JP2539108B2 - パタ−ン検査方法 - Google Patents
パタ−ン検査方法Info
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- JP2539108B2 JP2539108B2 JP6020291A JP6020291A JP2539108B2 JP 2539108 B2 JP2539108 B2 JP 2539108B2 JP 6020291 A JP6020291 A JP 6020291A JP 6020291 A JP6020291 A JP 6020291A JP 2539108 B2 JP2539108 B2 JP 2539108B2
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- Japan
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレチクル等のパターン検
査方法の改良に関するものである。半導体装置の製造に
用いるホトマスクの製造方法として一般に該マスクの寸
法の約１０倍の寸法を有するレチクルを製造し、該レチ
クルを縮少してマスターマスクを得、該マスターマスク
をコピーして半導体装置の製造に用いるホトマスクを得
る方法がとられている。
査方法の改良に関するものである。半導体装置の製造に
用いるホトマスクの製造方法として一般に該マスクの寸
法の約１０倍の寸法を有するレチクルを製造し、該レチ
クルを縮少してマスターマスクを得、該マスターマスク
をコピーして半導体装置の製造に用いるホトマスクを得
る方法がとられている。
【０００２】
【従来の技術】従来このようなレチクルを製造してから
該レチクルパターンを検査する方法として顕微鏡を用い
て検査していたが，検査に要する工数および検査精度が
悪い等問題が多かった。
該レチクルパターンを検査する方法として顕微鏡を用い
て検査していたが，検査に要する工数および検査精度が
悪い等問題が多かった。
【０００３】そこで本発明者らは第１図に示すようなレ
チクル検査方法を考えた。すなわち第１図に示すよう
に、実際にレチクルパターン１を製造したガラス基板２
を設置台（図示せず）に設置し、該基板の背面より例え
ばレーザ光源３よりレーザ光線４を照射し、該レチクル
パターンを透過した光をイメージセンサ５で検知する。
一方該パターンを基準点からｘ軸方向の右端側へ移動さ
せたのち、またｘ軸の左端へ戻してからｙ方向に所定寸
法移動させ、またｘ軸の右端へ移動するように設置台を
移動させながらガラス基板を透過した光を検知する。そ
してこのようにしてイメージセンサ５を用いて検知した
光信号を光電変換したのち該信号を６の映像信号変換回
路で変換してからモニタテレビ７に走査線群８として写
しだす。
チクル検査方法を考えた。すなわち第１図に示すよう
に、実際にレチクルパターン１を製造したガラス基板２
を設置台（図示せず）に設置し、該基板の背面より例え
ばレーザ光源３よりレーザ光線４を照射し、該レチクル
パターンを透過した光をイメージセンサ５で検知する。
一方該パターンを基準点からｘ軸方向の右端側へ移動さ
せたのち、またｘ軸の左端へ戻してからｙ方向に所定寸
法移動させ、またｘ軸の右端へ移動するように設置台を
移動させながらガラス基板を透過した光を検知する。そ
してこのようにしてイメージセンサ５を用いて検知した
光信号を光電変換したのち該信号を６の映像信号変換回
路で変換してからモニタテレビ７に走査線群８として写
しだす。
【０００４】一方レチクルパターンを製造するための該
レチクルパターン情報を格納した磁気テープ９からのパ
ターン情報をやはり映像信号に変換して前述したのと同
様にしてモニタテレビ１０に走査線群１１として写し出
すと共に両者の映像信号は比較回路１２で比較され、そ
の結果は記憶装置等に格納される。
レチクルパターン情報を格納した磁気テープ９からのパ
ターン情報をやはり映像信号に変換して前述したのと同
様にしてモニタテレビ１０に走査線群１１として写し出
すと共に両者の映像信号は比較回路１２で比較され、そ
の結果は記憶装置等に格納される。
【０００５】このようにして実際にレチクルを走査して
得た映像信号と磁気テープ９の基準映像信号を比較照合
することで前記製造したレチクルパターンの検査を行う
ようにしていた。
得た映像信号と磁気テープ９の基準映像信号を比較照合
することで前記製造したレチクルパターンの検査を行う
ようにしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで一般に前記レ
チクルパターンを製造する場合基板上にクロム（Ｃｒ）
等の金属膜を蒸着等によって被着したのち、該金属膜上
にホトレジスト膜を被着し、該ホトレジスト膜を所定パ
ターンに露光後写真蝕刻法で所定パターンに形成してか
ら、該パターニングしたホトレジスト膜をマスクとして
下部の金属膜を所定パターンにエッチングする工程があ
り、このエッチングによってレチクルパターンの角部が
欠落し丸味をどうしても持つようになる。
チクルパターンを製造する場合基板上にクロム（Ｃｒ）
等の金属膜を蒸着等によって被着したのち、該金属膜上
にホトレジスト膜を被着し、該ホトレジスト膜を所定パ
ターンに露光後写真蝕刻法で所定パターンに形成してか
ら、該パターニングしたホトレジスト膜をマスクとして
下部の金属膜を所定パターンにエッチングする工程があ
り、このエッチングによってレチクルパターンの角部が
欠落し丸味をどうしても持つようになる。
【０００７】前述した磁気テープに格納されたパターン
情報はレチクルパターン設計図にあたるものでありパタ
ーンの角部に丸味をもたない鋭角状のものであるため実
際に製造したレチクルパターンを走査して得た映像信号
と磁気テープ９に記憶された映像信号とは異なることに
なるため、製造されたレチクルパターンは不良と判定さ
れる欠点を生じる。
情報はレチクルパターン設計図にあたるものでありパタ
ーンの角部に丸味をもたない鋭角状のものであるため実
際に製造したレチクルパターンを走査して得た映像信号
と磁気テープ９に記憶された映像信号とは異なることに
なるため、製造されたレチクルパターンは不良と判定さ
れる欠点を生じる。
【０００８】本発明は上述した欠点を除去するようなレ
チクルパターンの検査方法の提供を課題とするものであ
る。
チクルパターンの検査方法の提供を課題とするものであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】かかる課題は、角部を有
するパターンの設計情報に基づいて写真蝕刻法によって
レチクル上に形成されたパターンを検査するレチクルパ
ターン検査方法であって、前記パターンを光学的に走査
する工程と、前記走査によって得られた信号を第１の映
像信号に変換する工程と、記憶装置から前記角部を有す
るパターンの設計情報を読み出す工程と、前記設計情報
を第２の映像信号に変換する工程と、第２の映像信号を
補正して、前記角部が欠落したパターンに対応する第３
の映像信号を出力する工程と、前記第３の映像信号を基
準として前記第１の映像信号と比較し前記写真蝕刻法に
よって形成されたパターンの欠陥を検出する工程とを含
むレチクルパターン検査方法によって解決される。
するパターンの設計情報に基づいて写真蝕刻法によって
レチクル上に形成されたパターンを検査するレチクルパ
ターン検査方法であって、前記パターンを光学的に走査
する工程と、前記走査によって得られた信号を第１の映
像信号に変換する工程と、記憶装置から前記角部を有す
るパターンの設計情報を読み出す工程と、前記設計情報
を第２の映像信号に変換する工程と、第２の映像信号を
補正して、前記角部が欠落したパターンに対応する第３
の映像信号を出力する工程と、前記第３の映像信号を基
準として前記第１の映像信号と比較し前記写真蝕刻法に
よって形成されたパターンの欠陥を検出する工程とを含
むレチクルパターン検査方法によって解決される。
【００１０】
【作用】本発明によれば、基準となる設計情報に基いて
作成したパターン角部に対応する部分の映像信号に上述
の如く補正がかけられているので、検査精度（感度）を
高めたとしても実質的に影響のない程度のパターン角部
の欠落が擬似不良として検出されることがなく、高精度
の検査を効率良く実施することができる。しかも、設計
情報を映像信号に変換してから補正を欠けるので容易に
補正できる。
作成したパターン角部に対応する部分の映像信号に上述
の如く補正がかけられているので、検査精度（感度）を
高めたとしても実質的に影響のない程度のパターン角部
の欠落が擬似不良として検出されることがなく、高精度
の検査を効率良く実施することができる。しかも、設計
情報を映像信号に変換してから補正を欠けるので容易に
補正できる。
【００１１】
以下図面を用いながら本発明の一実施例につき詳細に説
明する。 第２図は本発明のレチクル検査方法を実施するためのブ
ロック図、第３図は作製したレチクルパターンの平面
図、第４図は本発明の方法を実施する場合の記憶装置か
ら映像信号を送出する時のタイムチャート、第５図は本
発明の方法によって形成した映像信号を映像したモニタ
テレビの走査線の状態及びレチクルパターンからの透過
光をモニタテレビに撮し出した走査線の状態を示す図、
第６図は映像信号補正回路の一例である。
明する。 第２図は本発明のレチクル検査方法を実施するためのブ
ロック図、第３図は作製したレチクルパターンの平面
図、第４図は本発明の方法を実施する場合の記憶装置か
ら映像信号を送出する時のタイムチャート、第５図は本
発明の方法によって形成した映像信号を映像したモニタ
テレビの走査線の状態及びレチクルパターンからの透過
光をモニタテレビに撮し出した走査線の状態を示す図、
第６図は映像信号補正回路の一例である。
【００１２】まず第３図に示すようにガラス基板３１上
に作製した例えば長方形状のパターン３２は例えばパタ
ーン寸法が５００μｍ×３００μｍの場合通常その角の
部分が約１μｍの半径ｒの円弧３３を描いて欠けている
のが通例である。ここでこのような角の部分が欠けてい
るレチクルパターンを検査する場合について述べると前
記角部が欠けたレチクルを移動台上に載置して該移動台
を基準点よりｘ方向に移動させたのち一旦ｘ方向より反
対側にはじめの基準点のｘ座標まで移動させてからｙ方
向に所定寸法移動させ、更にまたｘ方向に移動させる。
一方該ガラス基板の下部よりレーザ光を照射するレーザ
光源を設置し、第２図のブロック図に示すようにレチク
ルを透過した透過光をイメージセンサ等からなる映像信
号変換回路２１を用いてモニタテレビ２２に写し出す。
このモニタテレビに映像されたレチクルパターンの状態
は第５図のようになっており、前記パターンの角部が欠
けている。
に作製した例えば長方形状のパターン３２は例えばパタ
ーン寸法が５００μｍ×３００μｍの場合通常その角の
部分が約１μｍの半径ｒの円弧３３を描いて欠けている
のが通例である。ここでこのような角の部分が欠けてい
るレチクルパターンを検査する場合について述べると前
記角部が欠けたレチクルを移動台上に載置して該移動台
を基準点よりｘ方向に移動させたのち一旦ｘ方向より反
対側にはじめの基準点のｘ座標まで移動させてからｙ方
向に所定寸法移動させ、更にまたｘ方向に移動させる。
一方該ガラス基板の下部よりレーザ光を照射するレーザ
光源を設置し、第２図のブロック図に示すようにレチク
ルを透過した透過光をイメージセンサ等からなる映像信
号変換回路２１を用いてモニタテレビ２２に写し出す。
このモニタテレビに映像されたレチクルパターンの状態
は第５図のようになっており、前記パターンの角部が欠
けている。
【００１３】そのため記憶装置から出力される走査信号
をレチクルパターンの角部に対応するタイミングで一定
期間禁止して疑似的に設計時に用いた磁気テープから送
出される基準となるレチクルパターンの角部を欠落させ
検査用信号を補正することが本発明の目的である。
をレチクルパターンの角部に対応するタイミングで一定
期間禁止して疑似的に設計時に用いた磁気テープから送
出される基準となるレチクルパターンの角部を欠落させ
検査用信号を補正することが本発明の目的である。
【００１４】そのため第２図に示すように磁気テープ２
３より送出される信号を映像信号変換回路２４で変換し
てモニタテレビ２６に入力する以前に映像信号補正回路
２５を用いて補正する。
３より送出される信号を映像信号変換回路２４で変換し
てモニタテレビ２６に入力する以前に映像信号補正回路
２５を用いて補正する。
【００１５】ここで磁気テープ２３に記憶されている基
準パターンの角部を欠落させる映像信号補正回路２５と
しては種々の構成が考えられるが例えば第６図の如き構
成のものを使用すればよい。ここで磁気テープ２３には
レチクルパターンと背景とを含めた映像信号が記憶され
ている。本実施例では第５図の角部ａ，ｂ，ｃ，ｄ点で
パターンを欠落させねばならない。そこで第６図におけ
るように変化点検出回路６１により走査信号が白から黒
に変化した点、すなわちレチクルパターン自体のデータ
が磁気テープより出力された時点を検出し、その検出出
力でセットリセット回路６２をセットし、セットリセッ
ト回路６２の出力によりカウンタ６３はクロックＣＬＫ
のカウントを開始する。同時に補正パルス発生回路６４
からは第４図に示す所定のパルス幅を有するパルス４１
が出力される。このパルス４１はインバータ６５で反転
されるのでアンドゲート６６の一方の入力端がローレベ
ルとなって磁気テープ２３からの走査信号の出力は禁止
される。その結果アンドゲート６６の出力は第４図のパ
ルス４２のようになる。
準パターンの角部を欠落させる映像信号補正回路２５と
しては種々の構成が考えられるが例えば第６図の如き構
成のものを使用すればよい。ここで磁気テープ２３には
レチクルパターンと背景とを含めた映像信号が記憶され
ている。本実施例では第５図の角部ａ，ｂ，ｃ，ｄ点で
パターンを欠落させねばならない。そこで第６図におけ
るように変化点検出回路６１により走査信号が白から黒
に変化した点、すなわちレチクルパターン自体のデータ
が磁気テープより出力された時点を検出し、その検出出
力でセットリセット回路６２をセットし、セットリセッ
ト回路６２の出力によりカウンタ６３はクロックＣＬＫ
のカウントを開始する。同時に補正パルス発生回路６４
からは第４図に示す所定のパルス幅を有するパルス４１
が出力される。このパルス４１はインバータ６５で反転
されるのでアンドゲート６６の一方の入力端がローレベ
ルとなって磁気テープ２３からの走査信号の出力は禁止
される。その結果アンドゲート６６の出力は第４図のパ
ルス４２のようになる。
【００１６】なおクロックＣＬＫは磁気テープ装置の読
み出し動作に同期したものが使用され、またａ点検出
後、何クロック目でｂ，ｃ，ｄ点があらわれるかはあら
かじめ解っているので、このタイミングをレチクルパタ
ーンごとにカウンタ６３にプリセットしておく。
み出し動作に同期したものが使用され、またａ点検出
後、何クロック目でｂ，ｃ，ｄ点があらわれるかはあら
かじめ解っているので、このタイミングをレチクルパタ
ーンごとにカウンタ６３にプリセットしておく。
【００１７】このようにすることによりａ点検出後、
ｂ，ｃ，ｄ点が表われるタイミングで補正パルス発生回
路６４はトリガされ、第４図Ｂのごとく補正パルスが発
生され、レチクルパターンの４つの角部が疑似的に欠落
したことになる。
ｂ，ｃ，ｄ点が表われるタイミングで補正パルス発生回
路６４はトリガされ、第４図Ｂのごとく補正パルスが発
生され、レチクルパターンの４つの角部が疑似的に欠落
したことになる。
【００１８】一画面の比較が終了するとセットリセット
回路６２、カウンタ６３はリセットされる。なおカウン
タ６３のプリセット入力の設定を変えることで種々のパ
ターンに対応可能である。
回路６２、カウンタ６３はリセットされる。なおカウン
タ６３のプリセット入力の設定を変えることで種々のパ
ターンに対応可能である。
【００１９】また補正パルスのパルス幅は所定の欠落が
得られるように適宜調整する。なお映像信号補正回路２
５の構成は第６図に限るものではなく基準となるパター
ンの角部を欠落させるような構成であれば良い。
得られるように適宜調整する。なお映像信号補正回路２
５の構成は第６図に限るものではなく基準となるパター
ンの角部を欠落させるような構成であれば良い。
【００２０】ここで第４図のＡは映像信号変換回路２４
からの出力波形を示し、Ｂは映像信号補正回路２５の補
正波形を示し、Ｃは該補正波形で補正された補正後の映
像信号波形を示す。
からの出力波形を示し、Ｂは映像信号補正回路２５の補
正波形を示し、Ｃは該補正波形で補正された補正後の映
像信号波形を示す。
【００２１】
【発明の効果】このようにすれば磁気テープより出力さ
れる基準となるパターンの角部が疑似的に欠落され、実
際に作製したレチクルパターンより得られた映像信号と
がほぼ合致する形となり、前述した従来の方法でレチク
ルパターンを検査した時に疑似不良が続出する欠点が除
去できる利点を生じレチクルの製造コストが低下する効
果を生じる。
れる基準となるパターンの角部が疑似的に欠落され、実
際に作製したレチクルパターンより得られた映像信号と
がほぼ合致する形となり、前述した従来の方法でレチク
ルパターンを検査した時に疑似不良が続出する欠点が除
去できる利点を生じレチクルの製造コストが低下する効
果を生じる。
【図１】レチクルの従来の検査方法を示す図。
【図２】本発明のレチクル検査方法を実施するためのブ
ロック図。
ロック図。
【図３】作製したレチクルパターンの平面図。
【図４】本発明の方法を実施する場合の記憶装置から映
像信号を送出する時のタイムチャート。
像信号を送出する時のタイムチャート。
【図５】本発明の方法によって形成した映像信号を映像
したモニタテレビの走査線の状態を示す図。
したモニタテレビの走査線の状態を示す図。
【図６】映像信号補正回路の一例を示す図である。
１，３２ レチクルパターン ２，３１ ガラス基板 ３ 光源 ４ 光線 ５ イメージセンサ ６，２１，２４ 映像信号変換回路 ７，１０，２２，２６ モニタテレビ ８，１１ 走査線群 ９，２３ 磁気テープ １２ 比較回路 ２５ 映像信号補正回路 ２７ 比較照合回路 ３３ 円弧 ４１，４２ パルス ６１ 変化点検出回路 ６２ セットリセット回路 ６３ カウンタ ６４ 補正パルス発生回路 ６５ インバータ ６６ アンドゲート Ａ 映像信号変換回路の出力波形 Ｂ 補正波形 Ｃ 補正後の映像信号波形 ａ，ｂ，ｃ，ｄ パターンの角部 を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 賢一 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭54−60458（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】 角部を有するパターンの設計情報に基づ
いて写真蝕刻法によってレチクル上に形成されたパター
ンを検査するレチクルパターン検査方法であって、 前記パターンを光学的に走査する工程と、 前記走査によって得られた信号を第１の映像信号に変換
する工程と、 記憶装置から前記角部を有するパターンの設計情報を読
み出す工程と、 前記設計情報を第２の映像信号に変換する工程と、 第２の映像信号を補正して、前記角部が欠落したパター
ンに対応する第３の映像信号を出力する工程と、 前記第３の映像信号を基準として前記第１の映像信号と
比較し前記写真蝕刻法によって形成されたパターンの欠
陥を検出する工程とを含むレチクルパターン検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6020291A JP2539108B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | パタ−ン検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6020291A JP2539108B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | パタ−ン検査方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56131276A Division JPS5832147A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | レチクル検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04211251A JPH04211251A (ja) | 1992-08-03 |
| JP2539108B2 true JP2539108B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=13135333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6020291A Expired - Lifetime JP2539108B2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | パタ−ン検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2539108B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5460458A (en) * | 1977-10-24 | 1979-05-15 | Hitachi Ltd | Device of automatically inspecting pattern of print board conductor |
-
1991
- 1991-03-25 JP JP6020291A patent/JP2539108B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04211251A (ja) | 1992-08-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19950328 |