DE3035901A1 - Verfahren zum herstellen eines fliegenden anschlussleiters - Google Patents
Verfahren zum herstellen eines fliegenden anschlussleitersInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines fliegenden Anschlußleiters, insbesondere für eine Videoplatten-Nadel
bzwo einen Videoplatten-Aufnahme- oder Wiedergabekopf.
In der US-PS 38 42 194 wird eine Videoplatte beschrieben,
die mit Hilfe eines durch veränderliche Kapazitäten gesteuerten Systems abzuspielen ist. Die aufgenommenen BiId-
und Ton-Informationen werden gemäß einem Ausführungsbeispiel in Form eines Reliefmusters innerhalb einer feinen
Spiralnut an der Oberfläche der Aufnahmeρlatte codiert bzw. registriert. Beispielsweise sind Nutenbreiten von
etwa 3,5 Mikrometern und Nutentiefen von etwa 0,1 Mikrometern geeignet. Zum Wiedergeben der Informationen wird
eine Nadel benutzt, die etwa 2,0 Mikrometer breit ist und auf der sich eine dünne leitende Elektrode von zum
Beispiel etwa 0,2 Mikrometern Dicke befindet. Beim Abspielen greift die Nadel in die Nut ein, und die Platte
wird durch Rotation eines Plattentellers in Drehung versetzt. Die gespeicherte Information wird dabei durch Abfühlen
von Kapazitätsänderungen zwischen Nadel-Elektrode und Nuten-Oberfläche zurückgewonnen.
Wegen der in dem vorgenannten System erforderlichen relativ
feinen Nut und der entsprechenden Anforderungen an die Nadel wird eine Nadelspitze von extrem kleiner Dimension
benötigt. Eine Nadel mit kielförmiger bzw. kielartig
an einen Sockel angeformter Spitze wird in der US-PS 41 62 510 beschrieben.
Die Nadel ist Bestandteil des Signal-Pickups eines Videoplattenspielers
ο Das Pickupsystem kann in einem Schutzgehäuse
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untergebracht sein. Ein solches als Aufnahmekopf ausgebildetes
Schutzgehäuse wird in der US-PS 39 52 147 ■beschrieben. Durch den Aufnahmekopf wird das Auswechseln
des Signal-Pickups so erleichtert, daß kritische Justierungen oder Anschlüsse nicht mehr manuell hergestellt werden
müssen.
In der US-PS 40 77 050 wird eine Blattfeder (fliegender
Leiter) beschrieben, die dazu dient, die Nadel in die Wut zu drücken und in dieser zu halten« Das eine Ende der
Blattfeder wird aa der Nadel und das andere innerhalb des oberhalb der Nadel befindlichen Teils des Aufnahmekopfes
befestigt. Durch die Blattfeder wird die Nadel in die zugehörige Spur gedrückt,, das freie Ende der Nadel ordnungsgemäß
relativ zum Support bzwo Schlitten gehalten und der
elektrische Kontakt zwischen der Elektrode der Nadel sowie der Schaltungsanordnung innerhalb des Plattenspielers hergestellt.
Die als Blattfeder ausgebildeten fliegenden Leiter sind dünn, zum Beispiel etwa 5,08 bis 20,32 Mikrometer dick,
etwa 0,09 bis 0,03 cm breit und etwa 2,5 cm lang. In der Regel werden die fliegenden Leiter aus elektrisch leitendem
Material hergestellt.
Kleine Gegenstände können mit Hilfe normaler fotolithografischer
Verfahren unter Verwendung eines Fotolacks sowie durch Entwickeln und Ätzen hergestellt werdenβ In dem Fotolack
wird durch Belichten durch eine passende Maske hindurch ein Muster erzeugt„ Unerwünschter Fotolack wird durch
selektives Weglösen in einem Lösungsmittel abgetragen. Das entstehende Muster wird dann durch Ätzen auf das darunter
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liegende Substrat-Material übertragen. Der Fotolack muß gegenüber dem Ätzmittel resistent sein»
Es gibt zwei prinzipiell unterschiedliche Fotolack-Typen,
nämlich positiv und negativ arbeitenden Lack. Bei Verwendung eines positiv arbeitenden Fotolacks werden durch die Belichtung
die belichteten Bereiche für den als Entwickler bezeichneten Lösungsmittel leichter löslich gemacht als
die nicht belichteten Bereiche. Beim Entwickeln wird daher der Fotolack von den belichteten Bereichen abgetragen, so
daß dort das bloße bzwo blanke Substrat zutage tritt. Bei
Belichtung eines negativen Fotolacks werden die belichteten Bereiche im Entwickler weniger löslich, so daß das Substrat
an den Stellen freigelegt wird, an denen der Fotolack von den unbelichteten Bereichen durch den Entwickler abgetragen
worden ist«
Anschließend werden die freigelegten bzw. nicht abgedeckten Teile des Substrats mit einem Ätzmittel behandelt, das vorzugsweise
das Substrat und möglichst wenig den verbliebenen Fotolack angreift. Auf diese Weise wird das vorgesehene Muster
auf das Substrat übertragen. Am Schluß wird der verbleibende Fotolack mit einem entsprechenden Ätzmittel ebenfalls entfernt.
Zum Herstellen fliegender Anschlußleiter können dünne Bleche bzw. Battchen einer Beryllium-Kupfer-Legierung verwendet
werden. Diese Bleche sind zerbrechlich und nur schwierig zu handhaben, da sie leicht verbogen oder geknickt werden,, Weiterhin
haben sich normale fotolithografische Verfahren in der Anwendung als nicht effektiv erwiesen., Beispielsweise
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treten deutliche Unterschneidungen schon bei mäßigen Bad-Temperaturen
(540C) auf. Eine Unterschneidung ist ein Angriff
einer Ätz- oder Entwickler-Lösung unterhalb der Fotolack-Schicht auf die Substrat-Kanten bzw0 -wände oder
auf die unterhalb der unlöslichen Oberfläche der Fotolack-Schicht liegenden Fotolack-Kanten, Das Unterschneiden hat
zur Folge, daß die Kanten des hergestellten Musters geneigt und nicht wie gewünscht senkrecht (zur Fläche) entstehen
bzw. verlaufene
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Herstellen fliegender Anschlußleiter zu schaffen, bei dem
weder das Handhaben der Ausgangsmaterialien Schwierigkeiten macht noch uoa. Unterschneidungsschwierigkeiten auftreten,,
Die erfindungsgemäße Lösung besteht für das Verfahren zum Herstellen eines fliegenden Anschlußleiters darin, daß beide
Seitenflächen eines dünnen Metallblechs bzw» -plattchens mit
trockenem Fotolack-Film beschichtet werden, daß das Muster einer Maske nach Belichten der einen Seitenfläche durch die
Maske hindurch auf den auf dieser Seitenfläche liegenden Fotolack-Film übertragen wird, daß die gemusterte Seitenfläche
zum selektiven Abtragen des Fotolacks und entsprechenden Freilegen der darunter liegenden Mstallfläche mit Hilfe
eines lösenden Entwicklers behandelt wird, daß die freigelegte Metallfläche geätzt wird und daß der restliche Foislack
von beiden Seiten des geätzten Metallblechs abgetragen wird.
Durch die erfindungsgemäße mechanische Verstärkung des
Metallplättchen bzw. -blechs mit Hilfe der beiderseitig aufkascnierten Fotolack-Schicht wird zunächst eine mechanische
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Stabilität erreicht, die das Handhaben bis zum endgültigen Abstreifen des Fotolacks erleichtert. Wegen dieser mechanischen
Stabilisierung mit Hilfe der Fotolack-Schichten wird es ferner möglich, außerordentlich dünne Metallbleche
bzw. -plättchen zu verwenden, so daß das Ätzen des Metalls bei relativ niedrigen Temperaturen erfolgen kann, bei denen
das Unterschneiden bzw. Unterätzen nicht auftritt und demgemäß gewünscht steile Ätzkanten entstehen.
Anhand der schematischen Darstellung von Ausführungsbeispielen werden Einzelheiten der Erfindung erläutert. Es
zeigen:
Fig. 1 einen Querschnitt durch einen trockenen Fotolack-Film;
Fig. 2 einen Querschnitt durch ein beiderseits mit einem trockenen Fotolack-Film laminiertes Metallplättchen;
FIg0 g einen Querschnitt durch ein laminiertes Metallplättchen
nach dem Belichten durch eine Maske hindurch;
Fig. 4 einen Querschnitt durch ein laminiertes Metallplättchen
nach dem vollständigen Belichten seiner zweiten Seite;
Fig. 5 ein laminiertes Metallplättchen nach dem Abtragen
der Schutzschicht von der durch eine Maske hindurch belichteten Seitenfläche;
Fig. 6 ein laminiertes Metallplättchen nach dem Entwickeln;
1 3 U U 1 © / U
Fig. 7 ein laminiertes Metallplättchen nach dem Ätzen;
Fig. 8 ein Metallplättchen nach dem Abtragen der zweiten Schutzschicht; und
Fig. 9 ein als fliegender Anschlußleiter geeignetes, fertig bearbeitetes Metallplättchen.
Ein erfindungsgemäß zu verwendender, trockener Fotolackfilm 10 wird in Fig. 1 schematisch im Querschnitt dargestellt.
Der trockene Fotolackfilm 10 besteht aus einer zwischen einer Polyesterschicht 14 und einer Polyolefinschicht 15 sandwichartig
liegenden, eigentlichen Fotoresistschicht bzw. Fotolackschicht 12. Als Polyester ist beispielsweise Polyäthylenterephtalat
geeignet. Die Polyolefinschicht 15 kann aus Polyäthylen bestehen. Ein geeigneter trockener Fotolackfilm
10 ist beispielsweise das Produkt Riston 210 R der Firma E.I. DuPont de Nemours & Co., bei dem es sich um
eine wässrig zu verarbeitende Akryl-Fotopolymer-Fotolackschicht
12 handelt, welche zwischen einer Polyesterschicht und einer Polyolefinschicht 15 sandwichartig liegt. Brauchbare Zusammensetzungen und Schichten für trockene Fotolackfilme
10 werden in der US-PS 34 69 982 und in der GB-PS 12 75 471 beschrieben,, Weitere Informationen sind zu finden
bei DeForest, Photoresist, Kapitel 6, McGraw-Hill Book Company, New York, 1975.
Die fliegenden Anschlußleiter werden aus einem dünnen leitenden
Metallblech hergestellt. Als besonders brauchbar haben sich Legierungen aus Kupfer und Beryllium erwiesen.
tlÖÖIi/
Ein dünnes Metallblatt 16 einer Dicke von etwa 5,2 bis
20,3 Mikrometer wird auf beiden Flächen mit Trocken-Filmschichten 10a und 10b beschichtet, so daß ein beschichtetes
bzWo laminiertes Metallblech 20 gemäß Fig. 2 entsteht
ο Vor dem Kontaktieren der Fotolackschicht 12 mit dem Metallblatt 16 wird die Polyolefinschicht 15 von dem Film
gemäß Figo 1 abgenommene Zum Aufbringen der Filmschichten
kann ein kontinuierlich arbeitendes und kontinuierlich beschicktes Laminiergerät zum gleichzeitigen Beschichten
beider Flächen des Metallblechs 16 verwendet werden.
Im allgemeinen werden die Oberflächen von Metallteilen vor dem Beschichten mit Fotolack entfettet. Dünne Metallteile
jedoch, die vor dem Beschichten mit Fotolack zu Werkstücken zugeschnitten werden, rollen sich und knittern
während des Entfettens. Als überraschendes weiteres Ergebnis der Erfindung hat sich herausgestellt, daß die Metallbleche
ohne vorheriges Entfetten mit dem Fotolack beschichtet werden können; Fehler als Folge schlechten Haftens
des Fotolacks auf der Metallfläche treten dabei nicht auf.
Das beschichtete Blech 20 kann dann in Werkstücke von zum Beispiel 10,2 cm Breite und etwa 20,3 bis 21,6 cm Länge
zerteilt werdeno Überschuß an Fotolack wird zu den- Rändern
des Metallblatts 16 gedrückt„ Gemäß Fig. 2 besteht das
beschichtete Blechstück 20 demgemäß aus dem auf den beiden Seiten mit Fotolackschichten 12a bzw. 12b beschichteten
Metallblatt 16. Die Fotolackschichten 12a und 12b sind
dabei mit Polyester-Schutzschichten 14a bzw- 14b bedeckt.
Durch die Beschichtung erhöht sich die "Arbeitsdicke" des Blechstücks 20 auf etwa 101,6 Mikrometer, wobei jede der
Fotolackschichten 12a und 12b sowie Schutzschichten I4a
_ 10 -
und I4b etwa 25,4 Mikrometer dick sind. Durch die Gesamtdicke
aller dieser Schichten wird die mechanische Stabilität des beschichteten Blechstücks 20 so erhöht, daß eine
handwerksmäßige Handhabe bis zum endgültigen Abstreifen der Fotolackfilme möglich ist.
Das beschichtete Blechstück 20 wird während etwa 15 bis 30 Minuten bei Zimmertemperatur ausgehärtet. Dann wird
eine erste Seite 10a durch eine Maske hindurch einer chemisch wirksamen Strahlung ausgesetzt, gegenüber der die
Fotolackschicht 12a empfindlich ist, so daß das Anschlußleiter-Muster von der Maske auf die Fotolackschicht 12a
übertragen wird. Zum Übertragen des Musters eignet sich beispielsweise das Kontaktdrucken. Das so belichtet-beschichtete
Blechstück 30 wird in Fig. 3 dargestellt. Bei negativ arbeitendem Fotolack wird der belichtete Bereich
der Fotolackschicht 12a quervernetzt. Der belichtete Bereich 18 entspricht dem Teil der Maske,durch den die aktinisch
wirksame Strahlung gefallen war. In Fig. 2 wird zwar nur ein einziger belichteter Bereich 18 dargestellt, es können
jedoch in der Praxis mehrere solcher Bereiche vorhanden sein.
Nach dem Belichten wird das Blechstück 30 während wenigstens etwa 15 Minuten ausgehärtet.-Auf Wunsch kann die andere
Fotolackschicht 12b ohne eine Maske ganzflächig belichtet werden. Das entstehende doppelt belichtet-beschichtete
Blechstück 40 wird in Fig. 4 dargestellt. In diesem Fall wird die gesamte belichtete Fotolackschicht 24 quervernetzt.
Durch dieses an sich nicht erforderliche Vollbelichten wird die mechanische Stabilität erhöht und demgemäß die Handhabe
des Werkstücks noch weiter vereinfacht,,
■9 '1S ft ή A ifr ·/ Ji £? "S '·§
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Anschließend wird die obere Polyesterschicht 14a des doppelt
belichteten Blechstücks 40 abgetragen, so daß ein Blechstück 50 mit der Struktur gemäß Fig. 5 entsteht,, Die untere
Polyesterschicht I4b wird dabei stehengelassen, um die
belichtete Fotolackschicht 24 oder aber die nicht belichtete Fotolackschicht 12b an der Unterseite des jeweiligen Blechs
gegen Nadellochbildung zu schützen und gleichzeitig als anhaftende, das Werkstück mechanisch verstärkende und
schützende Stützschicht bei den restlichen Verfahrensschichten zu dienen.
Durch Entwickeln werden die unbelichteten Teile der Fotolackschicht
12a vom Blechstück 50 abgetragen. Beispielsweise kann der Entwickler dabei eine wässrige, schwachbasische
Lösung, etwa das Produkt der Firma DuPont "Riston II Developer 2000", enthalten. Nach dem Entwickeln wird die
jeweilige Probe mit Wasser gespült und getrocknet. Das so entstehende Blechstück 60 wird in Fig. 6 dargestellt.
Dort, wo der nicht belichtete Fotolack abgetragen ist, tritt die bloße Metalloberfläche 28 zutage; die belichtete
Fotolackschicht 18 bleibt jedoch stehen.
Die freigelegte Metalloberfläche 28 kann dann geätzt werden„
Dazu eignen sich zum Beispiel eine wässrige Ferrichloridlösung als Ätzmittel. Für ein wenigstens etwa 12,7 Mikrometer
dickes Metallblech 16 kann beispielsweise ein kontinuierlich zu beschickender Ätzer, zum Beispiel das Gerät
"Chemcut Modell 315" , verwendet werden. Im allgemeinen beträgt die Behandlungstemperatur des Ätzbades etwa 54,40C.
Diese erhöhte Temperatur kann jedoch wegen der geringen Schichtdicke des Metallblatts 16 nicht verwendet werden.
Selbst bei höchsten Fördergeschwindigkeiten des kontinuierlich
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beschickten Ätzgerätes von zum Beispiel etwa 0,76 m/min
ergeben sich in einem erhitzten Ätz-Bad extrem starke Unterätzungen bzw. Unterschneidungen. Bei der Geschwindigkeit
von 0,76 m/min ist das Metallblatt 16 in einem Ätzgerät
vorgenannter Art etwa 1 Minute lang mit dem Ätzmittel in Berührung. Bei einem etwa 12,7 Mikrometer dicken
Metallblatt 16 aus einer Beryllium-Kupfer-Legierung ergibt
eine Ätzung in einem Bad mit Zimmer-Temperatur bei einer Fördergeschwindigkeit von etwa 0,76 m/min steile Kanten
der Metallplättchen. Ein Unterschneiden bzw« Unterätzen
wird unter diesen Bedingungen nicht beobachtet. Bei Blechdicken von mehr als etwa 12,7 Mikrometern kann die Fördergeschwindigkeit
herabgesetzt werden. Bei Schichtdicken von weniger als etwa 12,7 Mikrometern wird ein Tray-Verfahren
bevorzugt, bei dem das entwickelte Blechstück 60 in einen Trog eingebracht wird, der eine 6O°C warme, wässrige
Ferrichloridlösung enthält. Das Blechstück bleibt dabei solange in dem Trog bis das Metallblatt 16 geätzt ist.
Die Steuerung kann aufgrund visueller Kontrolle erfolgen.
Die Dichte der wässrigen Ferrichloridlösung wird zweckmäßig kontrolliert. In einem Gerät zum kontinuierlichen Ätzen
soll die Dichte der Ferrichloridlösung etwa 32 bis 42° der Baume-Skala, vorzugsweise etwa 36 bis 40° der Baume-Skala,
betragen. Bei niedrigeren Dichten wird die Geschwindigkeit, mit der das Metallblatt 16 geätzt wird, zu niedrig.. Bei
höheren Dichten wird die Ätzgeschwindigkeit zu groß, und
es entstehen ausgezackte Kanten am' geätzten Metall,, Bei dem
Tray-Ätzverfahren soll die Dichte etwa 38 bis 42° der Baume-Skala betragen.
In Fig. 7 wird der geätzte Aufbau 70 dargestellt„ Die Teile
des Metallblatts 16, deren Oberflächen 28 freilagen und nicht
durch die entwickelte Fotolackschicht 18 bedeckt waren, wurden durch das Ätzmittel bis auf die vorher ganz belichtete
Fotolackschicht 24 oder bis auf die unbelichtete Fotolackschicht 12b herunter abgetragen. Nach dem Ätzen
wird die am Boden befindliche Polyester-Schutzschicht I4b
abgetragen, und es entsteht der Aufbau 80 gemäß Figo 8. Die verbleibenden Fotolackschichten 24 (oder 12b) und
können mit Hilfe eines abstreifenden Lösungsmittels, zum Beispiel Methylenchlorid oder Azeton, abgetragen werden.
Dazu wird der Aufbau "80 in ein entsprechendes Ablösebad gesetzt und dort solange belassen, bis die Fotolackschichten
aufgelöst oder abgepellt sind. Das fertige Metallstück bzw. der herzustellende fliegende Anschlußleiter 90 gemäß Fig.
wird in einer Serie von Abstreifbädern solange behandelt, bis der gesamte Fotolack von dem Leiter entfernt ist. Dabei
ist darauf zu achten, daß alle festen Stoffe aus dem Ablösebad kontinuierlich entfernt werden, um ein Wiederanlagern
unerwünschter Partikel auf dem Metallblatt Λ β zn
verhindern. Der fertige fliegende Anschlußleiter 90 aus Metall wird in Fig. 9 dargestellt.
Weitere Einzelheiten der Erfindung werden anhand des nachfolgenden
Beispiels erläutert:
Es wurde ein 12,57 Mikrometer dickes Blechstück aus
Berylco 25, einer Beryllium-Kupfer-Legierung, auf beiden Flächen mit dem von der Firma DuPont unter der Bezeichnung
Riston 210 R vertriebenen trockenen Fotolackfilm mit Hilfe eines von der Firma DuPont unter der Bezeichnung Modell A
vertriebenen Laminators beschichtet0 Berylco 25 ist von
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der Firma Kaweck, Berylco Industries, Inc. erhältlich;
es enthält 1,8 bis 2 % Beryllium, minimal 0,2 % Kobalt plus Nickel, maximal 0,6 % Kobalt plus Nickel plus Eisen
und minimal 99,5 % Kupfer zuzüglich der genannten Elemente. Das beschichtete Blech wurde 30 Minuten bei Zimmertemperatur
ausgehärtet und dann in Werkstücke der Größe 10,2 χ 21,5 cm zerschnitten sowie auf den Rand des Blechs getrimmt0
Eine erste Seite eines mit Fotolack beschichteten Legierungs-Werkstücks
wurde eine Minute lang durch eine Maske hindurch mit dem Muster von fünf aneinander hängenden fliegenden Anschluß^-eitern
gemäß US-PS 4 077 050 unter einer als Xenon-Impulslampe umgebauten "NuArc platemaker Flip Top Model
FT 26 L" kontaktgedruckt,, Das belichtete Werkstück konnte
dann 30 Minuten aushärten. Die zweite Fotolack-Seite wurde dann ohne eine Maske etwa eine Minute lang mit dem Licht
der "NuArc platemaker" Lampe vollständig belichtet und etwa 30 Minuten ausgehärtet. Nach dem Belichten wurde
die Polyester-Schutzschicht von der ersten Seitenfläche entfernt. Der Fotolack der ersten Seite wurde 90 Sekunden
lang mit Hilfe der Substanz Riston II Developer 2000 unter Verwendung des Modells A 24 der Firma DuPont entwickelt,
30 Sekunden lang mit Wasser gespült und dann getrocknet.
Der durch das vorgenannte Entwickeln freigelegte Bereich des Metallblechs wurde bei Zimmertemperatur unter Verwendung
einer wässrigen Ferrichlorid-Lösung mit 38° Baume in einem "Chemcut Modell 315"-Ätzgerät behandelt und dabei
auf einem Förderband mit einer Geschwindigkeit von 0,76 m/min transportiert. Das so geätzte Metallblech wurde mit Wasser
gewaschen und bei Zimmertemperatur getrocknet.
130016/0723
Der verbleibende Fotolack wurde durch aufeinanderfolgendes
Eintauchen des Metallblechs in drei Azeton enthaltende Tröge abgestreift. Das entstandene geformte
Metallblech wies keine sichtbaren Fotolack-Reste auf und wurde in einer ölfreien Umgebung getrocknete Die Kanten
der fliegenden Anschlußleiter waren exakt begrenzt und verliefen gerade sowie senkrecht zu den Hauptflächen;
die Dicke der Anschlußleiter war gleichmäßig0
'i ^ V *J h £.
-/ft·
Leerseife
Claims (8)
1. Verfahren zum Herstellen eines fliegenden Anschlußleiters
insbesondere für eine Videoplatten-Nadel bzw. einen Aufnahmeoder
Wiedergabekopf, dadurch gekennzeichnet,
daß beide Seitenflächen eines dünnen Metallblechs (16) mit trockenem Fotolack-Film (10a, 10b) beschichtet
werden, daß das Muster einer Maske durch Belichten der einen Seitenfläche durch die Maske hindurch auf den auf dieser Seitenfläche
liegenden Fotolack-Fxtoi (12a) übertragen wird, daß die
gemusterte Seitenfläche zum selektiven Abtragen des Fotolacks (18) und entsprechenden Freilegen der darunter liegenden
Metallfläche mit Hilfe eines lösenden Entwicklers behandelt wird, daß die freigelegte Metallfläche geätzt wird, und daß
der restliche Fotolack (12a, 12b) von beiden Seiten des geätzten Metallblechs (16) abgetragen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet
, daß als Ätzmittel eine wässrige Ferrichlorid-Lösung verwendet wird.
130018/072 3.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Ferr!chlorid-Lösung mit
einer Dichte von etwa 32° bis 42° der- Baume-Skala verwendet
wird.
4. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Seitenfläche des beiderseits mit Fotolackfilm
(12a, 12b) beschichteten Metallblechs (16) ganzflächig
belichtet wird.
5. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Negativ-Fotolackfilm benutzt wirdo
6c Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Positiv-Fotolackfilm benutzt wird.
7. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß das Metallblech (16) eine Beryllium-Kupfer-Legierung
enthält o
8. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß ein etwa 5,08 bis 20,32 Mikrometer dickes Metallblech (16)
verwendet wird»
130016/0723
ORIGINAL INSPECTED
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| US06/081,486 US4282311A (en) | 1979-10-03 | 1979-10-03 | Method for fabricating flyleads for video disc styli |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3035901A1 true DE3035901A1 (de) | 1981-04-16 |
Family
ID=22164493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19803035901 Withdrawn DE3035901A1 (de) | 1979-10-03 | 1980-09-24 | Verfahren zum herstellen eines fliegenden anschlussleiters |
Country Status (7)
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|---|---|
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| JP (1) | JPS5658148A (de) |
| CA (1) | CA1146732A (de) |
| DE (1) | DE3035901A1 (de) |
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| GB (1) | GB2059358B (de) |
| IT (1) | IT1132830B (de) |
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-
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- 1980-10-01 JP JP13820080A patent/JPS5658148A/ja active Pending
- 1980-10-01 GB GB8031641A patent/GB2059358B/en not_active Expired
- 1980-10-02 FR FR8021129A patent/FR2466928A1/fr active Pending
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| US4282311A (en) | 1981-08-04 |
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| CA1146732A (en) | 1983-05-24 |
| IT1132830B (it) | 1986-07-09 |
| IT8024634A0 (it) | 1980-09-12 |
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