昇降機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982104335U JPS599542U (ja) | 1982-07-12 | 1982-07-12 | ボンデイング装置の昇降機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982104335U JPS599542U (ja) | 1982-07-12 | 1982-07-12 | ボンデイング装置の昇降機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS599542U JPS599542U (ja) | 1984-01-21 |
| JPS6348123Y2 true JPS6348123Y2 (ja) | 1988-12-12 |
Family
ID=30245030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982104335U Granted JPS599542U (ja) | 1982-07-12 | 1982-07-12 | ボンデイング装置の昇降機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599542U (ja) |
-
1982
- 1982-07-12 JP JP1982104335U patent/JPS599542U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS599542U (ja) | 1984-01-21 |
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