JPS639839A - 微粒子検知方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、クリーンルームにおける粉塵検知、あるいは
、火災時の煙探知等の際に適用される微粒子検知方法に
関する。

「従来の技術」 従来、クリーンルームの空気中に含まれる微粒子の増減
、あるいは、火災時の煙発生による微粒子の増加、更に
は、配管からのガス漏れ等の原因により生じる微粒子量
の増減等を検知する方法にあっては、サンプリングのた
めに検知部に室内空気を誘導する手段として、自然対流
を応用した方式と、送風機あるいは吸引ポンプ等の吸引
装置を用いた強制吸引方式によるものがある。

そして、従来の強制吸引方式による微粒子検知方法は、
吸引装置を常時作動させて被検知空間の空気を検知部に
誘導し、この誘導空気中の微粒子量を検知する方法であ
る。

「発明が解決しようとする問題点」 ところが、吸引装置に上り被検知空間の空気を常時検知
部に誘導する従来の微粒子検知方法にあっては、吸引装
置を常時作動させる必要があるために、吸引装置の消費
電力量が増加するとともに、吸引装置自体の寿命ら短い
欠点があった。更に、吸引装置を常時作動させておくと
、検知部に流入するほこり等の微粒子が増加してそれら
が堆積し、検知精度に影響を与えるおそれがあり、長期
的な安定動作を確保するためには、短期間ごとのメンテ
ナンスを必要とするといった問題を生じていた。

本発明は、前記問題に鑑みてなされたもので、十分高い
検知精度を確保した上で検知部に空気を送る吸引装置の
容量、並びに消費電力を小さくすることができ、吸引装
置を長寿命化できるとともに、検知部に流入する微粒子
を少なくして装置の長寿命化、並びにメンテナンスの容
易化を実現できる微粒子検知方法を提供することを目的
とする。

「問題点を解決するための手段」 本発明は、前記問題点を解決するために、被検知空間の
空気を吸引装置により吸引するとともに、吸引された空
気中の微粒子量を検知部により検出して行う微粒子検知
方法において、前記吸引装置を間欠作動するとと乙に、
検知部が検出した空気中の微粒子量の増加により、吸引
装置の間欠作動における停止時間を短縮して吸引しつつ
微粒子量を検出するものである。

「作用　」 間欠的に吸引装置を作動するために吸引装置σ・消費電
力が小さくなり、寿命も延びるとともに、容量も小さく
設定でき、更に、検知部に入る粒子量が少なくなって検
知部の安定作動期間を長くできる一方、微粒子量の増加
によって吸引する際の間欠時間を短くして連続的に空気
を吸入し、異常の発生を確実に検知する。

「実施例」 第１図は、本発明方法を実施するために使用する装置の
一例を示すもので、ｌは被検知空間Ｋ（本実施例の場合
、第２図に示す通気ダクトＡの内部空間）に通じろ吸気
管を示し、この吸気管ｌには、吸気管ｌ内の微粒子量を
検出してその量の大小に応じて種々の検知信号を出力す
る検知部２と、吸引装置３が組み込まれていて、この吸
引装置３が被検知空間にの空気を吸気管１と検知部２を
介して吸引するように構成されている。

また、前記検知部２には、検知部２が出力した検知信号
を受ける受信部４を介して警報表示部５が接続されると
ともに、前記吸引装置３には、サンプリング制御部６を
介して付加制御信号発信部７が接続されている。

前記受信部４は、検知部２が検出した微粒子量のデータ
を、逐一信号としてサンプリング制御部６と警報表示部
５に送るものである。また、前記警報表示部５は前記受
信部４から送られる微粒子量の値が予め設定しておいた
許容値を越えた場合に、警報を発するしのである。更に
、前記サンプリング制御部６は、所定の間欠サイクルで
吸引装置３を作動させるものであり、加えて、以下に説
明するように吸引装置３を作動制御する。まず、サンプ
リング制御部６には、被検知空間にの微粒子量が平常状
態であって、前記所定の間欠サイクルで吸引装置３を作
動さ什た場合に、検知部２が検出する微粒子量の許容値
が予め記憶されていて、前記検知部２がこの許容値より
も大きな値を検出した場合（即ち、被検知空間にの微粒
子量が平常状態を上回った場合）に、吸引装置３の間欠
サイクルにおける停止時間を短縮して、より頻繁に空気
を検知部２に送るようになっている。なお、前記サンプ
リング制御部６に記憶させる微粒子量の許容値は本発明
方法を適用する場所に要求される許容値であり、装置の
設置場所に応じて適宜設定すれば良い。ところで、前記
付加制御信号発信部７は、前述のサンプリング制御部６
の作動制御とは別個に、吸引装置３の間欠サイクルを制
御する場合に使用するものである。なお、前記検知部２
が検出した微粒子量の増加割合につれて、吸引装置３の
作動停止時間が順次短くなるように構成することらでき
る。

次に前記のように構成された装置を用いて本発明方法を
実施する場合について説明する。

前記のように構成された装置は、ダクトｌ内の微粒子量
が許容値以下の平常時には、サンプリング制御部６が吸
引装置３を所定の間欠サイクルで作動させる。このよう
に間欠的に吸引装置３を作動させるならば、連続して吸
引装置を作動させる必要があった従来方法に比較して吸
引装置３の消費電力が小さくなるとともに、その寿命ら
延びる効果がある。また、検知部２に間欠的に空気を誘
導するために、常時空気を誘導していた従来方法に比較
して、検知部２の内部に堆積する塵やほこりの量も少な
くなり、長期間にわたる検知部２の安定動作を確保でき
る効果があり、メンテナンス間隔が長くなる等、メンテ
ナンス面でも有利になる。

そして、前述のように吸引装置３が間欠作動している間
に、ダクトｌ内の微粒子量が、何等かの原因により増加
して許容値を越えると、サンプリング制御部６が吸引装
置３の作動サイクルにおける停止時間を短縮して（ある
いは連続的に吸引装置３を作動させて）検知部２に空気
を吸引する。

これによって検知部２には、前記よりも短いサイクルで
空気が吸引され、ここで更に検知部２が許容値以上の微
粒子を検出すると、警報表示部５が作動して人員に異常
を知らせる。この警報により作業員は、被検知空間Ｋに
おける微粒子量の異常を知ることができ、然るべき対策
を講じることができる。

以上のように吸引装置３を通常時に間欠的に作動させて
おいて、微粒子量の増加に従って停止時間を短縮して吸
引装置３を作動するならば、許容値を越える微粒子量の
増加を確実に検知することができる。従って本発明方法
によれば、検知精度を低下することなく吸引装置３の消
費電力の削減と長寿命化をなしえ、更に、検知部２の長
期間にわたる安定動作を確保できる効果がある。

ところで、サンプリング制御部６が吸引装置３の作動サ
イクルにおける停止時間を短縮した後に、微粒子量が許
容値を越えない場合には、サンプリング制御部６は吸引
装置３の作動サイクルを自動的に元の状態に戻すように
なっている。

一方、第３図は、ダクトＡ“に付設した検知部と吸引装
置の別の例を示すものである。

第３図に示す例においては、ダクトＡ′の内部に、ダク
トＡ°の側壁を貫通させて検知管２１．２２．２３を上
下に並べて設け、各検知管２＋、２２゜２３の先端をダ
クトＡ°の内部で風上側に向け、各検知管２１，２２．
２３の各外端を各検知器（検知部）２５，２６．２７に
接続し、検知器２５を連絡管２８により吸引装置２９に
接１し、検知器２６を連絡管３０により連絡管２８に接
続し、検知器２７を連絡管３１により連絡管２８に接続
して構成するとともに、連絡管２８，３０．３１の内部
に、検知器２５と吸引装置２６との連通と、検知器２６
と吸引装置２９との連通と、検知器２７と吸引装置２９
との連通を各々切り替える切換弁（図示路）を設けたも
のである。

以上の構成の装置にあっては、切換弁を順次操作し、吸
引装置３を間欠作動することにより吸引装置２９が検知
管２１と検知管２２と検知管２３のいずれかから順次吸
気して微粒子量を測定する。

このように構成すると、ダクトＡ°の上部側の微粒子量
と中央部側の微粒子量と底部側の微粒子量を独自に測定
することができろ。そして、このような測定方法を採用
すると、比重の大小によりダクトＡ°の上部と中央部と
底部のいずれかに偏って流動する微粒子でも確実に検知
することができる効果がある。なお、その他の効果は先
に記載した実施例と同等である。

ところで、本発明は、第２図と第３図に示すようなダク
トＡ　、Ａ”の他にも種々の場所や配管類に適用できる
のは勿論であり、検知管１，２１．２２゜２３を直接室
内空間等に設けることもできろ。

「発明の効果」 以上説明したように本発明は、吸引装置を間欠的に作動
させるとともに、間欠作動する吸引装置が吸引した空気
中の微粒子量が増加した場合に吸引装置の間欠サイクル
における停止時間を短縮して検知部に空気を吸入するた
めに、吸引装置の消費電力量を削減でき、吸引装置の寿
命が延びるとともに、吸引装置の容量を小さく設定でき
る効果がある。

更に、本発明方法を実施した場合、検知部に堆積する微
粒子量は、従来方法を実施した場合に検知部に堆積する
微粒子量に比較して少なくなるために、検知部の安定作
動期間が長くなり、メンテナンス間隔を長くとることが
できろようになり、メンテナンス面で有利になる効果が
ある。

また、検知部が微粒子量の増加を検知すると、吸引装置
の作動停止時間を短縮して検知部に頻繁に空気を吸入す
るために、吸引装置の間欠作動を行っても微粒子量の増
加を確実に検知できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図と第２図は本発明を実施するために使用する装置
の一例を示すもので、第１図はブロック図、第２図は検
出部と吸引装置の取り付は状態を示す斜視図、第３図は
本発明を実施するために使用する装置の第２の例の一部
を示す斜視図である。 Ｋ・・・・・・被検知空間、　Ａ、Ａ’・・・・・・ダ
クト、ｌ・・・・・・吸気管、　　　　２・・・・・・
検知部、３・・・・・・吸引装置、　　　５・・・・・
・警報表示部、６・・・・・・サンプリング制御部、 ２１．２２．２３・・・・・・検知管、２５．２６．２
７・・・・・・検知器（検知部）、２９・・・・・・吸
引装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検知空間の空気を吸引装置により検知部に吸引すると
   ともに、吸引された空気中の微粒子量を検知部により検
   出して行う微粒子検知方法において、前記吸引装置を間
   欠作動するとともに、検知部が検出した微粒子量の増加
   により、吸引装置の間欠作動における停止時間を短縮し
   て吸引しつつ微粒子量を検出することを特徴とする微粒
   子検知方法。