JPS59178899U - プラズマ発生装置 - Google Patents

プラズマ発生装置

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JPS59178899U
JPS59178899U JP7272583U JP7272583U JPS59178899U JP S59178899 U JPS59178899 U JP S59178899U JP 7272583 U JP7272583 U JP 7272583U JP 7272583 U JP7272583 U JP 7272583U JP S59178899 U JPS59178899 U JP S59178899U
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JP
Japan
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power source
frequency power
electrode
frequency
plasma generator
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JP7272583U
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Inventor
洋司 伊藤
Original Assignee
日本電子株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はプラズマ発生装置の一例として示した高周波イ
オンプレートティング装置の概略図、第２図は本考案の
一実施例を示した高周波イオンブレーティング装置の概
略図である。 １：排気室、４：高周波電極、７：整合回路、８：高周
波電源、１に方向性結合器、１２：反射電力計、１３：
比較回路、１４：不惑回路、１５：制御回路、１６：表
示装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 排気室内に高周波電極を配置し、高周波電源からの高周
    波電力を整合回路を介して該電極に印加することにより
    該排気室内にプラズマを発生出来る様になした装置にお
    いて、前記高周波電源と前記電極間に存在する反射電力
    を検出する手段、該反射電力の値が予め設定した電力値
    以上である状態が続く時間が予め設定した時間を越えた
    時、前記高周波電源をオフさせる信号を発する手段を設
    けたプラズマ発生装置。
JP7272583U 1983-05-16 1983-05-16 プラズマ発生装置 Granted JPS59178899U (ja)

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JP7272583U JPS59178899U (ja) 1983-05-16 1983-05-16 プラズマ発生装置

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JPS59178899U true JPS59178899U (ja) 1984-11-29
JPH0241169Y2 JPH0241169Y2 (ja) 1990-11-01

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