JPS59147620A - 圧力スイング吸着系の為の新しい再加圧法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明はカス混合物の一成分について容計で９０係〜９
９％且つそれ以上のカスの流れを大量に得る為の方法に
関する。／ｌ！ｌ：発明は炭素分−子ふるいを用いる圧
カスインク吸着基ンこ依り富化されたカスの流れ全供給
する為の吸着工程に関する。

更に詳しくは、本発明は窒素、水素又（ｃＬメタンの即
きカスの安価な且つ大容景のカス源全力え、低７晶系或
は也のｊ王カスインク吸着系ノイつれよりも少ない作動
の為のエネルキー士必要とし、５１箇且つ曲（Ｃびけケ
取らない品質のカスを供、給する為の方法（（関する。

この中に月］いられているμ口く、カス混合物という用
語は空気と、分子の大きさの異る少なくとも二つの成分
より主として成る他のカス混合物を言う。富化されたカ
スという用１＠（／ｉ２つの塔の吸着ソーラ（直列に連
結されている）を通って該混合カスを通過させた後に比
較的吸着されないカス混合物のその成分より成るカスを
言う。、→いカス（リーンカス）という粗相ば２塔の成
層ゾーンの中の１塔のみを通過したガスで、望寸しくな
い成分の分率が通し７始めのカス混合物中のそれよりも
少ないが、望寸しい便品カスのそれよりも多いカスを−
４，１つ。

カス混合ｊ吻は圧カスインク吸着を用いて、以下に吸／
１．ｉ圧力と占（はれている、高い圧力て、杉混合′吻
の成分中の１っ或（はそれ以上全選択的に・人循−シ’
１．３る。吸着ｉすの塔を゛通って該混合カスを°通過
させること（で依り分別さ、Ｉｔ或は分離される４、こ
の顕択性柑、吸Ａ１］１す中の、；ｌｌｌ孔寸法分・１
１Ｊと特別のカスＪ戊分の吸拾の為の適当な＋１１１１
孔寸法の＋４、！ＩＩ孔容偵（て１ぺり叉配さ、ｒする
。このようにａｔ孔寸法よりも小さいか或は等しい運動
径を４１つカスの分子は吸着ｌ′ｉ）］Ｋｔ呆持或（ｄ
吸着さ、れる。−力より大きい１革のカス分子（ｄ形塔
金（１ｕ過する。人ｊ祭に該吸着剤は、該成分の分子径
ＶＣ従って該カス全ふるいに分ける。該カス混合物は又
、吸着剤の細孔系の中てのそれ等の成分の異った拡散率
のゆえに分別される。′該カスが該吸着剤の塔を通って
移動するに従って細孔泪、カス分子て光ださｎ′６ｏカ
ラムクロマトクラフィー系に於ける固体吸着賀１］を通
って移動する数体吸着の前１ｎ１（フロント）に類似の
、塔全通って移動する成層の１ｉＪｔｒｉ（フロント）
全想像することか出来る。ある時］ｉ４１後には、該塔
から出てｒゴくカス（ｄ吸）、いＳｌｌに入るカスと本
質的に同一：Ｉ：１１成である。之（ｄ゛ゝ破過″点と
して９ａ＋られている。この波過点のｒｓＪのある時間
に該塔はｉｌＮ生されね（はならぬ。

■１沢された成分をそれから吸危−するようＪイ昆合１
勿を処理した陵に該、各全通る該カス混合物の苑′１１
．　（、伎中１新され、該成層）１１ｊは真゛空か、又
は一般に該カス、Ｉ丘合物により取られる流れの反×１
方向にノ答を通って、低圧で該循製カスの一部ヲＪ戎す
パージカスの（准れを通過さぜることのいづれかに依り
該成層された成分全パージすることによって再使用の／
冒で７．Ｑ生さ凡る。

圧カスインク吸着は一力の塔か再生されている間に、他
方の塔か製品カスを・製造する吸ノ、ヘー状態にあるよ
うに通常少なくとも吸着剤の２塔を含む。このように該
塔の１Ｅ７Ｊをサイクルすることに依り製品カスは連続
的に得られる。

吸ｚ＋１．ｉソーンと１．゛う用語はこの中で用いられ
ているθ１１＜、２つの吸ノ音塔の連続的な配列を言う
。ＩＩＪち吸ノ計の、ｊ、ｉＩ、カスｉｄ６ヌソーンの
材シーＪ苔の人［」か１−）入り、該ゾーンを構成する
第二塔の出に１ｆ　Ａ＝ｉ−て該ゾーンから出る。２つ
のこの様なゾーンτ用いるｄｙ：　（／（（ｒｌ、之等
のソーン間全サイクルすることに依り製品カスは連続的
に１ぺ１ら］Ｕる。

１及Ｚｊ）ｉ力をｉ−’ｔつ、ケイ（、＋ｇＬ）　’！
（ｊ、のもの又は炭素ケ用い、１土つ吸７音とｊ況７６
１の団に【晶度又（は圧力の変化：　；ｊ”Ｊ月］する
吸看］二・１（ａを利用する酸素♂：・１化孕気の回収
は良く知られている。列えば５ｅｐａｒａｔｉｏｎ　５
ｃｉｅｎｃｅ　１．１４４１（１９７６）のナンテづと
ウォーカー著ゝ’５Ａセオライトと炭素分子ふるいを用
いる酸素と墾素の分離″を見よ。

１＋すえｒ↓セオライトのｙ日きめる４車のケイ改ｊ篇
は１攻素ど・４素の混合カスから望素全好んで吸着する
ことに対して効果的である。それ故セオライトケ光殖し
た塔を辿って空気を導くことに依り、最初に流出するガ
スは効果的に酸素含有量ヲ富化される。しかしながらセ
オライトの再生はエネルギーと装置に関してイ［１尚の
費用を会友とする。例えは、米国特許第３、１６４．’
　４５４号でウィルソンはセオライトを用いる空気から
の酸素の分：’ｉｌｌを述へている。

空気から富化された窒素の製造の為の炭素分子ふるいの
利用はよく知られた工・；イである１９１］えは、ヘエ
スタータルｊ／ｒｃ依る米国特許第２、５５６．８５９
号とミュンツナーＪ↓の他に依る米国特許第３．９６０
．５２２号を児よ４．之等のふるいは酸素のよ運動径に
匹敵する大きさを持ったｉｊ’：ＩＩ孔前造を有する。

之等を圧カスインク吸着系１で用いるときには之等の、
Ｓ−るい（はカス混合物から酸素を選択的（・て吸清し
、その他の成分か通過すること全許容する。

４塔の圧カスインク吸沼ユニット・・１炭ｌ浚カス、水
そして軽質の脂肪族炭化水素と水素とのぴ６合物からの
水素カスの分離、に首尾よく用いら〕１てす／コ。′ρ
１］えば米ｂ」特許ａ　３，４３０．．４．１８ｄに於
けるワクナーの記述を兄よ。

ＬｉＥカスイング吸着による他の二成分カス混合物の分
別も又良く知られている。例えはセオライト１３×を用
いる水イ・８と一酸化炭素との／ｉ、、ｌ、　、Ｒ！吻
から一段化炭素の分別、そして木炭、アルミナ又はシリ
カ金柑いる人込料カス混合物と炭ＦＷカスとのｉｊＺ合
′吻刀・ら炭層ノフスの分別は良く知られている。シモ
ネットによる米国時１ｉ′１第３．８８４．６６１号を
兄よ。

アルコンと酸素又ｒＪ、ヘリウムとメタンの二成分カス
混合物（′Ｊ、圧カスインク吸着工程に於け・Ｓ部分計
）父比さ、れたノ大索の・吸沼−削によって分２１１１
されｆ’ｃ。ドイツ公＋、ｉａ　第２．０４５．２００
８ケ児よ、。

現在の炭；（・８分子ふるいの技術に於ける代表的な問
題（ｄ、・４ぐ品カスの低い収率、要求される分子ふる
いの大量とエネルギーの能率の上がらない内生方法を含
む。

発明の開示 本発明は３バール（約３０５９火）乃至８．０バール（
約８．１５８　ｉ））の範囲内から選択された圧力で、
この中で吸着ゾーンと呼はれている直列に配列された分
子ふるい炭素を含む２基金通して混合カスを分別し、そ
の後炭素基の隙間にある残留カスと１吸着されたカスの
一部全回ｉｔに通気することに依り吸着ゾーンの圧力全
大気のレベル迄減圧し、７０トール（７０＋ｎｍ　Ｈｇ
　）乃至２５０トール（２５０ｍｍ　ｆ（ｇ　）の範囲
の真空に依り該吸尤ゾーンの炭素の塔？再生し、第二の
直クリに連結された２塔の吸着ゾーンの第二の炭素の塔
の人口を通して単独に該カス混合物全供給する１１月、
芸第二の吸着ゾーンの第二炭素基から出るカス（又薄い
カスとして言及される）をその人口に導くことに依り該
吸着ゾーンの圧力全吸着圧力の約４０％乃至９０％迄部
分的に戻し、核薄いカスの流れを止め、そして更（で射
１．ｊ？１品質ノカスを該ゾーンの出口端に導くことに
より該吸ノ１イ圧力を完全に仄し、それから第二リーン
（・第一リーンと同様に扱い訃つ逆の場合・も同・成シ
（扱うシ・−ケンスを縁り区す〕５の４塔の圧υスイン
ク吸ノ市二「１呈にｆ′Ａ１する。

実施１；ｉＪによる１悦明 シーケンスの段階より成る粘化されたカスを発生する為
の吸ノＬ旨し−ｔ゛かＬＪえしれる１、そして−どのシ
ーケンスの段階（Ｃ１，３０バール（約３０５９本）ノ
′Ｊ至８０バール（約８１５８ν）の範囲からＩ（択さ
れ／こ圧力に於て、直列に連鯖さ？ｉ／（−、炭、）・
７分子ふるいの第一・と第二の塔を、−１１つ躬−の１
吸７行ソーンを通ってカス混合物を通過させ、ｉｔＪ＋
化カス３℃り１−刀メイ！シ、１妓過に先立つ′Ｃ１’
ｌ’Ｊ　ｉ’ｌ己う１５−１及７１゛）リーンの前記第
−咄を切り・・；１１シ、ぞのノ、−、ニアｉ二１４亥
第−吸４ソーンの第二塔を・川って、笈カス（五合物乞
通ユ向させ、それｌ（より、（ｉ・いカス（リーンカス
）を−裂、青しばつｔ箱記第−吸７１゛１ソーンの１）
ｊｊ　ｆｊｅ第二塔から、直列に連結きれ２ｉ−炭７）
５分子ふるいの躬−と４二の塔金持つ尤二１敗ノｌ′ｌ
ゾーンの人口雉；に前記Ｉ専いカスを通過させ、そ扛に
まり該強心圧力の４０ヂ乃至９０係の範囲で前記第一］
、吸ノ凸ソゾーｔ　ＬＩＳ分的に加圧し、その後ｔ、ｃ
　１．れ・、りいカスの元凡６：占・止し、且つ、核ゾ
ーンの出［二［ψｌｎｌを通って・１・；１品、１１１
度の富化されプこカス（一般的１１こ、しかし５す）出
画でなく、製品カス溜めから）を導入づ゛ることｉ、ｒ
（”、衣り該−）二；及フｉに１ソーンケ４該１ノ・り
心と１−７力まで更に加干し、該第−；吸ノｔａゾーン
の１）１１記謁−稲を大気圧寸て１．１気し、該第−吸
着リーンの第二搭倉向ｌｉｄに、ＩＭ′ス℃じ、３、ソ
ーンレに於ける予り西気された第一塔ω内水にバージす
る／）（／こ、庁］ｉｊ己）ｊｌ気カ　スケ　［史月］
　し、　　７　０　１−　−一ノし　（７０＋：＋１１
□ト１ｇ　）乃至２５０トール（２５０＋１１？ｔＩＨ
ｇ　）の範囲て該リーンの人口端に適ｉｔｌさ仙るジξ
生のｔｙ、：ｉｔ＋Ｃより該第−・Ｊ及着ゾーンの・食
）本舎円生−ジーる１田、富化されたカス■生１乍する
ど（で、Ｊ力ＩＪ月三された第二吸茄ソーツを１書って
該カス１昆介−１勿を１虫　　　　・過さぜ、そして−
）１投（（該砧ｊヒ博れン仁カス流１：ｌ　ｌの予め吸
着された（望」れろ゛い）カスか望１しくないレベル′
に’ｊｉＪ　、＞音すると１司１１、ｊ（ｒ℃、己はへ
（々尤＼シ゛つ−Ｃ該−リ“イクルを棟り返すことより
成る。

不発・！１１の分別と円加圧を用いる為の系は１．１ぐ
元・！ＩＩ　ｉ＋ζｑｔＹ＝つて、二成分のカス混合物
を分別しｒＩＩる２つのリーンの１正力スインク１％　
４ユニツ１〜ω７〕＜す、公子・１図１１’ｌｊ　ヲｇ
照することｆｌ（より、史［に良く哩ｒｑイされる。不
−ｊｃすｌ　？ｔ：好適友施例に関して記述され且つ図
解されているけれとも１＋６正と変更か、不発明の楯神
からはずれることなｉ、ｌ／こ用いられることは理Ｊ□
Ｉ’ｆ’き、ルるへきて。１りる。１９１］えは、と）
上気（窒素と酸素）、メタンと炭ｉ役カス又（吐水浩と
−・露化Ｉ災素を・含み、しかしぞれＫ　ｌ表定されな
いｌ）１白１ｉｉなるカス（１１４合物も／ＩＩ□１″
、Ｊ足させろであろう。

ｌ咳１ツ’　”；’：　、Ｉ　ｉ？ｌｌｌ　ｉ’こ説明
すると、４つの圧力（ｒＣ，耐える塔ＡとＢそしてＣと
Ｄか小されている、。

そしてその各基は仝気からの窒素の分別に適−１″る炭
５も分子ふるいで７１肯たさ扛る。一般に、２吟の炭素
分子ふるいは該ふるいの製造の間ｐ（Ｖ、’４よ・ｒさ
ぜられる調節され／こＫ、（（（孔・Ｆｎ造を持つ。

この１ｌｉｌ孔４イ′４造は、売った大きさのカスの識
別従って分離を許容する。この二［イー゛１に有用な１
つの炭素ふるいはユントケン其の・油ｖｃ　Ｍ＼る米国
特５′（′第４．　Ｉ　２４．、５２９て、１己述され
るＯ　　−ｆ６ゼに、分子の太ささの差（〆て基ついて
カス混合物の１つ又はそれ以上の成分をふるい分けする
ことが出来る如何なる１敦着Ｅ’ｉｌｌもこの上２ｌ−
ＩＪに１吏用され得る。１塔ＡとＢ　ｌづ、第一の吸収
リーン（リーン−１）４シｉ黄成し、−力塔ＣとＤは第
二の吸収リーン（リーン　２）を１”４’）成する。

各リーンは人口端（リーン−１＝　塔ｐ、、リーン−２
−塔Ｃ）と出口節１１（リーン−に」谷Ｂ、リーン−２
−塔り、）をイ］゛する。−１圧力に耐える塔ＶＣ連結
されている一連の弁は該図に示される一市号と、この一
つの好適な配列で果たされる・機能により足載されゐ、
。

（ａ）弁０と１　　　　　　−丁／こる仝ン０１υに弁
（ｂ）弁２．了と１１，１６−）４二Ａ、ＢとＣ，Ｄ之
の夫々の人ｉ］空 気弁 （ｃ）弁３と１２　　　　−再生用ｊ＋−ソーン−１と
２の為のＡ空ポン プ （ｄ）′ｊＩ″４と１３　−パージ弁−ソーラ１と２Ｖ
′ｃ幻しノ谷の圧力を放出す る （ｅ）弁１０と１９−吸着ソーラ１と２からの製品流入
弁 （ｆ）弁２０，８と１７　−逆光崩弁一部分［ｆｌｊ卵
圧の区にソーラ１と２の出口 ☆ｊ１．冒／Ｃ，！！ｌ］ｌ−人される製品々質のカス （ｇ）弁９，１４．１５と　−第−１及／゛イソーシの
出口と５、　Ｇ、　１８　　　　第Ｘ”ｌｋ４　ソ’　
　）　（”）人Ｄ　ｉ！！］の排出（納い）カスの連 ・１；ノ１弁 （１１）力゛６と１５　−ソーラのバージ１上＋１８弁
−ソーラの第一の半分を・パ ージする為ｉ／Ｃ用いられる 第二の半分からのカス ハウシンクＡ、Ｂ、ＣとＤｖ″１垂直の位置に示されて
いるが、それ等は運転の方法に対する逆効果なしに水平
又は重旦の立：ろ７に据付けられ得る。

外気は圧縮され、乾燥されぞして弁Ｏ又は弁１のいっれ
かを経由して、該系に４４人される。外気は吸着に先立
って、・１０φ以下の紺λ寸硯１ｉか好せしいのて；１
句８１！１］乙〜（１１１品度を取り所ξく為に短材１
・１イｇをユ由ってそれケ］用過さぜ之）ことにより修
正され得る。そして又ｉｔ”Ｊ器又はスクラバー（・づ
二炭酸カス、亜硫［竣カス又（ｄ窒素酸化物の如き他の
カスを取り：全く為に用いられイ月る。之等の段階（ｄ
該富化さｎ、クーカスの苑れの純度化改良し、且つ非出
′ＶＣ糾粋和、畠′化されたカス（１剰え・は、窒素）
に対するイ土：采茫：かこのような予めの除去■指定下
るときに用いられる。しかしなから２雪は本発明の成功
１〜だ運転にし」シて補助的であり、且つ８頃のもので
（ｄ：在い。

空気は該ｉ吸着圧力に於て、酸素をＪバ択的にふるい分
ける為に、弁０と弁２と６又は弁１１と１５のいづれか
全経由して、ソーラー１又にｊ、ソーラ−２のいづれか
に入れられる。そして、１ン空気ｔ１．咳孜Ａｒゾーン
を通って押し進めら、Ｆシる。、出仕された窒素カスは
弁１ｏ又は弁１９のいづ、１１かω′ｍ＊　山して夫々
ソーラー１又（ｄソーラ−２かＬ）４Ｊ４出される。１
ｍ間的な窒素の流・Ｉ士ｊ＋−ｊ　ｒ”Ｊ　、１ｉｊ−
〇しＩｌｊ、’　Ｕｊ−：てｉｔ！ＩＩ足される。そし
て１区籍化され／こカスの１裳素含有Ｉ１．ｊ、　ｊは
、１亥畠化され／こカスのカス溜めの」−流で分析びれ
る。１：Ｙ゛化された′４Ｎ素カスのθ；Ｃれ（寸、そ
の）圧力を・一定（ｌこ保っ１５（ｌこ、１ヌ・；＜４
品カスｉ（イ１めから１）ｉ水され。１゜一方の吸７．
′冒ノーン〃・小出された不素カスをノし生さ一１Ｌ：
ているときに、胆力の吸／７Ｘｊ゛ソーンは、ハ゛３又
は弁１２針１１イ由して飛用さ−れる工′１、空にＪ：
り出生′２′８：ｒ％でいる。この」：う１・で：、ソ
ーラ１が１ｊｉｉ放された力’０，２．６と１０ケ経由
して、不素カスを製造している間、ソージー２ｉ□Ｊ、
（し１１放ζ；ｌ’１．　、／こブ１゛１２を１粁山し
て、７０トール（７０１＋ｕｒ＋　Ｉｇ）乃至２５０ト
ール（２５０＋ｎ＋ｉＨｇ）の・ｉ・■囲て、ｊ″ノ、
空により内生されている。

吸着ソーラの破過点に到達するＴ）１」に、該把ｊ化さ
れ／ζ窒索カスの酸素含イ１量か、好脣しくない酸素の
レベル、例え＋、ｆ　１係乃−ｉ：ｔｌＯ％より大きい
レベルに到達し／こことを示すとさく′；Ｙ、弁０，２
．６と１０又（」−升０，１１．１５と１９は閉ししれ
る。ソージー１の第一塔（・答ハ）又はソーラ−２の第
一塔（」〈シＣ）（はこのように切シ１η］ｆされる。

その（ｋ〕、仝気；・１ブＰ１と７又−：弁１と１６金
、１ａ：由して夫々ソーラー１の第二塔（塔Ｂ）又はソ
ージー２の、忠二袷（塔１）　）　ＬＣ単独に入れられ
る。この塔かしブト　　　　−出される該へりいカス（
ｄ力’９．１４と１５又（・引、升１８，５と６のいづ
れか■１Ｊ１つて、ソーラー２又−′まソージー１の人
口’？：Ｉｉｊ　Ｌ　ｐｊこ人する。このイ（ｑいカス
は該吸着圧力の４０−９０幅、好丁しく８１．６０−７
０％の化１７Ｉｌ迄、四方のソーンケ部分的に加圧する
為に用いっ７する。この段階の陵に、該、、ｔＯいカス
の流れは市められ、そして該部分的に］Ｊ１１圧された
ソーラ・煉ゾーン−２に対して弁２０と１７又ｉｄソー
ンー］、　Ｋ対して弁２０と８を経由して、該製品ガス
溜めから、′ふ化された製品窒素カスを導入するととし
こより、該吸着圧力１で更に加圧される。

この時１１１１の、７４１、咳第−吸着ソーンの切り離
された第一塔は、弁４又は１３を通って通気さ７１′し
ることにより、大気圧に仄される。該部分内力１１圧（
薄いカス）の段ｌ偕が冗了すれは、該、ｙｉｌ、着ソー
ンの第二塔（即ち塔Ｂ又は屹：ｐ）＋ｑ弁６又（は冗１
５を１１子山して向υｍ（ｆこ誠１王される。

そして予ぬｊｊ１気されリリ潮された第−各（即ち嘱・
Ａ又Ｑ寸塔Ｃ）ｖ′ｉ該ソーソー第二塔からの残留カス
でパージされる。光分！／Ｌｃ力１］圧された、２吸着
ンーン（・ま今、弁Ｏと弁１１１５又ｉｄ’ｒｌ’２．
６のいっれがをＡイ由して共１’Ａ’Ｓ空気を受は入れ
る。そして富化されたカスは７１”１９又）１弁１０を
Ｉｉイ山して放出さ、／ｌる。−力の吸着ソーラがＷ素
カス金・ｌＡ造し−Ｃいる。１−ｊｊ、１山方の１及Ａ
・１ソーンは弁３又は弁１２を経由して、７０　トール
（７０μｓＨｇ　）乃至２５０トール（２５０ｍｍ　Ｉ
−Ｉｇ　）の範囲で真空全適用することにより再生され
ている。該第二吸着ソーラがらの富化でれたカスの酸素
含有量が、好寸しく々イＬ／　ヘル、りＵえは約１％乃
至１０％よシも大きなレベルに＋ＩＴひ到達するときは
、該サイクルは一般にソーラの破過に先立って繭゛二り
返される。

【図面の簡単な説明】

該図はこの中で記述されるカスの分別と置方１］圧工程
に用いることが出来る１つの装置の略図である。 〔主要部分の符号の説明〕 第１吸着ソーン・・・・・Ａ、　　Ｂ 第２吸着ソーン・・　・Ｃ，Ｄ 出　＋＋Ｍ　　人　９　カルコレ　カーホン　コーボレ
ーショ゛ノ苧：；升

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｊ　富化されたカス流を製造する為の吸着工程であって
   、そのシーケンスの設配か （ａ）　３０バール（約３．０５９　ｋ？：ｆ　）から
   ８０バール（１於勺８１５８￥）」でのΦ巳１１１１か
   し選択された。Ａ着圧力に７於て、富化されたカス乞製
   造するン５に直列％　１ｍ層１（ｌ；された１大索分子
   ふるいの第一とλ３二の拓−より成ゎ第一の吸着ソーラ
   を通って混合カスを゛通過させること、且つ１）１」２
   富１しカス（は・Ｊ（す１１Ｊ］カスだめに流れること
   、 （ｂ）　　破過に先立って１該第−１吸７１′’ｉソー
   ンの１市記第−塔を切り４１１−こと、その後（Ｃ単独
   に前記第一吸着ソーラの第二塔を通って該混合カスケ通
   過さぜること、それにより、偉いカス乞製造し且つ６ｊ
   、ｆ　ｉ２吸着圧力の約４０％乃至９０％の範…」で第
   二吸着ソーラを部分的に加圧する為に、１′ｒ１」記ら
   に一吸着ゾーンの第二塔から、Ｉｊ−列に連結された炭
   素分子ふるいの第一と第二の塔より成る前記第二吸着ソ
   ・−ンの人口端にＩ■］古己ｆ専いカスタＪ’１０１尚
   させること、その後に前記薄いカスの流れ全停止させる
   こと、（Ｃ）　　富化カスを前記製品カスだめから前記
   第二ｉ吸眉ゾーンの出口ｙａ１１に導入すること（Ｃ依
   り、［）１］記第二吸、ｄソーラを１ｒｑ記吸着圧力迄
   更に排圧すること、 （ｄ）　　該第−吸着ソーラの前記切りｕｉｊｌされた
   第一塔ケその人口ｙ、ｉ、ｉ　Ｋ通して大気に山気する
   こと、そして向流１／Ｃ「ｒｌ」記第−吸ノ市ゾーンの
   原第二」る・を通気すること、それにより、Ｉ勇気カス
   を１乍ジ」斗つ該ｌ吸、１，１ソーンのあらかしめ通気
   され、（第一　塔ｆ向充でパージする為ｊｔ’ｃ　１）
   ｉ４記辿気カスを１吏用すること、 （ｅ）７０トール（７０＋ｍｎ　Ｈｇ　）乃至２５０ト
   ール（２５０ｍｍ　Ｈｇ　）の面囲内で、別記第−ソー
   ラの人口端に真空定適用することに依りＩ）ＩＪ記第−
   吸／δゾーンを再生することと同時に、富化されたカス
   を作る為にｒ）ｉ４配十分加圧された第二吸着ソーラ全
   通って前記カス混合物士通過さぜること、（ｆ）、亥シ
   ーケンスヲ鎮コ返ずこと、即ち前記記二ゾーン全前記記
   −ソーンのり１１〈扱い且つｉす記第−ゾーンをｉ、ｉ
   ｊｊ記第二ノーンのり１１＜吸う（１））杓子（ｅ）段
   １竹を５．、ン（り返すこと、より成ること全特徴とす
   る・及、メ１−丁程。 ２．１ビ１１４’ｌ’　ｉｊ’ｌｌ求の範囲−Ａ１項の
   吸着工程で、その中の形ｌ昆・ａカスかイと気で７ちり
   、ｔＥＬっ該１；ハ化され／こカスかｉ＋４’：ｌ　９
   ０％から９９％捷での窒素カスてあ０もの。 ”ｌ”Ｊ１’ｒイ］、、Ｉ′Ｉ求のｉ向１７Ｊｊ第］」
   ユ１又；・１第２項の吸Δ′１丁・置で、ての中の、′
   鈎いカスが１．ｙｔ及／６圧力の約７０％迄ユ犯二吸着
   ソーンを部分的に加圧することを、、、／Ｉ谷されるも
   の。