JPS59151040A - 光散乱式粒子計数装置 - Google Patents
光散乱式粒子計数装置Info
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- JPS59151040A JPS59151040A JP58025339A JP2533983A JPS59151040A JP S59151040 A JPS59151040 A JP S59151040A JP 58025339 A JP58025339 A JP 58025339A JP 2533983 A JP2533983 A JP 2533983A JP S59151040 A JPS59151040 A JP S59151040A
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- JP
- Japan
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- air
- suction pump
- atmospheric pressure
- sensor housing
- power source
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- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 7
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 claims description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers
- G01N15/1456—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals
- G01N15/1459—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals the analysis being performed on a sample stream
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、光散乱式粒子計数装置に関するものであり
、さらに詳しくいうと、流体系と光学系を構成するセン
サの内部を、負圧にして浮遊粒子をサンプリングする光
散乱式粒子計・数装置に関す ゛るものである。
、さらに詳しくいうと、流体系と光学系を構成するセン
サの内部を、負圧にして浮遊粒子をサンプリングする光
散乱式粒子計・数装置に関す ゛るものである。
従来、この種の装置として第１図に示すものがあった。
図において、セン茗筺体１に配設されたサンプルの４供
給管２と吸引管３が、光が照射される照射領域イ°をは
さんで対向しており、吸引管３には吸引ボンダ５、エア
フィルタ６が順次接続されていて、エアフィルタ６を通
った空気は、一部は帰管７を経て供給管２を囲む外管８
に、残部は流量調整バルブ９を経て流量計１０へ導かれ
、排出口１１から排出されるように構成されていた。ま
た、七／す筺体１の内部には照射領域４を照射し、サン
プル粒子による散乱光を集光する光学系（図示せず）が
収納されている。
給管２と吸引管３が、光が照射される照射領域イ°をは
さんで対向しており、吸引管３には吸引ボンダ５、エア
フィルタ６が順次接続されていて、エアフィルタ６を通
った空気は、一部は帰管７を経て供給管２を囲む外管８
に、残部は流量調整バルブ９を経て流量計１０へ導かれ
、排出口１１から排出されるように構成されていた。ま
た、七／す筺体１の内部には照射領域４を照射し、サン
プル粒子による散乱光を集光する光学系（図示せず）が
収納されている。
かかる構成において、浮遊粒子のサンプリングに際して
は、センサ筐体１の内部を数１０〜数１００龍塊程度の
負圧に保持する。そうして、使用状態（こあるとき、す
なわち流体的に安定な状態にあるときは、サンプルの浮
遊粒子は送給管２からセンサ筺体１内へ入り、照射領域
４を経て吸引管３へ吸引される。しかし、流体系の過渡
的な状態、たとえば装置の電源を切った場合には、当然
吸引ポンプ５も停止する。しかし、一方、センサ筐体１
の内部は数１０〜数１００ ａｍ Ｈｇの負圧が残って
おり、これが大気圧になるまでの間、送給管２から粒子
を含んだ空気がセンサ筺体１内に流入し、センサ筐体１
の内部は粒子を含んだ空気で充満されることとなる。こ
のように、非使用時にセンサ筐体〕の内部に侵入した粒
子は、センサ筐体１内に配置された光学系を汚染する。
は、センサ筐体１の内部を数１０〜数１００龍塊程度の
負圧に保持する。そうして、使用状態（こあるとき、す
なわち流体的に安定な状態にあるときは、サンプルの浮
遊粒子は送給管２からセンサ筺体１内へ入り、照射領域
４を経て吸引管３へ吸引される。しかし、流体系の過渡
的な状態、たとえば装置の電源を切った場合には、当然
吸引ポンプ５も停止する。しかし、一方、センサ筐体１
の内部は数１０〜数１００ ａｍ Ｈｇの負圧が残って
おり、これが大気圧になるまでの間、送給管２から粒子
を含んだ空気がセンサ筺体１内に流入し、センサ筐体１
の内部は粒子を含んだ空気で充満されることとなる。こ
のように、非使用時にセンサ筐体〕の内部に侵入した粒
子は、センサ筐体１内に配置された光学系を汚染する。
特に、外部ミラー形レーザ等を光源として用いたもので
は、レーザ出力かミラーの汚れにきわめて敏感に左右さ
れることもあり、以上のような光学系の汚染に対して、
短期間で分解、清掃を要するという欠点があった。
は、レーザ出力かミラーの汚れにきわめて敏感に左右さ
れることもあり、以上のような光学系の汚染に対して、
短期間で分解、清掃を要するという欠点があった。
この発明は、以上のような従来装置の欠点を除去するた
めになされたもので、サンプル空気の排出側に電磁バル
ブを配設し、吸引ポンプの電源と電磁バルブを適宜制御
することにより、センサ筺体内部を清浄空気で大気圧に
戻してから吸引ポンプの電源を切るように構成した光散
乱式粒子計数装置を提供することを目的とするものであ
る。
めになされたもので、サンプル空気の排出側に電磁バル
ブを配設し、吸引ポンプの電源と電磁バルブを適宜制御
することにより、センサ筺体内部を清浄空気で大気圧に
戻してから吸引ポンプの電源を切るように構成した光散
乱式粒子計数装置を提供することを目的とするものであ
る。
以下、この発明を第２図に示す一実施例について説明す
る。第２図において、第１図におけると同一ないし相当
部分には同一符号を付し、説明を省略する。
る。第２図において、第１図におけると同一ないし相当
部分には同一符号を付し、説明を省略する。
第２図において、電源スィッチ１２にリレースイッチ１
３を並列に設け、これらを制御回路１４に接続する。制
御回路１４の出力は吸引ポンプ５、および流量調整パル
プ９と流量計１０の間に配置された電磁バルブ１５に接
続されている。
３を並列に設け、これらを制御回路１４に接続する。制
御回路１４の出力は吸引ポンプ５、および流量調整パル
プ９と流量計１０の間に配置された電磁バルブ１５に接
続されている。
つぎに、動作について説明する。まず、安定な使用状態
においては、従来装置と同様にして、吸引ポンプ５を経
て排出された空気は、エアフィルタ６を通り、一部はシ
ースエアとして帰管７、外管８を経て、供給管２から入
り込む試料空気を清浄空気で包みこむ。また、残部は流
量調整バルブ９、電磁バルブ１５、流量計１０を通って
排出口１１から大気に放出される。したがって、排出口
１１から放出された空気と同量の試料空気が送給管２か
らセンサ筐体１内へ吸引され、照射領域４を通過して吸
引ポンプ５へ導かれる。
においては、従来装置と同様にして、吸引ポンプ５を経
て排出された空気は、エアフィルタ６を通り、一部はシ
ースエアとして帰管７、外管８を経て、供給管２から入
り込む試料空気を清浄空気で包みこむ。また、残部は流
量調整バルブ９、電磁バルブ１５、流量計１０を通って
排出口１１から大気に放出される。したがって、排出口
１１から放出された空気と同量の試料空気が送給管２か
らセンサ筐体１内へ吸引され、照射領域４を通過して吸
引ポンプ５へ導かれる。
いま、以上の使用状態から電源スィッチ１２を開とする
と、その信号により電磁バルブ１５が制御回路１４から
の指令によって閉じられる。しかし、リレースイッチ１
３は閉じているので吸引ポンプ５は依然として動作を続
行している。そうすると、この動作中は排出口１１がら
空気が排出されないのてセンサ筐体１の内部圧力は上昇
して大気圧と等しくなり、供給管２から外部の汚れた空
気がセンサ筐体１内に吸引されない。このあと、センサ
筐体１内が大気圧と等しくなったことに対応して制御回
路】４によってリレースイッチ１３が開かれ、装置は不
動作状態に停止される。
と、その信号により電磁バルブ１５が制御回路１４から
の指令によって閉じられる。しかし、リレースイッチ１
３は閉じているので吸引ポンプ５は依然として動作を続
行している。そうすると、この動作中は排出口１１がら
空気が排出されないのてセンサ筐体１の内部圧力は上昇
して大気圧と等しくなり、供給管２から外部の汚れた空
気がセンサ筐体１内に吸引されない。このあと、センサ
筐体１内が大気圧と等しくなったことに対応して制御回
路】４によってリレースイッチ１３が開かれ、装置は不
動作状態に停止される。
以上のように、この発明は、動作停止時にセンサ筐体内
が清浄空気で満たされるので、センサ筐体内の光学系を
粒子の汚染から保護し、装置を長期間にわたって安定し
て使用することができる効果を有するものである。
が清浄空気で満たされるので、センサ筐体内の光学系を
粒子の汚染から保護し、装置を長期間にわたって安定し
て使用することができる効果を有するものである。
第１図は従来のものの流体系の配置接続図、第２図はこ
の発明の一実施例の配置接続図である。 −１センサ筐体、２・供給管、３ 吸引管、４照射領域
、５・・・吸引ポンプ、６・エアフィルタ、７ 帰管、
８ 外管、９・流量調整パルプ、１０・・流量計、１１
排出＝口、１２・電源スィッチ、１３・・リレース
イッチ、１４・・・制御回路、１５・電磁バルブ。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示すも
のとする。 特許出願人 リオン株式会社
の発明の一実施例の配置接続図である。 −１センサ筐体、２・供給管、３ 吸引管、４照射領域
、５・・・吸引ポンプ、６・エアフィルタ、７ 帰管、
８ 外管、９・流量調整パルプ、１０・・流量計、１１
排出＝口、１２・電源スィッチ、１３・・リレース
イッチ、１４・・・制御回路、１５・電磁バルブ。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示すも
のとする。 特許出願人 リオン株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 照射領域を形成する流体系と光学系を有するセンサ筐体
と、前記流体系の吸引管に接続された吸引ポンプ、エア
フィルタを経た空気の一部を前記流体系の供給管を囲む
外管に導き残部が流量調整。 バルブを経て大気へ排出されるようにしてなる光散乱式
粒子計数装置において、前記吸引ポンプの電源スィッチ
に並列接続されたリレースイッチと、前記流量調整パル
プの管路に接続された電磁バルブと、前記電源スィッチ
の開信号によって前記電磁パルプを閉止し、ついで前記
センサ濠体内が大気圧になったとき前記リレースイッチ
を開とする制御回路を備えてなることを特徴とする光散
乱式％式％
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58025339A JPS59151040A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 光散乱式粒子計数装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58025339A JPS59151040A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 光散乱式粒子計数装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59151040A true JPS59151040A (ja) | 1984-08-29 |
| JPH0230660B2 JPH0230660B2 (ja) | 1990-07-09 |
Family
ID=12163144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58025339A Granted JPS59151040A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 光散乱式粒子計数装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59151040A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61278734A (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-09 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 微粒子検出装置 |
| JPS639839A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Shimizu Constr Co Ltd | 微粒子検知方法 |
| JPH05281132A (ja) * | 1992-06-13 | 1993-10-29 | Horiba Ltd | 液体中の微粒子計測装置 |
| JP2008234416A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Nohmi Bosai Ltd | 煙感知器 |
| JP2012532386A (ja) * | 2009-07-07 | 2012-12-13 | エックストラリス・テクノロジーズ・リミテッド | チャンバコンディション |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010025886A (ja) * | 2008-07-24 | 2010-02-04 | Isuzu Motors Ltd | すす濃度測定装置 |
-
1983
- 1983-02-17 JP JP58025339A patent/JPS59151040A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61278734A (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-09 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 微粒子検出装置 |
| JPS639839A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Shimizu Constr Co Ltd | 微粒子検知方法 |
| JPH05281132A (ja) * | 1992-06-13 | 1993-10-29 | Horiba Ltd | 液体中の微粒子計測装置 |
| JP2008234416A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Nohmi Bosai Ltd | 煙感知器 |
| JP2012532386A (ja) * | 2009-07-07 | 2012-12-13 | エックストラリス・テクノロジーズ・リミテッド | チャンバコンディション |
| US9111427B2 (en) | 2009-07-07 | 2015-08-18 | Xtralis Technologies Ltd | Chamber condition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0230660B2 (ja) | 1990-07-09 |
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