JPS59161808A - 電解コンデンサの製造方法 - Google Patents
電解コンデンサの製造方法Info
- Publication number
- JPS59161808A JPS59161808A JP58036302A JP3630283A JPS59161808A JP S59161808 A JPS59161808 A JP S59161808A JP 58036302 A JP58036302 A JP 58036302A JP 3630283 A JP3630283 A JP 3630283A JP S59161808 A JPS59161808 A JP S59161808A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- layer
- unit element
- forming
- anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は特性が均一で精密な′１嗜コンデンサの製造方
法に関するＯ ａ 米）ｉ 附コンデンサはアルミニウム、タンタル、
ニオブ、チタンなどの陥也瞭化皮涙生我性釜＃ｉ箔を電
気的または化学的にエツチングし衣世相を敞ｌＯ倍に拡
大したのちｗｉｋ＆化によりｉ一体数化皮膜を生成し、
こｎを電極として巻回または積層してＸａコンデンサを
構成していた。しかし上記の構成によるコンデンサはエ
ツチングでの衣面槓拡大牢にバラツキかめるため靜亀谷
りのバラか ７１１２０％桂皮と大きい欠点がめる。
法に関するＯ ａ 米）ｉ 附コンデンサはアルミニウム、タンタル、
ニオブ、チタンなどの陥也瞭化皮涙生我性釜＃ｉ箔を電
気的または化学的にエツチングし衣世相を敞ｌＯ倍に拡
大したのちｗｉｋ＆化によりｉ一体数化皮膜を生成し、
こｎを電極として巻回または積層してＸａコンデンサを
構成していた。しかし上記の構成によるコンデンサはエ
ツチングでの衣面槓拡大牢にバラツキかめるため靜亀谷
りのバラか ７１１２０％桂皮と大きい欠点がめる。
不発明は上記の欠点を除去し爵逝谷敏、損失。
謂れ電流などのバラツキがなく均一で精密な特性を有す
る電解コンデンサの製遠方法を提供せんとするものであ
る。
る電解コンデンサの製遠方法を提供せんとするものであ
る。
以下本発明の詳細について説明する。すなわちアルミニ
ウム、タンタル、ニオブ、チタンなどの陽極巖化皮膜生
成性金属箔の表面にポリビニルアルコール−祖り四人酸
塩系。ポリビニルアルコ−＃−桂皮ｍｌエステル糸など
のホトレジストをスピンナーやホアラーによシ均一に塗
布し乾燥する。
ウム、タンタル、ニオブ、チタンなどの陽極巖化皮膜生
成性金属箔の表面にポリビニルアルコール−祖り四人酸
塩系。ポリビニルアルコ−＃−桂皮ｍｌエステル糸など
のホトレジストをスピンナーやホアラーによシ均一に塗
布し乾燥する。
つきに所要のコンデンサ谷型を侍るに 必（な１（ター
ンをもった、汐匂えば１辺が畝μｍの正方形の小の明１
冑を相互に畝μｍ聞噛で碁盤目状に配りしたホトマスク
をｏｕ 記レジスト膜上に蜜宥醤せ鍋圧水銀月やキセノ
ンランプなどによ、！７紫外蛛光を照射する０塊塚はレ
ジストの標石によって水また釦まトリクロルエチレンな
との有機浴剤のスフレ−や蒸気でレジストの未感光部分
を俗解して行い、髪丁ｎは炭酸して安が化する。かくし
てレジストか除去？ａｔｌ開口した部分のＦ地釡＾丁ｌ
わち一部のエツチングはｍ＝エツチング、化学エツチン
グなたは電子ビームスパンタリングなとの方法でｊ針足
の閑さ′まで進行させる。ここで表１ＩｊｉｉＬ拡大率
すなワチエツナング倍率はエツチング孔の深塾および孔
の分布密度に依存する。また孔の１辺の険さや孔１１４
Ｊ隔は陽極鹸化電圧の値で適宜調節できるＯつきに金属
箔上に残留しているレジスト膜を有機浴剤や剥馳液に没
績したりあるいは吹き付けて＠離する。さらに金属箔は
超音波などを併用して水洗を行いエツチング孔中の浴叫
物を完全に除去する。
ンをもった、汐匂えば１辺が畝μｍの正方形の小の明１
冑を相互に畝μｍ聞噛で碁盤目状に配りしたホトマスク
をｏｕ 記レジスト膜上に蜜宥醤せ鍋圧水銀月やキセノ
ンランプなどによ、！７紫外蛛光を照射する０塊塚はレ
ジストの標石によって水また釦まトリクロルエチレンな
との有機浴剤のスフレ−や蒸気でレジストの未感光部分
を俗解して行い、髪丁ｎは炭酸して安が化する。かくし
てレジストか除去？ａｔｌ開口した部分のＦ地釡＾丁ｌ
わち一部のエツチングはｍ＝エツチング、化学エツチン
グなたは電子ビームスパンタリングなとの方法でｊ針足
の閑さ′まで進行させる。ここで表１ＩｊｉｉＬ拡大率
すなワチエツナング倍率はエツチング孔の深塾および孔
の分布密度に依存する。また孔の１辺の険さや孔１１４
Ｊ隔は陽極鹸化電圧の値で適宜調節できるＯつきに金属
箔上に残留しているレジスト膜を有機浴剤や剥馳液に没
績したりあるいは吹き付けて＠離する。さらに金属箔は
超音波などを併用して水洗を行いエツチング孔中の浴叫
物を完全に除去する。
ついで＠融塩や七憔融塩の水石散中で所要のｔ比重で賜
憧戯化を行いめ電俸賑化皮膜を生成し陽極 ′とす
る。上記のような方法で件た第１図２よひ第２図に示す
ようなエツチング４しく１）を有する賜悔（２）を一定
の大＠さに裁助しその一方の端部に５Ｎ８３凶に示すよ
うに耐勲証のワニス（３）をｍ布しエツチング孔（１）
の会する部分を姶餓マンガンまたは瓢畿マンガンなどの
水浴液に友汝し含＆さぞ２００〜３５０ ’０の１７Ｉ
Ｔｉ度で次成し二版化マンガンなどの牛尋俸層をノし成
する。ヤしてこの騙惨絃化−含反−玩成を数回くシ返し
ｇＩＩ記エツチング孔（１）内１で完全に半一体層をル
我する。つぎに該牛導坏層の表面にカーボングラフアイ
） １％および銀または餉ペーストなどのｉｔ層を形成
してユニットエレメントを構成する。該ユニットエレメ
ントを第４図に示すように所要の静屯谷１に応じて抜叡
枚板附し、導電層を形成していないワニス（３）塗布側
の電惚には超音波やレーザなどで一体化し外部端子（４
）を接続し陽極体（５）とする。導電層側はハンダなど
で並列に接続し陰極とし、装丁れば外部端子（６）を級
玩する０この稙層坏を容器に収納する刀）ｗ脂モールド
わるいは４１１１ｔｆｆコーテングなどを廁しシート状
の１Ｉｆｐ＃コンデンサを得るものでのる。
憧戯化を行いめ電俸賑化皮膜を生成し陽極 ′とす
る。上記のような方法で件た第１図２よひ第２図に示す
ようなエツチング４しく１）を有する賜悔（２）を一定
の大＠さに裁助しその一方の端部に５Ｎ８３凶に示すよ
うに耐勲証のワニス（３）をｍ布しエツチング孔（１）
の会する部分を姶餓マンガンまたは瓢畿マンガンなどの
水浴液に友汝し含＆さぞ２００〜３５０ ’０の１７Ｉ
Ｔｉ度で次成し二版化マンガンなどの牛尋俸層をノし成
する。ヤしてこの騙惨絃化−含反−玩成を数回くシ返し
ｇＩＩ記エツチング孔（１）内１で完全に半一体層をル
我する。つぎに該牛導坏層の表面にカーボングラフアイ
） １％および銀または餉ペーストなどのｉｔ層を形成
してユニットエレメントを構成する。該ユニットエレメ
ントを第４図に示すように所要の静屯谷１に応じて抜叡
枚板附し、導電層を形成していないワニス（３）塗布側
の電惚には超音波やレーザなどで一体化し外部端子（４
）を接続し陽極体（５）とする。導電層側はハンダなど
で並列に接続し陰極とし、装丁れば外部端子（６）を級
玩する０この稙層坏を容器に収納する刀）ｗ脂モールド
わるいは４１１１ｔｆｆコーテングなどを廁しシート状
の１Ｉｆｐ＃コンデンサを得るものでのる。
上記の方法によってＡしれる本発明の１酔コンデンサは
従来の電８′をコンデンサに使用する陽住月」エツチン
グ泊に比べて衣曲＠拡大率のｔ＜ ５７ キカ傷めて小
さく光成品としての紗亀谷墓のノずラツキは±１％以内
に淑のらｔＬる。またエツチング孔の大きさ、床さ、分
布密度が一足してお９生成する鉤観体版化皮映が均質の
ため損失、ｒＭ′ｒＬ胤ＵＩＬのノくラツキも小δく均
一にできる。さらに積層枚数を増減することによつ１任
意の靜電谷ｉか借られる。
従来の電８′をコンデンサに使用する陽住月」エツチン
グ泊に比べて衣曲＠拡大率のｔ＜ ５７ キカ傷めて小
さく光成品としての紗亀谷墓のノずラツキは±１％以内
に淑のらｔＬる。またエツチング孔の大きさ、床さ、分
布密度が一足してお９生成する鉤観体版化皮映が均質の
ため損失、ｒＭ′ｒＬ胤ＵＩＬのノくラツキも小δく均
一にできる。さらに積層枚数を増減することによつ１任
意の靜電谷ｉか借られる。
１ｆｔｍ脂モールドなどによって薄形扁平状に仕上ける
ことができ、集積［ｇｌ鵜などに組込む超精密の″Ｉｊ
Ｌ購コンデンサやチップｉ’ａ解コンデンサに応用でき
る。
ことができ、集積［ｇｌ鵜などに組込む超精密の″Ｉｊ
Ｌ購コンデンサやチップｉ’ａ解コンデンサに応用でき
る。
以上詳述したように本発明によれば陽極鹸化皮膜生成性
金属箔の表面にホトレジストを顔布してｒ＃Ｊ砿しホト
マスクを密着させ紫外線光を照射したのち未感光部分を
ｒ谷重１しレジストが除去δれ同口した部分の下地金属
をエラチンクーし衣凹槓を拡大し残留レジスト膜を剥雁
してかわあ也俸版化反涙を生成し陽慣とし、該陽極の一
端郡に向９勲注ワニスを倣布し牛等体層、カーボングラ
ファイト層。
金属箔の表面にホトレジストを顔布してｒ＃Ｊ砿しホト
マスクを密着させ紫外線光を照射したのち未感光部分を
ｒ谷重１しレジストが除去δれ同口した部分の下地金属
をエラチンクーし衣凹槓を拡大し残留レジスト膜を剥雁
してかわあ也俸版化反涙を生成し陽慣とし、該陽極の一
端郡に向９勲注ワニスを倣布し牛等体層、カーボングラ
ファイト層。
導電層を順次形成してユニットエレメントとし該ユニッ
トエレメントを一献枚積層し８’Ｕ記ワニス滅布側を超
音波またはレーザなどで一体化しｌ＃ｊ、恨捧とし削記
尊電層伽は）１ンダｌどで並列に鈑杭し瞭極としたこと
によって静電谷ｉのノくラツキを小さくし、しかも損失
、踊才り電流のバラツキ％ ７１％毛く均一にできる精
Ｗな溶ル扁平状の電ｍコンデンサの製迫方沃を提供する
ことができる。
トエレメントを一献枚積層し８’Ｕ記ワニス滅布側を超
音波またはレーザなどで一体化しｌ＃ｊ、恨捧とし削記
尊電層伽は）１ンダｌどで並列に鈑杭し瞭極としたこと
によって静電谷ｉのノくラツキを小さくし、しかも損失
、踊才り電流のバラツキ％ ７１％毛く均一にできる精
Ｗな溶ル扁平状の電ｍコンデンサの製迫方沃を提供する
ことができる。
図面はいずれも本発明に係るもので第１図番まエツチン
グ後の金属箔を示す一部切欠平面図、ＭＳ２図はエツチ
ング後の金属箔の断面図、第３図を１裁断しワニスを塗
布した陽極を示す平面図、第４図はユニットエレメント
を積層した児成品の゛亀酔コンデンサを示す断面図でめ
るＯ （ＩＪ−−−−−−−−エツチング孔 ＜２）−−−−
−−−一賜毬（３）−−−−−−−−−ワニス
（４）、 （６）−−−−−−−一外部端子（５ノーー
−−−一一一勧１−誉往１−宇一待 針 出 願
人 艮井゛電子工条励同組仕
グ後の金属箔を示す一部切欠平面図、ＭＳ２図はエツチ
ング後の金属箔の断面図、第３図を１裁断しワニスを塗
布した陽極を示す平面図、第４図はユニットエレメント
を積層した児成品の゛亀酔コンデンサを示す断面図でめ
るＯ （ＩＪ−−−−−−−−エツチング孔 ＜２）−−−−
−−−一賜毬（３）−−−−−−−−−ワニス
（４）、 （６）−−−−−−−一外部端子（５ノーー
−−−一一一勧１−誉往１−宇一待 針 出 願
人 艮井゛電子工条励同組仕
Claims (1)
- 賜極戯化皮膜生ト１４狂金属胎の表面にホトレジストを
頒布して乾燥する手段と、ホトマスクを′＠層δぜ紮外
巌光を照射する手段と、未恣光笥）分を冶１！ｒ＋’
Ｌレジストか除去芒お開口した部分のト地金＾をエンチ
ングし衣面槓を拡大する手板と、残留レジスト課を＠駈
する手板と、あ奄体敞化反暎を生＋ｙ、 ７ｐ’ ４１
Ｌ陽極をル我する手段と、該−極の一端部に的Ｔｈ［
フェノを重布し半導体層°、カーボングラファイトＨａ
ｊ導１／ｌｉ １ｍを順次形成しユニットエレメント
を形成する手段と、葭ユニットエレメントを験鈑枚柘層
し削記ワニス鼠布側を超音波盪たはレーザで一体化して
賜檎体とし前記専寛ｊ胃側をハンダで並列接続し隘檎と
する手段とを具備したことを特徴とする電解コンデンサ
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58036302A JPS59161808A (ja) | 1983-03-04 | 1983-03-04 | 電解コンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58036302A JPS59161808A (ja) | 1983-03-04 | 1983-03-04 | 電解コンデンサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59161808A true JPS59161808A (ja) | 1984-09-12 |
| JPH0122976B2 JPH0122976B2 (ja) | 1989-04-28 |
Family
ID=12466020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58036302A Granted JPS59161808A (ja) | 1983-03-04 | 1983-03-04 | 電解コンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59161808A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6362888A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-19 | Showa Alum Corp | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材 |
| JPS63157882A (ja) * | 1986-09-03 | 1988-06-30 | Showa Alum Corp | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材の製造方法 |
| JPS63239917A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-05 | 日通工株式会社 | 積層型固体電解コンデンサ及びその製造方法 |
| JP2005340794A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-12-08 | Showa Denko Kk | コンデンサ用電極箔の製造方法、コンデンサ用電極箔、積層型電解コンデンサ及び巻回型電解コンデンサ |
| WO2006013812A1 (ja) * | 2004-08-05 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法およびエッチング用アルミニウム箔 |
| WO2010131289A1 (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-18 | 日本軽金属株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム電極板の製造方法 |
| WO2022009799A1 (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-13 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 固体電解コンデンサ素子、ならびに固体電解コンデンサおよびその製造方法 |
-
1983
- 1983-03-04 JP JP58036302A patent/JPS59161808A/ja active Granted
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6362888A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-19 | Showa Alum Corp | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材 |
| JPS63157882A (ja) * | 1986-09-03 | 1988-06-30 | Showa Alum Corp | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材の製造方法 |
| JPS63239917A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-05 | 日通工株式会社 | 積層型固体電解コンデンサ及びその製造方法 |
| JP2005340794A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-12-08 | Showa Denko Kk | コンデンサ用電極箔の製造方法、コンデンサ用電極箔、積層型電解コンデンサ及び巻回型電解コンデンサ |
| WO2006013812A1 (ja) * | 2004-08-05 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法およびエッチング用アルミニウム箔 |
| JPWO2006013812A1 (ja) * | 2004-08-05 | 2008-05-01 | 松下電器産業株式会社 | コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法およびエッチング用アルミニウム箔 |
| US7767107B2 (en) | 2004-08-05 | 2010-08-03 | Panasonic Corporation | Process for producing aluminum electrode foil for capacitor and aluminum foil for etching |
| WO2010131289A1 (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-18 | 日本軽金属株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム電極板の製造方法 |
| CN102422370A (zh) * | 2009-05-12 | 2012-04-18 | 日本轻金属株式会社 | 电解电容器用铝电极板的制造方法 |
| JP5333582B2 (ja) * | 2009-05-12 | 2013-11-06 | 日本軽金属株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム電極板の製造方法 |
| WO2022009799A1 (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-13 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 固体電解コンデンサ素子、ならびに固体電解コンデンサおよびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0122976B2 (ja) | 1989-04-28 |
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