JPS59172207A - 抵抗トリミング方法 - Google Patents

抵抗トリミング方法

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Publication number
JPS59172207A
JPS59172207A JP58046033A JP4603383A JPS59172207A JP S59172207 A JPS59172207 A JP S59172207A JP 58046033 A JP58046033 A JP 58046033A JP 4603383 A JP4603383 A JP 4603383A JP S59172207 A JPS59172207 A JP S59172207A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistor
resistance
trimming
resistance value
trimming method
Prior art date
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Pending
Application number
JP58046033A
Other languages
English (en)
Inventor
正利 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の技術分野 本発明は混成集積回路等の抵抗を所定の抵抗値とするた
めのトリミング方法に関するものである。
(2)従来技術と問題点 混成集積回路にセラミック等の基板の上にTa等の蒸着
、スパッタ等による薄膜、又はRuO□。
Bi2Ru2O□等の印刷法による厚膜で抵抗体を形成
し、さらにトランジスタ等のディスクリート部品を搭載
して構成されている。この場合、抵抗はその製造時に規
定の抵抗値に正しく一致するように形成することは困難
であるので1通常は第1図に示す如く、その抵抗1を所
定の抵抗値よりやや低く形成しておき、電極2,3間の
抵抗値を測定しながら、電流の流れ4を遮断する方向に
レーザ又は機械的な方法で切れ目5を入れてトリミング
全行なっている。
ところがこのようなトリミング方法は、電流の流れを遮
断する方向でトリミングするため素子感度が高くなり、
トリミング精度が上らないという欠点があった。
(3)発明の目的 本発明は上記従来の欠点に鑑み、高精度を得ることがで
きる抵抗値トリミング方法を提供することを目的とする
ものである。
(4)発明の構成 そしてこの目的は本発明によれば、混成集積回路等の抵
抗トリミング方法であって、トリミングを必要とする抵
抗を、主抵抗と該主抵抗よジ抵接値の高い副抵抗とに分
けて並列に接続して形成し、先ず主抵抗にて粗調整を行
ない1次いで副抵抗にて微調整を行なうことを特徴とす
る抵抗値トリミング方法を提供することによって達成さ
れる。
(5)発明の実施例 以下本発明実施例を図面によって詳述する。
第2図は本発明の抵抗値トリミング方法を説明するため
の図である。同図において、10はトリミングすべき抵
抗、11は主抵抗、12は副抵抗、13.14は電極を
それぞれ示す。
第2図に示す如く本実施例はトリミングすべき抵抗10
を主抵抗11と副抵抗12とに分け、主抵抗11は所定
の抵抗値とほぼ同じ抵抗値となるように形成し、副抵抗
12は主抵抗11より高抵抗(好ましくは10倍以上)
となるように形成し。
軍、極13と14間に並列に接続しておき、トリミング
を行なうときは、電極13と14間の抵抗を測定しなが
ら先ず主抵抗11をトリミングし、所定の抵抗値よシ僅
かに低いところ(所定値の−2〜−1チ)まで粗調整し
1次に副抵抗12’kllミングし所定値の−0,2〜
0.1%程度まで微調整を行なうのである。
このようにトリミングを行なう本実施例は2例えば主抵
抗を5000.副抵抗を5にΩとした場合、この合成抵
抗は454.50となり、仮に主抵抗を10俤上げた時
の合成抵抗が495.50になるのに対し、副抵抗を1
0%上げても458.30と僅かの変化であるため副抵
抗のトリミングが多少ちがっても総合的には充分な高精
度を得ることができる。
(6)発明の効果 以上、詳細に説明したように1本発明の抵抗値トリミン
グ方法は、トリミングすべき抵抗を主・副抵抗に分けて
並列に接続し、各々をトリミングすることにより高精度
を得ることを可能とした効果大なるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の抵抗値トリミング方法を説明するための
図、第2図は本発明による抵抗値トリミング方法を説明
するための図である。 図面において、10はトリミングすべき抵抗。 11は主抵抗、12は副抵抗、13.14は電極をそれ
ぞれ示す。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木    朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士  内  1) 幸  男 弁理士 山  口  昭 之

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 混成集積回路等の抵抗トリミング方法であって、ト
    リミングを必要とする抵抗を、主抵抗と該主抵抗よシ抵
    抗値の高い副抵抗とに分けて並列に接伏して形成し、先
    ず主抵抗にて粗調整を行ない1次いで副抵抗にて微調整
    を行なうことを特徴とする抵抗値トリミング方法。
JP58046033A 1983-03-22 1983-03-22 抵抗トリミング方法 Pending JPS59172207A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61222101A (ja) * 1985-03-27 1986-10-02 富士通株式会社 調整の容易な印刷抵抗の形成方法
JPS62160501U (ja) * 1986-03-31 1987-10-13

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4954860A (ja) * 1972-09-27 1974-05-28

Patent Citations (1)

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