JPS59172207A - 抵抗トリミング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の技術分野 本発明は混成集積回路等の抵抗を所定の抵抗値とするた
めのトリミング方法に関するものである。

（２）従来技術と問題点 混成集積回路にセラミック等の基板の上にＴａ等の蒸着
、スパッタ等による薄膜、又はＲｕＯ□。

Ｂｉ２Ｒｕ２Ｏ□等の印刷法による厚膜で抵抗体を形成
し、さらにトランジスタ等のディスクリート部品を搭載
して構成されている。この場合、抵抗はその製造時に規
定の抵抗値に正しく一致するように形成することは困難
であるので１通常は第１図に示す如く、その抵抗１を所
定の抵抗値よりやや低く形成しておき、電極２，３間の
抵抗値を測定しながら、電流の流れ４を遮断する方向に
レーザ又は機械的な方法で切れ目５を入れてトリミング
全行なっている。

ところがこのようなトリミング方法は、電流の流れを遮
断する方向でトリミングするため素子感度が高くなり、
トリミング精度が上らないという欠点があった。

（３）発明の目的 本発明は上記従来の欠点に鑑み、高精度を得ることがで
きる抵抗値トリミング方法を提供することを目的とする
ものである。

（４）発明の構成 そしてこの目的は本発明によれば、混成集積回路等の抵
抗トリミング方法であって、トリミングを必要とする抵
抗を、主抵抗と該主抵抗よジ抵接値の高い副抵抗とに分
けて並列に接続して形成し、先ず主抵抗にて粗調整を行
ない１次いで副抵抗にて微調整を行なうことを特徴とす
る抵抗値トリミング方法を提供することによって達成さ
れる。

（５）発明の実施例 以下本発明実施例を図面によって詳述する。

第２図は本発明の抵抗値トリミング方法を説明するため
の図である。同図において、１０はトリミングすべき抵
抗、１１は主抵抗、１２は副抵抗、１３．１４は電極を
それぞれ示す。

第２図に示す如く本実施例はトリミングすべき抵抗１０
を主抵抗１１と副抵抗１２とに分け、主抵抗１１は所定
の抵抗値とほぼ同じ抵抗値となるように形成し、副抵抗
１２は主抵抗１１より高抵抗（好ましくは１０倍以上）
となるように形成し。

軍、極１３と１４間に並列に接続しておき、トリミング
を行なうときは、電極１３と１４間の抵抗を測定しなが
ら先ず主抵抗１１をトリミングし、所定の抵抗値よシ僅
かに低いところ（所定値の−２〜−１チ）まで粗調整し
１次に副抵抗１２’ｋｌｌミングし所定値の−０，２〜
０．１％程度まで微調整を行なうのである。

このようにトリミングを行なう本実施例は２例えば主抵
抗を５０００．副抵抗を５にΩとした場合、この合成抵
抗は４５４．５０となり、仮に主抵抗を１０俤上げた時
の合成抵抗が４９５．５０になるのに対し、副抵抗を１
０％上げても４５８．３０と僅かの変化であるため副抵
抗のトリミングが多少ちがっても総合的には充分な高精
度を得ることができる。

（６）発明の効果 以上、詳細に説明したように１本発明の抵抗値トリミン
グ方法は、トリミングすべき抵抗を主・副抵抗に分けて
並列に接続し、各々をトリミングすることにより高精度
を得ることを可能とした効果大なるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の抵抗値トリミング方法を説明するための
図、第２図は本発明による抵抗値トリミング方法を説明
するための図である。 図面において、１０はトリミングすべき抵抗。 １１は主抵抗、１２は副抵抗、１３．１４は電極をそれ
ぞれ示す。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士　青　木　　　　朗 弁理士　西　舘　和　之 弁理士　　内　　１）　幸　　男 弁理士　山　　口　　昭　之

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １　混成集積回路等の抵抗トリミング方法であって、ト
   リミングを必要とする抵抗を、主抵抗と該主抵抗よシ抵
   抗値の高い副抵抗とに分けて並列に接伏して形成し、先
   ず主抵抗にて粗調整を行ない１次いで副抵抗にて微調整
   を行なうことを特徴とする抵抗値トリミング方法。