JPS59149315A - 半導体レ−ザ用光学装置 - Google Patents
半導体レ−ザ用光学装置Info
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- JPS59149315A JPS59149315A JP58022850A JP2285083A JPS59149315A JP S59149315 A JPS59149315 A JP S59149315A JP 58022850 A JP58022850 A JP 58022850A JP 2285083 A JP2285083 A JP 2285083A JP S59149315 A JPS59149315 A JP S59149315A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 64
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 11
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 11
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 11
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 5
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000001093 holography Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000010076 replication Effects 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
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-
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- G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
- G02B19/0004—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed
- G02B19/0009—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only
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- G02B27/0944—Diffractive optical elements, e.g. gratings, holograms
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- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/32—Holograms used as optical elements
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は半導体レーザ用光学装置、特にホログラムレン
ズを有する光学装置に関する。
ズを有する光学装置に関する。
近年、光学的情報処理装置、例えばレーザプリンタや光
ディスクの光源に半導体レーザを使用することが行なわ
れている。而して、それらの光学的情報処理装置では、
いずれも、高い光利用率が要求され、かつ、等方的なス
ポットを得る必要がある。
ディスクの光源に半導体レーザを使用することが行なわ
れている。而して、それらの光学的情報処理装置では、
いずれも、高い光利用率が要求され、かつ、等方的なス
ポットを得る必要がある。
しかるに、半導体レーザは気体レーザなどに比べ一般に
ビーム拡がり角が犬キ＜、シかも°非等方分布をしてい
る。このため、第１図（ａ）〜（Ｃ）に示す如く、半導
体レーザ１よりのレーザビームの集光には、ＮＡの大き
いレンズ２を用いるか、またそのようなレンズを用いな
いでビームの整形用のプリズム３さらにはシリンダレン
ズ４を使用しなければならない。このような従来のビー
ムの整形では、光学系が複雑で、コストも高いという欠
点が生じるのである。
ビーム拡がり角が犬キ＜、シかも°非等方分布をしてい
る。このため、第１図（ａ）〜（Ｃ）に示す如く、半導
体レーザ１よりのレーザビームの集光には、ＮＡの大き
いレンズ２を用いるか、またそのようなレンズを用いな
いでビームの整形用のプリズム３さらにはシリンダレン
ズ４を使用しなければならない。このような従来のビー
ムの整形では、光学系が複雑で、コストも高いという欠
点が生じるのである。
本発明の目的は以上の従来技術の欠点を解消し、簡単で
低コストの半導体レーザ用の光学装置を提供することに
ある。
低コストの半導体レーザ用の光学装置を提供することに
ある。
かかる目的を達成するために本発明は、半導体レーザか
らのビームの断面の非等方性を補正し、ビームを整形す
るホログラムレンズを提供することを特徴とする。
らのビームの断面の非等方性を補正し、ビームを整形す
るホログラムレンズを提供することを特徴とする。
以下、本発明の詳細を図面により説明する。
第２図（ａ）及び（ｂ）は本発明に用いるホログラムレ
ンスニよって、半導体レーザ１からのビームラ集光し、
同時に非等方ビームを等方ビームとして整形する場合の
実施例を示すものである。なお、第２図（ａ）及び（ｂ
）は、半導体レーザの接合面に垂直及び平行の場合を示
している。この例ではホログラムレンズ５通過後のビー
ムは平行平面波となっているが、光学系によっては、第
３図（ａ）及び（ｂ）に示すように、結像光学系として
使用することも可能である。また、発散光となるように
ホログラムレンズを作成することもできることは云うま
でもない。
ンスニよって、半導体レーザ１からのビームラ集光し、
同時に非等方ビームを等方ビームとして整形する場合の
実施例を示すものである。なお、第２図（ａ）及び（ｂ
）は、半導体レーザの接合面に垂直及び平行の場合を示
している。この例ではホログラムレンズ５通過後のビー
ムは平行平面波となっているが、光学系によっては、第
３図（ａ）及び（ｂ）に示すように、結像光学系として
使用することも可能である。また、発散光となるように
ホログラムレンズを作成することもできることは云うま
でもない。
第４図は第２図及び第３図に示したホログラムレンズの
作製方法を示すものである。ガスレーザ６からのビーム
はビームエクスパンダ７により、所望のビーム径に拡大
され、ビームスノ゛リッター８によシ、２つのビームに
分割される。一方のビームはミラー８′を介してそのま
ま参照光としてホログラム乾板１１上にいたる。他方の
ビームは、物体光としてシリンドリカルレンズの組から
なる逆ビームエクスパンダ９により、ビーム径が縮少さ
れ、対物レンズ１０にいたる。ビーム径の縮少率は、乾
板面１１上で、ビーム形状が等方となるように設定する
。これは、各々のシリンドリカルレンズの焦点距離の比
を決めることによって実現できる。
作製方法を示すものである。ガスレーザ６からのビーム
はビームエクスパンダ７により、所望のビーム径に拡大
され、ビームスノ゛リッター８によシ、２つのビームに
分割される。一方のビームはミラー８′を介してそのま
ま参照光としてホログラム乾板１１上にいたる。他方の
ビームは、物体光としてシリンドリカルレンズの組から
なる逆ビームエクスパンダ９により、ビーム径が縮少さ
れ、対物レンズ１０にいたる。ビーム径の縮少率は、乾
板面１１上で、ビーム形状が等方となるように設定する
。これは、各々のシリンドリカルレンズの焦点距離の比
を決めることによって実現できる。
さらに、対物レンズ１０のＮＡ（開口数）は、整形しよ
うとする半導体レーザの広い方の拡き角（通常は接合面
に垂直方向）に合致させるものとする。
うとする半導体レーザの広い方の拡き角（通常は接合面
に垂直方向）に合致させるものとする。
ホログラム乾板には、高い回折効率をもつ体積型位相ホ
ログラム材料として、例えば上２チン膜などを用いるこ
とができる。
ログラム材料として、例えば上２チン膜などを用いるこ
とができる。
ホログラム記録の光源としては、ガスレーザ以外に半導
体レーザを使用できるのは勿論である。
体レーザを使用できるのは勿論である。
第５図は以上のようにして作成されたホログラムレンズ
に半導体レーザからのビームを入射せしめ、非等方ビー
ムを等方ビームに整形する場合を説明す６図である。
に半導体レーザからのビームを入射せしめ、非等方ビー
ムを等方ビームに整形する場合を説明す６図である。
図にお・いて、半導体レーザ１からの非等方ビームはホ
ログラムレンズ１１を斜めから照射する。
ログラムレンズ１１を斜めから照射する。
このビームは、ホログラムとして記録されている干渉縞
により、回折を受け、等方ビームとなって射出される。
により、回折を受け、等方ビームとなって射出される。
このホログラムレンズと半導体レーザとの位置関係は、
半導体レーザの強度分布の狭い方（通常は接合面方向）
の軸を含む面内で図に示した角度θだけ傾けるものとす
る。θの大きさは、射出されるビームが、等方ビームと
なるように決定する。
半導体レーザの強度分布の狭い方（通常は接合面方向）
の軸を含む面内で図に示した角度θだけ傾けるものとす
る。θの大きさは、射出されるビームが、等方ビームと
なるように決定する。
第６図及び第７図は、本発明に係るホログラムレンズを
レーザビームプリンタの光源部に適用した例を示してい
る。第６図は第２図（ｂ）に示した実施例を適用した場
合であり、第７図は第３図（ｂ）に示した実施例を適用
した場合を示している。
レーザビームプリンタの光源部に適用した例を示してい
る。第６図は第２図（ｂ）に示した実施例を適用した場
合であり、第７図は第３図（ｂ）に示した実施例を適用
した場合を示している。
なお、第６図及び第７図において、１２はポリゴンミラ
ー１３はＦＯレンズ、１４は走査面を示している。
ー１３はＦＯレンズ、１４は走査面を示している。
第８図は本発明による実施例を光ディスクの記録又は再
生ヘッドに適用した場合を示している。
生ヘッドに適用した場合を示している。
なお、第８図において、１５は集束レンズ、１６゛は光
検知器、１７は光ディスクでおる。
検知器、１７は光ディスクでおる。
以上の説明では、ビーム整形胴元学系をホログラムレン
ズ化する場合について述べたが、本発明はこれに限らず
、他の光学系をホログラムレンズ化する場合にも適用で
きるのである。
ズ化する場合について述べたが、本発明はこれに限らず
、他の光学系をホログラムレンズ化する場合にも適用で
きるのである。
即ち、本発明は、半導体レーザに非点収差がある場合、
これを補正するのに適したホログラムレンズを用いた光
学装置も実現できるものである。
これを補正するのに適したホログラムレンズを用いた光
学装置も実現できるものである。
例えば、第９図（ａ）及び第９図（ｂ）に示すようにゲ
インガイド型半導体レーザにおいては、発光点が接合面
に垂直方向と平行方向とでビームウェスト位置がΔＺだ
けずれている場合があシ、とのレーザを光ディスクや、
レーザプリンタ等の光源に使用する時、これを補正する
必要が生じる。従来この補正は、カップリングレンズ２
１、シリンドリカルレンズ３１を組合せた光学系使用す
ることが一般的に行なわれていた。他には、ＮＡの小さ
いカップリングレンズを用い、光軸近辺のきれいなビ
゛−ムのみを使うという方法もとられていた。しかし、
前者の場合、部品点数が多く、調整もそれぞれのレンズ
で行う必要があり繁雑であった。また後者の場合、ＮＡ
が小さいので光利用率が低いという欠点があった。本発
明によれば、カップリングレンズとシリンドリカルレン
ズとからなる光学系を単一のホログラムレンズで構成す
ることＫより、小型、軽量な半導体レーザ光学装置を実
現できる。
インガイド型半導体レーザにおいては、発光点が接合面
に垂直方向と平行方向とでビームウェスト位置がΔＺだ
けずれている場合があシ、とのレーザを光ディスクや、
レーザプリンタ等の光源に使用する時、これを補正する
必要が生じる。従来この補正は、カップリングレンズ２
１、シリンドリカルレンズ３１を組合せた光学系使用す
ることが一般的に行なわれていた。他には、ＮＡの小さ
いカップリングレンズを用い、光軸近辺のきれいなビ
゛−ムのみを使うという方法もとられていた。しかし、
前者の場合、部品点数が多く、調整もそれぞれのレンズ
で行う必要があり繁雑であった。また後者の場合、ＮＡ
が小さいので光利用率が低いという欠点があった。本発
明によれば、カップリングレンズとシリンドリカルレン
ズとからなる光学系を単一のホログラムレンズで構成す
ることＫより、小型、軽量な半導体レーザ光学装置を実
現できる。
その場合の実施例を第１０図（ａ）及び（ｂ）に↓シ説
明する。図において、半導体レーザ１からのビームをホ
ロレンズ５１により集光すると同時に、ビームウェスト
のずれΔＺを補正し、収差のない波面６１を得、光ディ
スクへッドヤレーザプリンタ用の光源とするのである。
明する。図において、半導体レーザ１からのビームをホ
ロレンズ５１により集光すると同時に、ビームウェスト
のずれΔＺを補正し、収差のない波面６１を得、光ディ
スクへッドヤレーザプリンタ用の光源とするのである。
この時、半導体レーザビームの拡がり角に対し、レーザ
発光部とホロレンズ５１との間隔を選べば、［、ｔのビ
ーム径ｄを有するビームを作ることができる。第１０図
ではホロレンズに入射するビームの光軸とホロレンズか
ら回折されて出るビームの光軸とは同一の軸上にあり、
いわゆるインライン型をなすが、ホ十グラムの回折効率
の分布などを考慮し、よシ一様なビー１１ｆ：得たい場
合には、オフアクシス型、すなわちポロレンズへの入射
光軸と射出光軸とに角度をもたせた場合も実現できるの
は勿論である。
発光部とホロレンズ５１との間隔を選べば、［、ｔのビ
ーム径ｄを有するビームを作ることができる。第１０図
ではホロレンズに入射するビームの光軸とホロレンズか
ら回折されて出るビームの光軸とは同一の軸上にあり、
いわゆるインライン型をなすが、ホ十グラムの回折効率
の分布などを考慮し、よシ一様なビー１１ｆ：得たい場
合には、オフアクシス型、すなわちポロレンズへの入射
光軸と射出光軸とに角度をもたせた場合も実現できるの
は勿論である。
第１１図（ａ）及び（ｂ）はこのような機能を有するホ
ログラムレンズの作成方を説明するための図である。図
において、レーザ７１（気体レーザ、半導体レーザなど
を用いる）からのビームはビームエクスパンダ８１によ
って拡大”され、ビームスピリツタ−８１′によって二
つのビームに分けられる。
ログラムレンズの作成方を説明するための図である。図
において、レーザ７１（気体レーザ、半導体レーザなど
を用いる）からのビームはビームエクスパンダ８１によ
って拡大”され、ビームスピリツタ−８１′によって二
つのビームに分けられる。
一方のビーム９１は参照波として第２のビームミラー１
０２にょシ反射され、ホログラム乾板５１に到る。他方
のビームｌｏ１は物体光としては非点収厘発生用のシリ
ンドリカルレンズ３１を経、絞り込みレンズ２１を経て
第２のビームスプリッタ−１０３を通過し、ホログラム
乾板５１にいたる。この唾、非点収差Δ２が発生してお
ｐ、このような波面がホログラム５１に記録される。こ
のようにして作成されたホログラムレンズは、非点収差
補正付レンズとして機能する。第１１図に示す作成例で
はインライン型ホロレンズであるが、参照波光軸をずら
せることによりオフアクシス型ホロレンズも作成するこ
とが可能である。なお、第１１図（ｂ）は、第１１図（
ａ）に示す光学系（平面図で示される）における記録部
に関する光学系の側面図である。
０２にょシ反射され、ホログラム乾板５１に到る。他方
のビームｌｏ１は物体光としては非点収厘発生用のシリ
ンドリカルレンズ３１を経、絞り込みレンズ２１を経て
第２のビームスプリッタ−１０３を通過し、ホログラム
乾板５１にいたる。この唾、非点収差Δ２が発生してお
ｐ、このような波面がホログラム５１に記録される。こ
のようにして作成されたホログラムレンズは、非点収差
補正付レンズとして機能する。第１１図に示す作成例で
はインライン型ホロレンズであるが、参照波光軸をずら
せることによりオフアクシス型ホロレンズも作成するこ
とが可能である。なお、第１１図（ｂ）は、第１１図（
ａ）に示す光学系（平面図で示される）における記録部
に関する光学系の側面図である。
以上述べた如く本発明では、種々の機能を有するホログ
ラムレンズを用いた光学装置を実現する仁とができる。
ラムレンズを用いた光学装置を実現する仁とができる。
したがって、本発明では、さらに光ヘッドに用いられる
ビームスプリッタ、集光レンズ及びシリンドリカルレン
ズを、ホログラフィ−技術によりホログラムレンズとし
て一体化し、これら三つのレンズの機能を兼ねさせるこ
とが可能である。即ち、従来、光デイスク再生記録用ヘ
ッドでは、第１２図（ａ）に示すように光ディスク１７
からの再生信号や、自動焦点用信号を取り出すのに、光
路中にビームスプリッタ３２を配置し、また自動焦点用
光学系として、ディスク１７からの反射光を集光するレ
ンズ６２や、シリンドリカルレンズ７２を使用しておシ
、いずれもガラス製であり光学系が重く、高価であり、
部品点数も多いものとなっていた。なお、第１２図（ａ
）において、４２は集束用レンズ、４３は集束用レンズ
を駆動するボイスコイル、７３は第１２図（Ｃ）に示す
如く受光面が４分割された光検知器である。自動態動動
作は、シリンドリカルレンズ７２と光検知器７３との組
合によって、焦束点のずれを光検知器７３上の第１２図
（ｂ）に示すような光束パターンの変化として検出する
ことによって行なわれる。
ビームスプリッタ、集光レンズ及びシリンドリカルレン
ズを、ホログラフィ−技術によりホログラムレンズとし
て一体化し、これら三つのレンズの機能を兼ねさせるこ
とが可能である。即ち、従来、光デイスク再生記録用ヘ
ッドでは、第１２図（ａ）に示すように光ディスク１７
からの再生信号や、自動焦点用信号を取り出すのに、光
路中にビームスプリッタ３２を配置し、また自動焦点用
光学系として、ディスク１７からの反射光を集光するレ
ンズ６２や、シリンドリカルレンズ７２を使用しておシ
、いずれもガラス製であり光学系が重く、高価であり、
部品点数も多いものとなっていた。なお、第１２図（ａ
）において、４２は集束用レンズ、４３は集束用レンズ
を駆動するボイスコイル、７３は第１２図（Ｃ）に示す
如く受光面が４分割された光検知器である。自動態動動
作は、シリンドリカルレンズ７２と光検知器７３との組
合によって、焦束点のずれを光検知器７３上の第１２図
（ｂ）に示すような光束パターンの変化として検出する
ことによって行なわれる。
第１３図は、上記光学ヘッドを構成するビームスプリッ
タ、シリンドリカルレンズ及びレンズ等をホログラムレ
ンズとして一体化した場合の実施例を示す図である。図
において、レーザ光源ｌからのビームをカップリングレ
ンズ２２で集光し、本発明によるホログラムレンズ９３
を通過し、絞シ込みレンズ４２によってディスク１７上
に元スポットを形成する。ディスク１７からの反射光は
、ホログラムレンズ９３によシ回折され、光検知器７３
上にしたる。ホログラムレンズ９３は、非点収差型自動
焦点光学系の機能を有してお９、ディスク１７の焦点ズ
レに対し第１２図（ｂ）に示す如きたて長のダ円、横長
のダ円を形成する。ディテクタ１０は４分割されている
。合焦点位置では、ディテクタ１７上でのスポットは円
形となり、ディテクタからの差出力は零となって自動焦
点動作が行なわれる。
タ、シリンドリカルレンズ及びレンズ等をホログラムレ
ンズとして一体化した場合の実施例を示す図である。図
において、レーザ光源ｌからのビームをカップリングレ
ンズ２２で集光し、本発明によるホログラムレンズ９３
を通過し、絞シ込みレンズ４２によってディスク１７上
に元スポットを形成する。ディスク１７からの反射光は
、ホログラムレンズ９３によシ回折され、光検知器７３
上にしたる。ホログラムレンズ９３は、非点収差型自動
焦点光学系の機能を有してお９、ディスク１７の焦点ズ
レに対し第１２図（ｂ）に示す如きたて長のダ円、横長
のダ円を形成する。ディテクタ１０は４分割されている
。合焦点位置では、ディテクタ１７上でのスポットは円
形となり、ディテクタからの差出力は零となって自動焦
点動作が行なわれる。
すなわら、ホログラムレンズ９３は、第１２図（ａ）に
おけるビームスプリッタ３２の役割と、集光レンズ６２
の役割とシリンダレンズ７２の役割とを合わせ持つもの
である。
おけるビームスプリッタ３２の役割と、集光レンズ６２
の役割とシリンダレンズ７２の役割とを合わせ持つもの
である。
次に、このようなポログラムレンズの作成法を述べる。
第１４図に示す如く、レーザ５１からのビームをビーム
エクスパンダ５２で拡大し、ビームスプリッタ５３によ
シ、参照波と物体波に分割する。物体波の方には、集光
レンズ６２、シリンダレンズ７２を配置し、非点収差を
有する波面を生成し、ホログラム乾板５１上にいたらし
め、参照光との間で干渉を起こさせ、本発明による機能
ホログラム９３を作成する。
エクスパンダ５２で拡大し、ビームスプリッタ５３によ
シ、参照波と物体波に分割する。物体波の方には、集光
レンズ６２、シリンダレンズ７２を配置し、非点収差を
有する波面を生成し、ホログラム乾板５１上にいたらし
め、参照光との間で干渉を起こさせ、本発明による機能
ホログラム９３を作成する。
このようにして作成されたホログラムレンズを第１３図
に示すように配置することにより、光デイスク用記録再
生光ヘッドのキーエレメントとして働くと同時に、従来
の方法に比べ、部品点数が１／３に減少し、小型、軽量
、安価なヘッドを実現することができる。また、光検知
器７３への光量は、ホログラム９３の回折効率を変える
ことにより、最適値を選ぶことができる。
に示すように配置することにより、光デイスク用記録再
生光ヘッドのキーエレメントとして働くと同時に、従来
の方法に比べ、部品点数が１／３に減少し、小型、軽量
、安価なヘッドを実現することができる。また、光検知
器７３への光量は、ホログラム９３の回折効率を変える
ことにより、最適値を選ぶことができる。
また、第１５図に示すように、カップリングレンズや、
絞り込みレンズとして、ホログラムレンズ６５や６６を
合わせて用いれば、さらに光ヘツド全体の軽量化、小型
化が可能となる。
絞り込みレンズとして、ホログラムレンズ６５や６６を
合わせて用いれば、さらに光ヘツド全体の軽量化、小型
化が可能となる。
さらに、第１６図に示すように、ホログラムレンズ９３
として、カップリングレンズ２２あるいはそのホログラ
ム６５の機能をホログラムレンズ９３に付加することも
可能で６．Ｄ、これによシ部品点数の削減、軽量化、小
型化を計ることができる。このようなホログラムレンズ
は、多重露光ホ ′ログ２ム記録法によって作
成できるものである。
として、カップリングレンズ２２あるいはそのホログラ
ム６５の機能をホログラムレンズ９３に付加することも
可能で６．Ｄ、これによシ部品点数の削減、軽量化、小
型化を計ることができる。このようなホログラムレンズ
は、多重露光ホ ′ログ２ム記録法によって作
成できるものである。
以上述べてきた如く、本発明によれば、レーザプリンタ
用走査光学系や、光デイスクヘッドを大巾に軽量化、小
型化、簡素化、することができる。
用走査光学系や、光デイスクヘッドを大巾に軽量化、小
型化、簡素化、することができる。
例えば、従来の結合およびビーム整形光学系では、カッ
プリングレンズ、プリズム系を合わせて、約５ｇｒあっ
たものが、ｏ、ｓｇｒ程度に、また容積も１／５０程度
に低減することが可能である。また、部品点数も、レン
ズ、プリズム合わせて４〜５点必要であったものが単一
で済ませられる。さらに、レンズヤプラズムでは研磨工
程が介在するため、量産時もコストが高いが、ホログラ
ムレンズであれば、繰シ返し記録工程によシ大量作成が
可能である。またレプリケーションを行うこともでき、
低コスト化を計ることができる。
プリングレンズ、プリズム系を合わせて、約５ｇｒあっ
たものが、ｏ、ｓｇｒ程度に、また容積も１／５０程度
に低減することが可能である。また、部品点数も、レン
ズ、プリズム合わせて４〜５点必要であったものが単一
で済ませられる。さらに、レンズヤプラズムでは研磨工
程が介在するため、量産時もコストが高いが、ホログラ
ムレンズであれば、繰シ返し記録工程によシ大量作成が
可能である。またレプリケーションを行うこともでき、
低コスト化を計ることができる。
さらに本発明によれば、半導体レーザビームを単一の光
学素子で焦光すると同時に非点収差も補正し光デイスク
ヘッドやレーザプリンタ用の光源として回折限界の高品
質なビームを得ることができる。
学素子で焦光すると同時に非点収差も補正し光デイスク
ヘッドやレーザプリンタ用の光源として回折限界の高品
質なビームを得ることができる。
第１図（ａ）〜（ｂ）は従来の半導体レーザビームの集
光およびビーム整形光学系を示す図、第２図（ａ）〜（
ｂ）は本発明によるホログラムレンズを用いた実施例を
示す図、第３図（ａ）〜（ｂ）は結像用としホログラム
レンズを用いた実施例を示す図、第４図はホログラムレ
ンズの作成光学系を示す図、第５図はホログラムレンズ
からの再生光を示す図、第６図及び第７図は本発明のレ
ーザプリンタへの応用例を示す図、第８図は本発明の光
デイスク用光学ヘッドへの応用例を示す図、第９図（ａ
）は、従来の非点収差補正カップリング光学系の平面図
、第９図（ｂ）はその側面図、第１０図（ａ）は本発明
によるホロレンズを使用したカップリング光学系の平面
図、第１０図（ｂ）はその側面図、第１１図（ａ）は本
発明で用いるホログラムレンズの作成方法を示す光学系
全体の平面図、第１１図（ｂ）はその記録部の側面図、
第１２図（ａ）は、従来の光学ヘッドの光学系を示す図
、第１２図（ｂ）はその動作を示すビームパターンの変
化を示す図、第１２図（Ｃ）は第１２図（ａ）の光検知
器の構成を示す図、第１３図は本発明による光学装置を
用いた光学ヘッドを示す図、第１４図は、本発明に用い
るホログラムレンズの作成光学系を示す図、第１５図は
他のホログラノ・レンズと本発明の光学装置を組合せた
光学系を示す図、第１６図は本発明に用いる光学装置の
ホログラムレンズにカップリングレンズ機能も付加した
実施例を示す図である。 Ｚ １ 図 ／ ４ 第 Ｚ 図 第 ３ 図 第４図 第２図 ′ｆｉ６ 図 ＶＪ ｑ 図 第 １３図 ４３ ■ １４ 邑 第 １５ 目 １ 第 １６ 図 手続、補正書（方式） ｏｒ＋ Ｉｎ ５８ｒ、 ” ｕ １７ Ｈ特許庁長官
殿 発明の名称 半導体レーザ用光学装置 補止をする者 ｌｌｌ１ノの聞シ 特許出願人 Ｉ ｆ’＋： ｒ”’ＣＩ、式会？１ （
１立 製 作 所名 称 （５０９）日立工機株
式会社 代 理 人 補１１ミの対象 明細書の「図面の簡単な説明−１の欄 袖１１：、の内容
光およびビーム整形光学系を示す図、第２図（ａ）〜（
ｂ）は本発明によるホログラムレンズを用いた実施例を
示す図、第３図（ａ）〜（ｂ）は結像用としホログラム
レンズを用いた実施例を示す図、第４図はホログラムレ
ンズの作成光学系を示す図、第５図はホログラムレンズ
からの再生光を示す図、第６図及び第７図は本発明のレ
ーザプリンタへの応用例を示す図、第８図は本発明の光
デイスク用光学ヘッドへの応用例を示す図、第９図（ａ
）は、従来の非点収差補正カップリング光学系の平面図
、第９図（ｂ）はその側面図、第１０図（ａ）は本発明
によるホロレンズを使用したカップリング光学系の平面
図、第１０図（ｂ）はその側面図、第１１図（ａ）は本
発明で用いるホログラムレンズの作成方法を示す光学系
全体の平面図、第１１図（ｂ）はその記録部の側面図、
第１２図（ａ）は、従来の光学ヘッドの光学系を示す図
、第１２図（ｂ）はその動作を示すビームパターンの変
化を示す図、第１２図（Ｃ）は第１２図（ａ）の光検知
器の構成を示す図、第１３図は本発明による光学装置を
用いた光学ヘッドを示す図、第１４図は、本発明に用い
るホログラムレンズの作成光学系を示す図、第１５図は
他のホログラノ・レンズと本発明の光学装置を組合せた
光学系を示す図、第１６図は本発明に用いる光学装置の
ホログラムレンズにカップリングレンズ機能も付加した
実施例を示す図である。 Ｚ １ 図 ／ ４ 第 Ｚ 図 第 ３ 図 第４図 第２図 ′ｆｉ６ 図 ＶＪ ｑ 図 第 １３図 ４３ ■ １４ 邑 第 １５ 目 １ 第 １６ 図 手続、補正書（方式） ｏｒ＋ Ｉｎ ５８ｒ、 ” ｕ １７ Ｈ特許庁長官
殿 発明の名称 半導体レーザ用光学装置 補止をする者 ｌｌｌ１ノの聞シ 特許出願人 Ｉ ｆ’＋： ｒ”’ＣＩ、式会？１ （
１立 製 作 所名 称 （５０９）日立工機株
式会社 代 理 人 補１１ミの対象 明細書の「図面の簡単な説明−１の欄 袖１１：、の内容
Claims (1)
- 半導体レーザと、非等方形状である断面を有するレーザ
ビームと等方形状である断面を有するレーザビームとが
干渉して形成された干渉縞を有するホログラムレンズと
からなり、上記半導体レーザからのビームを上記ホログ
ラムレンズへの入射光とすることを特徴とする半導体用
光学装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58022850A JPH0627907B2 (ja) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | 光学的情報処理装置 |
| EP84101292A EP0116896B1 (en) | 1983-02-16 | 1984-02-08 | Method of making a hologram lens and optical information processing equipment comprising such a hologram lens |
| US06/578,209 US4779943A (en) | 1983-02-16 | 1984-02-08 | Optical system for semiconductor laser and optical information processing equipment utilizing the same |
| DE8484101292T DE3480435D1 (en) | 1983-02-16 | 1984-02-08 | Method of making a hologram lens and optical information processing equipment comprising such a hologram lens |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58022850A JPH0627907B2 (ja) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | 光学的情報処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59149315A true JPS59149315A (ja) | 1984-08-27 |
| JPH0627907B2 JPH0627907B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=12094188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58022850A Expired - Lifetime JPH0627907B2 (ja) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | 光学的情報処理装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4779943A (ja) |
| EP (1) | EP0116896B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0627907B2 (ja) |
| DE (1) | DE3480435D1 (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4907847A (en) * | 1987-09-28 | 1990-03-13 | Nec Home Electronics Ltd. | Optical pickup and hologram therefor |
| US4913529A (en) * | 1988-12-27 | 1990-04-03 | North American Philips Corp. | Illumination system for an LCD display system |
| FR2642530A1 (fr) * | 1989-01-30 | 1990-08-03 | Seiko Epson Corp | Mecanisme de focalisation et tete optique |
| US5475491A (en) * | 1989-02-10 | 1995-12-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus |
| US5121160A (en) * | 1989-03-09 | 1992-06-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure method and apparatus |
| CA2017229A1 (en) * | 1989-06-30 | 1990-12-31 | James A. Cox | Binary optical element for an optical disk read/write head |
| US5237451A (en) * | 1989-11-17 | 1993-08-17 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Beam shaping system using diffraction |
| US5056881A (en) * | 1990-04-12 | 1991-10-15 | Amp Incorporated | Collimated laser diode |
| US5296689A (en) * | 1992-02-28 | 1994-03-22 | Spectra-Physics Scanning Systems, Inc. | Aiming beam system for optical data reading device |
| JPH0695038A (ja) * | 1992-03-19 | 1994-04-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超解像走査光学装置、光学装置の超解像用光源装置及び光学装置の超解像用フィルター |
| EP0580905A1 (en) * | 1992-07-28 | 1994-02-02 | BRITISH TELECOMMUNICATIONS public limited company | Optical radiation devices |
| WO1994007160A1 (en) * | 1992-09-11 | 1994-03-31 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University | Chromatic focal pencil beam-generating apparatus |
| US5422746A (en) * | 1992-09-11 | 1995-06-06 | Board Of Trustees Of The Leland Stanford Jr. University | Single and multiple element holographic devices for high-efficiency beam correction |
| JPH07311961A (ja) * | 1994-05-16 | 1995-11-28 | Nippon Steel Corp | 光ピックアップ |
| FR2726132B1 (fr) * | 1994-10-19 | 1996-11-15 | Thomson Csf | Dispositif d'emission mono-longueur d'onde |
| JP4843844B2 (ja) * | 1999-12-27 | 2011-12-21 | ソニー株式会社 | 光ヘッド、受発光素子、及び光記録媒体記録再生装置 |
| TW552645B (en) | 2001-08-03 | 2003-09-11 | Semiconductor Energy Lab | Laser irradiating device, laser irradiating method and manufacturing method of semiconductor device |
| JP4397571B2 (ja) | 2001-09-25 | 2010-01-13 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | レーザ照射方法およびレーザ照射装置、並びに半導体装置の作製方法 |
| CN100446181C (zh) * | 2001-09-25 | 2008-12-24 | 株式会社半导体能源研究所 | 激光照射方法和激光照射器件以及制造半导体器件的方法 |
| DE102009005844B4 (de) * | 2009-01-21 | 2018-11-22 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Anordnung zur Umwandlung gaussförmiger Laserstrahlung |
| DE102017200709A1 (de) * | 2017-01-18 | 2018-07-19 | Robert Bosch Gmbh | Optische Anordnung zur Strahlzusammenführung |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55163566A (en) * | 1979-06-05 | 1980-12-19 | Sony Corp | Hologram lens and its production and optical system signal using this hologram lens |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1091966A (en) * | 1976-10-15 | 1980-12-23 | Chiaki Kojima | Apparatus for reading signals recorded on a record carrier |
| US4318594A (en) * | 1977-02-15 | 1982-03-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Beam shaping optical system |
| FR2431141A1 (fr) * | 1978-07-10 | 1980-02-08 | Thomson Csf | Source de rayonnement optique comprenant un laser semi-conducteur et des moyens d'anamorphose du faisceau emis par ce laser |
| JPS5545074A (en) * | 1978-09-28 | 1980-03-29 | Ricoh Co Ltd | Hologram lens |
| JPS5647933A (en) * | 1979-09-25 | 1981-04-30 | Sony Corp | Optical signal head |
| US4397527A (en) * | 1981-02-26 | 1983-08-09 | Eastman Kodak Company | Apparatus for use in correcting beam anamorphicity by vector diffraction |
| JPS5879207A (ja) * | 1981-11-06 | 1983-05-13 | Pioneer Electronic Corp | 光学式ピツクアツプ装置 |
| US4497534A (en) * | 1983-02-28 | 1985-02-05 | International Business Machines Corporation | Holographic optical head |
-
1983
- 1983-02-16 JP JP58022850A patent/JPH0627907B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1984
- 1984-02-08 DE DE8484101292T patent/DE3480435D1/de not_active Expired
- 1984-02-08 EP EP84101292A patent/EP0116896B1/en not_active Expired
- 1984-02-08 US US06/578,209 patent/US4779943A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55163566A (en) * | 1979-06-05 | 1980-12-19 | Sony Corp | Hologram lens and its production and optical system signal using this hologram lens |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3480435D1 (en) | 1989-12-14 |
| US4779943A (en) | 1988-10-25 |
| JPH0627907B2 (ja) | 1994-04-13 |
| EP0116896A3 (en) | 1985-08-14 |
| EP0116896A2 (en) | 1984-08-29 |
| EP0116896B1 (en) | 1989-11-08 |
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