JPS5917894Y2 - サブストレ−トの着脱装置 - Google Patents
サブストレ−トの着脱装置Info
- Publication number
- JPS5917894Y2 JPS5917894Y2 JP13901681U JP13901681U JPS5917894Y2 JP S5917894 Y2 JPS5917894 Y2 JP S5917894Y2 JP 13901681 U JP13901681 U JP 13901681U JP 13901681 U JP13901681 U JP 13901681U JP S5917894 Y2 JPS5917894 Y2 JP S5917894Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- holder
- substrate holder
- detachment device
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はシリコンウェハその他のサブストレートを真空
蒸着その他に備えてドーム状その他のサブストレートホ
ルダの各受座上に着脱する装置に関する。
蒸着その他に備えてドーム状その他のサブストレートホ
ルダの各受座上に着脱する装置に関する。
従来この種装置として、ドーム状その他のサブストレー
トホルダに受座を円周上の複数個に配設され、これにシ
リコンウェハその他のサブストレートをその側方の装置
本体からのびる先端に真空チャックを有する搬送アーム
で搬送して着脱するようにした式のものは知られるが、
この場合該サブストレートホルダは板金のプレス加工か
ら戊り、これに間欠的に送り回動を与えて各受座を着脱
個所に順次に選択する式を一般とするもので、か・るも
のでは該ホルダに多少とも加工歪が存して各受座が多少
とも上下に偏位し、かくて着脱操作が不安定となり勝ち
である不都合を伴う。
トホルダに受座を円周上の複数個に配設され、これにシ
リコンウェハその他のサブストレートをその側方の装置
本体からのびる先端に真空チャックを有する搬送アーム
で搬送して着脱するようにした式のものは知られるが、
この場合該サブストレートホルダは板金のプレス加工か
ら戊り、これに間欠的に送り回動を与えて各受座を着脱
個所に順次に選択する式を一般とするもので、か・るも
のでは該ホルダに多少とも加工歪が存して各受座が多少
とも上下に偏位し、かくて着脱操作が不安定となり勝ち
である不都合を伴う。
本考案はか・る不都合のない装置を得ることをその目的
としたもので、ドーム状その他のサブストレートホルダ
１に受座２を円周上の複数個に備え、これにシリコンウ
ェハその他のサブストレート３をその側方の装置本体４
からのびる先端に真空チャック５を有する搬送アーム６
で搬送して着脱するようにした式もものにおいて、該装
置本体４に該受座２近傍の該ホルダ１の周縁部１ａに対
向する上側と下側とのガイドローラ７．８を各作動シリ
ンダその他の駆動源９，１０により互に開閉自在に設け
て威る。
としたもので、ドーム状その他のサブストレートホルダ
１に受座２を円周上の複数個に備え、これにシリコンウ
ェハその他のサブストレート３をその側方の装置本体４
からのびる先端に真空チャック５を有する搬送アーム６
で搬送して着脱するようにした式もものにおいて、該装
置本体４に該受座２近傍の該ホルダ１の周縁部１ａに対
向する上側と下側とのガイドローラ７．８を各作動シリ
ンダその他の駆動源９，１０により互に開閉自在に設け
て威る。
該搬送アーム６は装置本体４から前方にのびる基台１１
上の作動シリンダ１２により昇降自在の台枠１３上にモ
ータその他の原動機１４により反転自在に軸支され、か
くてその先端の該チャック５は前方の下向位置と後方の
上向位置とに選択されると共に更に各位置で上下動され
る該サブストレート３の着脱に備えられるようにした。
上の作動シリンダ１２により昇降自在の台枠１３上にモ
ータその他の原動機１４により反転自在に軸支され、か
くてその先端の該チャック５は前方の下向位置と後方の
上向位置とに選択されると共に更に各位置で上下動され
る該サブストレート３の着脱に備えられるようにした。
該上側のガイドローラ７は基台１１の下面の軸１５の内
端のレバ１６の先端に軸支されると共に該軸１５はその
外端のレバ１７においてその後側の前記した作動シノン
ダ９からのびるピストンロッド９ａに連り、かくて該シ
リンダ９の作動によれば該軸１５を軸として上下動され
るようにした。
端のレバ１６の先端に軸支されると共に該軸１５はその
外端のレバ１７においてその後側の前記した作動シノン
ダ９からのびるピストンロッド９ａに連り、かくて該シ
リンダ９の作動によれば該軸１５を軸として上下動され
るようにした。
更に該下側のガイドローラ８はその下側の上下方向にの
びる前記した作動シリンダ１０からのびるピストンロッ
ド１０ ａの上側のヘッド２０上に設けられると共に該
ヘッド２０は下方にのびるガイドロッド２１において上
下のガイド１８，１８内を挿通され、更に該シリンダ１
０と該ガイド１８，１８とは該装置本体４からのびる下
側のブラケット１９の先端に固定されるものとし、かく
て該ローラ８は該シリンダ１０の作動に伴い上下動され
るようにした。
びる前記した作動シリンダ１０からのびるピストンロッ
ド１０ ａの上側のヘッド２０上に設けられると共に該
ヘッド２０は下方にのびるガイドロッド２１において上
下のガイド１８，１８内を挿通され、更に該シリンダ１
０と該ガイド１８，１８とは該装置本体４からのびる下
側のブラケット１９の先端に固定されるものとし、かく
て該ローラ８は該シリンダ１０の作動に伴い上下動され
るようにした。
その作動を説明するに、サブストレートホルダ１は間欠
的に送り回動されて各受座２が着脱位置に選択され、こ
れにサブストレート３が搬送アーム６で搬送されて着脱
されるもので、この点は従来のものと特に異らないが、
か・る作動に際し、各作動シリンダ９，１０を作動させ
て上下のガイドローラ７．８を互に閉じ側に作動させ該
ホルダ１の周縁部１ａを上下から挟持して支承させる。
的に送り回動されて各受座２が着脱位置に選択され、こ
れにサブストレート３が搬送アーム６で搬送されて着脱
されるもので、この点は従来のものと特に異らないが、
か・る作動に際し、各作動シリンダ９，１０を作動させ
て上下のガイドローラ７．８を互に閉じ側に作動させ該
ホルダ１の周縁部１ａを上下から挟持して支承させる。
かくて該周縁部１ａは加工歪その他により全体として波
形に屈曲するような場合、該着脱位置では該ローラ７．
８により上下から挾持されてその高さが一定となり、各
受座２は該位置では常に予定高さとなってサブストレー
ト３の着脱を容易且確実とすることが出来る。
形に屈曲するような場合、該着脱位置では該ローラ７．
８により上下から挾持されてその高さが一定となり、各
受座２は該位置では常に予定高さとなってサブストレー
ト３の着脱を容易且確実とすることが出来る。
このように本考案によるときはサブストレートホルダ１
の周縁部１ａを上下のガイドローラ７．８により挾持し
て支承させるもので、該周縁部１ａが予め変形するよう
な場合、これが常に着脱位置では予定高さに補正されて
着脱操作を簡単且つ確実にすることが出来る効果を有す
る。
の周縁部１ａを上下のガイドローラ７．８により挾持し
て支承させるもので、該周縁部１ａが予め変形するよう
な場合、これが常に着脱位置では予定高さに補正されて
着脱操作を簡単且つ確実にすることが出来る効果を有す
る。
第１図は本案装置の１例の一部を截除した側面図、第２
図はその要部の斜面図である。
図はその要部の斜面図である。
Claims (1)
- ドーム状その他のサブストレートホルダ１に受座２を円
周上の複数個に備え、これにシリコンウェハその他のサ
ブストレート３をその側方の装置本体４からのびる先端
に真空チャック５を有する搬送アーム６で搬送して着脱
するようにした式のものにおいて、該装置本体４に該受
座２近傍の該ホルダ１の周縁部１ａに対向する上側と下
側とのガイドローラ７．８を各作動シリンダその他の駆
動源９，１０により互に開閉自在に設けて戊るサブスト
レートの着脱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13901681U JPS5917894Y2 (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | サブストレ−トの着脱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13901681U JPS5917894Y2 (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | サブストレ−トの着脱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5845360U JPS5845360U (ja) | 1983-03-26 |
| JPS5917894Y2 true JPS5917894Y2 (ja) | 1984-05-24 |
Family
ID=29932219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13901681U Expired JPS5917894Y2 (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | サブストレ−トの着脱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917894Y2 (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8513949B2 (en) | 2000-03-27 | 2013-08-20 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester or charger with databus connection |
| US8872516B2 (en) | 2000-03-27 | 2014-10-28 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester mounted in a vehicle |
| US8872517B2 (en) | 1996-07-29 | 2014-10-28 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester with battery age input |
| US8958998B2 (en) | 1997-11-03 | 2015-02-17 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester with network communication |
| US8963550B2 (en) | 2004-08-20 | 2015-02-24 | Midtronics, Inc. | System for automatically gathering battery information |
| US9018958B2 (en) | 2003-09-05 | 2015-04-28 | Midtronics, Inc. | Method and apparatus for measuring a parameter of a vehicle electrical system |
| US9244100B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-01-26 | Midtronics, Inc. | Current clamp with jaw closure detection |
| US9255955B2 (en) | 2003-09-05 | 2016-02-09 | Midtronics, Inc. | Method and apparatus for measuring a parameter of a vehicle electrical system |
| US9274157B2 (en) | 2007-07-17 | 2016-03-01 | Midtronics, Inc. | Battery tester for electric vehicle |
| US9312575B2 (en) | 2013-05-16 | 2016-04-12 | Midtronics, Inc. | Battery testing system and method |
| US9335362B2 (en) | 2007-07-17 | 2016-05-10 | Midtronics, Inc. | Battery tester for electric vehicle |
| US9419311B2 (en) | 2010-06-18 | 2016-08-16 | Midtronics, Inc. | Battery maintenance device with thermal buffer |
| US9425487B2 (en) | 2010-03-03 | 2016-08-23 | Midtronics, Inc. | Monitor for front terminal batteries |
| US9496720B2 (en) | 2004-08-20 | 2016-11-15 | Midtronics, Inc. | System for automatically gathering battery information |
| US9588185B2 (en) | 2010-02-25 | 2017-03-07 | Keith S. Champlin | Method and apparatus for detecting cell deterioration in an electrochemical cell or battery |
| US11566972B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-01-31 | Midtronics, Inc. | Tire tread gauge using visual indicator |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP13901681U patent/JPS5917894Y2/ja not_active Expired
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8872517B2 (en) | 1996-07-29 | 2014-10-28 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester with battery age input |
| US8958998B2 (en) | 1997-11-03 | 2015-02-17 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester with network communication |
| US8513949B2 (en) | 2000-03-27 | 2013-08-20 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester or charger with databus connection |
| US8872516B2 (en) | 2000-03-27 | 2014-10-28 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester mounted in a vehicle |
| US9018958B2 (en) | 2003-09-05 | 2015-04-28 | Midtronics, Inc. | Method and apparatus for measuring a parameter of a vehicle electrical system |
| US9255955B2 (en) | 2003-09-05 | 2016-02-09 | Midtronics, Inc. | Method and apparatus for measuring a parameter of a vehicle electrical system |
| US8963550B2 (en) | 2004-08-20 | 2015-02-24 | Midtronics, Inc. | System for automatically gathering battery information |
| US9496720B2 (en) | 2004-08-20 | 2016-11-15 | Midtronics, Inc. | System for automatically gathering battery information |
| US9274157B2 (en) | 2007-07-17 | 2016-03-01 | Midtronics, Inc. | Battery tester for electric vehicle |
| US9335362B2 (en) | 2007-07-17 | 2016-05-10 | Midtronics, Inc. | Battery tester for electric vehicle |
| US9588185B2 (en) | 2010-02-25 | 2017-03-07 | Keith S. Champlin | Method and apparatus for detecting cell deterioration in an electrochemical cell or battery |
| US9425487B2 (en) | 2010-03-03 | 2016-08-23 | Midtronics, Inc. | Monitor for front terminal batteries |
| US9419311B2 (en) | 2010-06-18 | 2016-08-16 | Midtronics, Inc. | Battery maintenance device with thermal buffer |
| US9244100B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-01-26 | Midtronics, Inc. | Current clamp with jaw closure detection |
| US9312575B2 (en) | 2013-05-16 | 2016-04-12 | Midtronics, Inc. | Battery testing system and method |
| US11566972B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-01-31 | Midtronics, Inc. | Tire tread gauge using visual indicator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5845360U (ja) | 1983-03-26 |
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