JPS59130441A - ヒューズ型romの書込み方法 - Google Patents
ヒューズ型romの書込み方法Info
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- JPS59130441A JPS59130441A JP57226520A JP22652082A JPS59130441A JP S59130441 A JPS59130441 A JP S59130441A JP 57226520 A JP57226520 A JP 57226520A JP 22652082 A JP22652082 A JP 22652082A JP S59130441 A JPS59130441 A JP S59130441A
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- H01L23/5256—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising fuses, i.e. connections having their state changed from conductive to non-conductive
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- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の技術分野
本発明は、メモリー半導体装置内に形成されているヒユ
ーズ、より詳しく述べるならば、このようなヒユーズの
電気的溶断方法の改善に関するものである。
ーズ、より詳しく述べるならば、このようなヒユーズの
電気的溶断方法の改善に関するものである。
(21技術の背景
ヒ=−ズ會備えた半導体メモリーにはヒユーズ溶断型R
OMあるいは冗長回路のあるRAMがあり、ヒユーズ溶
断型ROMではヒユーズ全溶断することで情報?書き込
み、また、冗長回路のあるRA八へで(は不良ビットr
含む行や列を予備の行や列にfき換えるためにヒ=−ズ
を溶断する。このようなヒユーズに過電流上流すことに
よって溶断している。
OMあるいは冗長回路のあるRAMがあり、ヒユーズ溶
断型ROMではヒユーズ全溶断することで情報?書き込
み、また、冗長回路のあるRA八へで(は不良ビットr
含む行や列を予備の行や列にfき換えるためにヒ=−ズ
を溶断する。このようなヒユーズに過電流上流すことに
よって溶断している。
(3)従来技術と問題点
半導体装置内のヒユーズ部は、一般的に、第1図および
第2図に示すような構造であり、ヒユーズlはヒユーズ
材であるポリシリコンなどで絶縁膜(例えば、5iQ2
膜)2上に形成さ几、切断される細長い中央部3と両側
のバッド4,5とからなる。バッド4,5のそれぞnに
は配線(例えば、アルミニウム配線層)6,7が接続さ
れている0第2図に示すようにヒユーズlおよび配線6
,7はパッシベーション膜である保護膜(例えば、PS
G膜→8で覆われている。なお、第1図はこの保護膜8
のない状態でのヒユーズ部を示す。そして、絶縁膜2は
半導体基板(例えば、シリコンウェハ)9上に形成され
ている。
第2図に示すような構造であり、ヒユーズlはヒユーズ
材であるポリシリコンなどで絶縁膜(例えば、5iQ2
膜)2上に形成さ几、切断される細長い中央部3と両側
のバッド4,5とからなる。バッド4,5のそれぞnに
は配線(例えば、アルミニウム配線層)6,7が接続さ
れている0第2図に示すようにヒユーズlおよび配線6
,7はパッシベーション膜である保護膜(例えば、PS
G膜→8で覆われている。なお、第1図はこの保護膜8
のない状態でのヒユーズ部を示す。そして、絶縁膜2は
半導体基板(例えば、シリコンウェハ)9上に形成され
ている。
このようなヒユーズlを溶断するために過電流を流すと
きの印加電圧は、従来、第3図に示すようなパルス電圧
である。、この場合に、溶断時にヒ=−ズが爆発的に破
壊されて保護膜8が破れて穴が生じる問題がある。この
穴は汚染物が入り込まないようにPSG膜を再び形成し
て塞がなければならない○ (4)発明の目的 本発明の目的は、ヒユーズ上に形成した保護膜を破ぶる
ことなくヒユーズ全電気的に溶断する方法を提案するこ
とである。
きの印加電圧は、従来、第3図に示すようなパルス電圧
である。、この場合に、溶断時にヒ=−ズが爆発的に破
壊されて保護膜8が破れて穴が生じる問題がある。この
穴は汚染物が入り込まないようにPSG膜を再び形成し
て塞がなければならない○ (4)発明の目的 本発明の目的は、ヒユーズ上に形成した保護膜を破ぶる
ことなくヒユーズ全電気的に溶断する方法を提案するこ
とである。
(5)発明の借成
上述の目的が、半導体基板上の絶縁膜の上に形成され、
配線と接続されかつ保護膜で覆われているヒユーズを電
気的に溶断する方法において、溶断のための印加電圧を
ランプ波電圧とすること全特徴とする半導体装置内ヒユ
ーズの溶断方法によって達成する。
配線と接続されかつ保護膜で覆われているヒユーズを電
気的に溶断する方法において、溶断のための印加電圧を
ランプ波電圧とすること全特徴とする半導体装置内ヒユ
ーズの溶断方法によって達成する。
ヒユーズ材料には多結晶シリコンが好ましい。
電流を流す配線の材料にはアルミニウムが好ましいが、
ドープした多結晶シリコンやA/程度の融点を有する金
属材料であってもよい。
ドープした多結晶シリコンやA/程度の融点を有する金
属材料であってもよい。
本発明によるランプ波電a:は、設定ピーク電圧1で一
定速度(104〜105V/秒)で増加する電圧である
ことが望ましい。
定速度(104〜105V/秒)で増加する電圧である
ことが望ましい。
(6)発明の実施例
以下、添付図面に関連した実施態様例によって本発明を
より詳細に説明する。
より詳細に説明する。
従来のヒユーズ形成工程にしたがって第1図および第2
囚に示すヒユーズを次のようにして形成する。
囚に示すヒユーズを次のようにして形成する。
シリコン基板(ウェハ)9の上に熱酸化法又はCVD法
によって5in2絶縁膜(厚さ1.0μ肌)2全形成し
、その上に多結晶シリコン層(厚さ0.4μm)lkc
VD法によって形成し、そして通常のホトエツチング法
によって第1図に示す形状のヒユーズ1t−形成する。
によって5in2絶縁膜(厚さ1.0μ肌)2全形成し
、その上に多結晶シリコン層(厚さ0.4μm)lkc
VD法によって形成し、そして通常のホトエツチング法
によって第1図に示す形状のヒユーズ1t−形成する。
ヒユーズlの細長い中央部3の幅Wを6μ71Lとする
。次に、アルミニウム配線6および7を形成するために
、アルミニウム蒸着膜(厚さ1.0μm)k全面に付着
させ、ホトエツチング法によって所定配線パターンに形
成する。
。次に、アルミニウム配線6および7を形成するために
、アルミニウム蒸着膜(厚さ1.0μm)k全面に付着
させ、ホトエツチング法によって所定配線パターンに形
成する。
配線6および7はヒユーズ1の幅広いバット4および5
に接続されている。最後に、PSG保傾膜8(、厚さ1
.0μm)をCVD法によってヒユーズl、配線6.7
および絶縁膜2の上の全面に形成する。
に接続されている。最後に、PSG保傾膜8(、厚さ1
.0μm)をCVD法によってヒユーズl、配線6.7
および絶縁膜2の上の全面に形成する。
このように形成した多結晶シリコンヒユーズ1に、本発
明にしたがって、10’V/秒の増加速度であるランプ
波電圧(ピーク電圧34V)’を印加してヒユーズlの
中央部全溶断する。このランプ波電圧は第4図に示すよ
うな変化tし、ピーク電圧に達する前に27V程度にな
ったときにはヒユーズは溶断されている。本発明にした
がって溶断すると、PSG保獲膜8の溶断対応部分に孔
は生じないことがわかる。ヒユーズの溶断を観察すると
、多結晶シリコンの溶解初期にアルミニウムがプラス極
側からマイナス極側に瞬間的に薄く流れてから切れるこ
とがわかる。PSG保護膜8全破ぶらずにすむのは、ア
ルミニウムの極薄膜が加熱速度全溶断直前で低下させる
からだと考えられる0この様な現象はパルス亀王を用い
た溶断ては観りできない。
明にしたがって、10’V/秒の増加速度であるランプ
波電圧(ピーク電圧34V)’を印加してヒユーズlの
中央部全溶断する。このランプ波電圧は第4図に示すよ
うな変化tし、ピーク電圧に達する前に27V程度にな
ったときにはヒユーズは溶断されている。本発明にした
がって溶断すると、PSG保獲膜8の溶断対応部分に孔
は生じないことがわかる。ヒユーズの溶断を観察すると
、多結晶シリコンの溶解初期にアルミニウムがプラス極
側からマイナス極側に瞬間的に薄く流れてから切れるこ
とがわかる。PSG保護膜8全破ぶらずにすむのは、ア
ルミニウムの極薄膜が加熱速度全溶断直前で低下させる
からだと考えられる0この様な現象はパルス亀王を用い
た溶断ては観りできない。
上述の実池、・黒様夕0は一例であって、ヒユーズの4
さ、形状は、aaに設定でき、そスLに応じて溶dの4
王および電圧増加速度も適切に決めることができる。本
実施例によると電圧増加速度が5V/秒以下であると、
溶断現象は起きず、アルミニウムが流れるだけの現象が
見らn、ショート状態となる。また、lO〜103v/
秒程度であると保護膜が破れる可能性がある。ただし、
こitらの結果は、多結晶シリコンヒユーズ部分の抵抗
値に強く依存している。配線6.7の材料にはドープし
た多結晶シリコン全使用することができるが、アルミニ
ウムを用いた例と異なり、加熱速度を溶断寸前で抑制す
る作用は、配録用多結晶シリコン中にドーグさnた不純
物がヒユーズ部分へ再分布することで達成さ几る。
さ、形状は、aaに設定でき、そスLに応じて溶dの4
王および電圧増加速度も適切に決めることができる。本
実施例によると電圧増加速度が5V/秒以下であると、
溶断現象は起きず、アルミニウムが流れるだけの現象が
見らn、ショート状態となる。また、lO〜103v/
秒程度であると保護膜が破れる可能性がある。ただし、
こitらの結果は、多結晶シリコンヒユーズ部分の抵抗
値に強く依存している。配線6.7の材料にはドープし
た多結晶シリコン全使用することができるが、アルミニ
ウムを用いた例と異なり、加熱速度を溶断寸前で抑制す
る作用は、配録用多結晶シリコン中にドーグさnた不純
物がヒユーズ部分へ再分布することで達成さ几る。
(7)発明の効果
本発明に係るヒコーズ溶1所方法では、ヒユーズ上の保
護膜を破ぶらずに溶断できるので、得度保護膜を形成す
る必要がない。
護膜を破ぶらずに溶断できるので、得度保護膜を形成す
る必要がない。
第1図はヒコーズ部のあるメモリー半導体@計の部分平
面であり、第2図は第1図の線1−IIVC沿った断面
図であり、第3図(ri従来の溶断電圧の波形図であり
、第4図は本発明に係るランプ波溶断電圧の波形図であ
る。 l・・・・・・ヒユーズ、2・・・・・・絶縁膜、3・
・・・・・細長の中央部、6,7・・・・・配線、8・
・・・・・保護膜。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 内゛ 1)幸 男 手続補丁書 昭和59年2 月21−日 特許庁長官 若杉和夫 殿 1、事件の表示 昭和57年 特許願 第226520号2、発明の名
利; ヒユーズ型ROMの書込み方法(新名称)3゜補正をす
る者 事件との関係 特許出願人 名称(522)冨士通株式会社 4゜代理人 (外 3 名) 5 補正の対象 (1)明細書の「発明の名称−1の欄 (2+ 切紙1全文 6 補正の内容 (21別紙のとおり 7、添付書類の目録 全文袖正明−書 1通合文神正明細書 1、発明の名称 ヒーーズ型H,OMの書込み方法 2、特許請求の範囲 1、基体上の絶縁膜の上に形成され、配線と接続されか
つ保訓Iiりでイタわれているヒーーズを備えたヒユー
ズ型It OMを′紙気的に書込む際に、書込みのため
の印加電圧をランプ波電圧として前記保睦膜を破ぶるこ
となく前記ヒユーズを溶断することを特徴とするヒーー
ズ型1(OMの書込み方法。 3、発明の詳細な説明 (1) 発明の技術分野 本発明は、メモリー半導体装14内に形成さ扛ているヒ
ユーズ型ROM (Read 0nly Memory
)、より詳しく述べるならは、このよ−9なヒユーズ
型ItoML:/)v込み方法の改善に関するものであ
る。 (2)技術の背景 ヒユーズf:4JFfiえた半導体メモリーにはヒーー
ズ型ROMあるいは冗長回路のるるRAM(几ando
mAccess Memory )があり、ヒユーズ型
ROMではヒユーズを溶断することで情報を書き込み、
また、冗長回路のあるRAMでは不良ビットを含む行や
列を予備の行や列に置き換えるためにヒーーズを溶断す
る(この選択がR,OM 機能である)。 このようなヒユーズに過電流を流すことによって溶断、
している。 (3)従来技術と問題点 半導体装置内のヒユーズ部は、一般的に、第1図および
第2図に示すような補遺であり、ヒユーズ1はヒユーズ
材であるポリシリコンなどで絶縁膜(例えば、5in2
膜)2上に形成され、切断される細長い中央部3と両側
のパッド4.5とからなる。パッド4.5のそれぞれに
は配線(例えは、アルミニウム配線層)6.7が接続さ
れている。 第2図に示すようにヒユーズ1および配線6.7はパッ
シベーション膜である保喪膜(fJえは、PSG膜)8
で覆われている。なお、第1図はこの保B2膜8のない
状態でのヒユーズ部を示す。そして、絶縁膜2は半導体
基板(例えは、シリコンウェハ)9上に形成されている
。 このようなヒユーズ1を溶断するために過電流を流すと
きの印加電圧は、従来、第3図に示すよ′)なパルス電
圧である。この場合に、溶断時にヒ0.−ズが爆発的に
破壊されて保護膜8が破れて穴が生じる問題がある。こ
の穴は汚染物が入り込まないようにPSG膜を再び形成
して塞がなければならない。 (4)発明の目的 本発明の目的は、ヒーーズ上に形成した保護膜を破ぶる
ことなくヒユーズを電気的に溶断してヒーーズ型ROM
の簀込みを行なう方法を提案することである。 (5)発明の構成 上述の目的が、半導体基板上の絶縁膜の上に形成芒れ、
配線と接続されかつ保護膜で棟われているヒユーズを電
気的に溶断じてヒーーズ型几OMを畳込む方法において
、溶断のための印加電圧をランプ波電圧とすることを特
徴とするヒユーズ型n OMの嶺込み方法によって達成
する。 ヒーーメ材料には多結晶シリコンが特に好ましく、Ni
0r、 TiWあるいはPtSiでもよい。電流を流す
配線の材料にはアルミニウムが特に好捷しいが、AfV
、程度の融点を有する金属材料であってもよい。なお、
アルミニウムとは純アルミニウムおよび銅又はシリコン
含有アルミニウム合金である。 本発明によるランプ波電圧は、設定ピーク電圧凍で一定
速[(103〜105V/秒)で増加する電圧であるこ
とが望ましい。設定ピーク電圧に達する前にヒユーズは
溶断される。 (6)発明の実施例 以下、添付図面に関連した実施態様例によって本発明を
よυ詳細に説明する。 従来のヒーーズ形成工程にしたがって第1図および第2
図に示すヒーーズを次のようにして形成する。 シリコン基板(ウェノ・)9の上に熱酸化法又はOVD
法によって5IO2絶縁膜(例えば、厚妊1.0μm、
)2全形成し、その上に多結晶シリコン層(例えば、厚
さ04μm)1をOVD法によって形成し、そして通常
のホトエツチング法によって第1図に示す形状のヒーー
ズ1を形成する。ヒユーズ1の細長い中央部3の幅Wを
6μmとする。 次に、アルミニウム配線6および7を形成するために、
アルミニウム蒸着膜(厚さ10μm)を全面に付着させ
、ホトエツチング法によって所定配線パターンに形成す
る。配線6および7はヒユーズ1の幅広いバット4およ
び5に接続されている。 最後に、PEG保護膜8(厚i 1.o ttm)ic
vD法によってヒユーズ1、配線6.7および絶縁膜2
の上の全面に形成する。 このように形成した多結晶シリコンヒユーズ1に、本発
明にしたがって、10’V/秒の増加速度であるランプ
波電圧(ピーク電圧34v)を印加してヒユーズ1の中
央部を溶断する。このランプ波電圧は第4図に示すよう
な変形をし、ピーク電圧に達する前に27V程度になっ
たときにはヒユーズは溶断されている。本発明にしたが
って溶断すると、PSG保設膜8の溶断対応部分に孔は
生じないことがわかる。ヒユーズの溶断ヲ観祭すると、
多結晶シリコンの溶解初期にアルミニウムがプラス極側
からマイナス極側に瞬間的に薄く流れてから切れること
がわかる。PSG保護膜8を破ふらずにすむのは、アル
ミニウムの極薄膜が加熱速度を溶断直前で低下式せるか
らだと考えられる。 この様な現象はパルス電圧を用いた溶断ては観察できな
い。 上述の実施態様例は一例であって、ヒユーズの厚き、形
状は適切に毀定でき、それに応じて溶断の電圧および′
i圧圧加加速度適切に決めることができる。本実施例に
よると和4圧増加速度が5V/秒以下であると、溶断現
象は起きず、アルミニウムが流れるだけの現象が見られ
、ショート状態となる。また、10〜10■/秒程贋で
あると保護膜が破れるときがある。そして、105V/
秒より大きいとパルス電圧と同様に保砲膜が破れる。た
だし、これらの結果は、多結晶シリコンヒユーズ部分の
抵抗値に強く依存している。配線6.7の材料にはドー
プした多結晶シリコン−+f用することができるが、ヒ
ーーズのパッドに接触する部分はアルミニウムで構成す
る。 (7)発明の効果 本発明に係るヒーーズ型ROMの書込み方法では、ヒー
ーズ上の保諒膜を破ぶらずにヒユーズが溶断てきるので
、再度保護膜を形成する必要がない。 4、図面の簡単な説明 第1図はヒユーズ部のめるメモリー半導体装置の部分平
面であり、第2図はδB1図の線■−■に沿っ1と断面
図であり、第3図は従来の溶断電圧の波形図であり、第
4図は本発明に係るランプ波溶断電圧の波形図である。 1・・・ヒユーズ、2・・・絶縁膜、3・・・細長の中
央部、6.7・・・配線、8・・・保護膜。
面であり、第2図は第1図の線1−IIVC沿った断面
図であり、第3図(ri従来の溶断電圧の波形図であり
、第4図は本発明に係るランプ波溶断電圧の波形図であ
る。 l・・・・・・ヒユーズ、2・・・・・・絶縁膜、3・
・・・・・細長の中央部、6,7・・・・・配線、8・
・・・・・保護膜。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 内゛ 1)幸 男 手続補丁書 昭和59年2 月21−日 特許庁長官 若杉和夫 殿 1、事件の表示 昭和57年 特許願 第226520号2、発明の名
利; ヒユーズ型ROMの書込み方法(新名称)3゜補正をす
る者 事件との関係 特許出願人 名称(522)冨士通株式会社 4゜代理人 (外 3 名) 5 補正の対象 (1)明細書の「発明の名称−1の欄 (2+ 切紙1全文 6 補正の内容 (21別紙のとおり 7、添付書類の目録 全文袖正明−書 1通合文神正明細書 1、発明の名称 ヒーーズ型H,OMの書込み方法 2、特許請求の範囲 1、基体上の絶縁膜の上に形成され、配線と接続されか
つ保訓Iiりでイタわれているヒーーズを備えたヒユー
ズ型It OMを′紙気的に書込む際に、書込みのため
の印加電圧をランプ波電圧として前記保睦膜を破ぶるこ
となく前記ヒユーズを溶断することを特徴とするヒーー
ズ型1(OMの書込み方法。 3、発明の詳細な説明 (1) 発明の技術分野 本発明は、メモリー半導体装14内に形成さ扛ているヒ
ユーズ型ROM (Read 0nly Memory
)、より詳しく述べるならは、このよ−9なヒユーズ
型ItoML:/)v込み方法の改善に関するものであ
る。 (2)技術の背景 ヒユーズf:4JFfiえた半導体メモリーにはヒーー
ズ型ROMあるいは冗長回路のるるRAM(几ando
mAccess Memory )があり、ヒユーズ型
ROMではヒユーズを溶断することで情報を書き込み、
また、冗長回路のあるRAMでは不良ビットを含む行や
列を予備の行や列に置き換えるためにヒーーズを溶断す
る(この選択がR,OM 機能である)。 このようなヒユーズに過電流を流すことによって溶断、
している。 (3)従来技術と問題点 半導体装置内のヒユーズ部は、一般的に、第1図および
第2図に示すような補遺であり、ヒユーズ1はヒユーズ
材であるポリシリコンなどで絶縁膜(例えば、5in2
膜)2上に形成され、切断される細長い中央部3と両側
のパッド4.5とからなる。パッド4.5のそれぞれに
は配線(例えは、アルミニウム配線層)6.7が接続さ
れている。 第2図に示すようにヒユーズ1および配線6.7はパッ
シベーション膜である保喪膜(fJえは、PSG膜)8
で覆われている。なお、第1図はこの保B2膜8のない
状態でのヒユーズ部を示す。そして、絶縁膜2は半導体
基板(例えは、シリコンウェハ)9上に形成されている
。 このようなヒユーズ1を溶断するために過電流を流すと
きの印加電圧は、従来、第3図に示すよ′)なパルス電
圧である。この場合に、溶断時にヒ0.−ズが爆発的に
破壊されて保護膜8が破れて穴が生じる問題がある。こ
の穴は汚染物が入り込まないようにPSG膜を再び形成
して塞がなければならない。 (4)発明の目的 本発明の目的は、ヒーーズ上に形成した保護膜を破ぶる
ことなくヒユーズを電気的に溶断してヒーーズ型ROM
の簀込みを行なう方法を提案することである。 (5)発明の構成 上述の目的が、半導体基板上の絶縁膜の上に形成芒れ、
配線と接続されかつ保護膜で棟われているヒユーズを電
気的に溶断じてヒーーズ型几OMを畳込む方法において
、溶断のための印加電圧をランプ波電圧とすることを特
徴とするヒユーズ型n OMの嶺込み方法によって達成
する。 ヒーーメ材料には多結晶シリコンが特に好ましく、Ni
0r、 TiWあるいはPtSiでもよい。電流を流す
配線の材料にはアルミニウムが特に好捷しいが、AfV
、程度の融点を有する金属材料であってもよい。なお、
アルミニウムとは純アルミニウムおよび銅又はシリコン
含有アルミニウム合金である。 本発明によるランプ波電圧は、設定ピーク電圧凍で一定
速[(103〜105V/秒)で増加する電圧であるこ
とが望ましい。設定ピーク電圧に達する前にヒユーズは
溶断される。 (6)発明の実施例 以下、添付図面に関連した実施態様例によって本発明を
よυ詳細に説明する。 従来のヒーーズ形成工程にしたがって第1図および第2
図に示すヒーーズを次のようにして形成する。 シリコン基板(ウェノ・)9の上に熱酸化法又はOVD
法によって5IO2絶縁膜(例えば、厚妊1.0μm、
)2全形成し、その上に多結晶シリコン層(例えば、厚
さ04μm)1をOVD法によって形成し、そして通常
のホトエツチング法によって第1図に示す形状のヒーー
ズ1を形成する。ヒユーズ1の細長い中央部3の幅Wを
6μmとする。 次に、アルミニウム配線6および7を形成するために、
アルミニウム蒸着膜(厚さ10μm)を全面に付着させ
、ホトエツチング法によって所定配線パターンに形成す
る。配線6および7はヒユーズ1の幅広いバット4およ
び5に接続されている。 最後に、PEG保護膜8(厚i 1.o ttm)ic
vD法によってヒユーズ1、配線6.7および絶縁膜2
の上の全面に形成する。 このように形成した多結晶シリコンヒユーズ1に、本発
明にしたがって、10’V/秒の増加速度であるランプ
波電圧(ピーク電圧34v)を印加してヒユーズ1の中
央部を溶断する。このランプ波電圧は第4図に示すよう
な変形をし、ピーク電圧に達する前に27V程度になっ
たときにはヒユーズは溶断されている。本発明にしたが
って溶断すると、PSG保設膜8の溶断対応部分に孔は
生じないことがわかる。ヒユーズの溶断ヲ観祭すると、
多結晶シリコンの溶解初期にアルミニウムがプラス極側
からマイナス極側に瞬間的に薄く流れてから切れること
がわかる。PSG保護膜8を破ふらずにすむのは、アル
ミニウムの極薄膜が加熱速度を溶断直前で低下式せるか
らだと考えられる。 この様な現象はパルス電圧を用いた溶断ては観察できな
い。 上述の実施態様例は一例であって、ヒユーズの厚き、形
状は適切に毀定でき、それに応じて溶断の電圧および′
i圧圧加加速度適切に決めることができる。本実施例に
よると和4圧増加速度が5V/秒以下であると、溶断現
象は起きず、アルミニウムが流れるだけの現象が見られ
、ショート状態となる。また、10〜10■/秒程贋で
あると保護膜が破れるときがある。そして、105V/
秒より大きいとパルス電圧と同様に保砲膜が破れる。た
だし、これらの結果は、多結晶シリコンヒユーズ部分の
抵抗値に強く依存している。配線6.7の材料にはドー
プした多結晶シリコン−+f用することができるが、ヒ
ーーズのパッドに接触する部分はアルミニウムで構成す
る。 (7)発明の効果 本発明に係るヒーーズ型ROMの書込み方法では、ヒー
ーズ上の保諒膜を破ぶらずにヒユーズが溶断てきるので
、再度保護膜を形成する必要がない。 4、図面の簡単な説明 第1図はヒユーズ部のめるメモリー半導体装置の部分平
面であり、第2図はδB1図の線■−■に沿っ1と断面
図であり、第3図は従来の溶断電圧の波形図であり、第
4図は本発明に係るランプ波溶断電圧の波形図である。 1・・・ヒユーズ、2・・・絶縁膜、3・・・細長の中
央部、6.7・・・配線、8・・・保護膜。
Claims (1)
- 1、基体上の絶縁膜の上に形成され、配線と接続されか
つ保護膜で覆われているヒーーズを眠気的に溶断する際
に、溶断のための印加電圧をランプ波電圧として前記保
護膜と破ぶることなく前記ヒーーズを溶断することを特
徴とするヒユーズの溶断方法。
Priority Applications (4)
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JP57226520A JPS59130441A (ja) | 1982-12-25 | 1982-12-25 | ヒューズ型romの書込み方法 |
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JP57226520A JPS59130441A (ja) | 1982-12-25 | 1982-12-25 | ヒューズ型romの書込み方法 |
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- 1987-06-10 US US07/059,140 patent/US4747076A/en not_active Expired - Fee Related
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