JPS59184536A - 半導体素子 - Google Patents
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- JPS59184536A JPS59184536A JP5858383A JP5858383A JPS59184536A JP S59184536 A JPS59184536 A JP S59184536A JP 5858383 A JP5858383 A JP 5858383A JP 5858383 A JP5858383 A JP 5858383A JP S59184536 A JPS59184536 A JP S59184536A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明は、耐湿信頼性、耐加水分解および耐りラック性
に優れた半導体素子に関する。
に優れた半導体素子に関する。
[発明の技術的背景とその問題点]
42アロイや樹脂基板上にΔgメッキがなされた各種の
リードフレーム上の所定部分に[C1LSI等の′P導
体チップを接続する工程は、素子の長期信頼性に影響を
与える重要な工程の−っである。 従来より、この方法
としては、チップ裏面のSiをリードフレーム上のへ〇
メッキ面に加熱圧着した、Au−8iの共晶法が主流で
あった。
リードフレーム上の所定部分に[C1LSI等の′P導
体チップを接続する工程は、素子の長期信頼性に影響を
与える重要な工程の−っである。 従来より、この方法
としては、チップ裏面のSiをリードフレーム上のへ〇
メッキ面に加熱圧着した、Au−8iの共晶法が主流で
あった。
しかし近年の貴金属、特にAUの高騰を契機として、樹
脂モールド半導体素子では、Au−8i共晶法から、ハ
ンダを使用する方法、導電性接着剤を使用する方法など
に急速に移行しつつある。
脂モールド半導体素子では、Au−8i共晶法から、ハ
ンダを使用する方法、導電性接着剤を使用する方法など
に急速に移行しつつある。
しかし、ハンダを使用する方法は、一部実用化されてい
るが、ハンダやハンダボールが飛散して電極等に付着し
、腐食断線の原因となることが指摘されている。 一方
導電性接着剤を使用する方法は、通常Ag粉末を配合し
たエポキシ樹脂が用いられて、約10年程前から一部実
用化されてきたが、信頼性の而で△u−3iの共晶合成
を生成させる共晶法に比較して満足すべきものがなかっ
た。 導電性接着剤を使用する場合は、ハンダ法に比べ
て耐熱性に優れている等の長所を有しているが、その反
面、樹脂やその硬化剤が半導体素子接着用として作られ
たものでないために、AI’1極の腐食を促進し断線不
良の原因となる場合が多く素子の信頼性は△u−3i共
品法に比べて劣るという欠点があった。 さらに近年、
従来の導電性接着剤を使用した場合、樹脂↑4 、+に
後に素子クラックが発生するという問題が起こり、溶剤
を多く使用した導電性接着剤硬化時のボイドがその主原
因であることが類推されている。 このような溶剤を多
く使用した導電性接着剤を用いて半導体素子を製造する
場合は、高速硬化(ヒートブロック方式)が行えず、ま
た従来の導電性接着剤そのものの硬化が遅いという欠点
があった。
るが、ハンダやハンダボールが飛散して電極等に付着し
、腐食断線の原因となることが指摘されている。 一方
導電性接着剤を使用する方法は、通常Ag粉末を配合し
たエポキシ樹脂が用いられて、約10年程前から一部実
用化されてきたが、信頼性の而で△u−3iの共晶合成
を生成させる共晶法に比較して満足すべきものがなかっ
た。 導電性接着剤を使用する場合は、ハンダ法に比べ
て耐熱性に優れている等の長所を有しているが、その反
面、樹脂やその硬化剤が半導体素子接着用として作られ
たものでないために、AI’1極の腐食を促進し断線不
良の原因となる場合が多く素子の信頼性は△u−3i共
品法に比べて劣るという欠点があった。 さらに近年、
従来の導電性接着剤を使用した場合、樹脂↑4 、+に
後に素子クラックが発生するという問題が起こり、溶剤
を多く使用した導電性接着剤硬化時のボイドがその主原
因であることが類推されている。 このような溶剤を多
く使用した導電性接着剤を用いて半導体素子を製造する
場合は、高速硬化(ヒートブロック方式)が行えず、ま
た従来の導電性接着剤そのものの硬化が遅いという欠点
があった。
[発明の目的]
本発明の目的は、従来の欠点を除去した新規な接着剤を
用いた半導体素子で接着性、耐加水分解性および樹脂封
止後の耐クラツク性に優れ、耐湿信頼性を大幅に向上で
きるとともに、価格も接着剤の高速硬化により低減でき
る半導体素子を提供することにある。
用いた半導体素子で接着性、耐加水分解性および樹脂封
止後の耐クラツク性に優れ、耐湿信頼性を大幅に向上で
きるとともに、価格も接着剤の高速硬化により低減でき
る半導体素子を提供することにある。
[発明の概要]
上記目的を達成すべく、鋭意研究を重ねた結宋、次に示
す導電性接着剤を使用する半導体素子が従来のものに比
べて接着性、耐加水分解性、耐湿信頼性、樹脂封止後の
耐クラツク性に優れていることを見出した。
す導電性接着剤を使用する半導体素子が従来のものに比
べて接着性、耐加水分解性、耐湿信頼性、樹脂封止後の
耐クラツク性に優れていることを見出した。
即ち、本発明は、(a )ヒスマレイミドとトリアジン
樹脂モノマーとを主成分とする樹脂と、(b)xポキシ
樹脂と、(C)不飽和単量体と(d、)導電性粉体とか
らなる樹脂組成物をベヒクルとする導電性接着剤で半導
体とリードフレームとが接着されていることを特徴とす
る半導体素子である。
樹脂モノマーとを主成分とする樹脂と、(b)xポキシ
樹脂と、(C)不飽和単量体と(d、)導電性粉体とか
らなる樹脂組成物をベヒクルとする導電性接着剤で半導
体とリードフレームとが接着されていることを特徴とす
る半導体素子である。
本発明に使用する(a >ビスマレイミドとトリアジン
樹脂モノマーとを主成分とする樹脂は一般式 で表されるヒスマレイミドと一般式 N=C−0−△r 2−〇−C−=N で表されるジ
シアネート、及び分子中に前記ジシアネートが3分子以
上環化重合した、トリアジン環を有しかつ分子末端にシ
アネート基 lN=C−0−1を有する例えば次のような構造を有す
るトリアジン樹脂 6− (但し、Δr7、Δr2は同−又は異なる2価の芳香族
基を示す)とからなっている。 このようなビスマレイ
ミドとトリアジン樹脂モノマーとを主成分とする樹脂と
しては、例えば三菱瓦斯化学社製のBTレジン(商品名
)がある。 BTレジンとしては、BT2100.23
00.2170゜2470.3103等が挙げられる。
樹脂モノマーとを主成分とする樹脂は一般式 で表されるヒスマレイミドと一般式 N=C−0−△r 2−〇−C−=N で表されるジ
シアネート、及び分子中に前記ジシアネートが3分子以
上環化重合した、トリアジン環を有しかつ分子末端にシ
アネート基 lN=C−0−1を有する例えば次のような構造を有す
るトリアジン樹脂 6− (但し、Δr7、Δr2は同−又は異なる2価の芳香族
基を示す)とからなっている。 このようなビスマレイ
ミドとトリアジン樹脂モノマーとを主成分とする樹脂と
しては、例えば三菱瓦斯化学社製のBTレジン(商品名
)がある。 BTレジンとしては、BT2100.23
00.2170゜2470.3103等が挙げられる。
本発明に使用される(b)エポキシ樹脂のうち効果的に
使用し得るものとして、例えば次のようなビスフェノー
ル類のジエポキシドがある。 シェル化学社製エピコー
ト(E pikote) 827 。
使用し得るものとして、例えば次のようなビスフェノー
ル類のジエポキシドがある。 シェル化学社製エピコー
ト(E pikote) 827 。
828.834..1001,1002,1004.。
1007.1009、ダウ・ケミカル社製DER330
,331,332,334,335゜336.337,
660,661,662゜667.668,669、チ
バ・ガイギー社製アラルダイト(Araldite )
GY250.260゜280、6o71: 6084.
6097゜6099、J ones l) abne
y社製E pi −Res510.5101、大日本イ
ンキ化学工業社製工ビク0ン810.1000,101
0.301’0(以上いずれも商品名)。 更に本発明
においては、エポキシ樹脂として、平均エポキシ基数3
Jy。
,331,332,334,335゜336.337,
660,661,662゜667.668,669、チ
バ・ガイギー社製アラルダイト(Araldite )
GY250.260゜280、6o71: 6084.
6097゜6099、J ones l) abne
y社製E pi −Res510.5101、大日本イ
ンキ化学工業社製工ビク0ン810.1000,101
0.301’0(以上いずれも商品名)。 更に本発明
においては、エポキシ樹脂として、平均エポキシ基数3
Jy。
上の例えばノボラック・エポキシ樹脂を使用することに
より、更に機械的特性および耐熱性を向上させることが
可能である。 使用するノボラック・エポキシ樹脂とし
ては分子量500以上のものが適している。 このよう
なノボラック・エポキシ樹脂としては、例えばチバガイ
ギー社製アラルダイト(Araldi’te )EPN
1138.’1139、ECN1273.1280,1
299、ダウ・ケミカル社製FEN431.DEN43
8、シェル化学社製エピコート152,154、ユニオ
ン・カーバイド社製E’RR−01001ERRB−0
447、ERLB−04’48、更に脂環式エポキシ樹
脂やビスフェノール型エポキシ樹脂等も樹脂を低粘度化
するために有効に使用され、例えばダイセル化学工業社
製セロキサイド2021、ユニオン・カーバイド社製E
R’L−4221゜4299.4234.4206等や
ビスフェノールF等がある。 以上の各成分はそれぞれ
単独又は2種以上混合して使用することができる。
より、更に機械的特性および耐熱性を向上させることが
可能である。 使用するノボラック・エポキシ樹脂とし
ては分子量500以上のものが適している。 このよう
なノボラック・エポキシ樹脂としては、例えばチバガイ
ギー社製アラルダイト(Araldi’te )EPN
1138.’1139、ECN1273.1280,1
299、ダウ・ケミカル社製FEN431.DEN43
8、シェル化学社製エピコート152,154、ユニオ
ン・カーバイド社製E’RR−01001ERRB−0
447、ERLB−04’48、更に脂環式エポキシ樹
脂やビスフェノール型エポキシ樹脂等も樹脂を低粘度化
するために有効に使用され、例えばダイセル化学工業社
製セロキサイド2021、ユニオン・カーバイド社製E
R’L−4221゜4299.4234.4206等や
ビスフェノールF等がある。 以上の各成分はそれぞれ
単独又は2種以上混合して使用することができる。
(a )ヒスマレイミドとトリアジン樹脂モノマーとを
主成分とする樹脂と、(b)のエポキシ樹脂との配合割
合は、10:90〜90 : 10 (重量比)の範囲
にあることが望ましく、好ましくは30ニア0〜70
: 30 (重量比)の範囲にあることが望ましい。
主成分とする樹脂と、(b)のエポキシ樹脂との配合割
合は、10:90〜90 : 10 (重量比)の範囲
にあることが望ましく、好ましくは30ニア0〜70
: 30 (重量比)の範囲にあることが望ましい。
(a )成分の割合が10重量部未満では、得られるベ
ヒクルの耐熱性が劣り、熱時の強度が低下し、逆に(b
)の成分の割合が10重量部未満では、ベヒクルの粘度
が高くなり、作業性が悪くなり好ましくない。
ヒクルの耐熱性が劣り、熱時の強度が低下し、逆に(b
)の成分の割合が10重量部未満では、ベヒクルの粘度
が高くなり、作業性が悪くなり好ましくない。
更に本発明に使用する(C)不飽和単量体としては、例
えばジアリルフタレートやトリアリルイソシアヌレート
等の耐熱性を低下させにくいものが好適である。 この
ような不飽和単量体の(a )および(1))の樹脂成
分に対する配合割合は、(a)のヒスマレイミドとトリ
アジン樹脂モノマーとを主成分とする樹脂と(b)のエ
ポキシ樹脂との合計量100重量部あたり不飽和単量体
が5〜9− 150重量部なかんずり10〜100重量部の範囲にあ
ることが望ましい。 不飽和単量体の配合量が5重量部
未満では樹脂粘度を必要な程度にまで低下させるのに不
十分であり、逆に150重量部を超えると硬化俊の樹脂
の耐熱性が劣るようになる。
えばジアリルフタレートやトリアリルイソシアヌレート
等の耐熱性を低下させにくいものが好適である。 この
ような不飽和単量体の(a )および(1))の樹脂成
分に対する配合割合は、(a)のヒスマレイミドとトリ
アジン樹脂モノマーとを主成分とする樹脂と(b)のエ
ポキシ樹脂との合計量100重量部あたり不飽和単量体
が5〜9− 150重量部なかんずり10〜100重量部の範囲にあ
ることが望ましい。 不飽和単量体の配合量が5重量部
未満では樹脂粘度を必要な程度にまで低下させるのに不
十分であり、逆に150重量部を超えると硬化俊の樹脂
の耐熱性が劣るようになる。
この不飽和単量体の配合範囲では、得られるベヒクルが
常温あるいは常温付近で極めて低い粘度(例えば25℃
で1〜100ポアズ以下)となり、作業性の良好な導電
性接着剤を得ることができる。
常温あるいは常温付近で極めて低い粘度(例えば25℃
で1〜100ポアズ以下)となり、作業性の良好な導電
性接着剤を得ることができる。
本発明に使用する(d )導電性粉体としては、フレー
ク状、球状、あるいは樹脂コートされた平均粒径10μ
以下の銀、銅等の金属粉を使用するのが好ましい。 導
電性粉体とベヒクルとの配合割合は60 : 40〜9
0:10(重量比〉が好ましい。 導電性粉体が60重
量部未満では満足な導電性が得られ難く、また90重量
部を超える場合は作業性や半導体チップとのなじみが悪
くなり好ましくない。
ク状、球状、あるいは樹脂コートされた平均粒径10μ
以下の銀、銅等の金属粉を使用するのが好ましい。 導
電性粉体とベヒクルとの配合割合は60 : 40〜9
0:10(重量比〉が好ましい。 導電性粉体が60重
量部未満では満足な導電性が得られ難く、また90重量
部を超える場合は作業性や半導体チップとのなじみが悪
くなり好ましくない。
本発明においては以上の成分を用いた樹脂組成物をベヒ
クルとするが、その他に、硬化触媒や粘度を調整する目
的でモノエポキシ化合物や有機溶10− 剤を導電性接着剤100重吊部に対して5%以内で必要
に応じて使用することもできる。
クルとするが、その他に、硬化触媒や粘度を調整する目
的でモノエポキシ化合物や有機溶10− 剤を導電性接着剤100重吊部に対して5%以内で必要
に応じて使用することもできる。
本発明の半導体素子は、常法に従い上述したベヒクルを
十分に混合した後、更に例えば三本ロールによる混練処
理を施し、得られた接着剤を半導体チップとリードフレ
ーム接合用接着剤として使用した後、ワイヤボンディン
グを行い、その後に半導体素子を封止すればよい。
十分に混合した後、更に例えば三本ロールによる混練処
理を施し、得られた接着剤を半導体チップとリードフレ
ーム接合用接着剤として使用した後、ワイヤボンディン
グを行い、その後に半導体素子を封止すればよい。
[発明の実施例]
以下本発明を実施例により具体的に説明する。
以下「部」とは特に説明のない限り「重量部」を表す。
第1表に示す各成分をセラミック三本ロールにより3回
混練して一液型導電性接着剤(A)、(B)、(C)を
製造した。 この接着剤(A)、(B)および(C)と
市販のエポキシ樹脂ベースの半導体用接着剤(比較例)
を使用して半導体素子を作り、その特性を測定したので
第1表に示した。 なお、第1表中の耐湿試験評価の方
法は、IC素子を構成するアルミニウム電極の腐食によ
るオープン又はリーク電流が許容値の500%以上への
上昇をもって不良と判定した。
混練して一液型導電性接着剤(A)、(B)、(C)を
製造した。 この接着剤(A)、(B)および(C)と
市販のエポキシ樹脂ベースの半導体用接着剤(比較例)
を使用して半導体素子を作り、その特性を測定したので
第1表に示した。 なお、第1表中の耐湿試験評価の方
法は、IC素子を構成するアルミニウム電極の腐食によ
るオープン又はリーク電流が許容値の500%以上への
上昇をもって不良と判定した。
本発明の半導体素子は第1表から明らかなように接着強
度、耐加水分解性に優れ、硬化後の発泡もなくペレット
クラックが起こりにくく、特に加水分解性の01イオン
が少ないため、」−分な信頼性を右している。
度、耐加水分解性に優れ、硬化後の発泡もなくペレット
クラックが起こりにくく、特に加水分解性の01イオン
が少ないため、」−分な信頼性を右している。
[発明の効果]
以上の如く新規な導電性接着剤を使用することによって
、半導体チップとリードフレームとの、接着が高速硬化
で行われてかつ熱時の接着性が向上し、耐加水分解性に
優れ、金属の腐食による断線/ などの不良や水分に
よるリーク電流の不良などがなくなり樹脂封止後の素子
クラックも発生せず、耐湿信頼性が従来のものに比べて
大幅に改善された半導体素子が得られる。
、半導体チップとリードフレームとの、接着が高速硬化
で行われてかつ熱時の接着性が向上し、耐加水分解性に
優れ、金属の腐食による断線/ などの不良や水分に
よるリーク電流の不良などがなくなり樹脂封止後の素子
クラックも発生せず、耐湿信頼性が従来のものに比べて
大幅に改善された半導体素子が得られる。
特許出願人 東芝ケミカル株式会社
−14−、
172−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 (a)ビスマレイミドとトリアジン樹脂モノマーと
を主成分とする樹脂と、(b)エポキシ樹脂と、(C)
不飽和単量体と、(d)導電性粉体とからなる樹脂組成
物をベヒクルとする導電性接着剤で半導体チップとリー
ドフレームとが接着されていることを特徴とする半導体
素子。 2 (a)のビスマレイミドとトリアジン樹脂モノマー
とを主成分とする樹脂と(b)エポキシ樹脂との配合割
合は、10:90〜90:10(重量化)の範囲にある
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導体素
子。 3 (a)のビスマレイミドとトリアジン樹脂モノマー
とを主成分とする樹脂は、一般式で表されるヒスマレイ
ミドと、 一般式 N=−C−0−Ar 2−O−C=Nで表され
るジシアネート、及び分子中に前記ジシアネートが3分
子以上環化重合した、トリアジン環 を有しかつ分子末端にシアネート基 [NミC−0−]を有するトリアジン樹脂(但し、Ar
+ Ar 2 、は同一または異なる2価の芳香族基
を表す)からなることを特徴とする特許請求の範囲第1
項又は第2項記載の半導体素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5858383A JPS59184536A (ja) | 1983-04-05 | 1983-04-05 | 半導体素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5858383A JPS59184536A (ja) | 1983-04-05 | 1983-04-05 | 半導体素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59184536A true JPS59184536A (ja) | 1984-10-19 |
JPH0153502B2 JPH0153502B2 (ja) | 1989-11-14 |
Family
ID=13088480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5858383A Granted JPS59184536A (ja) | 1983-04-05 | 1983-04-05 | 半導体素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59184536A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112048247A (zh) * | 2020-09-14 | 2020-12-08 | 黑龙江省科学院石油化学研究院 | 一种双马来酰亚胺/氰酸酯发泡胶膜及其制备方法及其应用 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000108699A (ja) * | 1998-10-08 | 2000-04-18 | Kanzaki Kokyukoki Mfg Co Ltd | 車軸駆動装置 |
-
1983
- 1983-04-05 JP JP5858383A patent/JPS59184536A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112048247A (zh) * | 2020-09-14 | 2020-12-08 | 黑龙江省科学院石油化学研究院 | 一种双马来酰亚胺/氰酸酯发泡胶膜及其制备方法及其应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0153502B2 (ja) | 1989-11-14 |
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