JPS59147250A - ガス分析機器 - Google Patents
ガス分析機器Info
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- JPS59147250A JPS59147250A JP58021727A JP2172783A JPS59147250A JP S59147250 A JPS59147250 A JP S59147250A JP 58021727 A JP58021727 A JP 58021727A JP 2172783 A JP2172783 A JP 2172783A JP S59147250 A JPS59147250 A JP S59147250A
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- Japan
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- gas
- cell
- thick film
- gas analysis
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N27/4072—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure characterized by the diffusion barrier
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明は、自動車、ボイラ等に実装するガス分析機器
に関し、特に酸欠モニタとして（Ｍ転性の商い酸素計を
構成し得るガス分析機器に関する。
に関し、特に酸欠モニタとして（Ｍ転性の商い酸素計を
構成し得るガス分析機器に関する。
従来、例えは、自動車用エンジンの燃焼効率を現在得ら
れているものよシも改善し、排気ガスの無害化をさらに
良好な状態にするため、突気と燃料との重量比率である
空燃比Ａ／Ｆを理論空燃比／≠、７よシも高いリーン側
で運転する所ＩＩＩ ’）−ンパーン燃焼方式のエンジ
ンの開発が進められている。しかし、従来において理論
空燃比の測定に用いられている酸素センサ（空燃比重）
はリーン雰囲気において起電力の変化がＩ”ｔとんどな
く、シたがってリーン側における空燃比を厳密に測定ま
たは検出することは不可能で、これがためほぼ一定のり
一ン雰囲気に保持するために吸気系側に各種の装置を設
けてオープン制御を行なっている。しかし、かかる制御
方式では燃焼ガス組成制御がコスト高になるばかりでな
く応答性が低いため高精度の制御を行うことができない
欠点があった。
れているものよシも改善し、排気ガスの無害化をさらに
良好な状態にするため、突気と燃料との重量比率である
空燃比Ａ／Ｆを理論空燃比／≠、７よシも高いリーン側
で運転する所ＩＩＩ ’）−ンパーン燃焼方式のエンジ
ンの開発が進められている。しかし、従来において理論
空燃比の測定に用いられている酸素センサ（空燃比重）
はリーン雰囲気において起電力の変化がＩ”ｔとんどな
く、シたがってリーン側における空燃比を厳密に測定ま
たは検出することは不可能で、これがためほぼ一定のり
一ン雰囲気に保持するために吸気系側に各種の装置を設
けてオープン制御を行なっている。しかし、かかる制御
方式では燃焼ガス組成制御がコスト高になるばかりでな
く応答性が低いため高精度の制御を行うことができない
欠点があった。
しかるに、空燃比（Ａ／Ｆ％空気と燃料の電に比）は、
燃焼ガス中の酸素刺良を測定することによシ決定するこ
とができることから、酸素＊ ［ｍ１３定をサンプリン
タ法により行うよう構成したガス分析セルが提案ちれで
いる。仁のガス分ぞ「セルの原理的構成を示せは、第７
図に示す通りである。すなわち、第１図に示すカス分析
セルにおいては、筐ず測定ガスを結合＋段ｉ。
燃焼ガス中の酸素刺良を測定することによシ決定するこ
とができることから、酸素＊ ［ｍ１３定をサンプリン
タ法により行うよう構成したガス分析セルが提案ちれで
いる。仁のガス分ぞ「セルの原理的構成を示せは、第７
図に示す通りである。すなわち、第１図に示すカス分析
セルにおいては、筐ず測定ガスを結合＋段ｉ。
を介して測定空間ｌ・、コに導入し、次いで測定空間か
ら酸部を汲み出すことを行う。この場合、結合手段ｌＯ
はカス拡散に対して高抵抗を示す例えば開口として構成
される。また、酸素の汲み出しは測定空間に形成する壁
／≠の一部をなず酸素イオン導電体からなる隔＠／乙に
よって行う。
ら酸部を汲み出すことを行う。この場合、結合手段ｌＯ
はカス拡散に対して高抵抗を示す例えば開口として構成
される。また、酸素の汲み出しは測定空間に形成する壁
／≠の一部をなず酸素イオン導電体からなる隔＠／乙に
よって行う。
この時、隔壁／６に加えられた従来の汲み出しに必要な
電荷量を求めれば、これが酸苑娘度の指標を与えること
になる。このため隔壁／６には、それぞれ一対の温圧検
出用電極／♂、ｉｔ−センシンク用電極コ０．λＯ′お
よび酸素汲み出し用電極２．２．．２２′が設けられる
。なお参照符号２グは、前記゛各電極ｉｔ、ｉｔ’、２
０．ＪｔＯ’および２．２．ココ′から導出されるリー
ド線である。
電荷量を求めれば、これが酸苑娘度の指標を与えること
になる。このため隔壁／６には、それぞれ一対の温圧検
出用電極／♂、ｉｔ−センシンク用電極コ０．λＯ′お
よび酸素汲み出し用電極２．２．．２２′が設けられる
。なお参照符号２グは、前記゛各電極ｉｔ、ｉｔ’、２
０．ＪｔＯ’および２．２．ココ′から導出されるリー
ド線である。
本発明の目的は、酸素汲み出し作用を応用したガス分析
機器において、酸素汲み出し作用を有するセルと、この
セルから導出される電極リードとを共通の基板上に堅固
に一体化構成することにより強度およびイハ頼性の向上
を図シ、自動車等の実装用として適したガス分析機器を
提供するにある。
機器において、酸素汲み出し作用を有するセルと、この
セルから導出される電極リードとを共通の基板上に堅固
に一体化構成することにより強度およびイハ頼性の向上
を図シ、自動車等の実装用として適したガス分析機器を
提供するにある。
〔発明の要点Ｊ
本発明娘、酸素イオン導電体とガス拡散用開口とを備え
た隔壁によって沖ｊ定空間を形成し、前記酸素イオン導
電体の内外表面に一対の電極を設けて前記測定空間内の
拡散酸素ガスの汲み出しを行い、この［８ガスの汲み出
しに太する電り」景よシガス組成を決定するガス分析機
器において、絶縁性の長方形セラミック基板の長手方向
一端部に前記測定空間を形成するセルを設け１．前記基
板の表面に前記セルと接続する金り厚膜リードを被着し
てこの厚膜リードを基板の他端部まで延在させて端子を
導出するよう構成することを％徴とする。
た隔壁によって沖ｊ定空間を形成し、前記酸素イオン導
電体の内外表面に一対の電極を設けて前記測定空間内の
拡散酸素ガスの汲み出しを行い、この［８ガスの汲み出
しに太する電り」景よシガス組成を決定するガス分析機
器において、絶縁性の長方形セラミック基板の長手方向
一端部に前記測定空間を形成するセルを設け１．前記基
板の表面に前記セルと接続する金り厚膜リードを被着し
てこの厚膜リードを基板の他端部まで延在させて端子を
導出するよう構成することを％徴とする。
すなわ５ち２本発明においては、絶縁性の長方形セラミ
ック基板の長手方向一端部に酸素汲み出し作用を有する
ガス分析セルを形成し、前記セラミック基板表面に前記
セルの各電極と接続する厚膜リードを被着してこれを他
端部まで延在させ、前記セラミック基板にセルと電極リ
ードとを一体的に構成することによシ５強度的に優れ、
取扱いが簡便であシ、信頼性の向上を図ることができる
ガス分析機器を得ることができる。
ック基板の長手方向一端部に酸素汲み出し作用を有する
ガス分析セルを形成し、前記セラミック基板表面に前記
セルの各電極と接続する厚膜リードを被着してこれを他
端部まで延在させ、前記セラミック基板にセルと電極リ
ードとを一体的に構成することによシ５強度的に優れ、
取扱いが簡便であシ、信頼性の向上を図ることができる
ガス分析機器を得ることができる。
前記ガス分析機において、測定空間を形成するセルは、
アルミナセラミック基板の長手方向一端部にその厚さ方
向に同心円からなる異径の円形溝を多段的に設け、円形
溝の中心となる基板部分に貫通孔を穿設すると共に円形
溝内にジルコニア固体電解賀円板を嵌合封着してＳ成す
れは好適である。
アルミナセラミック基板の長手方向一端部にその厚さ方
向に同心円からなる異径の円形溝を多段的に設け、円形
溝の中心となる基板部分に貫通孔を穿設すると共に円形
溝内にジルコニア固体電解賀円板を嵌合封着してＳ成す
れは好適である。
また、金托厚膜リードは、その主要部を白金厚膜リード
で形成し、一端部を白金ワイヤを介してジルコニア固体
′亀解賀円板の外部電極と接続すると共に他端部をガラ
ス７リツト入シ白金厚Ｂｕを施して端子と接続するよう
構成すれば好適である。
で形成し、一端部を白金ワイヤを介してジルコニア固体
′亀解賀円板の外部電極と接続すると共に他端部をガラ
ス７リツト入シ白金厚Ｂｕを施して端子と接続するよう
構成すれば好適である。
さらに、基板上に形成されたジルコニア固体電解質円板
の外部ｉｔ極および白金ノ９．膜リードの外表面にセラ
ミックコーティングを施せば一層好適である。
の外部ｉｔ極および白金ノ９．膜リードの外表面にセラ
ミックコーティングを施せば一層好適である。
次に、本発明に係るガス分析機器の実施例につき、節句
図面を参照しながら以下許卸１に説明する。
図面を参照しながら以下許卸１に説明する。
第２図および第３図は本発明に係るガス分析機器の一実
施例を示す平面図および縦断面図。
施例を示す平面図および縦断面図。
第グ図はその要部拡大断面崗である。すなわち、第２図
および第３図において、参照符号３０は一枚の長方形セ
ラミック基板を示し、この基板３０の長手方向一端部に
酸素汲み出し作用を有するガス分析セル３コを設けると
共にこの基板３０の表面にセル３コに設けた各電極と接
続される貴金栖厚膜リード３≠、Ｊ４ 、ＪＪｒを被着
してこれらリード！４ｔ〜３ｇを基板３０の他端部まで
延在させた構成からなる。
および第３図において、参照符号３０は一枚の長方形セ
ラミック基板を示し、この基板３０の長手方向一端部に
酸素汲み出し作用を有するガス分析セル３コを設けると
共にこの基板３０の表面にセル３コに設けた各電極と接
続される貴金栖厚膜リード３≠、Ｊ４ 、ＪＪｒを被着
してこれらリード！４ｔ〜３ｇを基板３０の他端部まで
延在させた構成からなる。
しかるに、基板３Ｑは、アルミナ等の絶縁性セラミック
基板からなシ、長方形に構成すると共にその一端部にそ
れぞれ厚さ方向に同心円からなる異径の円形溝ｐｏ、弘
コが多段的に位置するようプレス成形および焼成し、さ
らに円形溝４ｔｏ、弘コと同心に約１０μの貫通孔≠３
をＹＡＧレーザを使用して穿設する。次いで、基板３０
の一側面に、白金ペーストおよびガラス７リツト（硼珪
酸アルミ）入シの白金ペーストを第１図に示すパターン
（Ｊ４Ａ、ｊ乙、３１．１７４・に従って印刷し、乾燥
させた後／、３００℃で同時焼成して白金厚膜リード３
≠、ＪＡ 、３１およびガラスフリット入シ白金厚膜ａ
４Ｌを基板３０上に被着する。
基板からなシ、長方形に構成すると共にその一端部にそ
れぞれ厚さ方向に同心円からなる異径の円形溝ｐｏ、弘
コが多段的に位置するようプレス成形および焼成し、さ
らに円形溝４ｔｏ、弘コと同心に約１０μの貫通孔≠３
をＹＡＧレーザを使用して穿設する。次いで、基板３０
の一側面に、白金ペーストおよびガラス７リツト（硼珪
酸アルミ）入シの白金ペーストを第１図に示すパターン
（Ｊ４Ａ、ｊ乙、３１．１７４・に従って印刷し、乾燥
させた後／、３００℃で同時焼成して白金厚膜リード３
≠、ＪＡ 、３１およびガラスフリット入シ白金厚膜ａ
４Ｌを基板３０上に被着する。
その後、ジルコニア固体電解質円板ｐ＋＜を基板３０に
設けた円形溝≠Ｏに遊嵌し埋設する。
設けた円形溝≠Ｏに遊嵌し埋設する。
なお１円板４Ｌ６を円形溝弘Ｏに対して遊嵌するのは、
熱膨張率差を吸収するためと白金ワイヤを引出し可能と
するためである。また、ジルコニア固体電解質円板Ｖ６
は米国ジルカー社製の安定化ジルコニア原料（Ｙ２Ｏ３
５ｔａｂｊ目ｇｏｄΔモル％）を使用して１１６０℃で
２時間焼成して焼結することによって作成することがで
きる。
熱膨張率差を吸収するためと白金ワイヤを引出し可能と
するためである。また、ジルコニア固体電解質円板Ｖ６
は米国ジルカー社製の安定化ジルコニア原料（Ｙ２Ｏ３
５ｔａｂｊ目ｇｏｄΔモル％）を使用して１１６０℃で
２時間焼成して焼結することによって作成することがで
きる。
そして、円形溝ｔｉｏへの嵌合に先立って内部電極≠ｒ
、ｔｏを白金のスパッタ（約／μ）によシジルコニア固
体電解質円板≠６の片側表面に被着し、さらに内部電極
ｔｉ−ｔ、ｔｏのいずれか一方の端縁部に白金ワイヤｊ
、２をパラレルギャップスポット溶接しておく。しかる
に、ジルコニア固体電解質円板４ｔｔを基板３０に嵌合
した後両者の封着を行う。この場合、白金Ｏリング！４
ｔ（第Ｖ図参照）を温度１ｏｉｏ″Ｃ％時間６０分、応
力ＡｊＭＰａの空気雰囲気でホットプレスすることによ
り、接着強度の高いセラミック金属間のハーメチックシ
ールを行う。封着後、外部電極ｚｔ、ｉｔを白金のスパ
ッタ（ｌμ）により形成し、白金ワイヤ！コにより内部
電極弘♂、！Ｏおよび外部電極ｚｔ、ｊｔを白金厚膜リ
ード３４４．３＆ 、！Ｉにパラレルギャップスポット
溶接する。この際、内部を極弘ｒ、ｔ。
、ｔｏを白金のスパッタ（約／μ）によシジルコニア固
体電解質円板≠６の片側表面に被着し、さらに内部電極
ｔｉ−ｔ、ｔｏのいずれか一方の端縁部に白金ワイヤｊ
、２をパラレルギャップスポット溶接しておく。しかる
に、ジルコニア固体電解質円板４ｔｔを基板３０に嵌合
した後両者の封着を行う。この場合、白金Ｏリング！４
ｔ（第Ｖ図参照）を温度１ｏｉｏ″Ｃ％時間６０分、応
力ＡｊＭＰａの空気雰囲気でホットプレスすることによ
り、接着強度の高いセラミック金属間のハーメチックシ
ールを行う。封着後、外部電極ｚｔ、ｉｔを白金のスパ
ッタ（ｌμ）により形成し、白金ワイヤ！コにより内部
電極弘♂、！Ｏおよび外部電極ｚｔ、ｊｔを白金厚膜リ
ード３４４．３＆ 、！Ｉにパラレルギャップスポット
溶接する。この際、内部を極弘ｒ、ｔ。
ハリードを共通にできるので、両者は白金Ｏリング、Ｚ
Ｃを介して短絡せしめ共通の白金厚膜リード３４Ａに接
続する。なお、本実施例において、第１図に示す温度検
出用電極ｌ♂、／Ｉ’に相当する電極は、センシング用
外部電極！６、酸素汲み出し用外部電極！ｇ等と作用効
果上実質的に同一であるため省略される。
Ｃを介して短絡せしめ共通の白金厚膜リード３４Ａに接
続する。なお、本実施例において、第１図に示す温度検
出用電極ｌ♂、／Ｉ’に相当する電極は、センシング用
外部電極！６、酸素汲み出し用外部電極！ｇ等と作用効
果上実質的に同一であるため省略される。
前述した白金ワイヤ！コの接続を行った後、外部電極３
１．、Ｊｌｒおよび白金厚膜リード３弘。
１．、Ｊｌｒおよび白金厚膜リード３弘。
３１、．３１の保護のため、マグネシアスピネル（Ｍｇ
Ｏ・Ａ／、０．）をプラズマ溶射し、セラミックコーテ
ィングｔｏを厚さ約１００μの多孔質状態に形成する。
Ｏ・Ａ／、０．）をプラズマ溶射し、セラミックコーテ
ィングｔｏを厚さ約１００μの多孔質状態に形成する。
最後に、端子６λをガラス７リット入シ白金庫膜≠弘に
還元雰囲気中でろう付けしてガス分析機器としてのエレ
メント（第２図および第３図参照）を完成する。なお、
このように構成されたエレメントは、実装の必要から端
子ｔコに適宜日出リード線を接続する。
還元雰囲気中でろう付けしてガス分析機器としてのエレ
メント（第２図および第３図参照）を完成する。なお、
このように構成されたエレメントは、実装の必要から端
子ｔコに適宜日出リード線を接続する。
前述した実施例から明らかなよりに１本発明によれば、
ガス分析セルを長方形の絶縁性セラミック基板の一端部
に形成し、このセルからの出力信号を基板表面の他端部
に至る白金厚膜リードで伝達するようにして、セルと厚
膜リードとを同一のセラミック基板に一体的に形成した
エレメントを構成したものであるから、実装に際して堅
固な構成となり、信頼性の高いものが得られる。また、
セルの製作に際しては、予めプレス成形されたセラミッ
ク基板の円形溝にジルコニア固体電解質円板を嵌合掴着
すれば足シ、この場合セルは基板に一体的に形成されて
いるためその保持が確実となり、エレメントの取扱いが
極めて簡便となる。さらに、セルの電極と接続されるリ
ード線は、厚膜の形態でセルと同一のセラミック基板上
に被着１１足されるため、リード自体による断線の危険
がなく、シかもセルとリードとが相互分離することもな
い。なお、前記エレメントに対してセラミックコーティ
ングを施すことによυ、外部電極および白金厚膜リード
をガスエロージョンから保護することができ、エレメン
トの信頼性の向上に有効に寄与する。従って、このよう
に構成されたエレメントを所要の金属ハウジング等に装
着してなるガス分析機器は、特に自動車用等に実装する
酸素センサ（空燃比重）として好適に応用することがで
きる。
ガス分析セルを長方形の絶縁性セラミック基板の一端部
に形成し、このセルからの出力信号を基板表面の他端部
に至る白金厚膜リードで伝達するようにして、セルと厚
膜リードとを同一のセラミック基板に一体的に形成した
エレメントを構成したものであるから、実装に際して堅
固な構成となり、信頼性の高いものが得られる。また、
セルの製作に際しては、予めプレス成形されたセラミッ
ク基板の円形溝にジルコニア固体電解質円板を嵌合掴着
すれば足シ、この場合セルは基板に一体的に形成されて
いるためその保持が確実となり、エレメントの取扱いが
極めて簡便となる。さらに、セルの電極と接続されるリ
ード線は、厚膜の形態でセルと同一のセラミック基板上
に被着１１足されるため、リード自体による断線の危険
がなく、シかもセルとリードとが相互分離することもな
い。なお、前記エレメントに対してセラミックコーティ
ングを施すことによυ、外部電極および白金厚膜リード
をガスエロージョンから保護することができ、エレメン
トの信頼性の向上に有効に寄与する。従って、このよう
に構成されたエレメントを所要の金属ハウジング等に装
着してなるガス分析機器は、特に自動車用等に実装する
酸素センサ（空燃比重）として好適に応用することがで
きる。
第５図は、前述した実施例のエレメントを金属ハウジン
グに装着して、所定の使用目的に適した酸素センサとし
て構成した場合の実装状態の実施例を示すものである。
グに装着して、所定の使用目的に適した酸素センサとし
て構成した場合の実装状態の実施例を示すものである。
すなわち、第５図において、エレメント６グは下部金属
ハウジング６６に絶縁カラー６ｔと粉体７０を介して装
着する。この場合の装着による固定は、粉体７０の加圧
充填によって達成される。次いで、止め金７２を適宜金
属ハウジング４４に対しスポット溶接して、絶縁カラー
１１．粉体７０の固定を行い、その後７ランジ等を溶接
して酸素センサとしての実装を完了することができる。
ハウジング６６に絶縁カラー６ｔと粉体７０を介して装
着する。この場合の装着による固定は、粉体７０の加圧
充填によって達成される。次いで、止め金７２を適宜金
属ハウジング４４に対しスポット溶接して、絶縁カラー
１１．粉体７０の固定を行い、その後７ランジ等を溶接
して酸素センサとしての実装を完了することができる。
以上、本発明の好適な実施例について睨明したが、本発
明は前記実施例に限定されることなく植々の設６Ｆ変史
をなし得ることは勿論である。
明は前記実施例に限定されることなく植々の設６Ｆ変史
をなし得ることは勿論である。
例えば、前述の実施例においては、セラミック基板に貫
通孔會穿設した場合を示したが、セラミック基板には貫
通孔を設けることなく、ジルコニア固体′亀解質円板の
中心に孔部を穿設してもよい。この場合は、セラミック
コーティングを形成しないか、もしくは貫通孔相当部の
みセラミックコーティングを形成しないようにすれば好
適である。なお、セラミックコーティングはセンサの応
用分野によっては必ずしも必要としない場合もある。
通孔會穿設した場合を示したが、セラミック基板には貫
通孔を設けることなく、ジルコニア固体′亀解質円板の
中心に孔部を穿設してもよい。この場合は、セラミック
コーティングを形成しないか、もしくは貫通孔相当部の
みセラミックコーティングを形成しないようにすれば好
適である。なお、セラミックコーティングはセンサの応
用分野によっては必ずしも必要としない場合もある。
また、ジルコニア固体電解質円板は、セラミック基板に
必ずしも埋設することを必要としない場合もちゃ５この
際にはジルコニア固体電解賀円板嵌合用の円形溝は不要
であシ、前記ジルコニア固体電解質円板の一側面に必要
とする空間形成用の円形溝のみで足ｐ、シルコニ９Ａ体
電解質円板はセラミック基板上に７設すればよい。
必ずしも埋設することを必要としない場合もちゃ５この
際にはジルコニア固体電解賀円板嵌合用の円形溝は不要
であシ、前記ジルコニア固体電解質円板の一側面に必要
とする空間形成用の円形溝のみで足ｐ、シルコニ９Ａ体
電解質円板はセラミック基板上に７設すればよい。
さらに、セラミック基板の背面には、必要に応じて厚膜
によるヒータ回路および温度検出回路全形成することが
できる。この場合、セラミック基板の止面および背面よ
シリード端子を取出すよう構成すれば好適である。
によるヒータ回路および温度検出回路全形成することが
できる。この場合、セラミック基板の止面および背面よ
シリード端子を取出すよう構成すれば好適である。
第１図は測定カスからの酸素汲み出し作用によって酸素
濃度を測定するガス分析セルの原理的構成図、第２図は
本発明に係るガス分析機器の一実施例を示す平面図、第
３図は第一図に示すガス分析機器の絣断向図、第ｑ図は
第３図に示すセル部分の賛部拡大断曲図、第！図は第２
図に示すガス分析機器の実装状態を示す説明図である。 ｉｏ・・・結合手段 クコ・・・測定空間ｌμ５
１．壁 ／６・・・隔壁 ３．２・・・ガス分析セル ！４Ｌ、３６．３１・・
・白金厚膜リード ｕＯ，Ｉ１２・・・円形篩 ４ｔ３・・・負通孔
＜ｚｐ−・・白金厚膜 ≠６・・・ジルコニア固
体電解質円板 参ざ、２０・・・内部電極 ！コ・・・白金ワイヤ
評・・・白金０リング ｊｔ、ｊｔ・・・外部電極ｔ
ｏ・・・セラミツクコ−６，２・・・端 子ティング ６ｇ・・・絶縁カラー ７０・・・粉 体７２・・
・止め金 同 弁理士 門 奈 ”ｒＰ’Ｉ＞η
ＦＩＧ、１ ｔ ＦＩＧ、２ Ｆ＋（３，３２ ＦＩＧ 、！。 ＦＩＧ、５
濃度を測定するガス分析セルの原理的構成図、第２図は
本発明に係るガス分析機器の一実施例を示す平面図、第
３図は第一図に示すガス分析機器の絣断向図、第ｑ図は
第３図に示すセル部分の賛部拡大断曲図、第！図は第２
図に示すガス分析機器の実装状態を示す説明図である。 ｉｏ・・・結合手段 クコ・・・測定空間ｌμ５
１．壁 ／６・・・隔壁 ３．２・・・ガス分析セル ！４Ｌ、３６．３１・・
・白金厚膜リード ｕＯ，Ｉ１２・・・円形篩 ４ｔ３・・・負通孔
＜ｚｐ−・・白金厚膜 ≠６・・・ジルコニア固
体電解質円板 参ざ、２０・・・内部電極 ！コ・・・白金ワイヤ
評・・・白金０リング ｊｔ、ｊｔ・・・外部電極ｔ
ｏ・・・セラミツクコ−６，２・・・端 子ティング ６ｇ・・・絶縁カラー ７０・・・粉 体７２・・
・止め金 同 弁理士 門 奈 ”ｒＰ’Ｉ＞η
ＦＩＧ、１ ｔ ＦＩＧ、２ Ｆ＋（３，３２ ＦＩＧ 、！。 ＦＩＧ、５
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）酸素イオン導電体とガス拡散用開口とを備えた隔
壁によって測定空間を形成し、前記酸素イオン導電体の
内外表面に一対の電極を設けて前Ｍｅ ｉｌｌｌｌ間内
の拡散酸素ガスの汲み出しを行い、この酸素ガスの汲み
出しに要する電荷量よシガス組成を決定するガス分析機
器において、絶縁性の長方形セラミック基板の長手方向
一端部に前記測定空間を形成するセルを設け、前記基板
の表面に前記セルと接続する金属厚膜リードを被着して
この厚膜リードを基板の他端部まで延在させて端子を導
出するよう構成することを特徴とするガス分析機器。 （２、特許請求の範囲第１項記載のガス分析機器におい
て、カ（］定空間を形成するセルは、アルミナセラミツ
クツ、ｔ；板の長手方向一端部にその厚さ方向に同心円
からなる異径の円形溝を多段的に設け、円形溝の中心と
なる基板部分に貫通孔を穿設すると共に円形溝内にジル
コニア固体電解質円板を嵌合封着しでなるガス分析機器
。 ＋３） ％ｉＦｆ請求の範囲第一項記載のガス分析機
器において、金属厚膜リードはその主要部を白金厚膜リ
ードで形成し、一端部を白金ワイヤを介してジルコニア
固体電解質円板の外部電極と接続すると共に他端部をガ
ラスフリット入シ白金厚膜を施して端子と接続してなる
ガス分析機器。 （４）％許梢求の範囲第３項記載のガス分析機器におい
て、基板上に形成されたジルコニア固体電解質円板の外
部電極および白金厚膜リードの外表面をセラミックコー
ティングしてなるガス分析機器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58021727A JPS59147250A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | ガス分析機器 |
| US06/576,636 US4574042A (en) | 1983-02-14 | 1984-02-03 | Gas analyzing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58021727A JPS59147250A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | ガス分析機器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59147250A true JPS59147250A (ja) | 1984-08-23 |
| JPH037269B2 JPH037269B2 (ja) | 1991-02-01 |
Family
ID=12063102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58021727A Granted JPS59147250A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | ガス分析機器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4574042A (ja) |
| JP (1) | JPS59147250A (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US4908119A (en) * | 1986-09-01 | 1990-03-13 | Nippondenso Co., Ltd. | Apparatus for determining oxygen concentration |
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| JP2019522391A (ja) | 2016-04-19 | 2019-08-08 | インダストリアル サイエンティフィック コーポレーション | 作業員安全システム |
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-
1983
- 1983-02-14 JP JP58021727A patent/JPS59147250A/ja active Granted
-
1984
- 1984-02-03 US US06/576,636 patent/US4574042A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5516603A (en) * | 1978-07-18 | 1980-02-05 | Toushiyuu Hen | Automatic bubble fire extinguisher |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH037269B2 (ja) | 1991-02-01 |
| US4574042A (en) | 1986-03-04 |
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