JPS59158925A - 集中排気装置 - Google Patents
集中排気装置Info
- Publication number
- JPS59158925A JPS59158925A JP3394083A JP3394083A JPS59158925A JP S59158925 A JPS59158925 A JP S59158925A JP 3394083 A JP3394083 A JP 3394083A JP 3394083 A JP3394083 A JP 3394083A JP S59158925 A JPS59158925 A JP S59158925A
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- Japan
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- intake
- exhaust
- opening
- air
- fan
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、複数の個別吸排気ユニットを具備する集中吸
排気装置に係り、特に各個別吸排気ユニットの吸排気風
量を使用状態に対応きせて1個1別に制御するに好適な
機構を有する集中吸排気装置に関する。
排気装置に係り、特に各個別吸排気ユニットの吸排気風
量を使用状態に対応きせて1個1別に制御するに好適な
機構を有する集中吸排気装置に関する。
この種の集中吸排気装置としてid、 さ壕ざまな利
用分野があるが一例として、実験室等に設けられるl−
”ラフトチャンバ、あるいは空調設備やクリーンルーム
用除塵装置等にみられるように、呻数のIA)所個別吸
気又は損気ユニットを、集合タクトを介して1台の吸気
又は損気ファンに連通して15見るものが知られている
。
用分野があるが一例として、実験室等に設けられるl−
”ラフトチャンバ、あるいは空調設備やクリーンルーム
用除塵装置等にみられるように、呻数のIA)所個別吸
気又は損気ユニットを、集合タクトを介して1台の吸気
又は損気ファンに連通して15見るものが知られている
。
例えば、実開昭:) 7−33922号公報に示された
ものによれば、第1図の如く、ドラフトチャンバ(吸引
チャンノ・)lの排気側分岐ダクト2にオンオフ式ダ/
/ミ3を設けるとともに、このダン・ξ3にリミットス
イッチから成るドラフトチャンバ稼動検知器4を設け、
各ドラフトチャン・2の吸気量を一定に制御するために
、制御装置5におい比例させて排気ファン6の回転数を
制御し、これによって合計排気1’を量を一定に割病I
するように1〜でいる。
ものによれば、第1図の如く、ドラフトチャンバ(吸引
チャンノ・)lの排気側分岐ダクト2にオンオフ式ダ/
/ミ3を設けるとともに、このダン・ξ3にリミットス
イッチから成るドラフトチャンバ稼動検知器4を設け、
各ドラフトチャン・2の吸気量を一定に制御するために
、制御装置5におい比例させて排気ファン6の回転数を
制御し、これによって合計排気1’を量を一定に割病I
するように1〜でいる。
しかし、一般に集中吸排気装置にあっては、吸排気ファ
ンから各個別吸排気ユニノ1− (+・ラフトチャンバ
等)に至るダクトの長さが鴇なるとともに、夕゛クトの
断面積及び通過1戦量が夕゛クトの位置によって異なっ
ている。しかも、吸排気ユごノドの稼動停d・が全く任
意に行なわれるので、集合ダクトの各位置における風量
は大幅に変動することになり、ダクトの圧損が局部的に
変動してしまうということになる。したがって、−ヒ述
した従来の集中吸す1気装置によれId、 ドラフト
チャンバの稼動数に応じて合消りl気風皇を一定に制御
しても。
ンから各個別吸排気ユニノ1− (+・ラフトチャンバ
等)に至るダクトの長さが鴇なるとともに、夕゛クトの
断面積及び通過1戦量が夕゛クトの位置によって異なっ
ている。しかも、吸排気ユごノドの稼動停d・が全く任
意に行なわれるので、集合ダクトの各位置における風量
は大幅に変動することになり、ダクトの圧損が局部的に
変動してしまうということになる。したがって、−ヒ述
した従来の集中吸す1気装置によれId、 ドラフト
チャンバの稼動数に応じて合消りl気風皇を一定に制御
しても。
主として集合夕2り1・の圧損バランスが大幅に変化す
ることから、各々のドラフトチャンバの位置即ち排気フ
ァン6からの距離の相違伐はダクト中における曲りなど
局部抵抗の相違によっては、その吸気量が所定量よりも
過多になったり過少になつたりして一定にならないとい
う欠点があった。
ることから、各々のドラフトチャンバの位置即ち排気フ
ァン6からの距離の相違伐はダクト中における曲りなど
局部抵抗の相違によっては、その吸気量が所定量よりも
過多になったり過少になつたりして一定にならないとい
う欠点があった。
また、第1図図示のものによれば、ドラフトチャンバ]
−の吸気量は、ダンノξ3の全開又は全開の2状態によ
る100%又は0%となるので、任意に風量をI制御す
ることができず、必要1臥−Lの吸気がなされることが
あり排気ファンの動力損失が多くなるという欠点があっ
た。
−の吸気量は、ダンノξ3の全開又は全開の2状態によ
る100%又は0%となるので、任意に風量をI制御す
ることができず、必要1臥−Lの吸気がなされることが
あり排気ファンの動力損失が多くなるという欠点があっ
た。
なお、ドラフトチャン・・の吸気量を任意に可変制御1
するようにし/こものとして、第2図に示す側l新面の
如き構成のものが知られ−Cいる。[図示の如く、ドラ
フトチャン・・本体lは箱形のチーヤン・・11を何し
でおり2チヤン・・11のAiT而に開口されてなる吸
気口]2には開閉扉13が設けられている。この開閉扉
]3は図において上下方向にスライドさせて開閉される
ようになっており、その開閉量は開環検知器]4によっ
て検出されるようになっている。チャンバ11の上部に
は排気ダクト]5を介してチャンバ1工と連通された排
気ファン]−6が設けられている。この排気ファ/16
は+ iMfl記開脅検知器コ4によって検知された吸
気口]2の開用に合わせ、吸気[]12における吸気流
速が設定値となるような回転数に制御されるようになっ
ている。これによって開閉群15への開訃に応じた最適
々吸気量に”T変制御しようとするものである。
するようにし/こものとして、第2図に示す側l新面の
如き構成のものが知られ−Cいる。[図示の如く、ドラ
フトチャン・・本体lは箱形のチーヤン・・11を何し
でおり2チヤン・・11のAiT而に開口されてなる吸
気口]2には開閉扉13が設けられている。この開閉扉
]3は図において上下方向にスライドさせて開閉される
ようになっており、その開閉量は開環検知器]4によっ
て検出されるようになっている。チャンバ11の上部に
は排気ダクト]5を介してチャンバ1工と連通された排
気ファン]−6が設けられている。この排気ファ/16
は+ iMfl記開脅検知器コ4によって検知された吸
気口]2の開用に合わせ、吸気[]12における吸気流
速が設定値となるような回転数に制御されるようになっ
ている。これによって開閉群15への開訃に応じた最適
々吸気量に”T変制御しようとするものである。
しかしなから、第2図(ソ]示のものによれば個々のド
ラフトチャツバ1にり1気フアン]6を設けなければ、
各ドラフトチャン・・]−の吸気量を町変制倒すること
ができないという欠へかある。まノと、。
ラフトチャツバ1にり1気フアン]6を設けなければ、
各ドラフトチャン・・]−の吸気量を町変制倒すること
ができないという欠へかある。まノと、。
排気ファン16をドラフトチャンバ1の上部に設置した
構造となっているため、@動がチャン・ζ11に伝わっ
たり1.主音が大きくなってし甘うという欠点がある。
構造となっているため、@動がチャン・ζ11に伝わっ
たり1.主音が大きくなってし甘うという欠点がある。
さらに振動によって損気ファン16や、その回転数を制
御する制御装置等が故障するという虞れがある。
御する制御装置等が故障するという虞れがある。
本発明の目的は、前記従来技術の欠点を解消し。
個別吸排気ユニットの1吏用状態を検知し、各ユニット
の風量を使用状態に合わせて自動的に最適風量に制御す
ることができ、且つ合計吸排気風用を最少化することが
できる集中吸排気装置を提併することにある。
の風量を使用状態に合わせて自動的に最適風量に制御す
ることができ、且つ合計吸排気風用を最少化することが
できる集中吸排気装置を提併することにある。
本発明は、吸排気ファンと、該吸排気ファンに連通され
た集合ダクトと、該集合タクトにそJlぞれ分岐ダン[
・を介して連通された複数の1固別吸排気ユニットとか
ら成る集中吸抽気装置にあって。
た集合ダクトと、該集合タクトにそJlぞれ分岐ダン[
・を介して連通された複数の1固別吸排気ユニットとか
ら成る集中吸抽気装置にあって。
前記分岐ダクトに[戦量制憫jダンパを設けるとともに
、前記個別吸排気ユニットの吸気又は排気面に設けられ
る開閉扉の開腹に相関させて前記ダンパの開度を調整す
るダンパ開度制徂手段と、予め定められる前記吸排気面
における吸排気流速と前記開閉扉の開計に基づいてそれ
ぞれの個別吸排気ユニットの個別’+7ケ排気量と該個
別吸排気量に基ついて合羽吸排気量を演算し、且つAn
記吸制気ファンの吸扶気験をMil記合劃吸側気−量に
一致させるように吸排気ファンの回転数を制御する風耽
制(財)装置とを設けたものとすることにより、各個別
吸排気ユニットの吸排気量と合羽吸排気量とを使用状態
に合わせて制商1し2ようとするものである。
、前記個別吸排気ユニットの吸気又は排気面に設けられ
る開閉扉の開腹に相関させて前記ダンパの開度を調整す
るダンパ開度制徂手段と、予め定められる前記吸排気面
における吸排気流速と前記開閉扉の開計に基づいてそれ
ぞれの個別吸排気ユニットの個別’+7ケ排気量と該個
別吸排気量に基ついて合羽吸排気量を演算し、且つAn
記吸制気ファンの吸扶気験をMil記合劃吸側気−量に
一致させるように吸排気ファンの回転数を制御する風耽
制(財)装置とを設けたものとすることにより、各個別
吸排気ユニットの吸排気量と合羽吸排気量とを使用状態
に合わせて制商1し2ようとするものである。
さらに9本発明は、前記集合ダクトの前記吸排気ユニッ
トからみて吸排気ファン側の位置に静圧、ipl拮タン
ノξを設け2該ダンパの吸制気ユニット側集合ダクト内
の静圧を検出し該静圧を一定値とするようにダン・ξ開
度を制御することにより、各吸排気ユニットの吸気又は
排気[niにおける吸排気流速の均等化を図り、これに
よ゛つて合唱吸排気量を最少化しようとするものである
。
トからみて吸排気ファン側の位置に静圧、ipl拮タン
ノξを設け2該ダンパの吸制気ユニット側集合ダクト内
の静圧を検出し該静圧を一定値とするようにダン・ξ開
度を制御することにより、各吸排気ユニットの吸気又は
排気[niにおける吸排気流速の均等化を図り、これに
よ゛つて合唱吸排気量を最少化しようとするものである
。
以下9本発明を実施例に基づいて説明する。
第:31¥1に本発明の一実施例の系統構成図がジtさ
れている。
れている。
第3図に示されたように、1−ンクトヂャン・・21は
扁1〜扁Nまで複数台(例えば20台)設けられている
。各ドラフトチャンバ2]の吸気口22には開閉扉23
が設けられ−Cおり、排気は分岐タクト24及びこの分
岐ダン1−24に設けられた風量調整ダンパ25を介し
て集合ダクト26に連通されている。集合タン1=2C
この一端には静圧調整用タン・ξシ′、8を介して、排
気ファン29が連通されており+ Ail記吸気口・3
2から空気(図示矢印″:50)を吸引して排気(図示
矢印31)するように々つている。ま/ζ、この損気フ
ァン29にはドラフトチャンバ系以外の吸気ユニット3
2が連通されておシ、ドラフトチャンバ系と合わせて排
気ファン29によって集中吸気されるように々っている
。前記ダン・ξ2,5の開度は前記開閉扉23の開腹に
相関させて調整されるようになっており。
扁1〜扁Nまで複数台(例えば20台)設けられている
。各ドラフトチャンバ2]の吸気口22には開閉扉23
が設けられ−Cおり、排気は分岐タクト24及びこの分
岐ダン1−24に設けられた風量調整ダンパ25を介し
て集合ダクト26に連通されている。集合タン1=2C
この一端には静圧調整用タン・ξシ′、8を介して、排
気ファン29が連通されており+ Ail記吸気口・3
2から空気(図示矢印″:50)を吸引して排気(図示
矢印31)するように々つている。ま/ζ、この損気フ
ァン29にはドラフトチャンバ系以外の吸気ユニット3
2が連通されておシ、ドラフトチャンバ系と合わせて排
気ファン29によって集中吸気されるように々っている
。前記ダン・ξ2,5の開度は前記開閉扉23の開腹に
相関させて調整されるようになっており。
開閉扉23に関連して設けられている間歇検知器27に
よって検知された扉開量に応じて、その開度が制御され
るようになっている。なお、これによらず例えば開閉@
23とダンパ25とを機械的に連動させるようにするこ
とも可能である。前記ダンパ28の上流側集合ダクト2
6には風速センサ33と静圧センサ34が、捷だ吸気ユ
ニット32の分岐ダクト24には風速センサ35がぞれ
ぞれ設けられている。前記扉開策検知器?3と風速セン
サ33,35.静圧センサ34の各出力信号は演算装置
等から形成される風量制御装置36に入力されている。
よって検知された扉開量に応じて、その開度が制御され
るようになっている。なお、これによらず例えば開閉@
23とダンパ25とを機械的に連動させるようにするこ
とも可能である。前記ダンパ28の上流側集合ダクト2
6には風速センサ33と静圧センサ34が、捷だ吸気ユ
ニット32の分岐ダクト24には風速センサ35がぞれ
ぞれ設けられている。前記扉開策検知器?3と風速セン
サ33,35.静圧センサ34の各出力信号は演算装置
等から形成される風量制御装置36に入力されている。
前記排気ファン29は回転数制御装置29σを具えてお
り2回転数指令は前記演算装N、36から与えられるよ
うになっている。
り2回転数指令は前記演算装N、36から与えられるよ
うになっている。
このように構成される実施例の動作について以下に説明
する。
する。
截置制御装置36の動作に沿って説明する。まず、各ト
ラフI・チャンバ2]の扉開量信号により吸気口22の
断面積を演算し、この断面積と予め設定されている吸気
面22における設定吸気速度(例えば0.4 m、 7
s )とから、各1゛シフトチャンバ21ごとの1固
別設定吸気t Q N (ただしN−1゜2、・・、N
)を求め、これを合計してドラフトチャンバ21の設定
@n−1吸気喰Q N Aを求める。
ラフI・チャンバ2]の扉開量信号により吸気口22の
断面積を演算し、この断面積と予め設定されている吸気
面22における設定吸気速度(例えば0.4 m、 7
s )とから、各1゛シフトチャンバ21ごとの1固
別設定吸気t Q N (ただしN−1゜2、・・、N
)を求め、これを合計してドラフトチャンバ21の設定
@n−1吸気喰Q N Aを求める。
次に、別系統吸気ユニット昨、′32の実測吸気量QM
を、風速センサ3,5によって・演出された流速と、予
め与えられているその(1Bのダクト断iir Mとか
ら演算する。このようにして求めた設定合計吸気ft
Q N Aと実測吸気tQMとの和を排気ファン29の
設定排気量QEとし、このQEに対応する排気ファン2
9の回転数を決定し2回転数指令を回転数制御装置29
0に出力する。
を、風速センサ3,5によって・演出された流速と、予
め与えられているその(1Bのダクト断iir Mとか
ら演算する。このようにして求めた設定合計吸気ft
Q N Aと実測吸気tQMとの和を排気ファン29の
設定排気量QEとし、このQEに対応する排気ファン2
9の回転数を決定し2回転数指令を回転数制御装置29
0に出力する。
さらに、風速セ/す33によって検出された流速と、予
め与えられているその位置の集合ダクト断面積とから、
ドラフトチャンバ2]7の実測合計吸気量−Q、 N
Bを求める。このQNBとAiJ記QNAとの偏差を演
算し、この偏差が零になるようにMiJ記回転回転数指
令市してい、る。これによって、扉開量に応じたドラフ
トチャンバ2]の合計吸気量が最適且つ最少なものに制
御されることになる。
め与えられているその位置の集合ダクト断面積とから、
ドラフトチャンバ2]7の実測合計吸気量−Q、 N
Bを求める。このQNBとAiJ記QNAとの偏差を演
算し、この偏差が零になるようにMiJ記回転回転数指
令市してい、る。これによって、扉開量に応じたドラフ
トチャンバ2]の合計吸気量が最適且つ最少なものに制
御されることになる。
しかし2合耐吸気計が最適化できても、各ドラフトチャ
ンハ2十の吸気量QNけ必らずしも最適イヒされるとは
限らない。つ捷り開閉。扉23の開:仕に相関させてダ
ンパ25の開度が調整されても。
ンハ2十の吸気量QNけ必らずしも最適イヒされるとは
限らない。つ捷り開閉。扉23の開:仕に相関させてダ
ンパ25の開度が調整されても。
使用しないトラフ1−ヂャン・・21が多くなって合計
吸気量がノ(きく低下したりすると、ゼ1気ファン29
に近いドラフトチー\・ンハ2土はど実際の吸気速度が
大きくなって吸気量が増大シフ、逆に抽気ファン29か
ら遠いドラフトチー\・ン・・+21は吸気量が減少し
、てし−まうということがある。
吸気量がノ(きく低下したりすると、ゼ1気ファン29
に近いドラフトチー\・ンハ2土はど実際の吸気速度が
大きくなって吸気量が増大シフ、逆に抽気ファン29か
ら遠いドラフトチー\・ン・・+21は吸気量が減少し
、てし−まうということがある。
そこで、静t−Fセンザ;ろ4によって検出された実測
静圧I〕、9と、予め設定されている設定静圧Ps。
静圧I〕、9と、予め設定されている設定静圧Ps。
との偏部を求め、この偏差か零になるようにダン・ξ2
Bの開度指令をダン・ξ28に出力シア、図示A点に4
、・ける静圧を一定値に保持するようにしている。こね
によって、ドラフトチャンハ2]の使用状態に左右され
ることなく、各ドラフトチャンバ中21の吸気量を開閉
扉233の開閉に応じた設定吸気量QNに制御すること
ができる。
Bの開度指令をダン・ξ28に出力シア、図示A点に4
、・ける静圧を一定値に保持するようにしている。こね
によって、ドラフトチャンハ2]の使用状態に左右され
ることなく、各ドラフトチャンバ中21の吸気量を開閉
扉233の開閉に応じた設定吸気量QNに制御すること
ができる。
従って1本実施例によノ1ば7使用状乾即ち開閉扉の開
型に応じて、各ドラフトチャンバの吸気量が自動的に最
適且つ最少値に一致させて制旬1されるという効果があ
る。
型に応じて、各ドラフトチャンバの吸気量が自動的に最
適且つ最少値に一致させて制旬1されるという効果があ
る。
壕だ、各ドラフトチャンバの吸気量を最適値に保持させ
つつ9合計吸気量を制作1し、ていることから、過不足
なく必要最小限の所定量のII気を行なわ(J−ること
かでき、これによってファン動力費を(+5.:減させ
ることができるという効果がある。
つつ9合計吸気量を制作1し、ていることから、過不足
なく必要最小限の所定量のII気を行なわ(J−ること
かでき、これによってファン動力費を(+5.:減させ
ることができるという効果がある。
さらに1本夾施fallの1・゛ラフトヂャンバが空調
すれた室内等に設置されているような場合に(弓1.空
調された室内空気の排出を最小限にすることができ、空
調冷熱(京又(σl、温熱源の用型エネルギーを低減す
ることができるので省エネルギーにおいても幼騎がある
。
すれた室内等に設置されているような場合に(弓1.空
調された室内空気の排出を最小限にすることができ、空
調冷熱(京又(σl、温熱源の用型エネルギーを低減す
ることができるので省エネルギーにおいても幼騎がある
。
なお9本発明は上記実施例に限られるものではなく1例
えば以Fに述べるような構成のものであってもよい。
えば以Fに述べるような構成のものであってもよい。
即ち、虱床十ンザ33 + 3 L3の代わりに、直
接ダクト;、)・L、26内の1戦量を検出できるもの
を用いてもよい。
接ダクト;、)・L、26内の1戦量を検出できるもの
を用いてもよい。
−また。ドラ−71−チーヤンバ2土の開閉、帰23の
開閉を必要にI−L、じ5て自動的に行なうもの9例え
は。
開閉を必要にI−L、じ5て自動的に行なうもの9例え
は。
その扉2:3のMiJ面に人が立つだのを検知して開き
1人が立ち去つ/1−のを検知して閉じる」うにするこ
とにより1人手等による開閉の手間が省か−hると同時
に、イく必要な排気か低減さ第1るので、一層高エネル
ギー化を図ることができる。
1人が立ち去つ/1−のを検知して閉じる」うにするこ
とにより1人手等による開閉の手間が省か−hると同時
に、イく必要な排気か低減さ第1るので、一層高エネル
ギー化を図ることができる。
以上説明したように1本発明によれば4個別吸排気ユー
ツ)・の使用状態を検知し、各コーニーントの風11を
使用状態に合わせて自動的に最適1戦量に制御すること
ができ、目、つ合羽吸損気1戦朧を最小化することがで
きるという効果がある。
ツ)・の使用状態を検知し、各コーニーントの風11を
使用状態に合わせて自動的に最適1戦量に制御すること
ができ、目、つ合羽吸損気1戦朧を最小化することがで
きるという効果がある。
第1図は従来例の系統構成図、第2図は他の従来1+1
1のドラフトヂャンバ断面図、第3図は本発明の実施例
の系統構成1シ1である。 2ユ ドラフトチャンバ 22 ・吸気D2:ろ
・・開閉扉 2:4 分岐タクト2.5 ダ
ンノ% 26 集合ダ゛り1・27 ・
間者検知器 28 タンパ29 441気フアン
、3 +1 別系統の吸気ユニット群33
風速センサ 34 静圧セ;/→I35 1ii
i(速センザ 、’36− jlすR,’ lll
l両装置A’、 。
1のドラフトヂャンバ断面図、第3図は本発明の実施例
の系統構成1シ1である。 2ユ ドラフトチャンバ 22 ・吸気D2:ろ
・・開閉扉 2:4 分岐タクト2.5 ダ
ンノ% 26 集合ダ゛り1・27 ・
間者検知器 28 タンパ29 441気フアン
、3 +1 別系統の吸気ユニット群33
風速センサ 34 静圧セ;/→I35 1ii
i(速センザ 、’36− jlすR,’ lll
l両装置A’、 。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (]) 吸り1気フアンと、該吸排気ファンに連通さ
れた集合ダクトと、該集合ダクトにそれぞれ分岐ダクト
を介して連通された複数の個別光4コト気コ〜二ソトと
から成る蜆中吸排気装置において、前記各分岐タクトに
風計調整タンパと、前記間別吸排気コニソトの吸気又は
抽気L1に設けられる開閉扉の開端に相関さ硝て前記タ
ン・ミ′の開度を調整するタンパ開jl ?llI御手
段とを設けるとともに、予め定められるAil記吸排気
面における吸排気流速とAiI記開開開閉扉端に基いて
それぞれの個別吸ゼ[気ユニットの個別吸排気喰と該個
別吸排気層に基いて金言1吸排気溺を演算(〜、ばつ前
δ己吸刊気ノアンの吸排気量を前記合計吸排気量に一致
させるように吸排気ファンの回転数を制御する風叶制脚
装置とを設けたことを特徴とする集中吸排気装置。 (2)吸排気ファンと、該吸41[気ファンに連化され
た集合ダクトと、該隼合夕゛り1・にそれぞt′を分岐
タクトを介し5て連通された複数の個別光41F気ユニ
ットとから成る集中吸刊気装置において、前記各分岐ダ
クトに@量調整グン・ξと、前記個別吸排気ユニットの
吸・電又は排気[]に設けられる開閉扉の開量に([」
関させて前記タンパの開[8−を調整する々゛ン・ξ開
度側倒手段と+ Ail記隼合グ゛クトの前記吸排気ユ
ニットからみて吸排気ファン11川のf\″L置に静圧
調整ダンパとを設けるととも((、予め定めらt?る前
記吸排気面における吸Jul気流速と前記開閉扉の1量
に基いてぞオ”それの個別“1(U1気x、 = ′l
−の(1°1別吸刊気量と該個別吸排気風に基いて@8
1吸排気量を演算し、Hつ前記吸排気ファンの吸排気量
を−[狗記合計吸り1気叶に一致させるようにllIケ
リl気−7アンの回転数を制御し1.前記静圧調整ダン
パのll;) 4−、Il気ユニソl−If!1重合々
゛り)・内の静圧を検出し、該静14−を一定値とする
ように々゛ン・ε開度を制御する[虱縫制御装置を設け
/ζことを特徴と1゛る集中吸411気取置O
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3394083A JPS59158925A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 集中排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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1983
- 1983-03-02 JP JP3394083A patent/JPS59158925A/ja active Granted
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