JPS59172207A - 抵抗トリミング方法 - Google Patents
抵抗トリミング方法Info
- Publication number
- JPS59172207A JPS59172207A JP58046033A JP4603383A JPS59172207A JP S59172207 A JPS59172207 A JP S59172207A JP 58046033 A JP58046033 A JP 58046033A JP 4603383 A JP4603383 A JP 4603383A JP S59172207 A JPS59172207 A JP S59172207A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- resistance
- trimming
- resistance value
- trimming method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(1)発明の技術分野
本発明は混成集積回路等の抵抗を所定の抵抗値とするた
めのトリミング方法に関するものである。
めのトリミング方法に関するものである。
(2)従来技術と問題点
混成集積回路にセラミック等の基板の上にTa等の蒸着
、スパッタ等による薄膜、又はRuO□。
、スパッタ等による薄膜、又はRuO□。
Bi2Ru2O□等の印刷法による厚膜で抵抗体を形成
し、さらにトランジスタ等のディスクリート部品を搭載
して構成されている。この場合、抵抗はその製造時に規
定の抵抗値に正しく一致するように形成することは困難
であるので1通常は第1図に示す如く、その抵抗1を所
定の抵抗値よりやや低く形成しておき、電極2,3間の
抵抗値を測定しながら、電流の流れ4を遮断する方向に
レーザ又は機械的な方法で切れ目5を入れてトリミング
全行なっている。
し、さらにトランジスタ等のディスクリート部品を搭載
して構成されている。この場合、抵抗はその製造時に規
定の抵抗値に正しく一致するように形成することは困難
であるので1通常は第1図に示す如く、その抵抗1を所
定の抵抗値よりやや低く形成しておき、電極2,3間の
抵抗値を測定しながら、電流の流れ4を遮断する方向に
レーザ又は機械的な方法で切れ目5を入れてトリミング
全行なっている。
ところがこのようなトリミング方法は、電流の流れを遮
断する方向でトリミングするため素子感度が高くなり、
トリミング精度が上らないという欠点があった。
断する方向でトリミングするため素子感度が高くなり、
トリミング精度が上らないという欠点があった。
(3)発明の目的
本発明は上記従来の欠点に鑑み、高精度を得ることがで
きる抵抗値トリミング方法を提供することを目的とする
ものである。
きる抵抗値トリミング方法を提供することを目的とする
ものである。
(4)発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、混成集積回路等の抵
抗トリミング方法であって、トリミングを必要とする抵
抗を、主抵抗と該主抵抗よジ抵接値の高い副抵抗とに分
けて並列に接続して形成し、先ず主抵抗にて粗調整を行
ない1次いで副抵抗にて微調整を行なうことを特徴とす
る抵抗値トリミング方法を提供することによって達成さ
れる。
抗トリミング方法であって、トリミングを必要とする抵
抗を、主抵抗と該主抵抗よジ抵接値の高い副抵抗とに分
けて並列に接続して形成し、先ず主抵抗にて粗調整を行
ない1次いで副抵抗にて微調整を行なうことを特徴とす
る抵抗値トリミング方法を提供することによって達成さ
れる。
(5)発明の実施例
以下本発明実施例を図面によって詳述する。
第2図は本発明の抵抗値トリミング方法を説明するため
の図である。同図において、10はトリミングすべき抵
抗、11は主抵抗、12は副抵抗、13.14は電極を
それぞれ示す。
の図である。同図において、10はトリミングすべき抵
抗、11は主抵抗、12は副抵抗、13.14は電極を
それぞれ示す。
第2図に示す如く本実施例はトリミングすべき抵抗10
を主抵抗11と副抵抗12とに分け、主抵抗11は所定
の抵抗値とほぼ同じ抵抗値となるように形成し、副抵抗
12は主抵抗11より高抵抗(好ましくは10倍以上)
となるように形成し。
を主抵抗11と副抵抗12とに分け、主抵抗11は所定
の抵抗値とほぼ同じ抵抗値となるように形成し、副抵抗
12は主抵抗11より高抵抗(好ましくは10倍以上)
となるように形成し。
軍、極13と14間に並列に接続しておき、トリミング
を行なうときは、電極13と14間の抵抗を測定しなが
ら先ず主抵抗11をトリミングし、所定の抵抗値よシ僅
かに低いところ(所定値の−2〜−1チ)まで粗調整し
1次に副抵抗12’kllミングし所定値の−0,2〜
0.1%程度まで微調整を行なうのである。
を行なうときは、電極13と14間の抵抗を測定しなが
ら先ず主抵抗11をトリミングし、所定の抵抗値よシ僅
かに低いところ(所定値の−2〜−1チ)まで粗調整し
1次に副抵抗12’kllミングし所定値の−0,2〜
0.1%程度まで微調整を行なうのである。
このようにトリミングを行なう本実施例は2例えば主抵
抗を5000.副抵抗を5にΩとした場合、この合成抵
抗は454.50となり、仮に主抵抗を10俤上げた時
の合成抵抗が495.50になるのに対し、副抵抗を1
0%上げても458.30と僅かの変化であるため副抵
抗のトリミングが多少ちがっても総合的には充分な高精
度を得ることができる。
抗を5000.副抵抗を5にΩとした場合、この合成抵
抗は454.50となり、仮に主抵抗を10俤上げた時
の合成抵抗が495.50になるのに対し、副抵抗を1
0%上げても458.30と僅かの変化であるため副抵
抗のトリミングが多少ちがっても総合的には充分な高精
度を得ることができる。
(6)発明の効果
以上、詳細に説明したように1本発明の抵抗値トリミン
グ方法は、トリミングすべき抵抗を主・副抵抗に分けて
並列に接続し、各々をトリミングすることにより高精度
を得ることを可能とした効果大なるものである。
グ方法は、トリミングすべき抵抗を主・副抵抗に分けて
並列に接続し、各々をトリミングすることにより高精度
を得ることを可能とした効果大なるものである。
第1図は従来の抵抗値トリミング方法を説明するための
図、第2図は本発明による抵抗値トリミング方法を説明
するための図である。 図面において、10はトリミングすべき抵抗。 11は主抵抗、12は副抵抗、13.14は電極をそれ
ぞれ示す。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 内 1) 幸 男 弁理士 山 口 昭 之
図、第2図は本発明による抵抗値トリミング方法を説明
するための図である。 図面において、10はトリミングすべき抵抗。 11は主抵抗、12は副抵抗、13.14は電極をそれ
ぞれ示す。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 内 1) 幸 男 弁理士 山 口 昭 之
Claims (1)
- 1 混成集積回路等の抵抗トリミング方法であって、ト
リミングを必要とする抵抗を、主抵抗と該主抵抗よシ抵
抗値の高い副抵抗とに分けて並列に接伏して形成し、先
ず主抵抗にて粗調整を行ない1次いで副抵抗にて微調整
を行なうことを特徴とする抵抗値トリミング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58046033A JPS59172207A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 抵抗トリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58046033A JPS59172207A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 抵抗トリミング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59172207A true JPS59172207A (ja) | 1984-09-28 |
Family
ID=12735722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58046033A Pending JPS59172207A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 抵抗トリミング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59172207A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61222101A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-10-02 | 富士通株式会社 | 調整の容易な印刷抵抗の形成方法 |
JPS62160501U (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-13 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4954860A (ja) * | 1972-09-27 | 1974-05-28 |
-
1983
- 1983-03-22 JP JP58046033A patent/JPS59172207A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4954860A (ja) * | 1972-09-27 | 1974-05-28 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61222101A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-10-02 | 富士通株式会社 | 調整の容易な印刷抵抗の形成方法 |
JPS62160501U (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-13 |
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