JPS60160030U - 高周波電源の保護回路 - Google Patents

高周波電源の保護回路

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Publication number
JPS60160030U
JPS60160030U JP4603884U JP4603884U JPS60160030U JP S60160030 U JPS60160030 U JP S60160030U JP 4603884 U JP4603884 U JP 4603884U JP 4603884 U JP4603884 U JP 4603884U JP S60160030 U JPS60160030 U JP S60160030U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frequency power
power supply
protection circuit
high frequency
supply protection
Prior art date
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Pending
Application number
JP4603884U
Other languages
English (en)
Inventor
金田一　要三
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP4603884U priority Critical patent/JPS60160030U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Protection Of Static Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はイオンブレーティング装置の従来例を示す図、
第２図は本考案に係る制御信号出力回路の一実施例を示
す電気的構成図、第３図は本考案に係る保護回路の一実
施例を示す電気的構成図、第４図は本考案に係る保液回
路の他の実嵐例を示す電気的構成図である。 １・・・真空容器、−２・・・直流高圧電源、３，４・
・・電極、５・・・放電電極、６・・・高周波電源、７
・・・フィルタ、１１．１４・・・加算回路、１２・・
・インバータ、１３−・・比較器、Ｒ８〜Ｒ，、Ｒｆｌ
、　Ｒｆ２−・・抵抗、ＶＲ□。 ＶＨ２・・・可変抵抗、ＲＬ・・・リレー、Ｑ・・・ト
ランジスタ、Ｕｌ、　Ｕ２・・・演算増幅器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. その両端に直流高電圧を印加する電極を具備した真空容
    器内に設けられた放電電極に高周波電源の出力を供給す
    ることにより前記真空容器内のガス分子をイオン化して
    高周波プラズマ放電を発生させる装置に用いられるもの
    であって、前記高周波電源回路の制御素子として真空管
    を用い、プレート電流、入射電力及び反射電力からプレ
    ート損失に関連した信号を合成し、この信号を用いて高
    周波電源の出力を制御するようにしたことを特徴とする
    高周波電源の保護回路。
JP4603884U 1984-03-29 1984-03-29 高周波電源の保護回路 Pending JPS60160030U (ja)

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JP4603884U JPS60160030U (ja) 1984-03-29 1984-03-29 高周波電源の保護回路

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JPS60160030U true JPS60160030U (ja) 1985-10-24

Family

ID=30560072

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61198693A (ja) * 1985-02-27 1986-09-03 Agency Of Ind Science & Technol 集積回路およびその製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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