JPS5914887B2 - 電子線露光方法 - Google Patents
電子線露光方法Info
- Publication number
- JPS5914887B2 JPS5914887B2 JP14806080A JP14806080A JPS5914887B2 JP S5914887 B2 JPS5914887 B2 JP S5914887B2 JP 14806080 A JP14806080 A JP 14806080A JP 14806080 A JP14806080 A JP 14806080A JP S5914887 B2 JPS5914887 B2 JP S5914887B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- line segment
- register
- supplied
- drawn
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/302—Controlling tubes by external information, e.g. programme control
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子線露光方法に関し、特に電子線の照射点を
間引いて照射し、走査する電子線露光方法に関する。
間引いて照射し、走査する電子線露光方法に関する。
電子線の照射点を一線分走査し、一線分走査する毎に、
１ステップずつ該線分とは垂直な方向に一定量シフトさ
せて次の−線分を描画し、このようにして複数の線分を
充分密に並列して描画し、台形、矩形、三角形等を描画
することが行なわれている。
１ステップずつ該線分とは垂直な方向に一定量シフトさ
せて次の−線分を描画し、このようにして複数の線分を
充分密に並列して描画し、台形、矩形、三角形等を描画
することが行なわれている。
このような露光方法において、例えば台形を描画するた
め第１図に示すようにＡ点からＢ点までの一線分走査す
る場合、電子線を丸印で示した全ての点に照射しながら
移動させる場合と、電子線５ 径を大きくして実線の丸
印で示した点にのみ照射して高速で行う場合がある。
め第１図に示すようにＡ点からＢ点までの一線分走査す
る場合、電子線を丸印で示した全ての点に照射しながら
移動させる場合と、電子線５ 径を大きくして実線の丸
印で示した点にのみ照射して高速で行う場合がある。
もち論後者の場合には名−線分の間隔も実線の丸印に合
わせて粗くなる。さて後者の方法で描画する場合、最も
密に電子線を移動させて描画する場合の基準となる−線
１０分の移動距離（即ちＡＢの長さ）が間引き距離（実
線の丸印の間隔）△をの整数ｎ倍でなく、を＋△を’で
表わされる場合（但し、を＝ｎ・△ι且つ△を’＜△を
）、実際に電子線の移動する距離は（ｎ＋１）・△ι又
はｎ・△をとなり、最大１５の場合前記基準の距離に対
して一間引き距離△をに略等しい誤差を生じていた。本
発明はこのような従来方法の欠点を解決すべくなされた
もので、以下図面に基づき本発明の一実施例を例えば第
２図に示す如き台形を描画する刃 場合を例にとつて説
明する。
わせて粗くなる。さて後者の方法で描画する場合、最も
密に電子線を移動させて描画する場合の基準となる−線
１０分の移動距離（即ちＡＢの長さ）が間引き距離（実
線の丸印の間隔）△をの整数ｎ倍でなく、を＋△を’で
表わされる場合（但し、を＝ｎ・△ι且つ△を’＜△を
）、実際に電子線の移動する距離は（ｎ＋１）・△ι又
はｎ・△をとなり、最大１５の場合前記基準の距離に対
して一間引き距離△をに略等しい誤差を生じていた。本
発明はこのような従来方法の欠点を解決すべくなされた
もので、以下図面に基づき本発明の一実施例を例えば第
２図に示す如き台形を描画する刃 場合を例にとつて説
明する。
本発明を実施するための装置の−伊リを示す第３図にお
いて、１は電子計算機であり、該電子計算機１より描画
開始Ｘ座標発生回路２に第２図に示した台形の描画開始
点Ｃ（ＤＸ座標Ｘｏを表わすデ２５−夕が供給される。
いて、１は電子計算機であり、該電子計算機１より描画
開始Ｘ座標発生回路２に第２図に示した台形の描画開始
点Ｃ（ＤＸ座標Ｘｏを表わすデ２５−夕が供給される。
該描画開始Ｘ座標発生回路２は一線分ずつ描画する毎に
、Ｘｏから△Ｘずつ増加した次の−線分の一端のＸ座標
データを出力する。描画開始Ｘ座標発生回路２よりの出
力データはスイッチ３を介してレジスタ４Ｖｃ供給され
る。３０該レジスタ４の出力信号は加算器５の一方の入
力端に供給されると共に、ＤＡ変換器６、増幅器１を介
してＸ方向偏向器８に供給される。
、Ｘｏから△Ｘずつ増加した次の−線分の一端のＸ座標
データを出力する。描画開始Ｘ座標発生回路２よりの出
力データはスイッチ３を介してレジスタ４Ｖｃ供給され
る。３０該レジスタ４の出力信号は加算器５の一方の入
力端に供給されると共に、ＤＡ変換器６、増幅器１を介
してＸ方向偏向器８に供給される。
又加算器５には間引き距離△をを表わすデータがレジス
タ９より供給される。又加算器５の出力信号はスイ３５
ツチ３を介してレジスタ４に供給される。レジスタ４
は一線分描画する毎に制御回路２４より供給される第４
図ａに示す如き読み込み指令信号に基クｑ一づいてスイ
ツチ３を介して描画開始座標発生回路２よりデータを読
み込む。
タ９より供給される。又加算器５の出力信号はスイ３５
ツチ３を介してレジスタ４に供給される。レジスタ４
は一線分描画する毎に制御回路２４より供給される第４
図ａに示す如き読み込み指令信号に基クｑ一づいてスイ
ツチ３を介して描画開始座標発生回路２よりデータを読
み込む。
又、該レジスタ４は一線分上で電子線照射点を移動する
毎に制御回路２４より供給される第４図ｂに示す如き読
み込み指令信号に基づいてスイツチ３を介して加算器５
よりの出力信号を読み込む。１０はＹ座標発生回路であ
り、Ｙ座標発生回路１０ＶＣは電子計算機１より描画前
に前記点ＣＯＹ座標ＹＯを表わすデータが供給される。
毎に制御回路２４より供給される第４図ｂに示す如き読
み込み指令信号に基づいてスイツチ３を介して加算器５
よりの出力信号を読み込む。１０はＹ座標発生回路であ
り、Ｙ座標発生回路１０ＶＣは電子計算機１より描画前
に前記点ＣＯＹ座標ＹＯを表わすデータが供給される。
該Ｙ座標発生回路１０はＹＯを表わすデータを用いて、
一線分描画する毎に制御回路２４よりのタイミング信号
に従つてＹＯから△Ｙずつ増加した次の一線分のＹ座標
を表わすデータを出力する。該Ｙ座標発生回路１０の出
力信号はＤＡ変換器１１，増幅器１２，Ｙ方向偏向器８
Ｙに供給される。１３は電子計算機１より最初の一線分
（即ち底辺）の長さＬＯを表わすデータが供給されるレ
ジスタであり、該レジスタ１３の出力信号はスイツチ１
４を介してレジスタ１５に供給される。
一線分描画する毎に制御回路２４よりのタイミング信号
に従つてＹＯから△Ｙずつ増加した次の一線分のＹ座標
を表わすデータを出力する。該Ｙ座標発生回路１０の出
力信号はＤＡ変換器１１，増幅器１２，Ｙ方向偏向器８
Ｙに供給される。１３は電子計算機１より最初の一線分
（即ち底辺）の長さＬＯを表わすデータが供給されるレ
ジスタであり、該レジスタ１３の出力信号はスイツチ１
４を介してレジスタ１５に供給される。
１６は隣り合う一線分同志の長さの差△Ｌを表わすデー
タが電子計算機１より供給されるレジスタであり、該レ
ジスタ１６よりの出力信号は減算器１７に供給される。
タが電子計算機１より供給されるレジスタであり、該レ
ジスタ１６よりの出力信号は減算器１７に供給される。
該減算器１７の出力信号はスイツチ１４を介してレジス
タ１５に供給される。レジスタ１５の出力信号は加算器
１８に供給されると共に、前記減算器１７に戻される。
レジスタ１５は制御回路２４よりの第４図ＡＶＣ示す如
き読み込み指令信号に従つて一線分描画する毎にデータ
の読み込みを行うが、第４図ＡＶＣ｝いてイで示された
指令信号に対応した最初の読み込み時においてのみレジ
スタ１３の内容を読み込み、その後においては減算器１
７の出力データを読み込む。従つてレジスタ１５の出力
データは一線分描画する毎にＬＯから△Ｌずつ減少して
行く。加算器１８にはレジスタ１９より間引き距離の半
値であ仔を表わすデータが供給される。尚、レジスタ９
，１９ＶＣは電子計算機１よりその時の間引き距離に応
じて予じめデータが供給される。加算器１８の出力信号
はスイツチ２０を介して、レジスタ２１に供給される。
該レジスタ２１の出力信号は減算器２２の一方の入力端
に供給されている。該減算器２２の他方の入力端にはレ
ジスタ９より前記間引き距離△ｔを表わすデータが供給
される。該減算器２２の出力信号は比較器２３に供給さ
れると共にスイツチ２０を介してレジスタ２１に供給さ
れる。レジスタ２１は制御回路２７よりの第４図ａに示
す如き（正確にはこの信号をやや遅延させＦｃ）読み込
み指令信号に従つて一線分描画する毎に加算器１８の出
力信号を読み込むと共に、第４図ｂに示す如き（正確に
はこの信号をやや遅延させた）読み込み指令信号に従つ
て同一線分上で照射点を移動させる毎に減算器２２の出
力データを読み込む。従つてレジスタ″２１及び減算器
２２の出力は各一線分の描画を開始する時に与えられた
データから照射点を該一線分上で移動する毎に△ｔずつ
減少して行くことになる。該減算器２２の出力信号は比
較器２３に供給されている。比較器２３にはレジスタ９
の出力信号も供給されて｝り、該比較器２３は減算器２
２よりの出力信号の表わすデータが△ｔ以下になると第
４図ＣＶＣ示す如き応答パルスを発生させ、制御回路２
４に供給する。制御回路２４においては該応答パルスに
幕づいて、第４図ａに示すような読み込み指令信号や、
描画開始Ｘ座標発生回路２や、Ｙ座標発生回路１０の出
力データを１ピツチずつ変化させるためのタイミング信
号を発生する。又図示していないが、一線分の描画開始
時からのトータルのシフト量を監視する回路構成も備え
られて｝り、最後の一線分の描画の後に、新たに一線分
の描画に入らぬようになつている。このような構成に卦
いて、例えば第２図に示す台形上の一線分Ｍを描画する
場合、まず第４図ａに卦いて口で示す如き読み込み指令
信号に幕づいて該一線分の一端Ｐ（７）Ｘ座標Ｘを表わ
すデータをレジスタ４が読み込む。又この時Ｙ座標発生
回路１０はこの一線分のＹ座標を表わすデータを出力す
る。従つて電子線はまず一点Ｐｖｃ．照射される。該照
射が終了すると、第４図ｂに示す如き読み込み指令信号
に従つて加算器５の出力信号をレジスタ４が読み込み、
電子線は該一線分Ｍ上の△ｔだけ離れた次の点に照射さ
れる。一方、該一線分Ｍを描画する時にはレジスタ１５
に該一線分の電子線照射を最も密にした際の長さＬを表
わすデータが格納される。従つて加算器１８，スイツチ
２０を介してレジスタ２１に最初にＬ＋一△ｔを表わす
データが格納され、従つて減算器２２の出力信号はＰ点
に電子線が照射された時点では（Ｌ＋−△ｔ）−△ｔと
なり、又電子線が次の点に照射された時点では（Ｌ＋一
△ｔ）−２△ｔとなる。
タ１５に供給される。レジスタ１５の出力信号は加算器
１８に供給されると共に、前記減算器１７に戻される。
レジスタ１５は制御回路２４よりの第４図ＡＶＣ示す如
き読み込み指令信号に従つて一線分描画する毎にデータ
の読み込みを行うが、第４図ＡＶＣ｝いてイで示された
指令信号に対応した最初の読み込み時においてのみレジ
スタ１３の内容を読み込み、その後においては減算器１
７の出力データを読み込む。従つてレジスタ１５の出力
データは一線分描画する毎にＬＯから△Ｌずつ減少して
行く。加算器１８にはレジスタ１９より間引き距離の半
値であ仔を表わすデータが供給される。尚、レジスタ９
，１９ＶＣは電子計算機１よりその時の間引き距離に応
じて予じめデータが供給される。加算器１８の出力信号
はスイツチ２０を介して、レジスタ２１に供給される。
該レジスタ２１の出力信号は減算器２２の一方の入力端
に供給されている。該減算器２２の他方の入力端にはレ
ジスタ９より前記間引き距離△ｔを表わすデータが供給
される。該減算器２２の出力信号は比較器２３に供給さ
れると共にスイツチ２０を介してレジスタ２１に供給さ
れる。レジスタ２１は制御回路２７よりの第４図ａに示
す如き（正確にはこの信号をやや遅延させＦｃ）読み込
み指令信号に従つて一線分描画する毎に加算器１８の出
力信号を読み込むと共に、第４図ｂに示す如き（正確に
はこの信号をやや遅延させた）読み込み指令信号に従つ
て同一線分上で照射点を移動させる毎に減算器２２の出
力データを読み込む。従つてレジスタ″２１及び減算器
２２の出力は各一線分の描画を開始する時に与えられた
データから照射点を該一線分上で移動する毎に△ｔずつ
減少して行くことになる。該減算器２２の出力信号は比
較器２３に供給されている。比較器２３にはレジスタ９
の出力信号も供給されて｝り、該比較器２３は減算器２
２よりの出力信号の表わすデータが△ｔ以下になると第
４図ＣＶＣ示す如き応答パルスを発生させ、制御回路２
４に供給する。制御回路２４においては該応答パルスに
幕づいて、第４図ａに示すような読み込み指令信号や、
描画開始Ｘ座標発生回路２や、Ｙ座標発生回路１０の出
力データを１ピツチずつ変化させるためのタイミング信
号を発生する。又図示していないが、一線分の描画開始
時からのトータルのシフト量を監視する回路構成も備え
られて｝り、最後の一線分の描画の後に、新たに一線分
の描画に入らぬようになつている。このような構成に卦
いて、例えば第２図に示す台形上の一線分Ｍを描画する
場合、まず第４図ａに卦いて口で示す如き読み込み指令
信号に幕づいて該一線分の一端Ｐ（７）Ｘ座標Ｘを表わ
すデータをレジスタ４が読み込む。又この時Ｙ座標発生
回路１０はこの一線分のＹ座標を表わすデータを出力す
る。従つて電子線はまず一点Ｐｖｃ．照射される。該照
射が終了すると、第４図ｂに示す如き読み込み指令信号
に従つて加算器５の出力信号をレジスタ４が読み込み、
電子線は該一線分Ｍ上の△ｔだけ離れた次の点に照射さ
れる。一方、該一線分Ｍを描画する時にはレジスタ１５
に該一線分の電子線照射を最も密にした際の長さＬを表
わすデータが格納される。従つて加算器１８，スイツチ
２０を介してレジスタ２１に最初にＬ＋一△ｔを表わす
データが格納され、従つて減算器２２の出力信号はＰ点
に電子線が照射された時点では（Ｌ＋−△ｔ）−△ｔと
なり、又電子線が次の点に照射された時点では（Ｌ＋一
△ｔ）−２△ｔとなる。
一般に電子線照射点が点Ｐから間引き距離△ｔを単位と
してｉピツチ進むと減算器２２の出力信号は（Ｌ＋一△
ｔ）−１・△ｔとなる。該減算器２２の出力信号が△ｔ
より小さくなると比較器２３より第４図ｃ・でおいてハ
で示す如き応答パ ．″ルスが発生し、制御回路２４に
供給される。従つて制御回路２４は該一線分Ｍの描画を
終えて次の−線分を描画するために前述した所定の信号
を発生する。上述した如き本発明によれば、△ｔを単位
とし １て描画して来た長さ（電子線の移動距離）とＬ
との差がΣΔｔよりも小さくなつた時にその一線分の描
画を終了して次の一線分の描画に移るようにしているた
め、電子線を最も密に照射して描画する場合の長さ（電
子線の移動距離）Ｌと、実際に描画される長さ（電子線
の移動距離）との差は最大の場合でもグ△ｔを越えるこ
とはなく、従来に比して描画図形の精度を２倍向上させ
ることができる。
してｉピツチ進むと減算器２２の出力信号は（Ｌ＋一△
ｔ）−１・△ｔとなる。該減算器２２の出力信号が△ｔ
より小さくなると比較器２３より第４図ｃ・でおいてハ
で示す如き応答パ ．″ルスが発生し、制御回路２４に
供給される。従つて制御回路２４は該一線分Ｍの描画を
終えて次の−線分を描画するために前述した所定の信号
を発生する。上述した如き本発明によれば、△ｔを単位
とし １て描画して来た長さ（電子線の移動距離）とＬ
との差がΣΔｔよりも小さくなつた時にその一線分の描
画を終了して次の一線分の描画に移るようにしているた
め、電子線を最も密に照射して描画する場合の長さ（電
子線の移動距離）Ｌと、実際に描画される長さ（電子線
の移動距離）との差は最大の場合でもグ△ｔを越えるこ
とはなく、従来に比して描画図形の精度を２倍向上させ
ることができる。
尚、土述した実施例においてＹ方向の電子線移２動距離
を監視する回路をＸ方向の場合と同様に構成し、Ｙ方向
においても誤差が一△ｔより小さく）
２なるように構成できる。
を監視する回路をＸ方向の場合と同様に構成し、Ｙ方向
においても誤差が一△ｔより小さく）
２なるように構成できる。
更に又、上述した実施例装置は一例に過ぎず、例えばレ
ジスタ１５の出力信号を直接スイツチ２０を介してレジ
スタ２１に供給すると共に、比較器２３にレジスタ９に
代えてレジスタ１９の出力信号を供給するように構成す
ることもできる。
ジスタ１５の出力信号を直接スイツチ２０を介してレジ
スタ２１に供給すると共に、比較器２３にレジスタ９に
代えてレジスタ１９の出力信号を供給するように構成す
ることもできる。
第１図は従来の欠点を説明するための図、第２図は描画
すべき台形を例示するための図、第３図は本発明を実施
するための装置の一例を示すための図、第４図は第３図
Ｋ示した装置の各回路へ供給される信号を例示するため
の図である。 １：電子計算器、２：描画開始Ｘ座標発生回路、３，１
４，２０：スイツチ、４，９，１３，１５，１６，１９
，２１：レジスタ、５，１８：加算器、６，１１：ＤＡ
変換器、７，１２：増幅器、８Ｘ，８Ｙ：偏向器、１０
：Ｙ座標発生回路、１７，２２：減算器、２３：比較器
、２４：制御回路。
すべき台形を例示するための図、第３図は本発明を実施
するための装置の一例を示すための図、第４図は第３図
Ｋ示した装置の各回路へ供給される信号を例示するため
の図である。 １：電子計算器、２：描画開始Ｘ座標発生回路、３，１
４，２０：スイツチ、４，９，１３，１５，１６，１９
，２１：レジスタ、５，１８：加算器、６，１１：ＤＡ
変換器、７，１２：増幅器、８Ｘ，８Ｙ：偏向器、１０
：Ｙ座標発生回路、１７，２２：減算器、２３：比較器
、２４：制御回路。
Claims (1)
- １ 電子線で−線分描画する毎に描画すべき位置を１ス
テップずつ該線分とは垂直な方向にシフトさせて次の一
線分を描画し台形、矩形、又は三角形を描画するにあた
り、一線分上における電子線の照射位置間隔をΔｌにと
り最も密に照射する場合に対して間引いて描画する方法
において、各一線分を描画するにあたり、最も密に電子
線を移動させて描画する場合の基準電子線移動距離Ｌと
前記Δｌを単位として描画して来た長さとの差がｌ／２
・Δｌよりも小さくなると一線分の描画を終了し次の一
線分の描画を行なうようにしたことを特徴とする電子線
露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14806080A JPS5914887B2 (ja) | 1980-10-22 | 1980-10-22 | 電子線露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14806080A JPS5914887B2 (ja) | 1980-10-22 | 1980-10-22 | 電子線露光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5771133A JPS5771133A (en) | 1982-05-01 |
| JPS5914887B2 true JPS5914887B2 (ja) | 1984-04-06 |
Family
ID=15444278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14806080A Expired JPS5914887B2 (ja) | 1980-10-22 | 1980-10-22 | 電子線露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5914887B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0620580U (ja) * | 1992-03-30 | 1994-03-18 | 旭コンクリート工業株式会社 | Ｐｃ鋼材用キャップ |
| WO2020195762A1 (ja) | 2019-03-25 | 2020-10-01 | パナソニック インテレクチュアル プロパティ コーポレーション オブ アメリカ | インナーホン |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2190567A (en) * | 1986-05-16 | 1987-11-18 | Philips Electronic Associated | Electron beam pattern generator control |
-
1980
- 1980-10-22 JP JP14806080A patent/JPS5914887B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0620580U (ja) * | 1992-03-30 | 1994-03-18 | 旭コンクリート工業株式会社 | Ｐｃ鋼材用キャップ |
| WO2020195762A1 (ja) | 2019-03-25 | 2020-10-01 | パナソニック インテレクチュアル プロパティ コーポレーション オブ アメリカ | インナーホン |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5771133A (en) | 1982-05-01 |
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